伙）的履职情况报告根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司治理准则》《国有企业、上市公司选聘会计师事务所管理办法》等规定和要求，董事会审计委员会本着勤勉尽责的原则，恪尽职守，认真履职。现将董事会审计委员会对会计师事务所履行监督职责的情况汇报如下：
一、2024年年审会计师事务所基本情况
（一）会计师事务所基本情况
普华永道中天前身为1993年3月28日成立的普华大华会计师事务所，经批准于2000年6月更名为普华永道中天会计师事务所有限公司；经2012年12月24日财政部财会函[2012]52号批准，于2013年1月18日转制为普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）。注册地址为中国（上海）自由贸易试验区陆家嘴环路1318号星展银行大厦507单元01室。
普华永道中天拥有会计师事务所执业证书，具备从事H股企业审计业务的资质，同时也是原经财政部和证监会批准的具有证券期货相关业务资格的会计师事务所。此外，普华永道中天是普华永道国际网络成员机构，同时也在US PCAOB（美国公众公司会计监督委员会）注册从事相关审计业务。
普华永道中天的首席合伙人为李丹。截至2024年12月31日，普华永道中天合伙人数为229人，注册会计师人数达1,150人，其中自2013年起签署过证券服务业务审计报告的注册会计师人数为287人。
普华永道中天经审计的最近一个会计年度（2023年度）的收入总额为人民币71.37亿元，审计业务收入为人民币66.02亿元，证券业务收入为人民币31.15亿元。
普华永道中天的2023年度A股上市公司财务报表审计客户数量为107家，A股上市公司财务报表审计收费总额为人民币5.45亿元，主要行业包括制造业，金融业，交通运输、仓储和邮政业，批发和零售业及房地产业等，与本公司同行业(制造业)的A股上市公司审计客户共55家。
（二）聘任会计师事务所履行的程序
公司于2024年3月18日召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十七次
会议，审议通过《关于续聘公司2024年度审计机构的议案》，同意续聘普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2024年度审计机构，并提请股东大会授权公司管理层按市场价格洽谈确定审计报酬。上述议案已经公司股东大会审议通过。
二、审计委员会对会计师事务所监督情况
根据公司《董事会审计委员会工作规则》等有关规定，审计委员会对会计师事务所履行监督职责的情况如下：
（一）审计委员会对普华永道的专业资质、业务能力、诚信状况、独立性、过往审计工作情况及其执业质量等进行了严格核查和评价，认为其具备为公司提供审计工作的资质和专业能力，能够满足公司审计工作的要求。2024年3月18日，公司召开第二届董事会第二十次会议及第二届监事会第十七次会议，审议通过《关于续聘公司2024年度审计机构的议案》，同意续聘普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2024年度审计机构，并同意授权公司管理层按照市场情况，综合考虑参与审计工作的项目组成员的经验、级别、投入时间和工作质量综合确定2024年度审计费用。
（二）2025年1月14日，审计委员会与负责公司审计工作的注册会计师及项目经理进行了审计计划阶段沟通，对2024年度审计工作的审计范围、会计师事务所和相关审计人员的独立性问题、重要时间节点、审计人员安排等相关事项进行了沟通。
（三）2025年4月15日，审计委员会与负责公司审计工作的注册会计师及项目经理进行审计完成阶段沟通，对2024年度审计基本情况、关键审计事项、总体审计结论等相关事项进行了沟通。
（四）2025年4月17日，公司第三届董事会审计委员会2025年第二次会议以现场结合通讯方式召开，审议通过《关于中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年年度报告及摘要的议案》、《关于续聘公司2025年度审计机构的议案》等议案并同意提交董事会审议。
三、总体评价
公司审计委员会严格遵守证监会、上交所及《公司章程》《董事会审计委员会工作规则》等有关规定，充分发挥专业委员会的作用，对会计师事务所相关资质和执业能力等进行了审查，在年报审计期间与会计师事务所进行了充分的讨论和沟通，督促会计师事务所及时、准确、客观、公正地出具审计报告，切实履行了审计委员会对会计师事务
所的监督职责。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会审计委员会
2025年4月17日