中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）、《科创板上市公司自律监管指南第4号—股权激励信息披露》等相关法律、法规及规范性文件和《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》的有关规定，对公司2024年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）首次授予激励对象名单（截至授予日）进行审核，发表核查意见如下：
1、本次激励计划激励对象均不存在《管理办法》第八条规定的不得成为激励对象的情形：
（1）最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；
（2）最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选；
（3）最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；
（4）具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；
（5）法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；
（6）中国证监会认定的其他情形。
2、本次激励计划激励对象不包括公司独立董事、监事、单独或合计持有公司5%以上股份的股东或实际控制人及其配偶、父母、子女。
3、除7名激励对象离职或因个人原因自愿放弃拟获授的全部限制性股票外，公司本次授予激励对象人员名单与公司2023年年度股东大会批准的《2024年限制性股票激励计划（草案）》中规定的激励对象相符。
4、本次激励计划授予激励对象名单人员符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合《2024年限制性
股票激励计划（草案）》规定的激励对象条件。综上，监事会同意公司本次激励计划首次授予激励对象名单，同意公司本次激励计划的首次授予日为2024年4月26日，并同意以授予价格人民币76.10元/股向符合条件的1791名激励对象授予880万股限制性股票。特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
2024年4月26日