证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2022-101
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
2022 年半年度募集资金存放与实际使用情况的
专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。
根据《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要
求》和《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等相关规
定，上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”）截至 2022 年 6
月 30 日的募集资金存放与实际使用情况的专项报告如下：
一、募集资金的基本情况
（一）2019 年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金
经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）核发的《关于核准
上海至纯洁净系统科技股份有限公司向赵浩等发行股份购买资产并募集配套资
金的批复》（证监许可[2018]2185 号）批准，公司以非公开发行股票的方式向特
定投资者发行 20,985,844 股股票（以下简称“本次发行”），发行价格为 20.49
元/股，募集资金总额 429,999,943.56 元，扣除各项发行费用后的募集资金净额为
418,517,624.25 元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）于 2019 年 4 月 22 日对
本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报告》[众会字（2019）
第 3882 号]。公司对募集资金进行专户存储与管理。
截至 2022 年 6 月 30 日，公司本次募集资金使用及结存情况如下：
项目 金额（元）
募集资金总额 429,999,943.56
减：发行费用-承销费 10,000,000.00
募集资金到账 419,999,943.56
减：以募集资金置换投资项目自筹资金的 148,000,000.00
金额 88,000,000.00
减：支付发行费用 2,584,000.00
1
减：支付购买资产交易的现金对价 100,012,300.00
减：支付给合波光电购置募投项目固定资 70,721,449.60
产 10,893,193.51
减：手续费支出 1,335.71
减：其他划款 46,083.82
加：利息收入 339,880.79
募集资金余额 81,461.71
（二）2020 年非公开发行股份
经中国证券监督管理委员会下发《关于核准上海至纯洁净系统科技股份有限
公司非公开发行股票的批复》（证监许可[2020]3020 号）核准，同意公司非公开
发行不超过 78,005,377 股新股。截至 2020 年 12 月 23 日，公司本次非公开发行
人民币普通股 47,749,661 股，发行价格 28.79 元/股，实际募集资金总额为人民币
1,374,712,740.19 元，扣除各项不含税发行费用人民币 20,184,669.49 元后，募集
资金净额为人民币 1,354,528,070.70 元。众华会计师事务所（特殊普通合伙）于
2020 年 12 月 23 日对本次发行的资金到位情况进行了审验，并出具了《验资报
告》[众会字（2020）第 8380 号]。
截至 2022 年 6 月 30 日，公司本次募集资金使用及结存情况如下：
项目 金额（元）
募集资金总额 1,374,712,740.19
减：发行费用-承销费（含税） 19,000,000.00
募集资金到账 1,355,712,740.19
减：募投项目-补充流动资金 404,610,133.29
减：暂时补充流动资金 300,000,000.00
减：支付发行费用 1,648,000.00
减：投入募投项目-半导体湿法清洗设备扩产项目 112,653,610.90
减：投入募投项目-光电子材料及器件制造基地建 53,183,210.00
设项目 4,034.05
减：其他划款 845.80
加：其他划款 1,880.00
加：利息收入 2,366,312.30
募集资金余额 485,981,098.45
二、募集资金管理情况
为规范公司募集资金管理，保护中小投资者的权益，公司制定了《上海至纯
洁净系统科技股份有限公司募集资金管理制度》（以下简称《募集资金管理制
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度》），对募集资金的存放、使用及监督等方面均做出了具体明确的规定。
（一）2019 年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金
根据中国证监会《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使
用的监管要求》等法律、法规及公司《募集资金管理制度》的规定，公司于 2019
年 4 月 29 日分别与兴业银行股份有限公司上海静安支行、中国光大银行股份有
限公司上海闵行支行、杭州银行股份有限公司上海分行签订了《募集资金专户存
储三方监管协议》（以下简称“《三方监管协议》”），明确各方的权利和义务。
上述《三方监管协议》与上海证券交易所公布的相关范本不存在重大差异。公司
严格按照《三方监管协议》以及相关法律法规的规定存放、使用和管理募集资金，
并履行了相关义务，未发生违法违规的情形。
截至 2022 年 6 月 30 日，公司 2019 年发行股份及支付现金购买资产并配套
募集资金专户的具体情况如下表所示：
初始存放金额 2022 年 6 月 30 日
开户行 账号
（元） 余额（元）
兴业银行股份有限公司上海静安支行 216250100100149619 13,400,000.00 已销户
中国光大银行股份有限公司上海闵行支行 36660188000224932 248,012,300.00 已销户
杭州银行股份有限公司上海闵行支行 3101040160001525416 158,587,643.56 81,461.71
合 计 - 419,999,943.56 81,461.71
（二）2020 年非公开发行股票
根据中国证监会《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使
用的监管要求》等法律、法规及公司《募集资金管理制度》的规定，公司于 2020
年 12 月 29 日分别与兴业银行股份有限公司上海市南支行、国泰君安证券股份有
限公司签订了《募集资金专户存储三方监管协议》（以下简称“《三方监管协
议》”），明确各方的权利和义务。同时，为便于募投项目的实施，公司旗下实
施募投项目的子公司开设募集资金专项账户，2021 年 1 月 22 日，公司、保荐机
构国泰君安证券股份有限公司分别与各募集资金存放银行、各募投项目实施主体
签署了《募集资金专户存储四方监管协议》（以下简称“《四方监管协议》”）。
上述《三方监管协议》和《四方监管协议》与上海证券交易所公布的相关范本不
存在重大差异。公司严格按照《三方监管协议》和《四方监管协议》以及相关法
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律法规的规定存放、使用和管理募集资金，并履行了相关义务，未发生违法违规
的情形。
截至 2022 年 6 月 30 日，公司 2020 年非公开发行股票募集资金专户的
具体情况如下表所示：
初始存放金额 2022 年 6 月 30
开户行 账号
（元） 日余额（元）
兴业银行股份有限公司上海市
216350100100120053 1,355,712,740.19 已销户
南支行
杭州银行股份有限公司上海分
3101040160001981296 - 143,160,231.64
行-江苏启微
兴业银行股份有限公司上海市
216350100100120688 - 84,833,306.27
南支行-合肥至微半导体
上海农村商业银行股份有限公
50131000832243490 - 257,987,495.27
司张江科技支行-天津波汇
上海农村商业银行股份有限公
50131000831666234 - 65.27
司张江科技支行-科谱天津
合计 - 1,355,712,740.19 485,981,098.45
三、本报告期募集资金的实际使用情况
（一）募集资金投资项目的资金使用情况
报告期内，募集资金承诺投资项目、承诺投资总额无重大变化，具体详见
附件《募集资金使用情况对照表》。
（二）募集资金投资项目先期投入及置换情况
报告期内，公司不存在募集资金投资项目先期投入及置换情况。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况
1、2019 年发行股份及支付现金购买资产并募集配套资金的闲置募集资金补
充流动资金情况
2021 年 7 月 5 日，公司召开第四届董事会第四次会议、第四届监事会第三
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次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，
同意将闲置募集资金中的不超过人民币 9,800 万元暂时用于补充公司流动资金，
使用期限自董事会审议通过之日起不超过 12 个月。
公司于 2022 年 2 月 15 日将“支付本次交易并购整合费用”项目的 1,000 万
元归还至募集资金专用账户，其余 8,800 万元暂时闲置募集资金继续用于补充流
动资金。补充流动资金的 8,800 万元募集资金公司已于 2022 年 6 月 1 日归还至
募集资金专户。
2022 年 6 月 6 日，公司召开第四届董事会第十九次会议、第四届监事会第
十八次会议，审议通过了《关于继续使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的
议案》，同意将闲置募集资金中的不超过人民币 8,800 万元暂时用于补充公司流
动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过 12 个月。
2、2020 年非公开发行股票募集资金的闲置募集资金补充流动资金情况
公司于 2021 年 1 月 22 日召开第三届董事会第四十三次会议、第三届监事会
第三十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的
议案》，同意将闲置募集资金中的不超过人民币 38,471.27 万元暂时用于补充公司
流动资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过 12 个月。上述补充流动资
金的 38,471.27 万元募集资金公司已于 2022 年 1 月 21 日归还至募集资金专户。
2022 年 1 月 24 日，公司召开第四届董事会第十四次会议、第四届监事会第
十三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议
案》，同意将闲置募集资金中的不超过人民币 30,000 万元暂时用于补充公司流动
资金，使用期限自董事会审议通过之日起不超过 12 个月。
（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
报告期内，公司不存在用闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品的情况。
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
报告期内，公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
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公司不存在超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况。
（七）节余募集资金使用情况
2021 年 12 月 15 日召开第四届董事会第十二次会议、第四届监事会第十一
次会议审议通过了《关于部分募投项目延期及单个项目节余募集资金永久补流的
议案》。截至 2022 年 6 月 30 日，公司 2019 年发行股份及支付现金购买资产并募
集配套资金永久补充流动资金 10,893,193.51 元。
（八）募集资金使用的其他情况
2021 年 12 月 15 日召开第四届董事会第十二次会议、第四届监事会第十一
次会议审议通过《关于部分募投项目延期及单个项目节余募集资金永久补流的议
案》，根据募投项目当前实际建设情况，同时考虑公司发展规划和内外部环境等
多种因素，经公司研究后，为了维护全体股东和企业利益，决定将部分募投项目
进行延期，具体情况如下：
截至 2021 年 6 月 30 日，本次募投项目中“用于波汇科技在建项目建设”的
募集资金投资进度为 28.67%。上述项目在实际执行过程中受多方面因素影响，
无法在计划时间内完成全部投资，公司根据本次募投项目的实施进度和实际建设
情况，决定将上述项目完工日期由 2022 年 3 月延后至 2023 年 3 月。
四、募集资金实际使用情况及披露中存在的问题
公司严格按照《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使
用的监管要求》、《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 1 号——规范运
作》等有关法律、法规的要求管理募集资金专项账户。公司募集资金的使用与
管理合法、有效，且严格履行了信息披露义务，不存在不真实、不准确、不完
整披露募集资金使用信息的情况，不存在募集资金管理违规的情况。
特此公告。
附件：募集资金使用情况对照表
6
上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会
2022 年 8 月 31 日
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附表 1：
募集资金使用情况对照表
（2019 年发行股份及支付现金购买资产并配套募集资金）
单位：人民币万元
募集资金总额 42,999.99 报告期投入募集资金总额 0
变更用途的募集资金总额 -
变更用途的募集资金 已累计投入募集资金总额 34,221.09
-
总额比例
承诺投资项目 已变更项 募集资金承 调整后投资 截至期末 报告期投 截至期末累 截至期末累 截至期 项目达到 报告期 是否达 项目可
目，含部 诺投资总额 总额 承诺投入 入金额 计投入金额 计投入金额 末投入 预定可使 实现的 到预计 行性是
分变更 金额(1) (2) 与承诺投入 进度 用状态日 效益 效益 否发生
（如有） 金额的差额 （%）(4) 期 重大变
(3)＝(2)-(1) ＝ 化
(2)/(1)
支付本次交易并购整合费
- 2,340.00 2,340.00 2,340.00 0 1,258.40 -1,081.60 53.78 - - - 否
用
支付收购波汇科技现金对
- 24,801.23 24,801.23 24,801.23 0 24,801.23 0 100.00 - - - 否
价
用于波汇科技在建项目建
- 15,858.77 15,858.76 15,858.76 - 7,072.14 -8,786.62 44.59 2023 年 0 - 否
设
合计 - 43,000.00 42,999.99 42,999.99 0 33,131.77 -9,868.22 77.05 - - - -
8
剩余募集资金永久补充流
- - - - 1,089.32 1,089.32 - - - - - -
动资金
未达到计划进度原因
不适用
（分具体募投项目）
项目可行性发生
无
重大变化的情况说明
募集资金投资项目
无
先期投入及置换情况
用闲置募集资金
详见本报告“三、本报告期募集资金的实际使用情况”
暂时补充流动资金情况
对闲置募集资金进行
无
现金管理，投资相关产品情况
用超募资金永久补充流动资金
无
或归还银行贷款情况
募集资金结余的金额及形成原因 详见本报告“三、本报告期募集资金的实际使用情况”
募集资金其他使用情况 详见本报告“三、本报告期募集资金的实际使用情况”
注：1、“截至期末承诺投入金额”公司未承诺截至报告期的投入金额，此项按投资总额填入数字，（2）（3）（4）栏实际为实际投资金额与投资总额的比
较情况。
2、“本年度实现的效益”为 0，主要是募投项目仍处在建设期，未达到使用状态，暂未实现效益。
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附表 2：
募集资金使用情况对照表
（2020 年非公开发行股票）
单位：人民币万元
募集资金总额 137,471.27 报告期投入募集资金总额 422.55
变更用途的募集资金总额 -
变更用途的募集资金 已累计投入募集资金总额 57,044.70
-
总额比例
承诺投资项目 已变更项 募集资金承 调整后投资 截至期末承 报告期投 截至期末 截至期末累 截至期 项目达到 报告期 是否达 项目可
目，含部 诺投资总额 总额 诺投入金额 入金额 累计投入 计投入金额 末投入 预定可使 实现的 到预计 行性是
分变更 (1) 金额(2) 与承诺投入 进度 用状态日 效益 效益 否发生
（如有） 金额的差额 （%）(4) 期 重大变
(3)＝(2)-(1) ＝ 化
(2)/(1)
半导体湿法清洗设备扩产
- 25,500.00 25,500.00 25,500.00 0 11,265.36 -14,234.64 44.18 2024 年 0 - 否
项目
半导体晶圆再生二期项目 - 59,000.00 38,471.27 38,471.27 - - -38,471.27 0 2024 年 0 - 否
光电子材料及器件制造基
- 46,000.00 31,000.00 31,000.00 422.55 5,318.32 -25,681.68 17.16 2024 年 0 - 否
地建设项目
补充流动资金或偿还债务 - 55,500.00 40,481.54 40,481.54 0 40,461.01 -20.52 99.95 2021 年 - - -
合 计 - 186,000.00 135,452.81 135,452.81 422.55 57,044.70 -78,408.11 42.11 0 - -
未达到计划进度原因
不适用
（分具体募投项目）
10
项目可行性发生
无
重大变化的情况说明
募集资金投资项目
无
先期投入及置换情况
用闲置募集资金
详见本报告“三、本报告期募集资金的实际使用情况”
暂时补充流动资金情况
对闲置募集资金进行
无
现金管理，投资相关产品情况
用超募资金永久补充流动资金
无
或归还银行贷款情况
募集资金结余的金额及形成原因 不适用
募集资金其他使用情况 不适用
注 1、“截至期末承诺投入金额”公司未承诺截至报告期的投入金额，此项按投资总额填入数字，（2）（3）（4）栏实际为实际投资金额与投资总额的比较
情况。
2、“本年度实现的效益”为 0，主要是募投项目仍处在建设期，未达到使用状态，暂未实现效益。
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| 至纯科技：2022年半年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告 |
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| 公告日期:2022-08-31 |
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