海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”、“保荐机构”）作为中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）2020年度向特定对象发行A股股票项目的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》和《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》等相关规定，对中微公司使用闲置募集资金进行现金管理进行了审慎核查，发表核查意见如下：
一、募集资金基本情况
根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2021]645号），公司于2021年6月10日向特定对象发行A股80,229,335股，每股发行价102.29元人民币，募集资金总额为人民币8,206,658,677.15元，扣除发行费用人民币88,496,236.01元后，实际募集资金净额（下称“募资净额”）为人民币8,118,162,441.14元。上述募资资金已由普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具普华永道中天验字（2021）第0638号《验资报告》予以确认。
公司依照规定对募集资金采取了专户存储管理，开立了募集资金专户，并与保荐机构、募集资金专户监管银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建设进度，现阶段募集资金在短期内出现部分闲置的情况。
二、本次使用部分闲置募集资金进行现金管理的基本情况
（一）现金管理目的
在确保不影响募集资金项目建设和募集资金使用的情况下，公司根据《上海
证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》、《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等相关规定，拟使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，降低公司财务费用，增加公司收益。
（二）额度及期限
公司拟使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。
（三）现金管理品种
为控制募集资金使用风险，公司使用暂时闲置的募集资金通过通知存款、结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过12个月。
公司不会将闲置募集资金用于投资以股票、利率、汇率及其衍生品种、无担保债券为主要投资标的理财产品。上述投资产品不得质押。
（四）决议有效期限
自公司本次董事会审议通过之日起12个月内有效。
（五）实施方式
在公司董事会授权的投资额度范围内，董事长行使该项投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由财务部负责组织实施。
（六）信息披露
公司将按照《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等相关法律、法规及其他规范性文件的规定要求，及时披露公司现金管理的具体情况。
（七）现金管理收益的分配
公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证监会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。
三、投资风险及风险控制措施
（一）投资风险
尽管公司选择低风险投资品种的现金管理产品，但金融市场受宏观经济的影响较大，公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量的介入，但不排除该项投资受到市场波动的影响。
（二）风险控制措施
公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理仅限于购买安全性高且流动性好、不影响公司日常经营活动的投资产品。公司按照决策、执行、监督职能相分离的原则建立健全相关投资的审批和执行程序，确保投资事宜的有效开展、规范运行，以及资金安全。拟采取的具体措施如下：
1、公司将根据经营安排和资金投入计划选择相适应的现金管理产品种类和期限等，确保不影响公司日常经营活动的正常进行。
2、在实施期间及时分析和跟进现金管理品种的投向、项目进展情况，一旦发现或判断有不利因素，将及时采取措施，控制投资风险。
3、独立董事、监事会有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。
4、公司必须严格按照《上市公司监督指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等有关规定办理相关现金管理业务。
四、对公司经营的影响
1、公司运用部分闲置募集资金进行现金管理是在确保公司募集资金投资项目的进度和确保资金安全的前提下进行的，不影响公司募集资金投资项目的开展。
2、公司通过对暂时闲置的募集资金进行现金管理，可以提高资金使用效率，增加公司收益。
五、相关审议程序
公司于2021年7月9日召开第一届董事会第二十一次会议及第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自第一届董事会第二十一次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了明确同意的独立意见。本次事项无需提交股东大会审议。
（一）独立董事意见
独立董事认为：
公司在确保不影响募集资金投资项目正常进行的前提下，对部分闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，增加资金收益，使公司和股东利益最大化，不存在变相改变募集资金用途的情形，符合相关法律法规的规定。
因此，同意公司使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理。
（二）监事会意见
监事会认为：
公司在确保不影响募集资金投资项目正常进行的前提下，对部分闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，增加资金收益，使公司和股东利益最大化，不存在变相改变募集资金用途的情形，符合相关法律法规的规定。
同意公司使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理。
六、保荐机构核查意见
经核查，公司保荐机构认为：
1、公司使用不超过8,000,000,000元人民币的暂时闲置募集资金进行现金管理的事项已通过公司董事会、监事会审议批准，全体独立董事亦发表明确同意的独立意见，履行了必要的审批程序，符合《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》、《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等文件的有关规定。
2、公司使用部分闲置募集资金进行现金管理有助于提高公司募集资金使用效率，提升公司经营效益，对募集资金投资项目建设进度和募集资金的正常使用不存在不利影响，且不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情况。
综上所述，保荐机构对公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理的事项无异议。（以下无正文）
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限公司使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人（签名）：
吴 志 君 孙 剑 峰
海通证券股份有限公司（盖章）
2021年7月9日