中微半导体设备（上海）股份有限公司第二届监事会第二十二次会议决议公告
本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
一、监事会会议召开情况
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）第二届监事会第二十二次会议于2024年8月22日召开。本次会议的通知于2024年8月14日通过邮件方式送达全体监事。会议应出席监事3人，实际到会监事3人，会议由监事会主席邹非女士主持。会议的召集和召开程序符合有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和公司章程的规定，会议决议合法有效。
二、监事会会议审议情况
（一）审议通过《关于公司2024年半年度报告及摘要的议案》监事会认为：董事会编制和审议公司2024年半年度报告及摘要的程序符合法律、行政法规及上海证券交易所、中国证券监督管理委员会的规定，报告内容真实、准确、完整地反映了公司2024年半年度的财务状况和经营成果等事项，不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。公司《2024年半年度报告》编制过程中，未发现公司参与编制和审议的人员有违反公司保密规定的行为。全体监事一致同意《2024年半年度报告》及其摘要。
表决结果：3票赞成，0票反对，0票弃权。具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
（二）审议通过《关于2024年半年度募集资金存放与使用情况专项报告的议案》根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》及相关格式指引、《中微半导体
设备（上海）股份有限公司募集资金管理制度》的规定，结合本公司的实际情况，监事会审议通过了公司编制的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2024年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告》。表决结果：3票赞成，0票反对，0票弃权。具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
（三）审议通过《关于作废处理2020年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》
监事会认为：公司本次作废部分限制性股票符合有关法律、法规及公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定，不存在损害股东利益的情况，同意公司此次作废部分限制性股票。
表决结果：3 票赞成，0 票反对，0 票弃权。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
（四）审议通过《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第四个归属期符合归属条件的议案》
监事会认为：根据公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定，激励计划首次授予部分第四个归属期的归属条件已经成就。本次符合归属条件的532名激励对象的归属资格合法有效，可归属的限制性股票数量为
127.4388万股。本次归属安排和审议程序符合《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上市公司股权激励管理办法》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规及公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定，不存在损害公司及股东利益的情形。
表决结果：3 票赞成，0 票反对，0 票弃权。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
（五）审议通过《关于调整公司2020年股票增值权激励计划行权价格的议案》
因公司2023年年度利润分配方案实施完毕，公司本次对2020年股票增值权激励计划行权价格的调整符合《上市公司股权激励管理办法》等相关法律、法规、
规章及公司《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》的规定和要求，不存在损害公司及全体股东利益的情形。因此，监事会同意本次股票增值权行权价格调整事项。表决结果：3 票赞成，0 票反对，0 票弃权。具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
（六）审议通过《关于公司2020年股票增值权激励计划第四个行权期符合行权条件的议案》
监事会认为：公司2020年股票增值权激励计划中，6名激励对象获授的13.67万份股票增值权第四个行权期的行权条件已经成就，本事项符合《上市公司股权激励管理办法》、《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》等相关规定。
表决结果：3 票赞成，0 票反对，0 票弃权。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
（七）审议通过《关于进一步明确募集资金投资项目相关事项的议案》
监事会认为：本次进一步明确募集资金投资项目相关事项，是根据公司研发工作实际情况确定的，有利于公司开展相关项目研发工作，未对募投项目的实施造成实质性影响，不存在改变或变相改变募集资金投向或损害公司和股东利益的情形，不会对公司的正常经营产生重大不利影响，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律、法规、规范性文件及公司制定的《募集资金管理办法》等规定的情形。
表决结果：3票赞成，0 票反对，0票弃权。
具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
2024年8月23日