海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐人”）作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市以及2022年度向特定对象发行A股股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规的要求，对芯碁微装使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理事项进行了审慎核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
公司2022年度向特定对象发行A股股票的注册申请于2023年3月15日经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）同意注册（《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2023]563号）。本次向特定对象发行股票总数量为10,497,245股，发行价格为
75.99元/股，实际募集资金总额为人民币797,685,647.55元，扣除本次发行费用（不含税）人民币8,322,726.38元后，实际募集资金净额为人民币789,362,921.17元。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司本次向特定对象发行股票的募集资金到位情况进行了审验，并于2023年7月26日出具了《验资报告》（容诚验字[2023]230Z0198号）。
为规范公司募集资金管理，保护投资者的权益，根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》要求，公司已经与保荐人、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。详细情况请参见公司已于2023年8月8日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《关于开设募集资金专项账户并签订募集资金专户存储三方监管协议的公告》。
二、募集资金使用计划
根据《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年度向特定对象发行A股股票证券募集说明书（注册稿）》（以下简称“《募集说明书》”）披露的募集资金投资项目及募集资金使用计划，募集资金使用计划如下：
单位：万元
| 序号 | 项目名称 | 项目总投资 | 募集资金使用金额 |
| 1 | 直写光刻设备产业应用深化拓展项目 | 31,756.19 | 26,598.00 |
| 2 | IC载板、类载板直写光刻设备产业化项目 | 23,408.27 | 17,583.75 |
| 3 | 关键子系统、核心零部件自主研发项目 | 24,758.22 | 15,172.00 |
| 4 | 补充流动资金项目 | 30,000.00 | 20,414.82 |
| 合计 | 109,922.68 | 79,768.57 | |
由于募集资金投资项目建设及投入需要一定周期且根据公司募集资金的使用计划，公司的部分募集资金存在暂时闲置的情形。
三、本次使用部分暂时闲置募集资金和闲置自有资金进行现金管理的基本情况
（一）投资目的
为提高募集资金和自有资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金和自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益，为公司及股东获取更多回报。
（二）投资产品品种
公司将按照相关规定严格控制风险，使用暂时闲置募集资金和自有资金投资安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等），且该等现金管理产品不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。
（三）投资额度及期限
公司计划使用不超过人民币78,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过20,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月。在上述额度和期限内，资金可循环滚动
使用。
（四）实施方式
公司授权管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。
（五）信息披露
公司将依据上海证券交易所的相关规定，及时履行信息披露义务，不会变相改变募集资金用途。
（六）现金管理收益的分配
公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求管理和使用。
四、对公司经营的影响
本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理是在符合国家法律法规，确保不影响公司募集资金投资项目的进度，有效控制投资风险的前提下进行的，将不会影响公司日常经营和募集资金投资项目的正常开展，亦不会影响公司主营业务的正常发展，不存在损害公司和股东利益的情形。
通过对暂时闲置募集资金和自有资金进行适度、适时的现金管理，可以提高募集资金和自有资金使用效率，增加公司现金资产收益，为公司股东谋取更多的投资回报。
五、投资风险分析及风险控制措施
（一）投资风险
本次现金管理方式是购买安全性高、流动性好、有保本约定的金融机构的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等），该类投资产品主要受货币政策等宏观经济政策的影响。公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量地介入，但不排除该项投资受到市场波动的影响。
（二）风险控制措施
1、公司将严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规、《公司章程》以及公司《募集资金使用管理办法》等有关规定办理相关现金管理业务。
2、严格筛选合作对象，选择信誉好、规模大、经营效益好、资金运作能力强的金融机构所发行的安全性高、流动性好、保本型的投资产品，并明确投资产品的金额、期限、投资品种、双方的权利义务及法律责任等。
3、公司财务中心建立台账管理，对资金运用情况建立健全完整的会计账目，做好资金使用的账务核算工作。
4、监事会、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。
六、公司履行的审批程序及专项意见
公司于2023年8月7日召开了第二届董事会第九次会议和第二届监事会第七次会议，分别审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》。董事会授权公司管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施，公司独立董事、监事会发表了明确的同意意见。
（一）监事会意见
监事会认为，为提高募集资金和自有资金使用效率，合理利用暂时闲置募集资金和自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益，为公司及股东获取更多回报。同意计划使用不超过人民币78,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过20,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，该事项需经股东大会审议，因此使用期限不超过股东大会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。
（二）独立董事意见
独立董事认为，公司在确保公司募投项目所需资金和保证募集资金安全的前
提下对暂时闲置募集资金适时进行现金管理，有利于提高募集资金使用效率，获得一定的投资收益。本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理履行了必要的审议程序，符合中国证监会、上海证券交易所关于募集资金使用的相关规定，不会影响募集资金投资项目建设和募集资金使用，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，也不会对公司生产经营造成不利影响。同意使用额度不超过人民78,000万元的暂时闲置募集资金和不超过20,000万元的暂时闲置自有资金进行现金管理，并同意将该方案提交公司股东大会审议。
七、保荐人的核査意见
经核查，保荐人认为，公司本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见，本次事项尚需提交股东大会审议，公司已履行了现阶段相应的法律程序；公司通过投资安全性高、流动性好的理财产品，可以提高资金使用效率，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所股票上市规则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐人对公司本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理事项无异议。
（以下无正文）
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的核査意见》之签字盖章页）
| 保荐代表人签名： | |||
| 林剑辉 | 周磊 |
海通证券股份有限公司
年 月 日