国泰海通证券股份有限公司关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司2024年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见
国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐机构”）作为上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“至纯科技”或“公司”）的持续督导机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定，对至纯科技2024年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到位时间
经中国证券监督管理委员会证监许可[2020]3020号文《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限公司非公开发行股票的批复》，公司向特定对象发行人民币普通股（A股）4,774.97万股，每股面值人民币1元，每股发行价格人民币28.79元，募集资金总额为137,471.27万元，扣除承销费和保荐费1,900万元（含增值税）后，募集资金实际到账金额为人民币135,571.27万元。本次募集资金总额为137,471.27万元，扣除各项不含税发行费用人民币2,018.47万元后，募集资金净额为人民币135,452.81万元。
上述募集资金到位情况经众华会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并出具了众会字（2020）第8380号验资报告。
（二）募集资金以前年度使用金额
截至2023年12月31日，公司累计已使用募集资金人民币87,539.98万元，利息收入338.21万元，手续费用、其他划款支出合计0.55万元，剩余募集资金余额人民币48,204.14万元。
（三）募集资金本年度使用金额及年末余额
2024年度，公司已使用募集资金19,057.21万元。截至2024年12月31日，公司累计已使用募集资金投入项目106,597.19万元，剩余募集资金余额人民币28,809.27万元。截至2024年12月31日，募集资金使用情况如下：
单位：万元
| 项目 | 金额 |
募集资金实际到账金额135,571.27减：其他发行费用
164.80
以前年度投入金额87,539.98本年度投入金额19,057.21累计使用募集资金金额106,597.19尚未使用金额28,809.27减：闲置募集资金临时补充流动资金29,000.00减：购买理财产品未到期的-加：累计利息及手续费净额
345.84
累计理财收益-减：其他转出
0.40
截至2024年12月31日募集资金专户余额
154.72
二、募集资金管理情况
（一）募集资金的管理情况
根据有关法律法规及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，公司制定了《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，以在制度上保证募集资金的规范使用。
根据管理制度并结合经营需要，公司自2020年12月29日起对募集资金实行专户存储，在银行设立募集资金使用专户，并与开户银行、保荐机构签订了《募集资金三方监管协议》（以下统称《募集资金监管协议》），对募集资金的使用实施严格审批，以保证专款专用。截至2024年12月31日，公司均严格按照该《募集资金监管协议》的规定，存放和使用募集资金。
（二）募集资金专户存储情况
截至2024年12月31日，募集资金具体存放情况如下：
单位：万元
| 开户银行 | 银行账号 |
| 账户类别 | 募集资金余额 |
兴业银行上海市南支行
| 说明 | ||
| 216350100100120053 |
募集资金专户-
已销户杭州银行股份有限公司上海分行
江苏启微
| 31010401600019 |
81296
募集资金专户-
已销户兴业银行股份有限公司上海市南支行-合肥至微半导体
216350100100120688
募集资金专户-
已销户上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行-天津波汇
50131000832243
募集资金专户-
已销户兴业银行上海卢湾支行
| 216120100100259971 |
（注
）
募集资金专户
154.72
-
上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行-科谱天津
50131000831666
募集资金专户-
公司已出售（注2）
| 合计 | |
154.72
-注1：公司于2023年12月25日召开2023年第三次临时股东大会审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》，将“半导体晶圆再生二期项目”变更为“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，并已重新签订三方监管协议，变更后新项目的开户行为兴业银行股份有限公司上海卢湾支行，专户账号为216120100100259971。
注2：公司于2022年4月12日公告，经公司第四届董事会第十六次会议、第四届监事会第十五次会议审议通过将本次发行“光电子材料及器件制造基地建设项目”的实施主体由天津波汇、科谱半导体两个实施主体变更为由天津波汇实施，该募投项目的实施内容、实施方案均保持不变。变更后募集资金存放于上海农村商业银行股份有限公司张江科技支行—天津波汇账户中。科谱半导体后续已于2022年12月完成出售。
三、本年度募集资金实际使用情况
（一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况
募集资金实际使用情况详见附表1《2024年度募集资金使用情况对照表》。
（二）募投项目先期投入及置换情况
本年度，公司不存在募投项目先期投入及置换情况。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
2024年1月24日，公司召开第四届董事会第四十五次会议、第四届监事会第四十次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议
案》，同意将闲置募集资金中的不超过人民币30,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月，实际补充流动资金金额为30,000.00万元。截至2024年10月29日，公司已将上述用于暂时补充流动资金的募集资金30,000.00万元全部归还至公司募集资金专用账户。公司于2024年5月7日分别召开第五届董事会第三次会议、第五届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》。将闲置募集资金中不超过人民币12,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过6个月，截至2024年11月6日，公司已将上述用于暂时补充流动资金的募集资金12,000.00万元全部归还至公司募集资金专用账户。2024年10月29日公司召开第五届董事会第九次会议及第五届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意将闲置募集资金中不超过人民币29,000.00万元暂时用于补充公司流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过12个月。
（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
本年度，公司不存在对闲置募集资金进行现金管理的情况。
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
公司不存在超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况。
（七）节余募集资金使用情况
公司于2024年12月5日召开第五届董事会第十次会议、第五届监事会第九次会议审议通过《关于部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》。公司结合2020年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“光电子材料及器件制造基地建设项目”节余的募集资金永久补充流动资金。鉴于公司募集资金投资项目“光电子材料及器件制造基地建设项目”已建设完毕
并达到预定可使用状态，为了提高资金使用效率，公司已将节余募集资金3,096.77万元（实际从募集资金专户转出的金额与议案审议金额之间的差额为结息所致）永久补充流动资金，用于公司日常生产经营活动。
（八）募集资金使用的其他情况
公司不存在募集资金使用的其他情况。
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
2023年12月7日公司召开第四届董事会第四十二次会议、第四届监事会第三十八次会议审议通过《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的议案》。公司结合2020年非公开发行股份募集资金投资项目的进度情况，将募投项目“半导体湿法清洗设备扩产项目”节余的募集资金永久补充流动资金；将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。该募投项目变更事项已经2023年第三次临时股东大会审议通过。具体变更情况详见附表2。
五、募集资金使用及披露中存在的问题及整改措施
2024年度，公司已按《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规的规定及时、真实、准确、完整地披露了公司募集资金的存放及实际使用情况，不存在募集资金管理违规的情况。公司对募集资金的投向和进展情况均如实履行了披露义务，公司募集资金使用及披露不存在重大问题。
六、保荐机构的核查意见
经核查，保荐机构认为，公司2024年度募集资金存放和使用情况符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《上海至纯洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，募集资金使用不存在
违反国家反洗钱相关法律法规的情形。综上，保荐机构对公司2024年度募集资金存放和使用情况无异议。（以下无正文）
附表1：2024年度募集资金使用情况对照表编制单位：上海至纯洁净系统科技股份有限公司
单位：万元
募集资金总额135,571.27本年度投入募集资金总额19,057.21变更用途的募集资金总额36,202.88
已累计投入募集资金总额106,597.19变更用途的募集资金总额比例
26.70%
| 承诺投资项目 | 是否已变更项目，含部分变更（如有） |
| 募集资金承诺投资总额 | 调整后投资总额 |
| ） |
| 本年度投入金额 | 截至期末累计投入金额（ |
| ） | 截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额 |
| ） |
=
| ）-（1） | 截至期末投入进度（ |
%
| ） |
=
| ） |
/
| ） |
| 项目达到预定可使用状态日期 | 本年度实现的效益 |
| 是否达到预计效益 | 项目可行性是否发生重大变化 |
半导体湿法清洗设备扩产项目
否25,500.00 25,500.00 19,859.84 - 19,859.84 0 100.002024年 （注5） 否 否半导体晶圆再生二期项目
是
59,000.00 2,293.21 2,293.21 - 2,293.21 - 100.00（注4） （注4） （注4） 是单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目
- 36,202.88 36,202.88 7,055.61 7,055.61 -29,147.27 19.49
2026年11
月
不适用 不适用 否光电子材料及器件
否46,000.00 31,000.00 31,000.00 8,904.83 28,080.88
| -2,919.12 |
（注
）
90.58
年
| 12 |
月
（注8） 不适用46,000.00
制造基地建设项目
补充流动资金或偿还债务
- 55,500.00 40,600.00 40,600.00 - 40,461.01 -138.99 99.66不适用 不适用55,500.00剩余募集资金永久补充流动资金
-不适用 不适用-
3,096.77（注6）
8,846.65 - - - - -不适用合计- 186,000.00
| 135,596.09 |
（注
）
129,955.93 19,057.21 106,597.20 -32,205.38 72.09 - - - 186,000.00未达到计划进度原因（分具体募投项目） 不适用项目可行性发生重大变化的情况说明
总体市场规模增长受限；另一方面，近两年来多家国内企业开始涉足该领域，市场价格逐渐下行，竞争趋于激烈。经过管理层深入且审慎的评估，认为继续投资该业务板块可能存在投资回报率偏低、利润提升有限的情况，故公司将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：
| 2023-114 |
）。
募集资金投资项目先期投入及置换情况 不适用用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 详见本报告三（三）之说明对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 不适用用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 不适用
募集资金结余的金额及形成原因
“
半导体湿法清洗设备扩产项目
| ” |
产生节余募集资金
万元，主要因公司在设备采购过程中，积极通过采购比价、供应链管理等手段有效地控制成本，“设备购置及安装”项目实际投入比计划节约超过20%。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：2023-114）。“光电子材料及器件制造基地建设项目”产生节余募集资金3,095.77万元，主要系1、公司在项目实施过程中严格按照募集资金使用的有关规定，从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目建设质量的前提下，审慎地使用募集资金，加强项目建设各个环节费用的控制、监督和管理，对各项资源进行合理调度和优化配置，降低项目建设成本
和费用；
、由于部分项目工程及设备支付周期较长，部分验收款、质保金等款项尚未达到支付条件；
| 3 |
、募集资金存放期间产生了一定的利息收入。具体内容详见公司2024年12月6日披露于上海证券交易所网站的《关于部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的公告》（公告编号：
）。
募集资金其他使用情况 不适用
注1：“本年度投入募集资金总额”包括募集资金到账后“本年度投入金额”及剩余募集资金永久补充流动资金金额。注2：“截至期末承诺投入金额”以最近一次已披露募集资金投资计划为依据确定。注3：“本年度实现的效益”的计算口径、计算方法应与承诺效益的计算口径、计算方法一致。注4：2023年12月7日经公司第四届董事会第四十二次会议审议通过，“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”，调整后的投资总额为截止至变更时实际发生的投资金额。注5：“半导体湿法清洗设备扩产项目”系实施主体江苏启微新增产能项目，无法单独核算效益。目前该项目已建设完毕，但由于2022年后国际贸易摩擦和地缘政治等因素，公司重点服务的下游领域扩产计划推迟，导致公司半导体湿法清洗设备新签订单及设备交付进度不达预期，项目实施主体江苏启微总体收入及利润均未达到预期水平。
注6：“半导体湿法清洗设备扩产项目”和“光电子材料及器件制造基地建设项目”截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额与剩余募集资金永久补充流动资金之间的差异为利息收入所致。
注7：由于项目变更，调整后的投资总额合计与募集资金净额135,571.27万元的差异为利息收入所致。
注8：由于项目投产时间较短，暂无法计算效益情况。
附表2：变更募集资金投资项目情况表编制单位：上海至纯洁净系统科技股份有限公司
变更后的项目
对应的原项目
变更后项目拟投入募集资金
总额
截至期末计划累计投资金额(1)
本年度实际
投入金额
实际累计投入金额(2)
投资进度（%）
(3)=(2)/(1)
项目达到预定可使
用状态日期
本年度实现的
效益
是否达到预
计效益
变更后的项目可行性
是否发生重大变化
单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目
半导体晶圆再生二期项目
36,202.88 36,202.88 7,055.61 7,055.61 19.492026年11月 不适用 不适用 否
-36,202.88 36,202.88 7,055.61 7,055.61- - - - -变更原因、决策程序及信息披露情况说明（分具体募投项目）
| 合计 | ||
| 2021 |
年至今，一方面受外部国际环境和产业背景影响，国内晶圆厂产线的设备总体稼动率不足，使得国内晶圆再生业务的总体市场规模增长受限；另一方面，近两年来多家国内企业开始涉足该领域，市场价格逐渐下行，竞争趋于激烈。经过管理层深入且审慎的评估，认为继续投资该业务板块可能存在投资回报率偏低、利润提升有限的情况，故公司将募投项目“半导体晶圆再生二期项目”变更为新项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”。具体内容详见公司2023年12月9日披露于上海证券交易所网站的《关于单个募投项目节余资金永久补流及部分募投项目变更的公告》（公告编号：
）。
未达到计划进度的情况和原因（分具体募投项目） 不适用变更后的项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用