海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票部分限售股解禁上市流通的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”、“保荐机构”）作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）首次公开发行股票的持续督导机构，根据《科创板首次公开发行股票注册管理办法（试行）》、《证券发行上市保荐业务管理办法》以及《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关规定，对中微公司首次公开发行股票部分限售股份解禁上市流通事项进行了核查，发表核查意见如下：
一、首次公开发行股票和股本情况
经上海证券交易所科创板股票上市委员会委员审议通过，并已经中国证券监督管理委员会（以下简称“证监会”）同意注册（证监许可〔2019〕1168号），中微公司首次公开发行人民币普通股（A股）53,486,224股，并于2019年7月22日在上海证券交易所挂牌上市。公司首次公开发行前股本为481,376,013股，首次公开发行后总股本为534,862,237股，其中无限售条件流通股为48,426,573股，有限售条件流通股为486,435,664股。
二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况
限售股形成后，中微公司分别于2020年1月22日一般法人配售上市，于2020年7月22日首发原股东限售上市，有限售条件流通股相应减少，总股本仍保持不变。
2021年3月9日，公司收到中国证监会出具的《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2021]645号），同意公司向特定对象发行A股股票的注册申请。
2021年6月30日，公司在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理
完毕本次发行新增股份登记托管及股份限售手续，公司总股本由534,862,237股变更为615,091,572股。
三、本次限售股份申请上市流通的基本情况
本次上市流通的限售股为中微公司首次公开发行限售股份，共计2,068,252股，占中微公司总股本的0.3363%，涉及1名股东，锁定期为自中微公司股票上市之日起24个月，该部分限售股将于2021年7月22日锁定期届满并上市流通。本次股份解除限售及上市流通情况如下：
| 序号 | 股东名称 | 持有限售股数量（股） | 持有限售股占公司总股本比例 | 本次上市流通数量（股） | 剩余限售股数量（股） |
| 1 | 海通创新证券投资有限公司 | 2,068,252 | 0.3363% | 2,068,252 | - |
| 合 计 | 2,068,252 | 0.3363% | 2,068,252 | - | |
单位：股
| 项目 | 本次上市前 | 变动数 | 本次上市后 |
| 有限售条件股份 | 369,689,037 | -2,068,252 | 367,620,785 |
| 无限售条件股份 | 245,402,535 | 2,068,252 | 247,470,787 |
| 股份总数 | 615,091,572 | - | 615,091,572 |
（此页无正文，为《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票部分限售股解禁上市流通的核查意见》之签字盖章页）
| 保荐代表人： | |||||
| 吴志君 | 孙剑峰 |