国泰海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的核查意见国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）2019年度首次公开发行股票并在科创板上市和2020年度向特定对象发行股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等有关法律法规和规范性文件的要求，就中微公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理的事项进行了审慎核查，并发表如下核查意见:
一、募集资金基本情况
1、2019年首次公开发行股票募集资金
经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕1168号）核准，公司首次公开发行股票53,486,224股，每股发行价格为人民币29.01元，募集资金总额为人民币155,163.54万元，扣除各项发行费用后实际募集资金净额为人民币144,570.28万元。上述募集资金到位情况已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具普华永道中天验字〔2019〕第0411号《验资报告》。
上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、保荐人签订了募集资金监管协议。
2、2020年度向特定对象发行A股股票募集资金
经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2021〕645号）核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A股）80,229,335股，每股发行价格为人民币102.29元，募集资金总额为人民币820,665.87万元，扣除各项发行费用后实际募集资
金净额为人民币811,816.24万元。上述募集资金到位情况已经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）验证，并由其出具普华永道中天验字〔2021〕第0638号《验资报告》。上述募集资金已全部存放于募集资金专户管理，公司及相关子公司与存放募集资金的商业银行、保荐人签订了募集资金监管协议。
二、募集资金投资项目的基本情况
根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司招股说明书》《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行A股股票证券募集说明书》《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于调整向特定对象发行股票募投项目募集资金投入金额的公告》，公司募集资金投资项目基本情况如下：
单位：万元
| 首次公开发行募投项目 | |||||
| 序号 | 项目名称 | 项目总投资 | 拟投入募集资金额 | ||
| 1 | 高端半导体设备扩产升级项目 | 40,058.96 | 40,000.00 | ||
| 2 | 技术研发中心建设升级项目 | 40,097.22 | 40,000.00 | ||
| 3 | 补充流动资金 | 20,000.00 | 20,000.00 | ||
| 合计 | 100,156.18 | 100,000.00 | |||
| 向特定对象发行A股股票募投项目 | |||||
| 序号 | 项目名称 | 项目总投资 | 拟投入募集资金总额 | 调整后总投资 | |
| 1 | 中微产业化基地建设项目 | 317,732.66 | 317,000.00 | 317,000.00 | |
| 2 | 中微临港总部和研发中心项目 | 375,582.35 | 375,000.00 | 375,000.00 | |
| 3 | 科技储备资金 | 308,000.00 | 308,000.00 | 119,816.24 | |
| 合计 | 1,001,315.01 | 1,000,000.00 | 811,816.24 | ||
由于募投项目建设需要一定的周期，根据募投项目建设进度，现阶段募集资金在短期内存在部分闲置的情况。在不影响募投项目建设和公司正常经营的前提下，公司将合理利用闲置募集资金进行现金管理，提高募集资金使用效率，保障股东利益。
三、本次使用暂时闲置募集资金进行现金管理的基本情况
（一）投资目的
由于募集资金投资项目建设需要一定周期，公司的部分募集资金存在暂时闲置的情形。为提高募集资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金，在确保不影响募集资金投资项目建设和募集资金安全的情况下，增加公司的收益并为公司、股东获取更多回报。
（二）额度及期限
公司拟使用最高不超过人民币35亿元(含本数)的闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会通过之日起不超过12个月。在前述额度及期限范围内，资金可以循环滚动使用。
（三）投资产品品种
1、募集资金
公司将按照相关规定严格控制风险，拟使用暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的保本型理财产品(包括但不限于结构性存款、定期存款、通知存款、大额存单等)。
2、自有资金
公司将按照相关规定严格控制风险，拟使用部分自有资金用于购买安全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的理财产品(包括但不限于结构性存款、定期存款、通知存款、大额存单等)。
（四）决议有效期
自公司董事会审议通过之日起12个月内有效。
（五）实施方式
董事会授权总经理在上述额度及期限范围内行使该项决策权及签署相关法律文件，包括但不限于：选择合适的专业金融机构、明确现金管理金额、期间、选择产品/业务品种、签署合同及协议等。具体事项由公司财务负责人负责组织
实施。
（六）信息披露
公司将按照《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等相关法律、法规以及规范性文件的要求，及时披露公司使用部分暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的具体情况。
（七）现金管理收益分配
1、闲置募集资金
公司使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的所得收益归公司所有，并严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求管理和使用资金。
2、闲置自有资金
通过对暂时闲置的自有资金进行适度、适时的现金管理，能减少资金闲置，所得收益归公司所有。
四、对公司日常经营的影响
公司本次计划使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理是在确保公司募集资金投资项目正常进行和保证募集资金安全的前提下进行的，不会影响公司日常资金正常周转需要和募集资金投资项目的正常运转，亦不会影响公司主营业务的正常发展。
同时，对暂时闲置的募集资金及自有资金适时进行适度、适时的现金管理，能获得一定的投资收益，有利于进一步提升公司整体业绩水平，为公司股东谋取更多的投资回报。
五、风险控制措施
（一）现金管理风险
尽管公司拟使用暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的保本型理财产品及拟使用部分自有资金用于购买安全性高、流动性好、具有合法经营资格的金融机构销售的理财产品，但金融市场受宏观经济的影响较大，并不排除该项投资收益受到市场波动的影响。
（二）风险控制措施
1、公司将按照决策、执行、监督职能相分离的原则建立健全现金管理的审批和执行程序，有效开展和规范运行现金管理产品的购买事宜，确保资金安全。
2、公司将严格遵守审慎原则筛选投资对象，主要选择信誉好、规模大、有能力保障资金安全的发行主体所发行的产品。
3、公司财务负责人及财务部相关人员将及时分析和跟踪产品的投向、项目进展情况，如评估发现存在可能影响公司资金安全的风险因素，将及时采取相应保全措施，控制风险。
4、公司监事会、独立董事、董事会审计委员会有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。
5、公司内部审计机构负责对产品进行全面检查，并根据谨慎性原则，合理地预计各项投资可能的风险与收益，向公司董事会审计委员会定期报告。
六、履行的审议程序及相关意见
（一）董事会审议情况
2025年4月17日，公司召开第三届董事会第二次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金及自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在不影响募集资金投资计划正常进行、不影响公司正常运营及确保资金安全的情况下，使用额度不超过350,000万元（含本数）的闲置募集资金进行现金管理，使用期限为自公司股东大会审议通过之日起12个月内有效，在上述额度和期限范围内，资金可循环滚动使用。
（二）监事会意见
2025年4月17日，公司召开第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于
使用部分闲置募集资金及自有资金进行现金管理的议案》。监事会认为：公司在不影响募集资金投资计划正常进行、不影响公司正常运营及确保资金安全的情况下，使用部分闲置募集资金进行现金管理，有利于提高公司闲置资金的使用效率，增加股东回报，符合公司和全体股东的利益，不存在变相改变募集资金用途的情形。监事会一致同意公司本次关于使用部分闲置募集资金及自有资金进行现金管理的事项。
七、保荐人核查意见
经核查，保荐人认为，公司本次使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理事项已经公司董事会、监事会审议通过。公司本次使用暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理事项符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等法律法规、规范性文件以及公司《募集资金管理制度》等相关规定，不存在变相改变募集资金使用用途的情形，不影响募集资金投资计划的正常进行，并且能够提高资金使用效率，符合公司和全体股东的利益。综上，保荐人对公司实施本次使用部分暂时闲置募集资金及自有资金进行现金管理的事项无异议。
（以下无正文）
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