以自筹资金预先投入募集资金投资项目
及支付发行费用的鉴证报告
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
容诚专字[2025]100Z1189号
容诚会计师事务所(特殊普通合伙)
中国·北京
关于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目
及支付发行费用的鉴证报告
容诚专字[2025]100Z1189号
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司全体股东：
我们审核了后附的矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称矽电股份公司）管理层编制的《关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明》。
一、对报告使用者和使用目的的限定
本鉴证报告仅供矽电股份公司为用募集资金置换预先已投入募集资金投资项目及支付发行费用的自筹资金之目的使用，不得用作任何其他目的。我们同意将本鉴证报告作为矽电股份公司用募集资金置换预先已投入募集资金投资项目及支付发行费用的自筹资金必备的文件，随其他文件一起报送并对外披露。
二、管理层的责任
按照中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第
号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及深圳证券交易所《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第2号——创业板上市公司规范运作》的规定编制《关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明》是矽电股份公司管理层的责任，这种责任包括保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记录、误导性陈述或重大遗漏。
三、注册会计师的责任
我们的责任是对矽电股份公司管理层编制的上述专项说明独立地提出鉴证结
论。
四、工作概述我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号－历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证业务。该准则要求我们计划和实施鉴证工作，以对鉴证对象信息是否不存在重大错报获取合理保证。在鉴证过程中，我们实施了包括检查会计记录等我们认为必要的程序。我们相信，我们的鉴证工作为发表意见提供了合理的基础。
五、鉴证结论我们认为，后附的矽电股份公司《关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明》在所有重大方面按照上述《上市公司监管指引第
号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定编制，公允反映了矽电股份公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的情况。
（此页无正文，为矽电半导体设备（深圳）股份有限公司容诚专字[2025]100Z1189号报告之签字盖章页。）
| 容诚会计师事务所（特殊普通合伙） | 中国注册会计师：陈谋林中国注册会计师：索立松 | |
| 中国·北京 | 中国注册会计师：柳轶民 |
2025年4月27日
关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目
及支付发行费用的专项说明
根据中国证券监督管理委员会发布的《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及深圳证券交易所发布的《深圳证券交易所上市公司自律监管指引第
号——创业板上市公司规范运作》的规定，将矽电半导体设备（深圳）股份有限公司（以下简称本公司）以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的具体情况说明如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意矽电半导体设备（深圳）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2025]138号）文件批复，由主承销商招商证券股份有限公司采用网上向持有深圳市场非限售A股股份和非限售存托凭证市值的社会公众投资者定价发行的方式，公开发行人民币普通股股票10,431,819.00股，每股发行价格为人民币
52.28元。截至2025年
月
日止，本公司实际已向社会公众公开发行人民币普通股股票10,431,819.00股，募集资金总额为人民币545,375,497.32元，扣除各项发行费用合计人民币81,846,830.67元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币463,528,666.65元。上述资金到位情况业经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）“容诚验字[2025]100Z0015号”《验资报告》验证。本公司对募集资金采取了专户存储制度。
二、招股说明书承诺募集资金投资项目情况本公司《首次公开发行股票并在创业板上市招股说明书》披露的首次公开发行股票募集资金投资项目及募集资金使用计划如下：
金额单位：人民币万元
| 序号 | 募集资金投资项目 | 拟投入募集资金 | 备案审批情况 |
| 1 | 探针台研发及产业基地建设项目 | 26,127.08 | 深龙岗发改备案(2024)0139号 |
| 2 | 分选机技术研发项目 | 8,005.71 | 深龙岗发改备案(2024)0141号 |
关于以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的专项说明
| 序号 | 募集资金投资项目 | 拟投入募集资金 | 备案审批情况 |
| 3 | 营销服务网络升级建设项目 | 5,454.72 | 深龙岗发改备案(2024)0140号 |
| 4 | 补充流动资金 | 16,000.00 | —— |
| 合计 | 55,587.51 | ||
上述项目的投资总额为55,587.51万元，本次募集资金将全部用于上述项目，若实际募集资金净额与项目需要的投资总额之间存在资金缺口，将由本公司自筹资金解决。
三、自筹资金预先投入募集资金投资项目情况
本公司首次公开发行股票募集资金投资项目已经相关部门批准，并经公司股东大会决议通过利用募集资金投资。募集资金投资项目在募集资金实际到位之前已由公司以自筹资金先行投入，截至2025年3月17日止，本公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资金额为5,436.99万元，具体情况如下：
金额单位：人民币万元
| 序号 | 项目名称 | 承诺募集资金投资金额 | 自筹资金预先投入金额 |
| 1 | 探针台研发及产业基地建设项目 | 26,127.08 | 4,643.39 |
| 2 | 分选机技术研发项目 | 8,005.71 | 448.48 |
| 3 | 营销服务网络升级建设项目 | 5,454.72 | 345.12 |
| 合计 | 39,587.51 | 5,436.99 | |
2025年
月
日，公司召开了第二届董事会第十六次会议及第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于对募投项目拟投入募集资金金额进行调整的议案》，同意公司根据实际募集资金净额结合实际情况调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额。募集资金投资项目及调整情况如下：
金额单位：人民币万元
| 序号 | 募集项目 | 项目总投资额 | 调整前拟投入募集资金额 | 调整后拟投入募集资金额 |
| 1 | 探针台研发及产业基地建设项目 | 26,127,08 | 26,127,08 | 21,700.00 |
| 2 | 分选机技术研发项目 | 8,005.71 | 8,005.71 | 6,600.00 |
| 3 | 营销服务网络升级建设项目 | 5,454.72 | 5,454.72 | 4,500.00 |
| 4 | 补充流动资金 | 16,000.00 | 16,000.00 | 13,552.87 |
| 合计 | 55,587.51 | 55,587.51 | 46,352.87 |
四、自筹资金预先支付发行费用情况