中微公司：2025年限制性股票激励计划实施考核管理办法

中微半导体设备（上海）股份有限公司2025年限制性股票激励计划实施考核管理办法

中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）为进一步健全公司的激励约束机制，形成良好均衡的价值分配体系，有效地将股东利益、公司利益和员工个人利益结合在一起，使其更诚信勤勉地开展工作，以保证公司业绩稳步提升，确保公司发展战略和经营目标的实现。按照收益与贡献匹配的原则，公司拟实施2025年限制性股票激励计划。为保证公司2025年限制性股票激励计划的顺利实施，现根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司股权激励管理办法》（2025修正）《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关法律、法规和规范性文件、以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》《中微半导体（上海）股份有限公司2025年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“激励计划”、“计划”）的相关规定，特制定《中微半导体设备（上海）股份有限公司2025年限制性股票激励计划实施考核管理办法》（以下简称“本办法”）。

一、考核目的

进一步完善公司激励约束机制，保证公司激励计划的顺利实施，并在最大程度上发挥激励计划的作用。

二、考核原则

考核评价必须坚持公正、公开、公平的原则，严格按照本办法和考核对象的业绩进行评价，以实现激励计划与激励对象工作业绩、贡献紧密结合，从而提高公司整体业绩，实现公司与全体股东利益最大化。

三、考核范围

本办法适用于公司本次激励计划所确定的所有激励对象，即薪酬与考核委员会确定并经董事会审议通过的所有激励对象。

四、考核机构

（一）董事会薪酬与考核委员会负责领导、组织激励对象的考核工作。

（二）公司人力资源部负责具体实施考核工作。人力资源部对董事会薪酬与考核委员会负责及报告工作。

（三）公司人力资源部、财务部等相关部门负责相关考核数据的收集和提供,并对数据的真实性和可靠性负责。

（四）公司董事会负责本办法的审批及考核结果的审核。

五、考核指标及标准

（一）公司层面业绩考核要求

本激励计划首次授予的限制性股票考核年度为2025-2028四个会计年度，每个会计年度考核一次。以公司2024年度的营业收入为基数，根据各考核年度的营业收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩考核目标对应的公司层面归属比例。各考核年度业绩考核目标安排如下表所示：

归属期	对应考核年度	该考核年度使用的 营业收入	业绩考核目标	公司层面 归属比例
第一个归属期	2025	2025年营业收入	X≧对标企业算术平均增长率	100%
			对标企业算术平均增长率*0.8≦X<对标企业算术平均增长率	80%
			X<对标企业算术平均增长率*0.8	0
第二个归属期	2026	2025年、2026年两年营业收入累计值	X≧对标企业算术平均增长率	100%
			对标企业算术平均增长率*0.8≦X<对标企业算术平均增长率	80%
			X<对标企业算术平均增长率*0.8	0
第三个归属期	2027	2025年、2026年和2027年三年营业收入累计值	X≧对标企业算术平均增长率	100%
			对标企业算术平均增长率*0.8≦X<对标企业算术平均增长率	80%
			X<对标企业算术平均增长率*0.8	0
第四个归属期	2028		X≧对标企业算术平均增长率	100%

2025年、2026年、2027年和2028年四年营业收入累计值	对标企业算术平均增长率*0.8≦X<对标企业算术平均增长率	80%
	X<对标企业算术平均增长率*0.8	0

注：1.上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据；

2.对标企业指Gartner公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如果Gartner未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；

3.对标企业算数平均增长率=各对标企业各考核年度的营业收入累计值定比2024年度的累计营业收入增长率（同中微公司各考核年度累计营业收入增长率算法）之和除以五；

4.如对标企业年度报告财务报表日在1-9月内或对标企业考核年度的年度报告在中微公司董事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在10-12月且对标企业考核年度的年度报告在中微公司董事会审议归属条件是否成就议案的前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据。若预留部分在2025年三季度报告披露之前授予，则预留授予各批次考核年度及各考核年度业绩考核目标与首次授予部分一致；若预留部分在2025年三季度报告披露之后授予，则预留授予考核年度为2026-2029四个会计年度，每个会计年度考核一次。以公司2024年度的营业收入为基数，根据各考核年度的营业收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩考核目标对应的公司层面归属比例。2025年三季度报告披露之后授予的预留部分限制性股票各考核年度业绩考核目标安排如下表所示：

归属期	对应考核年度	该考核年度使用的 营业收入	业绩考核目标	公司层面 归属比例
第一个归属期	2026	2026年营业收入	X≧对标企业算术平均增长率	100%
			对标企业算术平均增长率*0.8≦X<对标企业算术平均增长率	80%
			X<对标企业算术平均增长率*0.8	0
第二个归属期	2027	2026年、2027年两年营业收入累计值	X≧对标企业算术平均增长率	100%
			对标企业算术平均增长率*0.8≦X<对标企业算术平均增长率	80%

			X<对标企业算术平均增长率*0.8	0
第三个归属期	2028	2026年、2027年和2028年三年营业收入累计值	X≧对标企业算术平均增长率	100%
			对标企业算术平均增长率*0.8≦X<对标企业算术平均增长率	80%
			X<对标企业算术平均增长率*0.8	0
第四个归属期	2029	2026年、2027年、2028年和2029年四年营业收入累计值	X≧对标企业算术平均增长率	100%
			对标企业算术平均增长率*0.8≦X<对标企业算术平均增长率	80%
			X<对标企业算术平均增长率*0.8	0

注：1.上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据；

2.对标企业指Gartner公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如果Gartner未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；

3.对标企业算数平均增长率=各对标企业各考核年度的营业收入累计值定比2024年度的累计营业收入增长率（同中微公司各考核年度累计营业收入增长率算法）之和除以五；

4.如对标企业年度报告财务报表日在1-9月内或对标企业考核年度的年度报告在中微公司董事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在10-12月且对标企业考核年度的年度报告在中微公司董事会审议归属条件是否成就议案的前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据。

（二）个人层面绩效考核要求

激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象的实际归属的股份数量：

考核评级	MBO≧1	0.9≦MBO<1	0.8≦MBO<0.9	0.7≦MBO<0.8	MBO<0.7
个人层面归属比例	100%	90%	80%	70%	0

激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司

层面归属比例×个人层面归属比例。激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属或不能完全归属的，作废失效，不可递延至下一年度。

六、考核期间与次数

本次激励计划首次授予的限制性股票考核年度为2025-2028四个会计年度，若预留部分在2025年三季度报告披露之前授予，则预留授予考核年度与首次授予部分一致；若预留部分在2025年三季度报告披露之后授予，则预留授予考核年度为2026-2029四个会计年度，公司层面的业绩考核及个人层面的绩效考核每个会计年度考核一次。

七、考核程序

公司人力资源部在董事会薪酬与考核委员会的指导下负责具体的考核工作，保存考核结果，并在此基础上形成绩效考核报告上交董事会薪酬与考核委员会。

八、考核结果管理

（一）考核结果反馈与申诉

被考核对象有权了解自己的考核结果，薪酬与考核委员会应在考核工作结束后5个工作日内将考核结果通知被考核对象。

如果被考核对象对自己的考核结果有异议，可与人力资源部沟通解决。如无法沟通解决，被考核对象可向薪酬与考核委员会申诉，薪酬与考核委员会需在10个工作日内进行复核并确定最终考核结果。

（二）考核结果归档

考核结束后，考核结果由人力资源部作为保密资料归档保存，绩效考核记录保存期5年，对于超过保存期限的文件与记录，经薪酬与考核委员会批准后由人力资源部统一销毁。

九、附则

（一）本办法由董事会负责制订、解释及修订。若本办法与日后发布实施的法律、行政法规和部门规章存在冲突的，则以日后发布实施的法律、行政法规和部门规章规定为准。

（二）本办法经公司股东大会审议通过并自激励计划生效后实施。

中微半导体设备（上海）股份有限公司

董事会2025年4月17日