中微半导体设备（上海）股份有限公司
2020年度业绩快报公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
本公告所载中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）2020年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以公司2020年年度报告中披露的数据为准，提请投资者注意投资风险。
一、2020年度主要财务数据和指标
单位： 万元
| 项目 | 本报告期 | 上年同期 | 增减变动幅度（％） |
| 营业总收入 | 227,329.19 | 194,694.93 | 16.76% |
| 营业利润 | 52,358.31 | 19,791.89 | 164.54% |
| 利润总额 | 52,145.65 | 19,838.22 | 162.85% |
| 归属于母公司所有者的净利润 | 49,219.92 | 18,856.42 | 161.02% |
| 归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润 | 2,331.94 | 14,753.93 | -84.19% |
| 基本每股收益（元） | 0.92 | 0.37 | 148.65% |
| 加权平均净资产收益率 | 12.11% | 6.71% | 增加5.40个百分点 |
| 本报告期末 | 本报告期初 | 增减变动幅度（％） |
| 总 资 产 | 580,087.69 | 477,405.43 | 21.51% |
| 归属于母公司的所有者权益 | 436,893.42 | 375,107.70 | 16.47% |
| 股 本 | 53,486.22 | 53,486.22 | - |
| 归属于母公司所有者的每股净资产（元） | 8.17 | 7.01 | 16.55% |
价值变动收益约2.62亿元；（2）公司2020年计入非经常性损益的政府补助较2019年增加约2.26亿元。
2.归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润较上年同期减少
84.04%，主要系公司2020年因实施股权激励计划产生股份支付费用约1.24亿元（属于经常性损益），2019年无该类费用发生。若剔除股份支付费用的影响，2020年归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约为1.47亿元，较上年同期约减少0.43%。
三、风险提示
本公告所载2020年度主要财务数据为初步核算数据，未经会计师事务所审计，具体数据以公司2020年年度报告中披露的数据为准，提请投资者注意投资风险。
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2021年2月25日