根据证监会《上市公司独立董事管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等要求，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）董事会，就公司在任独立董事张聿、张卫、陈世敏、孔伟的独立性情况进行评估并出具如下专项意见：
经核查独立董事张聿、张卫、陈世敏、孔伟的任职经历以及签署的相关自查文件，上述人员不存在任何妨碍其进行独立客观判断的关系，不存在影响独立董事独立性的情况。因此，公司独立董事符合《上市公司独立董事管理办法》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》中对独立董事独立性的相关要求。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2024年3月18日