中国国际金融股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2024年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见
中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”或“保荐机构”）作为沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）的保荐机构，根据《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》和《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》等相关法律、法规和规范性文件的规定，对公司2024年度募集资金存放与使用情况进行了核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金的金额及到账情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335号）同意注册，公司向社会公开发行人民币普通股（A股）21,000,000股，每股面值为人民币1元，每股发行价为人民币26.97元，应募集资金总额为566,370,000.00元，根据有关规定扣除发行费用60,625,896.22元后，实际募集资金净额为505,744,103.78元。以上募集资金已于2019年12月10日到位，募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字[2019]8294号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份
有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号），公司于2022年6月向特定对象发行人民币普通股股票8,045,699股，每股面值1元，发行价格为人民币124.29元/股，募集资金总额为人民币999,999,928.71元，扣除不含税的发行费用人民币9,915,093.67元，实际募集资金净额为人民币990,084,835.04元。以上募集资金已于2022年6月8日到位，募集资金到位情况已由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具容诚验字[2022]110Z0008号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
（二）募集资金本报告期使用金额及期末余额情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
2024年度，公司2019年首次公开发行股票募集资金使用情况为：（1）归还闲置募集资金暂时补充流动资金54,000,000.00元；（2）超募资金永久补充流动资金38,300,000.00元；（3）超募资金回购股份10,009,160.24元。2024年度公司累计使用募集资金48,309,160.24元，支付银行手续费（不含增值税）415.00元，募集资金专用账户利息收入为13,796.15元，募集资金专用账户2024年12月31日余额合计为5,708,398.23元。具体明细如下：
单位：人民币元
| 项目 | 累计金额 |
| 募集资金净额 | 505,744,103.78 |
| 减：截至2024年12月31日直接对募集资金项目投入 | 387,316,021.56 |
| 其中： 高端晶圆处理设备产业化项目 | 248,133,621.56 |
| 高端晶圆处理设备研发中心项目 | 139,182,400.00 |
| 减：截至2024年12月31日使用超募资金永久补充流动资金 | 114,900,000.00 |
| 减：截至2024年12月31日使用闲置资金暂时补充流动资金 | 244,000,000.00 |
| 减：截至2024年12月31日节余募集资金补流 | 9,284,650.48 |
| 减：截至2024年12月31日使用超募资金回购股份 | 10,009,160.24 |
| 加：截至2024年12月31日募集资金理财收益 | 11,579,663.95 |
| 加：截至2024年12月31日募集资金利息收入扣除手续费净额 | 10,245,640.65 |
| 加：截至2024年12月31日归还暂时补充流动资金 | 244,000,000.00 |
| 截至2024年12月31日募集资金余额 | 6,059,576.10 |
| 减：股份回购剩余资金尚未转回部分 | 351,177.87 |
| 截至2024年12月31日募集资金账户余额 | 5,708,398.23 |
2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
2024年度，公司2021年度向特定对象发行A股股票募集资金使用情况为：
（1）对募集资金项目投入72,178,850.59元，其中：上海临港研发及产业化项目
72,147,650.59元，高端晶圆处理设备产业化项目（二期）31,200.00元；（2）使用节余募集资金补充流动资金10,679,597.56元。2024年度公司累计使用募集资金82,858,448.15元，支付银行手续费（不含增值税）898.33元，募集资金专用账户利息收入为981,026.79元，使用暂时闲置募集资金购买理财产品所得投资收益5,674,115.03元，募集资金专用账户2024年12月31日余额合计为241,129,893.53元。具体明细如下：
单位：人民币元
| 项目 | 累计金额 |
| 募集资金总额 | 999,999,928.71 |
| 减：截至2024年12月31日直接对募集资金项目投入 | 778,436,397.58 |
| 其中：临港研发及产业化项目 | 472,146,852.90 |
| 高端晶圆处理设备产业化项目（二期） | 3,477,497.24 |
| 补充流动资金项目 | 302,812,047.44 |
| 减：截至2024年12月31日用于现金管理的暂时闲置募集资金 | 0.00 |
| 减：截至2024年12月31日节余募集资金补流 | 10,679,597.56 |
| 加：截至2024年12月31日募集资金理财收益 | 24,192,371.56 |
| 加：截至2024年12月31日募集资金利息收入扣除手续费净额 | 6,053,588.40 |
| 截至2024年12月31日募集资金余额 | 241,129,893.53 |
二、募集资金管理情况
公司根据《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，于2019年4月24日召开2019年第三次临时股东大会，审议通过了《关于制定<募集资金管理
办法>的议案》，并于2024年6月17日召开2023年年度股东大会，审议通过了《关于修订<募集资金管理制度>的议案》。《沈阳芯源微电子设备股份有限公司
募集资金管理制度》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确
的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。
1、2019年首次公开发行股票募集资金
公司于2019年12月11日分别在中信银行沈阳和平支行（账号
8112901012900643057）、中国建设银行沈阳城内支行（账号
21050139000800001255）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110111）
开设账户作为募集资金专项账户。2019年12月11日，公司分别与中信银行股
份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股
份有限公司沈阳浑南西路支行和时任保荐机构国信证券股份有限公司（以下简
称“国信证券”）签署《募集资金专户存储三方监管协议》。
2021年9月8日，公司因2021年年度向特定对象发行A股股票变更保荐
机构，与原保荐机构国信证券以及相关募集资金存储银行签订的《募集资金专
户存储三方监管协议》相应终止，国信证券未完成的持续督导工作由中金公司
承接。鉴于公司保荐机构已发生更换，为进一步规范公司募集资金管理，保护
投资者权益，根据中国证监会《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金
管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号
——规范运作》等法律、法规的规定，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳
分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳
浑南西路支行及保荐机构中金公司签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金
专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监
管协议》的履行不存在问题。截至2024年12月31日，公司均严格按照该《募
集资金专户存储三方监管协议》的规定存放和使用募集资金。
截至2024年12月31日，募集资金存储情况如下：
单位：人民币元
| 银行名称 | 银行帐号 | 余额 |
| 中信银行沈阳和平支行 | 8112901012900643057 | 已销户 |
| 中国建设银行沈阳城内支行 | 21050139000800001255 | 已销户 |
| 招商银行沈阳浑南西路支行 | 124904600110111 | 5,708,398.23 |
| 合 计 | 5,708,398.23 | |
2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
2022年6月7日，公司分别在平安银行沈阳分行（账号15912666666677）、中信银行沈阳南站支行（账号8112901011100849786）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110858）开设账户作为募集资金专项账户。2022年6月16日，分别与平安银行股份有限公司沈阳分行、中信银行股份有限公司沈阳分行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和保荐机构中金公司签署《募集资金专户存储三方监管协议》。2022年6月7日，公司在招商银行上海自贸试验区临港新片区支行（账号121942302510107）开设账户作为募集资金专项账户。2022年6月27日，公司董事会同意使用募集资金25,000.00万元向全资子公司上海芯源微企业发展有限公司进行增资，用于实施募投项目“上海临港研发及产业化项目”。2022年7月27日，公司与全资子公司上海芯源微企业发展有限公司、保荐机构中金公司以及全资子公司募集资金专项账户开户银行（招商银行上海自贸试验区临港新片区支行）签订了《募集资金专户存储四方监管协议》。上述《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》与证券交易所制定的《监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》的履行不存在问题。截至2024年12月31日，公司均严格按照《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》的规定，存放和使用募集资金。截至2024年12月31日，募集资金存储情况如下：
单位：人民币元
| 银行名称 | 银行帐号 | 余额 |
| 中信银行沈阳南站支行 | 8112901011100849786 | 241,101,048.01 |
| 招商银行沈阳浑南西路支行 | 124904600110858 | 28,845.52 |
| 平安银行沈阳分行 | 15912666666677 | 已销户 |
| 招商银行上海自贸区临港新片区支行 | 121942302510107 | 已销户 |
| 12194230257100017 | 已销户 | |
| 12194230257100020 | 已销户 | |
| 合 计 | 241,129,893.53 | |
三、本报告期募集资金的实际使用情况
（一）募集资金投资项目的资金使用情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
截至2024年12月31日，公司实际投入相关项目的募集资金款项共计人民币38,731.60万元，具体使用情况详见附表1：2019年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表。
2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
截至2024年12月31日，公司实际投入相关项目的募集资金款项共计人民币77,843.64万元，具体使用情况详见附表2：2021年度向特定对象发行A股股票募集资金使用情况对照表。
（二）募投项目先期投入及置换情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
在2019年首次公开发行股票募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入14,034,042.00元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计投入389,400.00元，使用自筹资金支付发行费用人民币2,597,169.81元。
公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会
第七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金17,020,611.81元置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）鉴证并出具容诚专字[2020]110Z0064号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。截至2020年12月31日，上述自筹资金17,020,611.81元已用募集资金置换完毕。
2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
在2021年度向特定对象发行A股股票募集资金到位前，公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的实际投资金额为31,738,839.36元，其中对“上海临港研发及产业化”募集资金项目累计投入31,738,839.36元。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31,738,839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募集资金置换预先投入自筹资金情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）鉴证并出具容诚专字[2022]110Z0153号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。截至2022年12月31日，上述自筹资金31,738,839.36元已用募集资金置换完毕。
（三）对闲置募集资金进行现金管理情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
截至2024年12月31日，公司使用2019年首次公开发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00元，无投资相关产品的情况。
2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
公司于2022年6月16日召开第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同
意公司使用额度不超过70,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。公司于2023年6月9日召开第二届董事会第十三次会议及第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过50,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。
公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过30,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。
截至2024年12月31日，公司使用2021年度向特定对象发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00万元，无投资相关产品的情况。
（四）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2020年5月25日，公司召开2019年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人
民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。
公司于2021年6月11日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2021年6月28日，公司召开2021年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2024年6月17日，公司召开2023年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。公司使用部分超募资金永久补充流动资金仅在与主营业务相关的生产经营中使用；在超募资金永久补充流动资金后的12个月内，不进行高风险投资或对外提供财务资助。公司最近12个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募资金总额的30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定。
截至2024年12月31日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资金为11,490.00万元。
2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
不适用。
（五）使用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
公司于2020年7月2日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币8,000.00万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至2021年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币8,000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2021年7月2日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币15,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在规定期限内实际使用了人民币6,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2022年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币6,000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5,800.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币5,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2023年8月24日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币5,000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2023年8月28日召开第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5,400.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定时限内实际使用了人民币5,400.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。
截至2024年8月20日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币5,400.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。截至2024年12月31日，公司使用2019年首次公开发行A股股票闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币0.00万元。
2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
截至2024年12月31日，公司暂未使用2021年度向特定对象发行A股股票募集资金暂时补充流动资金。
（六）募集资金使用的其他情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
公司于2020年4月24日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项目”实施地点由“沈阳市浑南区新岛街6号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至沈本大街，北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。
公司于2021年3月19日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事会第十三次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年3月31日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年12月31日。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。
公司于2024年2月21日召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》，同意公司使用部分超募
资金通过上海证券交易所交易系统以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股（A股）股份，拟用于回购的资金总额不低于人民币1,000万元（含）、不超过人民币2,000万元（含），并在未来适宜时机用于员工持股计划或股权激励计划，回购期限为自公司董事会审议通过本次回购股份方案之日起6个月内。截至2024年12月31日，公司转出超募资金至股份回购专用证券账户的金额为1,035.00万元，已回购公司股份102,607股，支付的资金总额为人民币10,008,325.19元（不含印花税、交易佣金等交易费用）。
2、2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
公司于2023年4月17日召开了第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北至规划路，南至创新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。上述募投项目实施地点变更符合公司经营发展的需要，能够促进募集资金投资项目顺利实施，未实质改变募集资金的投资方向及内容，不会对募集资金投资项目产生实质性影响，不存在变相改变募集资金投向和损害公司及股东利益的情形。公司于2024年10月22日召开第二届董事会第二十六次会议及第二届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，综合考虑当前募投项目的实施进度等因素，公司决定对“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”募投项目达到预定可使用状态的日期调整至2026年12月8日。本次
募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。
四、变更募投项目的资金使用情况
截至2024年12月31日，公司募集资金投资项目未发生变更情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并对募集资金使用情况及时地进行了披露，不存在募集资金使用及管理的违规情形。
六、保荐机构意见
经核查，公司2024年度募集资金存放与使用情况符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》及公司募集资金管理制度等法律法规和制度文件的规定，并及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形。
附表1：
2019年首次公开发行股票募集资金使用情况对照表
单位：万元
| 募集资金总额 | 50,574.41 | 本年度投入募集资金总额 | 0.00 | ||||||||||
| 变更用途的募集资金总额 | 不适用 | 已累计投入募集资金总额 | 38,731.60 | ||||||||||
| 变更用途的募集资金总额比例 | 不适用 | ||||||||||||
| 承诺投资项目 | 是否已变更项目(含部分变更) | 募集资金承诺投资总额 | 调整后投资总额 | 截至期末承诺投入金额(1) | 本年度投入金额 | 截至期末累计投入金额(2) | 截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额(3)＝(2)-(1) | 截至期末投入进度(%)(4)＝(2)/(1) | 项目达到预定可使用状态日期 | 本年度实现的效益 | 是否达到预计效益 | 项目可行性是否发生重大变化 | |
| 高端晶圆处理设备产业化项目 | 否 | 23,860.73 | 23,860.73 | 23,860.73 | 0.00 | 24,813.36 | 952.63 | 103.99 （注1） | 2022年6月30日 | 13,747.90 | 是 | 否 | |
| 高端晶圆处理设备研发中心项目 | 否 | 13,918.24 | 13,918.24 | 13,918.24 | 0.00 | 13,918.24 | 0.00 | 100.00 | 2022年3月31日 | 注2 | 不适用 | 否 | |
| 承诺投资项目合计 | — | 37,778.97 | 37,778.97 | 37,778.97 | 0.00 | 38,731.60 | 952.63 | — | — | — | — | — | |
| 未达到计划进度原因(分具体项目) | 不适用 | ||||||||||||
项目可行性发生重大变化的情况说明
| 项目可行性发生重大变化的情况说明 | 不适用 |
| 募集资金投资项目实施地点变更情况 | 公司于2020年4月24日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项目”实施地点由“沈阳市浑南区新岛街6号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至沈本大街，北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。 |
| 募集资金投资项目实施方式调整情况 | 不适用 |
| 募集资金投资项目先期投入及置换情况 | 在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入14,034,042.00元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计投入389,400.00元，使用自筹资金支付发行费用人民币2,597,169.81元。 公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金17,020,611.81元置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。 公司使用募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2020]110Z0064号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。 截至2020年12月31日，上述自筹资金17,020,611.81元已用募集资金置换完毕。 |
| 用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 | 公司于2020年7月2日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币8,000.00万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至2021年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币8,000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。 公司于2021年7月2日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币15,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在规定期限内实际使用了人民币6,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2022年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币6,000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。 公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5,800.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币5,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2023年8月24日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币5,000.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。 公司于2023年8月28日召开第二届董事会第十六次会议和第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5,400.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定时限内实际使用了人民币5,400.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2024年8月20日，公司已将上述临时补充流动资金的人民币5,400.00万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。 截至2024年12月31日，公司使用首次公开发行A股股票闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币0.00万元。 |
| 对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 | 截至2024年12月31日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00元，无投资相关产品的情况。 |
| 用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 | 公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2020年5月25日，公司召开2019年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。 公司于2021年6月11日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2021年6月28日，公司召开2021年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。 公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2024年6月17日，公司召开2023年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。 截至2024年12月31日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资金为11,490.00万元。 |
| 募集资金结余的金额及形成原因 | “高端晶圆处理设备产业化项目”和“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，节余的募集资金共928.47万元，募集资金节余的主要原因如下： 1、节余的募集资金为公司在没有影响募集资金投资项目建设进度的情况下，利用闲置募集资金进行现金管理产生的投资收益导致。 2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目质量的前提下，加强项目建设各个环节成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出。 |
| 募集资金其他使用情况 | 公司于2021年3月19日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事会第十三次会议，审议通过了《关于募投项目延期的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年3月31日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年6月30日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。 公司于2024年2月21日召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于以集中竞价交易方式回购公司股份方案的议案》，同意公司使用部分超募资金通过上海证券交易所交易系统以集中竞价交易方式回购公司已发行的部分人民币普通股（A股）股份，拟用于回购的资金总额不低于人民币1,000万元（含）、不超过人民币2,000万元（含），并在未来适宜时机用于员工持股计划或股权激励计划，回购期限为自公司董事会审议通过本次回购股份方案之日起6个月内。截至2024年6月30日，公司转出超募资金至股份回购专用证券账户的金额为1,035.00万元，已回购公司股份102,607股，支付的资金总额为人民币10,008,325.19元（不含印花税、交易佣金等交易费用）。截至2025年2月27日公司已将节余资金351,177.87元全部转回至募集资金专用账户。 |
注1：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。注2：“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，在公司原有研发资源的基础上，通过配置先进的研究设备、实验设备和测试检验设备，引进一批专业技术人才，建立了与公司发展战略相匹配的研发平台，极大地提升了公司的技术创新能力。
附表2：
2021年度向特定对象发行A股股票募集资金使用情况对照表
单位：万元
| 募集资金总额 | 99,999.99 | 本年度投入募集资金总额 | 7,217.89 | ||||||||||
| 变更用途的募集资金总额 | 不适用 | 已累计投入募集资金总额 | 77,843.64 | ||||||||||
| 变更用途的募集资金总额比例 | 不适用 | ||||||||||||
| 承诺投资项目 | 是否已变更项目(含部分变更) | 募集资金承诺投资总额 | 调整后投资总额 | 截至期末承诺投入金额(1) | 本年度投入金额 | 截至期末累计投入金额(2) | 截至期末累计投入金额与承诺投入金额的差额(3)＝(2)-(1) | 截至期末投入进度(%)(4)＝(2)/(1) | 项目达到预定可使用状态日期 | 本年度实现的效益 | 是否达到预计效益 | 项目可行性是否发生重大变化 | |
| 上海临港研发及产业化项目 | 否 | 47,000.00 | 47,000.00 | 47,000.00 | 7,214.77 | 47,214.69 | 214.69 | 100.46 （注3） | 2024年12月8日 | 不适用 （注4） | 不适用 （注4） | 否 | |
| 高端晶圆处理设备产业化项目（二期） | 否 | 23,000.00 | 23,000.00 | 23,000.00 | 3.12 | 347.75 | -22,652.25 | 1.51 | 2026年12月8日 | 不适用 | 不适用 | 否 | |
| 补充流动资金 | 否 | 29,999.99 | 29,999.99 | 29,999.99 | 0.00 | 30,281.20 | 281.21 | 100.94 （注3） | — | 不适用 | 不适用 | 否 | |
承诺投资项目
合计
| 承诺投资项目合计 | — | 99,999.99 | 99,999.99 | 99,999.99 | 7,217.89 | 77,843.64 | -22,156.35 | — | — | — | — | — |
| 未达到计划进度原因(分具体项目) | （1）高端晶圆处理设备产业化项目（二期） 公司于2024年10月22日召开第二届董事会第二十六次会议及第二届监事会第二十四次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，综合考虑当前募投项目的实施进度等因素，公司决定对“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”募投项目达到预定可使用状态的日期进行延期。公司“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”募投项目原计划建设周期30个月，于2024年12月8日前达到预定可使用状态。根据公司整体规划和实际经营发展需要，公司于2023年4月17日召开了第二届董事会第十次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，将“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”项目实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北至规划路，南至创新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。 在募投项目实施地点变更等因素影响下，“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”的建设进度、生产设备的采购以及安装调试工作均有所延缓。为提高募投资金使用效率，根据公司实际情况及市场需求，公司拟有计划、分步骤逐步投入该项目，故将该项目达到预定可使用状态日期调整至2026年12月8日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。 |
| 项目可行性发生重大变化的情况说明 | 不适用 |
| 募集资金投资项目实施地点变更情况 | 公司于2023年4月17日召开了第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）项目”实施地点由“辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号”变更至“北至规划路，南至创新路，西至沈本大街，东至沈本一街地块”。上述募投项目实施地点变更符合公司经营发展的需要，能够促进募集资金投资项目顺利实施，未实质改变募集资金的投资方向及内容，不会对募集资金投资项目产生实质性影响，不存在变相改变募集资金投向和损害公司及股东利益的情形。 |
| 募集资金投资项目实施方式调整情况 | 不适用 |
| 募集资金投资项目先期投入及置换情况 | 在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“上海临港研发及产业化项目”募集资金项目累计投入 31,738,839.36元。 公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31,738,839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。 公司使用募集资金置换以自筹资金预先投入金额已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2022]110Z0153号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。 截至2022年12月31日，上述自筹资金31,738,839.36元已用募集资金置换完毕。 |
| 用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 | 截至2024年12月31日，公司暂未使用闲置募集资金暂时补充流动资金。 |
| 对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 | 公司于2022年6月16日召开第二届董事会第三次会议及第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。 公司于2023年6月9日召开第二届董事会第十三次会议及第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过50,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。 公司于2024年4月26日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十九次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过30,000.00万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，用于购买投资安全性高、流动性好的保本型投资产品，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，公司监事会发表了同意意见，保荐机构亦出具了明确的核查意见。 截至2024年12月31日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00万元，无投资相关产品的情况。 |
| 用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 | 不适用 |
| 募集资金结余的金额及形成原因 | “上海临港研发及产业化项目”结项，节余的募集资金1,067.96万元，募集资金节余的主要原因如下： 1、节余的募集资金为公司在没有影响募集资金投资项目建设进度的情况下，利用闲置募集资金进行现金管理产生的投资收益导致。 2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目质量的前提下，加强项目建设各个环节成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出。 |
| 募集资金其他使用情况 | 不适用 |
注3：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。注4：上海临港研发及产业化项目达到预定可使用状态日期至本报告期末未满一个正常经营期间，不适用预计效益评价。