关于北京京仪自动化装备技术股份
有限公司首次公开发行股票并在科创板上市
申请文件的第二轮审核问询函的
专项回复
致同会计师事务所（特殊普通合伙）
8-2-2-1
关于北京京仪自动化装备技术股份有限公司首次公开发行
股票并在科创板上市申请文件的第二轮审核问询函的专项回复
致同专字（2023）第110A014249号上海证券交易所：
贵所于2023年3月31日出具的《关于北京京仪自动化装备技术股份有限公司首发公开发行股票并在科创板上市申请文件的审核问询函》（上证科审（审核）?2023?129号，以下简称“问询函”）收悉。对问询函所提财务会计问题，致同会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“我们”）对北京京仪自动化装备技术股份有限公司（以下简称“京仪装备”、“发行人”或“公司”）相关资料进行了核查，现做专项说明如下：
中国北京朝阳区建国门外大街22号赛特广场5层邮编100004电话 +86 10 8566 5588传真 +86 10 8566 5120www.grantthornton.cn
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本专项回复中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义：
| 一、普通名词释义 | ||
| 发行人/公司/京仪装备 | 指 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 京仪有限 | 指 | 北京京仪自动化装备技术有限公司，系公司前身 |
| 京仪集团 | 指 | 北京京仪集团有限责任公司 |
| 北控集团 | 指 | 北京控股集团有限公司 |
| 北京市国资委 | 指 | 北京市人民政府国有资产监督管理委员会 |
| 安徽京仪 | 指 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司，系公司全资子公司 |
| 日本京仪 | 指 | 日本京仪自动化装备技术株式会社，系公司全资子公司 |
| 京仪装备武汉分公司 | 指 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司武汉分公司 |
| 安徽京仪鄂州分公司 | 指 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司鄂州分公司 |
| 北京自动化院 | 指 | 北京京仪自动化技术研究院有限公司，曾用名北京自动化技术研究院 |
| 北控财务公司 | 指 | 北京控股集团财务有限公司 |
| 敬业电工 | 指 | 北京京仪敬业电工有限公司 |
| 三维半导体 | 指 | 湖北三维半导体集成创新中心有限责任公司 |
| 芯链融创 | 指 | 芯链融创集成电路产业发展（北京）有限公司 |
| 安徽北自 | 指 | 安徽北自投资管理中心（有限合伙） |
| 方富资本 | 指 | 北京方富资本管理股份有限公司 |
| 农谷方富 | 指 | 湖北农谷方富产业投资中心（有限合伙） |
| 海丝民合 | 指 | 青岛海丝民合半导体投资中心（有限合伙） |
| 泰达新原 | 指 | 广西泰达新原股权投资有限公司 |
| 橙叶峻茂 | 指 | 橙叶峻茂（淄博）股权投资基金中心（有限合伙） |
| 芯存长志 | 指 | 嘉兴芯存长志股权投资合伙企业（有限合伙） |
| 共青城秋月 | 指 | 共青城秋月股权投资管理合伙企业（有限合伙） |
| 信银明杰 | 指 | 鹰潭市信银明杰投资有限合伙企业 |
| 国丰鼎嘉 | 指 | 苏州国丰鼎嘉创业投资合伙企业（有限合伙） |
| 新鼎啃哥 | 指 | 青岛新鼎啃哥贰贰股权投资合伙企业（有限合伙） |
| 浑璞六期 | 指 | 宿迁浑璞六期集成电路产业基金（有限合伙） |
| 大华大陆 | 指 | 大华大陆投资有限公司 |
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| 泰达盛林 | 指 | 天津泰达盛林创业投资合伙企业（有限合伙） |
| 橙叶峻荣 | 指 | 橙叶峻荣（淄博）股权投资合伙企业（有限合伙） |
| 中信证券投资 | 指 | 中信证券投资有限公司 |
| 嘉兴宸玥 | 指 | 嘉兴宸玥股权投资合伙企业（有限合伙） |
| 航天国调 | 指 | 北京航天国调创业投资基金（有限合伙） |
| 尖端芯片 | 指 | 北京集成电路尖端芯片股权投资中心（有限合伙） |
| 中小企业基金 | 指 | 中小企业发展基金（深圳南山有限合伙） |
| 中山宸玥 | 指 | 中山建信宸玥股权投资合伙企业（有限合伙） |
| 朗玛三十四号 | 指 | 朗玛三十四号（深圳）创业投资中心（有限合伙） |
| 朗玛三十五号 | 指 | 朗玛三十五号（深圳）创业投资中心（有限合伙） |
| 宁波先达 | 指 | 宁波先达创业投资合伙企业（有限合伙） |
| 海南悦享 | 指 | 海南悦享叁号私募股权投资基金合伙企业（有限合伙） |
| 博涛科技 | 指 | 天津市博涛科技有限公司 |
| 维通光信 | 指 | 扬州维通光信天航投资合伙企业（有限合伙） |
| 长江存储 | 指 | 长江存储科技有限公司、武汉新芯集成电路制造有限公司及其控制的企业 |
| 武汉新芯 | 指 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 中芯国际 | 指 | 中芯国际集成电路制造有限公司及其控制的企业 |
| 绍兴中芯 | 指 | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 华虹集团 | 指 | 上海华虹（集团）有限公司及其控制的企业 |
| 成都高真 | 指 | 成都高真科技有限公司 |
| 睿力集成 | 指 | 睿力集成电路有限公司及其控制的企业 |
| 大连英特尔 | 指 | 英特尔半导体（大连）有限公司、英特尔半导体存储技术（大连）有限公司及其控制的企业 |
| 广州粤芯 | 指 | 粤芯半导体技术股份有限公司，曾用名广州粤芯半导体技术有限公司 |
| 北方华创 | 指 | 北方华创科技集团股份有限公司及其控制的企业 |
| 积塔半导体 | 指 | 上海积塔半导体有限公司 |
| 中微公司 | 指 | 中微半导体设备（上海）股份有限公司及其控制的企业 |
| 香河海春 | 指 | 香河海春机械设备有限公司 |
| 万维克林 | 指 | 河北万维克林精密设备有限公司 |
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| 北京豪拓 | 指 | 北京豪拓科技有限公司 |
| 明尼苏达矿业制造（上海） | 指 | 明尼苏达矿业制造（上海）国际贸易有限公司 |
| 全谷制冷 | 指 | 全谷制冷空调（上海）有限公司 |
| 上海蔚福 | 指 | 上海蔚福真空科技有限公司 |
| 上海典熙 | 指 | 上海典熙电气有限公司及其控制的企业 |
| 上海凯曦 | 指 | 上海凯曦国际贸易有限公司 |
| 晟瑞斯 | 指 | 晟瑞斯科技发展（北京）有限公司 |
| 上海桐香 | 指 | 上海桐香科技有限公司 |
| 合肥新沪 | 指 | 合肥新沪屏蔽泵有限公司 |
| 镇江开元 | 指 | 镇江开元特氟龙技术有限公司 |
| 山东念恩 | 指 | 山东念恩网络科技有限公司 |
| SMC公司 | 指 | SMC株式会社 |
| ATS公司 | 指 | Advanced Thermal Sciences Corporation |
| 爱德华公司 | 指 | Edwards limited |
| 戴思公司 | 指 | DAS Environmental Expert GmbH |
| 瑞斯福公司 | 指 | RECIF Technologies |
| 平田公司 | 指 | 平田機工株式会社 |
| 至纯科技 | 指 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 芯源微 | 指 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 华海清科 | 指 | 华海清科股份有限公司 |
| 盛剑环境 | 指 | 上海盛剑环境系统科技股份有限公司 |
| 屹唐股份 | 指 | 北京屹唐半导体科技股份有限公司 |
| 泛林半导体（LAM） | 指 | Lam Research Corporation |
| 东京电子（TEL） | 指 | Tokyo Electron Ltd. |
| 日本国际电气（KE） | 指 | Kokusai Electric株式会社 |
| 应用材料（AMAT） | 指 | Applied Materials, Inc. |
| 保荐人/我们、主承销商、国泰君安 | 指 | 国泰君安证券股份有限公司 |
| 发行人律师、天元 | 指 | 北京市天元律师事务所 |
| 评估机构、国融兴华 | 指 | 北京国融兴华资产评估有限责任公司 |
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| 中国证监会 | 指 | 中国证券监督管理委员会 |
| 上交所 | 指 | 上海证券交易所 |
| 国务院 | 指 | 中华人民共和国国务院 |
| 国家发展和改革委员会 | 指 | 中华人民共和国国家发展和改革委员会 |
| 财政部 | 指 | 中华人民共和国财政部 |
| 科技部 | 指 | 中华人民共和国科学技术部 |
| 工业和信息化部 | 指 | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 股东大会 | 指 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司股东大会 |
| 董事会 | 指 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司董事会 |
| 监事会 | 指 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司监事会 |
| 《公司法》 | 指 | 《中华人民共和国公司法》 |
| 《证券法》 | 指 | 《中华人民共和国证券法》 |
| 《公司章程》 | 指 | 《北京京仪自动化装备技术股份有限公司公司章程》 |
| 《公司章程（草案）》 | 指 | 《北京京仪自动化装备技术股份有限公司公司章程》（上市后适用） |
| 报告期 | 指 | 2020年度、2021年度和2022年度 |
| 元、万元、亿元 | 指 | 如无特别说明，指人民币元、人民币万元、人民币亿元 |
| 二、专业术语释义 | ||
| 半导体 | 指 | 常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，按照制造技术可分为集成电路（IC）、分立器件、光电子和传感器，可广泛应用于下游通信、计算机、消费电子、网络技术、汽车及航空航天等产业 |
| 泛半导体 | 指 | 集成电路、平板显示、光伏、半导体照明行业的统称 |
| 半导体专用温控设备（Chiller） | 指 | 主要用于对半导体制程中半导体工艺设备温度进行精准控制的温度控制设备 |
| 半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber） | 指 | 主要用于处理半导体制程产生的工艺废气的设备 |
| 晶圆传片设备（Wafer Sorter、Sorter） | 指 | 主要用于半导体制程中晶圆的传送、定位和排序的设备 |
| EFEM | 指 | Equipment Front-End Module 的缩写，一种晶圆传输系统，可用于制造设备与晶圆产线的晶圆传输模块 |
| IC、集成电路、芯片 | 指 | Integrated Circuit，指集成电路，通常也叫芯片（Chip）， 是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起， |
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| 制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构 | ||
| 前道、后道 | 指 | 芯片制造分为前道工艺和后道工艺，前道主要是光刻、刻蚀、抛光、注入等；后道主要是封装，包括互连、打线、密封、测试等 |
| 光刻 | 指 | 利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术 |
| 刻蚀 | 指 | 用化学或物理方法有选择地在硅表面去除不需要的材料的过程，是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，是半导体制造工艺的关键步骤 |
| 离子注入 | 指 | 将离子束流射入半导体材料，离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理和化学相互作用，入射离子逐渐损失能量并停留在材料中，引起材料表面成分、结构和性能的变化 |
| 扩散 | 指 | 物质分子从高浓度区域向低浓度区域转移，直到均匀分布的现象，其中，扩散的速率与物质的浓度梯度成正比 |
| 逻辑芯片 | 指 | 一种通用芯片，它的逻辑功能按照用户对器件编程来确定 |
| NAND | 指 | 闪存，属于非易失性存储器 |
| SEMI | 指 | Semiconductor Equipment and Materials International，国际半导体设备与材料产业协会 |
| CSIA | 指 | 中国半导体行业协会 |
| IC Insights | 指 | 国外知名的半导体行业研究机构 |
| 摩尔定律 | 指 | 由英特尔创始人之一戈登〃摩尔提出来的，其内容为：当价格不变时，集成电路设计技术每18~24个月就更新换代一次，即芯片上可容纳的晶体管数目每隔约18~24个月便会增加一倍，性能也提升一倍。摩尔定律并非数学、物理定律，而是对发展趋势的一种分析预测 |
| 技术节点 | 指 | 泛指在集成电路制造过程中的“特征尺寸”，尺寸越小，表明工艺水平越高，如130nm、90nm、28nm、14nm、7nm等 |
| nm、纳米 | 指 | 1纳米=10-9米 |
| 晶圆 | 指 | 用于制作芯片的圆形硅晶体半导体材料 |
| 晶圆厂 | 指 | 通过氧化/扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、清洗与抛光等一系列特定的加工工艺，在硅片上加工制造半导体器件的生产厂商 |
| 机械手 | 指 | 一种能模仿人手和臂的某些动作功能，用以按固定程序抓取、搬运物件或操作工具的自动操作装臵，特点是可以通过编程来完成各种预期的作业，构造和性能上兼有人和机械手 |
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| 机器各自的优点 | ||
| 分立器件 | 指 | 具有固定单一特性和功能的半导体器件 |
| 传感器 | 指 | 是一种检测装臵，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定的规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求 |
| 机台 | 指 | 半导体行业对生产设备的统称 |
| IDM | 指 | Integrated Device Manufacture，垂直整合制造，指垂直整合制造商独自完成集成电路设计、晶圆制造、封装测试的全产业链环节 |
| Foundry | 指 | 集成电路领域中专门负责生产、制造芯片的厂家 |
| Fabless | 指 | 即无制造半导体，是“没有制造业务，只专注于设计”的集成电路设计的一种经营模式 |
| Plasma | 指 | 等离子体，又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质 |
| PLC | 指 | Programmable Logic Controller（可编程逻辑控制器），它采用一类可编程的存储器，用于其内部存储程序，执行逻辑运算、顺序控制、定时、计数与算术操作等面向用户的指令，并通过数字或模拟式输入/输出控制各种类型的机械或生产过程 |
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问题3.关于客户根据首轮问询回复，（1）发行人可通过招投标和商务谈判获取订单，通过招投标方式获取订单的比例持续下降，由74.87%下降至29.76%；（2）发行人成立不久即与主要客户建立合作，但北京自动化院时期技术积累较少，核心技术主要在发行人成立后形成；（3）发行人为相关领域主要厂商中唯一一家国内厂商，半导体专用设备的验证时间约6-12月；（4）主要客户报告期内处于持续扩产阶段，但目前仍以境外采购为主。请发行人说明：（1）招投标和商务谈判的客户及差异情况，招投标履行的程序以及关键时间节点，参与招投标的国内外其他厂商情况，招投标条件、发行人中标的原因，招投标比例大幅下降的原因及合理性；（2）与主要客户建立合作时，发行人的技术水平、产品性能以及同行业公司情况，在发行人成立初期技术积累较少的情况下，客户与发行人合作是否将付出较高的试错成本，合作初期客户是否同时选择其他供应商进行合作，结合同行业公司情况，说明客户最终选择与发行人合作的原因；（3）发行人短时间内成为相关客户国内主要供应商的原因，产品研发和设计是否较为容易，技术壁垒是否较低；期间发行人的技术突破和产品改进，与国外厂商的差距；在产品认证时间不长的情况下，国内其他厂商未开拓相关客户的原因，发行人是否存在被替代的风险及依据；目前国内厂商的竞争格局，发行人技术和产品优势，是否存在被挤占市场的风险；（4）根据报告期内客户扩产安排，测算对应的相关设备需求，结合客户境内采购比例，说明与发行人报告期各年销量的匹配性；根据客户未来扩产安排、发行人市占率，说明相关安排对发行人未来业绩影响。请保荐机构和申报会计师按照《监管规则适用指引——发行类第5号》关于“单一大客户依赖”的相关要求进行核查，并核查发行人及其主要人员与主要客户及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来，客户采购后的使用情况、是否处于正常运行状态及依据，说明相关核查措施、范围、比例和结论，对上述事项发表明确意见。回复：
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一、发行人说明
（一）招投标和商务谈判的客户及差异情况，招投标履行的程序以及关键时间节点，参与招投标的国内外其他厂商情况，招投标条件、发行人中标的原因，招投标比例大幅下降的原因及合理性
1、招投标和商务谈判的客户及差异情况
报告期内，公司通过招投标和商务谈判形式获取主要客户的情况如下：
| 类型 | 主要客户 |
| 公开招投标 | 长江存储、华虹集团、积塔半导体 |
| 商务谈判 | 中芯国际、大连英特尔、成都高真、广州粤芯、北方华创、中微公司 |
客户一般根据内部管理要求、业务需求等确定招投标或商务谈判模式。报告期内，曾选择使用公开招投标模式的客户数量较少，主要为长江存储、华虹集团和积塔半导体。
2、招投标履行的程序以及关键时间节点，参与招投标的国内外其他厂商情况
报告期内，公司通过招投标方式获取业务时所履行的程序具体如下：
（1）客户发布招标公告，公布采购项目名称、数量、金额等信息；
（2）公司内部对招标公告采购项目进行评估与决策；
（3）公司决定参与投标，购买招标文件，研发部门确认技术规格要求，制作投标材料，销售部门副总经理和总经理等对文件进行审核，审核通过后公司提交投标材料；
（4）客户对投标材料进行评审，评审结束后公示中标结果；
（5）中标后，根据客户要求陆续签署相关业务合同。
招投标过程中，关键时间节点主要包括公开招标信息、公布中标结果、签订订单、产品发货、产品验收、客户回款等。
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公司严格遵照客户要求履行了招投标程序，完成招投标程序后取得客户订单，报告期内公司招投标程序合法合规。报告期内，针对进行招投标的主要客户，公司中标时间和签订订单时间情况如下：
| 客户 | 中标时间 | 中标对应订单签订时间 | 平均间隔时间 |
| 长江存储 | 2019年11月-2020年7月 | 2019年11月-2020年8月 | 约10天 |
| 华虹集团 | 2019年3月-2022年7月 | 2019年3月-2022年11月 | 约40天 |
| 积塔半导体 | 2019年11月-2022年7月 | 2019年12月-2022年9月 | 约50天 |
注：间隔时间指中标时间至订单签订时间之间的天数。
报告期内，除公司外，半导体专用温控设备公开招投标的最终中标对象一般包括ATS公司、SMC公司和Thermo Fisher Scientific，为成立时间较早的国外龙头企业；半导体专用工艺废气处理设备公开招投标的最终中标对象包括戴思公司、爱德华公司、GST公司等，为成立时间较早的国外龙头企业。报告期内，公开信息显示的客户主要中标对象具体情况如下：
| 客户 | 半导体专用温控设备 主要公开中标对象 | 半导体专用工艺废气处理设备 主要公开中标对象 |
| 长江存储 | 国外：ATS公司、SMC公司、Thermo Fisher Scientific等 国内：京仪装备 | 国外：戴思公司、爱德华公司、GST公司等 国内：京仪装备 |
| 华虹集团 | 国外：无 国内：京仪装备 | 国外：吉利康（香港）有限公司（代理德国CS 公司品牌）、GnBS Engineering Co., Ltd. 国内：无 |
| 积塔半导体 | 国外：SMC公司 国内：京仪装备 | 国外：戴思公司 国内：京仪装备 |
注：上表汇总了报告期内客户历次公开招投标的中标情况；公开信息显示2022年积塔半导体的半导体专用温控设备采购招投标候选人还包括阿尔西公司，此供应商最终未中标。
3、招投标条件、发行人中标的原因
根据招标文件，主要客户就半导体专用设备进行公开招投标过程中，对投标人的要求一般包括资质和业绩要求、交期要求、售后服务要求、设备性能、商务条件等，其中交期要求、售后服务和设备性能一般为招投标分数评价的核心要求。各要求具体情况和公司情况如下：
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| 项目 | 主要要求 | 公司主要情况 |
| 资格和业绩要求 | 1、具备向12英寸集成电路制造企业提供此类设备的供货经验，近3年销售情况； 2、提供制造商固定资产、流动资产、长期负债等资产负债表指标； 3、说明产能、需要外购的零部件及供应商情况。 | 符合要求：公司具备12英寸企业供货经验，装机规模大，主要财务指标良好 |
| 交货期 | 1、不晚于特定日期，具体时间以买方通知为准，延期将调整评标价格； 2、买方提前10天书面通知卖方具体交货日期，卖方应按通知中的交货期要求安排交货和完成后续安装、调试及验收准备工作； 3、提供快速的运输渠道，在4小时内将标准件(包括消耗品和非消耗品)从上海仓库发货，24小时从中国其他仓库出发； 4、交货时提供设备及其组件相关的测试文件和测试报告。 | 符合要求：公司交期短，交货响应及时，有快速运输渠道 |
| 售后服务 | 1、提供足够数量的消耗品（95%）； 2、提供场外和场内的维护及使用培训，每种型号设备至少提供2人*1周； 3、保修期和保修范围要求； 4、保修期内售后人员每周7天*24小时提供支持，保修期内2小时到达现场，保修期外4小时到达现场；出现重复（3次）严重问题或长时间（72小时）问题，本地售后人员无法解决的，供应商需及时派出专家免费前往现场协助解决； 5、在当地有完善的技术服务团队，相关设备应用、维护经验3年以上人数不少于2人，并且在当地有部件库存中心； 6、设备交付后5年内免费提供咨询服务，高层每半年访问一次检查设备性能。 | 符合要求：在主要客户所在地有完善的、多层次的、经验丰富的技术服务团队 |
| 设备性能 | 1、满足28纳米半导体生产工艺的需求，具备28纳米量产经验并在全球具有一定的装机量，并在客户端得到工艺验证； 3、系统界面、工作噪音、细节设计等要求； 5、主要技术规格要求。 | 符合要求：技术满足要求，装机规模大，覆盖行业头部客户，拥有先进制程产线经验 |
| 商务条款 | 1、产品价格、付款条件和信用期要求； 2、交货日期或工作人员抵达日期延迟，违约金要求。 | 符合要求：产品价格具有竞争力 |
注：各家客户招投标具体要求存在一定差异，上述内容以某主要客户早期招投标要求为例。如上所述，公司满足客户上述各项招投标要求，且在客户重点考察的交货期、售后服务等方面，拥有较强的竞争优势和良好的市场口碑。另外，在国际贸易纠纷背景下，公司作为国产供应商具有较大优势，满足了客户的国产化需求。综合前述各方面原因，公司最终成功中标并与客户建立了良好持续的合作关系。
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4、招投标比例大幅下降的原因及合理性
报告期各期，通过公开招投标模式取得收入的比例分别为63.05%、58.64%和18.72%，对应客户主要为长江存储、华虹集团和积塔半导体。长江存储一期建设项目从2018年初开始首次招投标，对应“第十五批国际设备采购项目”（5K产能新建项目），2020年下半年进行最后一次公开招投标，对应“国际设备采购项目”（50-75K 扩产项目）。公开招投标模式涉及公开披露扩产时间安排、扩产规模、生产设备信息、供应商名称等多种核心商业信息。因宏观环境变化，客户长江存储在前期已建立了稳定供应链体系的基础上，出于降低商业信息泄露风险等多方面考虑，调整了业务模式，开始使用商务谈判模式，导致公司招投标方式获取的收入占比大幅下降。华虹集团亦存在类似情况。报告期内，积塔半导体招投标模式未发生明显变化。综上，报告期内公司公开招投标模式业务收入下降主要系部分主要客户调整业务模式导致，具有合理性。
（二）与主要客户建立合作时，发行人的技术水平、产品性能以及同行业公司情况，在发行人成立初期技术积累较少的情况下，客户与发行人合作是否将付出较高的试错成本，合作初期客户是否同时选择其他供应商进行合作，结合同行业公司情况，说明客户最终选择与发行人合作的原因
1、与主要客户建立合作时，发行人的技术水平、产品性能以及同行业公司情况
成立初期，公司在前期北京自动化院的基础上已形成了一定的技术积累和客户资源积累，主要技术人员在专业领域拥有十年以上研发经验，公司核心团队系国内较早从事相关产品设备领域工作的团队；北京自动化院时期，半导体专用温控设备已得到中芯国际等知名客户的验证通过，半导体专用工艺废气处理设备已进入大连英特尔等知名客户的产线，已建立了和中芯国际、大连英特尔等主流客户的初步合作关系，为后续公司进一步拓展和发展客户奠定了基础。另一方面，2016年至今国内半导体设备行业需求进入高速增长期，为公司的高
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速发展提供了良好的发展窗口期。2016年至2022年，中国大陆半导体设备销售额增长218.10亿美元，年复合增长率高达27.89%。公司成立后与主要客户建立合作的具体过程详见本回复“问题1/1.2/一/
（三）”关于发行人在成立后较短时间内跨越实质性壁垒研发三类产品、实现收入、市场占有率快速提升的原因、合理性。半导体专用温控设备方面，2016年至2019年期间公司主要产品在核心技术参数方面已达到国内领先水平，均能满足当时的客户需求，但是部分产品在温控范围、冷却能力等个别指标方面与国外竞品存在一定差距，经过持续研发及工艺改进，2020年起公司产品与国外竞品在主要技术指标方面均不存在重大差异；半导体专用工艺废气处理设备方面，2018年至2020年期间公司产品在废气处理效率和废气处理量等核心指标上与竞品处于相同技术水平，但是产品的稳定性略弱于同期竞品水平，维护周期、Up Time等指标方面与竞品存在一定差距。报告期内公司持续进行工艺改进，产品运行稳定性有所提升，2021年起公司产品与竞品在主要指标方面不存在重大差异。产品性能以及同行业公司对比的具体情况详见本回复“问题1/1.2/一/（一）”产品性能指标与同期竞品对比情况相关内容。
综上，公司与主要客户建立合作时，公司已建立了系统的研发体系、完善的研发结构和专业经验丰富的研发团队，公司在前期北京自动化院基础上形成了一定的技术积累，主要产品技术水平达到国内领先，产品性能均能满足当时的客户需求，产品部分技术指标（如半导体专用温控设备的温控范围指标，半导体专用工艺废气处理设备的稳定性指标等）与国外竞品存在一定差距，报告期内经过公司持续研发及工艺改进，目前公司主要产品与竞品在主要技术指标方面已不存在重大差异。
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2、在发行人成立初期技术积累较少的情况下，客户与发行人合作是否将付出较高的试错成本
（1）公司成立初期存在一定的技术积累和客户资源积累
公司重视研发工作，成立初期建立了系统的研发体系、完善的研发结构和专业经验丰富的研发团队，研发工作覆盖了理论研究到新产品开发、优化升级、量产落地的全过程，过程中不断优化产品设计，持续产生技术创新成果。
半导体专用温控设备领域，公司的研发工作和技术积累可追溯到北京自动化院时期，公司成立后在北京自动化院技术积累基础上持续研发，且国内专业从事该产品的竞争对手较少，公司是当时技术最为领先的国产供应商。
半导体专用工艺废气处理设备领域，公司发展起点较高，一方面，核心团队系国内较早从事半导体专用工艺废气处理设备领域工作的团队，另一方面，公司曾代理ECOSYS品牌产品积累了丰富的产品运营及售后维护经验。公司半导体专用温控设备领域已积累形成了丰富的客户资源和良好的行业口碑，亦为半导体专用工艺废气处理设备的市场拓展积累了一定优势。
（2）成立初期公司产品满足客户技术要求，但部分指标较国外竞品而言有所差异，对客户而言存在一定试错成本
在上述背景下，公司成立初期通过招投标或商务谈判获得客户订单，产品满足客户要求的技术规格，但是部分产品的指标（如半导体专用温控设备的温控范围指标等）较国外竞品而言还有所欠缺，参数设臵对工艺设备运行和产线良率有直接的影响，对客户而言存在一定的试错成本。
以半导体专用温控设备为例，温控设备一般与工艺设备存在连锁装臵，当工艺设备要求的技术参数如温度控制精度或范围未满足设定要求且达到工艺设备报警临界值时，工艺设备会进行系统性报警提示，运行状态显示将由正常变为提示“WARNING”状态；当温控设备出现系统性异常时，运行状态显示将
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由正常变为提示“ALARM”状态，对应工艺设备腔体内的工艺环节将会暂停，腔体内的晶圆存在一定报废概率，进而影响客户整个产线的正常运行以及晶圆良率情况。另外，因停机和故障报修更换设备组件等事项亦增加了晶圆厂设备成本、材料更换成本和人力管理成本。
在存在试错成本的情况下，客户选择公司而非国外竞品的原因主要系：1）公司满足了客户的国产化需求；2）公司成立初期即存在一定的优质客户资源积累，如长江存储、中芯国际等，产品在行业主要客户产线中表现良好，市场认可度较高；3）公司在服务能力、产品交期、产品性价比等方面具有突出的竞争优势。具体内容详见本回复“问题3/一/（二）/3” 客户最终选择与发行人合作的原因相关内容。
报告期内，公司持续通过快速响应的售后服务以及专业的技术支持，与客户共同配合解决过程中出现的问题，进一步降低试错成本，并研发出更加符合客户需求的产品，最终取得了良好的效果，公司持续取得客户订单并与主要客户建立了稳定良好的合作关系。
综上，公司成立初期存在一定的技术积累和客户资源积累，成立初期公司产品满足客户技术要求，但部分指标较国外竞品而言有所差异，对客户而言存在一定试错成本。公司持续通过快速响应的售后服务以及专业的技术支持，与客户共同配合解决过程中出现的问题，进一步降低试错成本，并研发出更加符合客户需求的产品，最终取得了良好的效果。
3、合作初期客户是否同时选择其他供应商进行合作，结合同行业公司情况，说明客户最终选择与发行人合作的原因
合作初期，主要客户在半导体专用温控设备和工艺废气处理设备领域存在其他非国产供应商，公司并非客户相关产品的唯一供应商，但很少有国产供应商涉足相关领域。公开披露信息显示，长江存储第一次公开招投标时（2018年）半导体专用温控设备中标对象除了京仪装备外，还包括当时市场占有率靠前的
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龙头ATS公司和SMC公司。根据行业惯例，针对同一设备类型主要客户一般会培养3-4家供应商以形成稳定均衡的供应商格局。主要客户半导体专用温控设备和工艺废气处理设备公开招投标的中标供应商情况详见“本题回复/一/
（一）” 参与招投标的国内外其他厂商情况相关内容。
在半导体设备国产化进程加速、晶圆制造企业加速扩产的背景下，公司产品性能突出，可以满足客户产线要求并提供更高质量的全方位服务，另外在交期和价格方面亦有一定的比较优势，客户选择与公司合作具有合理性。具体而言，合作初期客户选择公司的原因包括如下几个方面：
（1）公司成立初期存在一定的技术积累和客户资源积累，产品关键技术指标满足客户产线需求
公司一直专注于半导体专用设备领域，公司成立初期存在一定的技术积累和客户资源积累，与客户建立了初步合作关系并得到了客户的验证机会。合作初期，产品关键技术指标满足客户产线需求，运行情况良好。具体来看，公司成立初期半导体专用温控设备产品温控区间达到-20~90℃的宽温区，空载控制精度达到〒0.05℃，有效满足了客户产线中主要工艺环节的各种温控需求；半导体专用工艺废气处理设备覆盖了燃烧水洗式、电加热水洗式和等离子水洗式等较全面的产品类型，废气处理量覆盖400slm~1600slm，废气处理效率达到99%以上，有效满足了客户产线中主要工艺环节的各种废气处理需求。
（2）公司服务能力突出，持续高效配合客户进行联合研发
对于晶圆制造企业而言，保持半导体专用设备的运行效率和无故障运行尤其重要，因此设备供应商的售后服务能力、快速响应能力是选择供应商时重要的评价因素。公司注重客户服务，在主要客户所在地北京、上海、武汉等均建立了本土化的服务团队，高质量提供全方位服务，及时了解客户需求，快速响应反馈问题。服务类型包括5*8小时驻厂服务以及7*24小时跟踪产品运行服务等，服务团队专业化分工，包括现场工程师、售后负责人、技术支持工程师、
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销售经理等多层次人员结构，一级故障处理响应时间一般在30分钟内。公司销售和售后支持人员、研发人员数量充足，核心研发人员普遍具有丰富资深的行业技术背景，为公司更好地配合客户，提供低成本、定制化和及时的服务奠定了良好的基础。
另一方面，公司拥有优秀的研发团队，能够针对客户技术需求进行联合攻关、定制化开发，适配性的提升会带动客户产线稳定性的提升。在联合客户攻关先进制程技术难点过程中，逐步积累和提升了自己的技术水平，提高了客户配合默契度，最终和客户形成了更稳定紧密的合作关系。
与国外竞争对手相比，国外竞争对手一般委托国内团队做售后服务，服务的及时性、定制化程度相对较弱。国外竞争对手成立时间早，规模大，生产管理、销售运营等多项工作的管理较为复杂，且主要的管理和研发中心在海外，整体的运营成本较高，客户对接效率相对较低。公司管理、研发、运营和生产都在国内进行，组织结构相对简单，运营成本相对较低，向客户提供高品质的产品和优质的支持服务更具优势。
（3）国际贸易纠纷促使产业链国产化进程加速，客户新增国产化需求
近年受国际贸易纠纷等因素影响，国内集成电路制造企业积极推动半导体设备供应链国产化进程，从供应链安全、节约设备成本、提高设备性价比、实现对半导体设备的定制要求以及更高质量的售后服务的角度考虑，国产半导体设备已成为国内半导体厂商的重要选择。
长江存储、中芯国际等客户建厂初期半导体专用温控设备和工艺废气处理设备供应商主要为美国ATS公司、日本SMC公司、德国戴思公司、瑞典爱德华公司等行业内成立时间较长的国外龙头企业。近年来，受国际贸易纠纷背景影响，主要客户加大国产化设备布局，以实现“自主可控”，保障自身产业链安全，国产化设备采购比例大幅增加。以中芯国际为例，中芯国际是中国大陆最大的晶圆代工企业，为降低供应链风险，同时有效缩短供应周期与减少对关键
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供应商的依赖，中芯国际重视供应链国产化的推动及本土供应商的培养，早期已开始布局完善国产供应链。2013年，中关村管委会执行并指定中芯国际作为牵头单位发起成立中关村集成电路产业联盟，促进上下游企业交流合作，推进集成电路产业链国产化进程。
公司凭借突出的产品质量和良好的市场口碑把握了主要客户新增国产化设备需求，获得了客户产线验证机会，并通过持续创新研发和良好的服务能力，满足了客户不断升级的技术需求，实现了快速发展。
（4）公司产品交期短，产品性价比更具优势
产品交期是客户考虑的重要因素，半导体专用设备需求规模大，产品交期安排直接影响工艺设备运行情况、产线建设进度等，对晶圆制造企业整体生产经营存在不可忽视的影响。公司生产组织效率高，充分的前期需求沟通和充足的人员配备保障了产品交付，可以快速响应客户需求，公司产品平均交期约3-4个月。国外竞争对手主要生产基地在国外，产品需要在国外完成生产后配送至国内，交货周期相对较长，且交货周期易受进出口政策等不可控因素影响而进一步拉长。
随着半导体制造行业降本增效步伐不断加快，客户愈发重视成本效益，优化的供应商结构可以一定程度降低折旧成本。基于成本效益原则，客户在保证产品质量的前提下，会考虑选择性价比更高的供应商。公司在行业树立了良好的信誉和企业形象，主要产品市场口碑良好，主要产品价格相比竞争对手产品而言具有较高的性价比优势。国外竞争对手主要生产基地在国外，人工和运输成本较高。针对同款产品，公司产品的价格比国外竞争对手产品的价格低约10%-30%。
（5）客户持续扩产建设，公司迎来机遇期
报告期内主要客户处于扩张阶段，持续进行产能爬坡和产线建设，随着建设进度陆续采购相应的固定资产，且产线规模大，对应的资本开支较高。由于
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新产线需要对设备、物料、生产产品等多方面进行全面评估、测试和认证，因此客户为进一步优化供应商体系，往往在新产线建设中对多个供应商进行比较，选择整体表现更优秀的供应商，为公司进入客户的供应商体系带来机遇。
（三）发行人短时间内成为相关客户国内主要供应商的原因，产品研发和设计是否较为容易，技术壁垒是否较低；期间发行人的技术突破和产品改进，与国外厂商的差距；在产品认证时间不长的情况下，国内其他厂商未开拓相关客户的原因，发行人是否存在被替代的风险及依据；目前国内厂商的竞争格局，发行人技术和产品优势，是否存在被挤占市场的风险
1、发行人短时间内成为相关客户国内主要供应商的原因，产品研发和设计是否较为容易，技术壁垒是否较低
如本回复“问题3/一/（二）” 客户最终选择与发行人合作的原因相关内容所述，公司凭借产品性能优势、国产化优势、突出的服务能力、交期和价格优势等取得或中标长江存储、大连英特尔等行业主要客户订单。公司与主要客户建立合作的背景和原因情况如下：
| 客户简称 | 合作背景和原因 |
| 长江存储 | 2017年，经行业内推荐和公司积极争取，公司凭借前期中芯国际合作经验等取得武汉新芯半导体专用温控设备订单；2018年，长江存储开始进行一期建设项目公开招投标，公司凭借前期武汉新芯合作经验、突出的产品和服务优势、国产化优势等中标客户半导体专用温控设备和工艺废气处理设备订单 |
| 华虹集团 | 2017年，经行业内推荐和公司积极争取，公司凭借突出的产品和服务优势、国产化优势等取得华力微半导体专用温控设备订单。后期，华力集和华虹无锡陆续公开招投标，公司中标客户半导体专用温控设备订单 |
| 中芯国际 | 2016年，经行业内推荐和公司积极争取，公司凭借本土化优势、突出的产品和服务优势、国产化优势等取得中芯上海、中芯北京、中芯北方的半导体专用温控设备和零部件等订单，后续陆续拓展至中芯深圳、中芯南方等客户 |
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| 客户简称 | 合作背景和原因 |
| 大连英特尔 | 2016年，经行业内推荐和公司积极争取，公司凭借突出的产品质量和服务优势等取得客户半导体专用温控设备和工艺废气处理设备订单；2021年起公司把握客户扩产机遇取得规模化订单 |
公司成立初期存在一定的技术积累和客户资源积累，后来在晶圆制造技术不断变更迭代及设备国产替代加速的两大市场契机的推动下，公司发展迎来了不可复制的发展窗口期，公司凭借完善突出的服务能力和持续强大的研发支持，满足了客户不断迭代的产品需求，市场占有率逐步提升，最终成为相关客户的主要供应商。过程中，公司发展并非一帆风顺，亦通过了长时间的验证周期并付出了较高的时间成本、人力成本和设计成本等。
（1）半导体专用温控设备产品研发和设计难点与技术壁垒
半导体专用温控设备设计及调试的技术难点和技术壁垒主要在于半导体制程所需温度区间大（温控区间所需范围覆盖-70℃~120℃）、温控精度高（空载温控精度要求达到〒0.05℃~〒0.3℃、运行温控精度要求达到〒0.5℃~〒
1.0℃）、负载变化剧烈且温度切换之间有严苛的温度曲线要求。针对前述技术难点，半导体专用温控设备供应商需要根据工艺制程温度区间、温控精度、负载变化、温控曲线等核心技术指标需求定制化设计产品，定制化研发控制算法、定制化设计选型特殊材料及零部件。
公司通过对产品整体系统设计优化，采用两级复叠系统设计，并结合大量晶圆制造产线的应用经验，达到了-70℃的超低温要求，同时兼容超过100℃的高低温宽温区运行。公司结合对工艺制程所需温度及负载的预判，采用预冷、预热及多级控温等控制技术实现切换或混合控温的控制要求，并通过专家算法的处理达到精准控温要求，公司产品实现〒0.05℃~〒0.2℃的空载控制精度及〒
0.5℃~〒1.0℃的带载控制精度。公司通过更新迭代控制算法，结合现场批量应用经验，持续调整温控曲线，满足半导体工艺制程负载剧烈变化的温度曲线要求。
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（2）半导体工艺废气处理设备产品研发和设计难点与技术壁垒
半导体专用工艺废气处理设备设计及调试难点包括系统结构的定制化设计、系统流场与温度场的设计、粉尘控制设计、耐腐蚀材质的设计选型、控制算法研发等。半导体专用工艺废气处理设备体积小、设备集成度高，因此在设计环节需要考虑设备系统的流场与温度场的分布、系统热量的平衡、反应温度的控制，同时还要考虑设备使用及维护的方便性、可操作性，合理设计反应腔等核心零部件。为适应较小的设备空间，部分零部件需要定制开发，以满足使用需求。同时在较小的设备空间内最大化粉尘捕获率，需要对粉尘控制结构进行特殊设计，以延长设备的维护周期 。公司根据废气处理量对腔体尺寸进行计算，根据所需的废气处理温度对热源选择与热量进行计算，最后完成产品原理设计、结构设计及安全系统的逻辑控制设计，从而形成满足需求的产品。公司通过对等离子火炬的结构设计、特殊材料的选择以及内部磁场的设计来进行技术难点的突破，实现等离子火炬在恶劣条件下能够持续运行时间由通常3个月左右提升至6个月以上。公司研发Harsh工艺除尘技术并通过此核心技术，能够减少粉尘对设备的影响，在一些特定的制程工艺中，设备的维护周期由原先的1个月提升至1.7个月，设备维护周期延长70%。
（3）晶圆传片设备产品研发和设计难点与技术壁垒
晶圆传片设备主要技术难点在于晶圆传送技术及洁净空间设计。晶圆传送方式之一微晶背接触传送技术长期由国外公司掌握，该技术难点在于确保机械手指与晶圆接触面积小于3平方毫米情况下同时需达到与传统真空方式相比相同甚至更高摩擦力，控制算法的主要难点在于算法需要适应微晶背接触技术，在运动过程中需要平稳的运行，才能保证晶圆在传输过程中不会因振动等因素产生滑动，通过对晶圆运行轨迹的优化，可以达到降低运行过程中的最大加速度，控制晶圆需要的摩擦力处于最低水平。机械手在复合运动中需要根据规划
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的轨迹，通过运动正反解算法以及反馈的误差来进行多轴的同步协调追踪控制。公司微晶背接触传送技术不仅在晶圆传送过程中达到无相对位移，还在机械手和晶圆脱离时具有足够小的脱离力，让晶圆不会在脱离时产生振动。公司晶圆传片设备WPH达到330，与竞品在主要指标方面不存在重大差异。公司晶圆传片设备洁净空间使用的零部件均进行了表面处理，避免设备运行过程中颗粒产生和积存，通过气流分析，对于紊流、扰流容易产生的位臵通过改变形状或增加网孔方式降低紊流、扰流强度。目前公司晶圆传片设备可以满足晶圆传送过程中直径≥0.06μm颗粒增加数量不能超过4颗严苛要求。公司研发团队持续探索优化，持续产生技术创新成果并形成了公司的核心技术，构建了一定的技术壁垒，主要产品和核心技术被模仿、替代的可能较低。随着半导体工艺制程不断升级迭代，公司半导体专用温控设备配合客户进行大量参数、技术细节的调整和改进，相应的试错成本始终存在。在工艺技术快速迭代和产线制程升级更先进制程的过程中，公司与客户均有大量的前期投入成本，包括样机投入、公司及客户的技术团队投入大量时间验证及匹配、占用客户产线工艺设备及制造产线现场等。在验证及匹配阶段半导体专用温控设备与半导体工艺制程较高的投入成本，以及半导体专用温控设备较高的技术壁垒，导致客户在已有足够供应商满足技术需求且未有新技术需求情况下通常不会轻易与新供应商再进行一次类似技术验证。
2、期间发行人的技术突破和产品改进，与国外厂商的差距
公司重视研发，结合市场最新需求和行业的技术变更，持续进行研发工作。公司产品在逐渐被客户接受后，随着下游客户验证过程中的持续反馈，经验和技术随之不断积累和提升。报告期内，公司主要技术突破和产品改进情况如下：
半导体专用温控设备：
| 技术指标 | 2021年前水平 | 2021年-2022年 | 突破和改进情况 | |
| 设备型号 | Y系列 | B、V、T等系列 | C系列 | - |
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| 技术指标 | 2021年前水平 | 2021年-2022年 | 突破和改进情况 | |
| 通道数量 | 1、2 | 1、2、3 | 1、2、3 | 通道数量增加 |
| 温控范围 | -20℃~+90℃ | -20℃~+120℃ | -70℃~40℃ | 指标表现显著提升 |
| 温控精度 | 〒0.05℃~〒0.2℃ | 〒0.05℃~〒0.2℃ | 〒0.05℃~〒0.2℃ | 持续优化 |
| 冷却能力 | 3kW@-10℃ 4.5kW@-20℃ | 6kW@-10℃ 12kW@-20℃ 5kW@-40℃ | 12kW@-20℃ 10kW@-40℃ 8.5kW@-60℃ 2.5kw@-70℃ | 指标表现显著提升 |
| MTBF | ≥6000h | ≥8000h | ≥8000h | 指标表现显著提升 |
| MTTR | ≤2h | ≤2h | ≤2h | 持续优化 |
| Up Time | ≥98% | ≥99% | ≥99% | 指标表现显著提升 |
半导体专用工艺废气处理设备：
| 技术指标 | 2020年前水平 | 2021年-2022年 | 突破和改进情况 |
| 设备型号 | DB系列 | DB系列 | - |
| 废气处理效率 | >99% | >99% | 持续优化 |
| 废气处理量 | Up to 1600slm | Up to 1600slm | 持续优化 |
| MTBF | ≥4000小时 | ≥6000小时 | 指标表现显著提升 |
| 维护周期 | >15天 | >30天 | 指标表现显著提升 |
| Up Time | ≥98%-99% | ≥99% | 指标表现显著提升 |
| MTTR | ≤2小时 | ≤2小时 | 持续优化 |
报告期初期，公司产品部分技术指标（如半导体专用温控设备的温控范围指标等）与国外竞品存在一定差距，报告期内经过公司持续研发及工艺改进，目前公司主要产品与竞品在主要技术指标方面已不存在重大差异。公司产品和国外厂商的差距详见本回复“问题1/1.2/一/（一）”产品性能指标与同期竞品对比情况相关内容。
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3、在产品认证时间不长的情况下，国内其他厂商未开拓相关客户的原因，发行人是否存在被替代的风险及依据
公司作为成熟的合格供应商，半导体专用设备产品认证周期一般为6-12个月，但对于非半导体设备领域的供应商产品验证周期将大幅增加。行业内客户一般对新供应商的设备装机规模、先进制程产线应用经验等有一定门槛要求，对于其他新进入者而言，获得验证机会意味着需要更长周期的销售经验积累，对应的验证周期亦更加长。
报告期内，半导体专用设备领域存在少数国内其他厂商。公开信息显示，部分国内厂商参与了主要客户公开招投标，但是基于技术水平、配套服务能力、性价比差异等多方面原因未中标，或仅中标个别客户订单尚未达到大批量装机规模水平。
在半导体专用设备行业客户黏性高、合作稳定性强的背景下，公司拥有突出的产品竞争力优势和全面完善的服务优势，同时把握了客户产能快速扩大和工艺迅速迭代的窗口期，目前已全面覆盖晶圆制造主流客户，龙头客户大批量装机经验形成了突出的先发优势，此外公司重视研发和创新，持续跟进最新技术以保持技术优势。综上，短期来看，公司的半导体专用温控设备和半导体专用工艺废气处理设备被替代的可能性较小。具体原因分析如下：
（1）半导体专用设备行业客户黏性高、合作稳定性强
半导体设备行业存在较高的技术门槛和客户门槛，集成电路制造企业出于对自身生产稳定性、成本优化、管理效率等方面的考虑，通常一旦确定合格设备供应商，后期的持续合作确定性较大、黏性较强。具体来看：1）公司主要客户为行业知名企业，客户对合格供应商的考察要求严格，需要综合供应商经营管理水平、装机规模、市场地位、生产能力、商务条款等多方面因素进行评判；2）半导体专用设备的技术指标、运行稳定性将对晶圆制造产线的产量、良率及稳定性产生直接决定性影响，下游晶圆制造厂商对半导体设备供应商的
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产品验证要求较为严格。只有经过全面系统性验证流程、达到工艺制程要求后，半导体设备才能进入晶圆制造厂商的合格供应商名单，该验证周期耗时较长，一般包括需求对接、样机生产、现场装机、验证测试、持续观察等环节，过程中需要结合工艺进度实时调整，整体耗时约6-12个月，同时需要投入公司研发部门、销售部门大量的人力及资源进行协调配合；3）晶圆制造产线工艺复杂，涉及的半导体设备种类多，经过近年的快速扩产和发展壮大，目前主流晶圆制造厂商已形成稳定的半导体设备供应链格局，新增设备供应商的产品前期验证、采购、安装至后期维护的综合成本较高。综上，目前客户转换供应商成本相对较高，半导体设备行业客户黏性较强。公司凭借多年的技术积累、客户渠道拓展、优质的产品质量和服务以及良好的品牌建设，获得了主要客户的持续认可。公司和主要客户合作情况良好，报告期内持续进行合作，公司与部分客户长江存储、北方华创等签订了框架协议，截至2022年末，公司在手订单规模11.62亿元，在手订单充足。
（2）公司产品竞争力突出、综合服务能力强
公司一直专注于半导体专用设备领域，通过多年的技术研发，公司半导体专用温控设备产品和半导体专用工艺废气处理设备产品的关键技术指标均达到国内领先、国际先进水平，产品质量稳定可靠；公司注重客户服务，在主要客户所在地建立了本土化的服务团队，高质量提供全方位服务，服务响应速度和服务水平高；公司生产组织效率高，产品交期短，可快速响应客户的设备需求；公司在行业树立了良好的信誉和企业形象，主要产品市场口碑良好，相比竞争对手产品具有较高的性价比优势；公司研发能力突出，经过多年的产品研发和迭代，主要半导体专用设备已覆盖了市场主流产品类型，并根据最新技术发展方向拓展了多种新型号，可持续满足客户的多样化需求。整体而言，公司拥有突出的产品竞争力优势和全面完善的服务优势。
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（3）公司覆盖晶圆制造主流客户，龙头客户大批量装机经验形成先发优势
公司自主研发的半导体专用设备已成功进入长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、睿力集成等行业知名半导体制造企业，与头部客户建立了良好的合作关系，积攒了丰富的先进制程经验，公司是国内唯一的具备逻辑、存储、不同制程类型产线大批量装机经验的供应商。头部客户产能规模大，工艺制程技术先进，有较强的示范效应。
经过前期多次合作，公司熟悉客户验证流程及验证要求，与客户工作团队对接顺畅紧密，能够及时跟进客户最新工艺制程的要求并积极研发产品提供解决方案，公司已在半导体行业内积累形成良好的客户资源并形成一定的先发优势。
（4）公司把握了客户产能快速扩大和工艺迅速迭代的窗口期，相关经验难以在短期内被竞争对手复制和模仿
报告期内，公司主要客户处于快速扩产期，进行产线建设和产能爬坡，同时工艺技术快速迭代，迎来了不可替代的发展。以长江存储为例，长江存储一期项目于2016年底开工，开工后产能持续爬坡，月产能经历了5千片、1万片、2万片、3万片、5万片、7.5万片、9万片等阶段，2021年满产实现月产能约10万片。在前述产能快速扩大过程中，客户工艺技术也不断突破，2017年底客户宣布国内首款32层3D NAND闪存芯片研发成功，2019年宣布64层研发成功，2020年宣布128层研发成功，短时间内实现了关键技术迭代，2021年和2022年工艺技术仍在持续迭代和演进过程中。
公司把握了客户产能快速扩大和工艺迅速迭代的窗口期，在产线不断验证、优化过程中通过与客户的联合研发，积累和掌握了最先进的技术经验，相关经验难以在短期内被竞争对手复制和模仿，从而构筑了公司较高的技术壁垒。
（5）公司重视研发和创新，持续跟进最新技术，保持技术优势
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公司重视研发和创新，一直坚持自主研发，始终紧跟行业发展趋势，瞄准卡脖子难题，不断加大研发投入，通过不断的技术创新初步建立了集基础理论研究、应用技术研究、技术开发与工艺改进于一体的研发管理体系。公司研发团队实力强大，报告期内研发项目持续开展，研发投入规模持续增加。一方面，公司专注关键核心技术攻关，积极推进基础理论研究，与多家产学研单位开展科研技术合作，不断研发实现关键零部件开发和产品性能持续优化；另一方面，公司通过和国内领先的半导体专用设备制造厂商中微公司、北方华创等形成了密切的合作，在实验室阶段就前沿制程工艺对接需求并相应设计及验证新产品，保证公司产品适配工艺设备最新版本，持续保持技术优势。
4、目前国内厂商的竞争格局，发行人技术和产品优势，是否存在被挤占市场的风险
目前国内厂商的竞争格局，参考本回复“问题一/1.2/一/（五）”国内其他厂商发展情况相关内容。
公司凭借优良的产品品质，已经建立了良好的品牌知名度并积累了优质的客户群，日趋丰富的产品不断获得市场认可，业务规模持续扩大，在市场竞争中已经建立起了相对竞争优势。
如本回复“问题3/一/（三）”发行人是否存在被替代的风险相关内容所述，半导体专用设备行业为典型的技术密集型行业，技术壁垒较高，新进入企业通常需要经过相对较长的研发积累、客户验证、市场推广等，较难在相对较短时间内迅速形成市场竞争力。公司拥有突出的产品竞争力优势和全面完善的服务优势，同时把握了客户产能快速扩大和工艺迅速迭代的窗口期，目前已全面覆盖晶圆制造主流客户，行业龙头客户大批量装机经验形成了突出的先发优势，此外公司重视研发和创新，持续跟进最新技术以保持技术优势，因此，在可预见的一段时期内公司主要产品被挤占市场的风险相对较小。
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（四）根据报告期内客户扩产安排，测算对应的相关设备需求，结合客户境内采购比例，说明与发行人报告期各年销量的匹配性；根据客户未来扩产安排、发行人市占率，说明相关安排对发行人未来业绩影响
1、根据报告期内客户扩产安排，测算对应的相关设备需求，结合客户境内采购比例，说明与发行人报告期各年销量的匹配性
主要客户境内采购比例等敏感信息涉及客户商业机密，除了部分曾进行公开招投标的客户存在境内外供应商中标数据，其他客户不存在相关公开披露信息，公司无法获取相关数据。
公司根据公开披露信息整理了报告期内公司主要客户新增产能情况，假设月产能1万片对应的半导体专用温控设备或半导体专用工艺废气处理设备需求为80台，对应测算出主要客户的设备需求量，并与公司实际销售的产品数量进行对比，测算两者的匹配关系。具体测算过程如下：
半导体专用温控设备：
| 项目 | 2022年 | 2021年 | 2020年 |
| 主要客户新增产能合计（万片/月）① | 23 | 22 | 21 |
| 月产能1万片对应半导体专用温控设备需求（台）② | 80 | 80 | 80 |
| 半导体专用温控设备需求量（台）③=①*② | 1,840 | 1,760 | 1,680 |
| 主要客户向公司采购的产品数量（台）④ | 1,048 | 981 | 891 |
| 匹配关系⑤=④/③ | 57% | 56% | 53% |
注：主要客户指长江存储、中芯国际、华虹集团等存在公开披露产能信息的客户，下同。
半导体专用工艺废气处理设备：
| 项目 | 2022年 | 2021年 | 2020年 |
| 主要客户新增产能合计（万片/月）① | 23 | 22 | 21 |
| 月产能1万片对应半导体专用工艺废气处理设备需求（台）② | 80 | 80 | 80 |
| 半导体专用工艺废气处理设备需求量（台）③=①*② | 1,840 | 1,760 | 1,680 |
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| 项目 | 2022年 | 2021年 | 2020年 |
| 主要客户向公司采购的产品数量（台）④ | 276 | 223 | 171 |
| 匹配关系⑤=④/③ | 15% | 13% | 10% |
上述数据显示，报告期内，主要客户向公司采购半导体专用温控设备的比例占产能需求量的比例较为稳定，逐年增长，整体处于50%-60%区间，主要客户向公司采购半导体专用工艺废气处理设备的比例占产能需求量的比例亦较为稳定，逐年增长，整体处于10%-20%区间，主要客户半导体专用设备产能需求量和客户向公司采购量的匹配情况良好，不存在异常情况。
以曾披露产能并进行公开招投标的客户长江存储为例，长江存储扩产安排、招投标采购数量和向公司实际采购数量的匹配情况如下：
半导体专用温控设备：
单位：台
| 项目 | 2019年及2020年合计 | 2020年 | 2019年 |
| 客户公开招标的项目情况 | 10-20K扩产项目、20-30K 扩产项目、30-50K扩产项目、50-75K扩产项目 | 30-50K扩产项目、50-75K扩产项目 | 10-20K扩产项目、20-30K 扩产项目 |
| 新增月产能① | 65K | 45K | 20K |
| 客户公开招标采购设备总数量② | 1,346 | 858 | 488 |
| 客户从京仪装备采购设备数量③ | 742 | 357 | 385 |
| 客户向京仪装备采购规模占比④=③/② | 55.13% | 41.61% | 78.89% |
| 新增月产能1千片对应的采购设备数量⑤=②/① | 20.71 | 19.07 | 24.40 |
注1：客户公开招标采购设备总数量②数据系根据客户当期公开招投标信息整理汇总得出；2019年10月客户公布30-50K扩产项目中标结果，大批量订单集中于2020年签订，故项目时点分类至2020年；下同；注2：2021年及2022年长江存储未进行公开招投标，故无相关数据，下同。
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根据客户公开披露的招标采购半导体专用温控设备总数量和客户向京仪装备采购的产品数量来看，2019年度和2020年度，长江存储向京仪装备采购的半导体专用温控设备数量占招标采购总数量比例分别为78.89%和41.61%，合计比例为55.13%，符合公司的实际情况。
根据长江存储公开披露的招标采购半导体专用温控设备总数量和新增月产能数据计算得出的新增月产能1千片对应的采购设备数量约19-24台，公司前期测算未来市场规模时披露国内新增12英寸晶圆月产能1千片对应新增需求约8-14台。前述两处数据有所差异，主要系存储芯片和逻辑芯片类型差异、产品制程差异、客户情况差异等多种因素导致每个客户实际使用设备数量情况有所区别导致，另外公司测算未来市场规模时综合考虑了各类客户情况后选择了较谨慎的数据。半导体专用工艺废气处理设备方面亦存在类似的情况。
半导体专用工艺废气处理设备：
单位：台
| 项目 | 2019年及2020年合计 | 2020年 | 2019年 |
| 客户公开招标的项目情况 | 10-20K扩产项目、20-30K 扩产项目、30-50K扩产项目、50-75K扩产项目 | 30-50K扩产项目、50-75K扩产项目 | 10-20K扩产项目、20-30K 扩产项目 |
| 新增月产能① | 65K | 45K | 20K |
| 客户公开招标采购设备总数量② | 1,039 | 664 | 375 |
| 客户从京仪装备采购设备数量③ | 193 | 128 | 65 |
| 客户向京仪装备采购规模占比④=③/② | 18.58% | 19.28% | 17.33% |
| 新增月产能1千片对应的采购设备数量⑤=②/① | 15.98 | 14.76 | 18.75 |
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根据客户公开披露的招标采购半导体专用工艺废气处理设备总数量和客户向京仪装备采购的产品数量来看，2019年度和2020年度，长江存储向京仪装备采购的半导体专用工艺废气处理设备数量占招标采购总数量比例分别为
17.33%和19.28%，合计比例为18.58%，符合公司的实际情况。
2、根据客户未来扩产安排、发行人市占率，说明相关安排对发行人未来业绩影响
（1）国内市场规模测算
公司在2023年和2024年国内半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备国内预测市场规模数据的基础上，根据公司产品市场占有率情况，初步测算出了公司产品的需求规模。该测算仅供参考，不构成对公司未来业绩的预测或承诺。测算具体情况如下：
单位：万元
| 产品 | 项目 | 2023年 | 2024年 |
| 半导体专用温控设备 | 国内市场规模① | 87,760.00 | 101,871.00 |
| 公司市场占有率预测② | 38.73% | 41.73% | |
| 公司产品预测规模③=①*② | 33,989.45 | 42,510.77 | |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 国内市场规模预测① | 236,952.00 | 271,656.00 |
| 公司市场占有率预测② | 18.57% | 21.57% | |
| 公司产品预测规模③=①*② | 44,001.99 | 58,596.20 |
注：国内市场规模预测数据和计算过程详见公司首轮问询回复“问题4”中国内半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备市场规模部分；根据QY RESEARCH研究报告，公司2022年国内半导体专用温控设备市场占有率为35.73%，半导体专用工艺废气处理市场占有率为15.57%，假设2023年和2024年市场占有率按照每年3个百分点的趋势增长。
（2）主要客户市场规模测算公司在主要客户2023年和2024年扩产预测数据的基础上，假设了对应半导体专用设备需求、设备未来平均单价以及主要客户向京仪装备采购规模占比情况，初步测算出了主要客户对公司产品的需求规
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模和对应增长率。该测算仅供参考，不构成对公司未来业绩的预测或承诺。测算具体情况如下：
半导体专用温控设备：
| 项目 | 2023年预计 | 2024年预计 |
| 主要客户新增产能合计（万片/月）① | 30 | 35 |
| 月产能1万片对应半导体专用温控设备需求（台）② | 80 | 80 |
| 半导体专用温控设备平均单价（万元/台）③ | 20 | 21 |
| 主要客户半导体专用温控设备需求规模（万元）④=①*②*③ | 48,000 | 58,800 |
| 主要客户向京仪装备采购规模占比⑤ | 60% | 63% |
| 主要客户对公司产品需求规模（万元）⑥=④*⑤ | 28,800 | 37,044 |
注：报告期内主要客户向京仪装备采购规模占比的平均增幅约3个百分点，假设2023年和2024年相应数据按照相同趋势增长，下同。
半导体专用工艺废气处理设备：
| 项目 | 2023年预计 | 2024年预计 |
| 主要客户新增产能合计（万片/月）① | 30 | 35 |
| 月产能1万片对应半导体专用工艺废气处理设备需求（台）② | 80 | 80 |
| 半导体专用工艺废气处理设备平均单价（万元/台）③ | 54 | 56 |
| 主要客户半导体专用工艺废气处理设备需求规模（万元）④=①*②*③ | 129,600 | 156,800 |
| 主要客户向京仪装备采购规模占比⑤ | 18% | 21% |
| 主要客户对公司产品需求规模（万元）⑥=④*⑤ | 23,328 | 32,928 |
上述数据显示，在客户持续扩产的背景下，公司主要产品收入保持持续增长的发展趋势，2023年和2024年预测公司来自主要客户的半导体专用温控设备销售收入分别为2.88亿元和3.70亿元，来自主要客户的半导体专用工艺废气处理设备销售收入分别为2.33亿元和3.29亿元。客户扩产安排为公司业绩发展奠定了坚实的基础。另外，随着公司不断开拓新客户，贡献新的收入增长点，业绩规模有望进一步增长。
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公司与主要客户已合作多年，凭借研发、生产工艺水平赢得了客户的信任，与主要客户已形成了长期、可持续的合作关系，另外公司与长江存储、北方华创、睿力集成等客户签订了长期框架协议，为双方的业务合作奠定了长期、稳定合作的基础。2022年末，公司在手订单规模超过11亿元。综上所述，公司与主要客户已形成稳定、长期的合作关系，确立了自身在主要客户产业链体系中的重要性，未来随着客户扩产安排稳步推进，以及新客户和新收入增长点的不断开拓，公司业绩有望持续增长。
（五）2022年度主要客户收入和销量变动情况
2021年度和2022年度，公司主要客户销售收入和半导体专用设备销售数量情况及同比变动情况如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 变动率 | 备注 | |||
| 收入金额 | 数量 | 收入金额 | 数量 | 收入变动率 | 数量变动率 | ||
| 长江存储 | 18,833.87 | 450.00 | 26,369.80 | 756.00 | -28.58% | -40.48% | - |
| 华虹集团 | 9,499.14 | 339.00 | 1,522.34 | 69.00 | 523.98% | 391.30% | 2022年新增前五大 |
| 中芯国际 | 9,124.58 | 315.00 | 8,477.50 | 271.00 | 7.63% | 16.24% | - |
| 成都高真 | 5,884.58 | 66.00 | - | - | - | - | 2022年新增前五大 |
| 大连英特尔 | 5,400.24 | 87.00 | 5,202.50 | 119.00 | 3.80% | -26.89% | - |
| 广州粤芯 | 3,027.45 | 89.00 | 2,430.16 | 62.00 | 24.58% | 43.55% | 2022年退出前五大 |
| 北方华创 | 2,568.25 | 113.00 | 1,523.80 | 74.00 | 68.54% | 52.70% | 2022年退出前五大 |
2022年，公司对长江存储的销售收入和半导体专用设备销售数量与2021年度相比有所下降，主要系2022年下半年受国际环境等因素影响，客户产线建设进度有所放缓，部分设备已发货至客户现场但未完成验收，具有合理性。2022年末公司对长江存储发出商品结存金额较2021年末新增6,095.58万元，对应半导体专用设备数量315台，对应销售收入约14,000万元。公司对长江存储的发
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出商品期后正在逐步验收和回款，截至2023年4月末，发出商品超过60%款项已经收回。2022年，公司对华虹集团的销售收入和半导体专用设备销售数量与2021年度相比快速上升，主要系华虹集团下属华力集和上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司销售收入快速增长。2021年，公司取得华力集二期12英寸产线扩增项目批量订单并陆续交付，2022年上半年订单陆续执行完毕，收入规模增长较大。2020年，上海集成电路装备材料中心成立，规划建成月产能2万片的12英寸集成电路研发制造基地；2021年起，公司陆续获得其12英寸产线新建项目批量订单，2022年下半年产品陆续实现验收并确认收入，收入规模增长较大。2022年，公司对中芯国际的销售收入和半导体专用设备销售数量与2021年度相比小幅上升，主要系对中芯国际下属中芯深圳的销售收入和数量小幅上升，当年中芯深圳12英寸产线扩产项目订单陆续执行完毕并实现销售收入。2022年，公司对成都高真的销售收入规模较大，成都高真进入2022年度前五大客户，主要系2021年公司和成都高真新建了合作关系，随着客户产线建设进度完成2022年度公司产品稳步进行验收并实现销售收入。2022年，公司对大连英特尔的销售收入与2021年基本一致，半导体专用设备销售数量同比有所下降，主要系销售的半导体专用设备结构发生变化导致的差异。2022年，受客户产线进度和采购安排变化影响，公司向大连英特尔销售的半导体专用温控设备数量下降了47台，半导体专用工艺废气处理设备数量上升了15台。
2022年，公司对广州粤芯、北方华创的销售收入和半导体专用设备销售数量与2021年度相比稳步增长。广州粤芯和北方华创仍为公司主要客户，由于2022年度其他客户销售规模较大，导致其未进入当年公司前五大客户。
综上，公司与主要客户合作关系良好，报告期内持续稳定合作中。
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（六）销售定价情况
公司结合产品的市场供需情况、竞争对手竞品价格、生产成本、技术要求、供货能力、公司对客户的资信评价、客户订单规模以及公司整体销售策略等因素，与客户按照市场化原则协商确定价格。报告期内，公司综合运用灵活的销售策略，结合产品推广情况、客户情况、市场供需情况等实施灵活定价。产品成本为公司定价的基础，不同型号或配臵的产品成本存在一定差异，对应的销售价格亦有所体现。
报告期内，公司同型号产品同期向主要客户的销售价格不存在重大差异。以半导体专用温控设备某主要型号为例，公司向主要客户销售的产品平均单价情况如下：
单位：万元/台
| 客户 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 客户A | 10.60 | 10.77 | 10.95 | 11.57 |
| 客户B | 10.79 | 11.02 | 10.65 | 11.22 |
| 客户C | 11.97 | 11.81 | 11.79 | 12.00 |
二、中介机构核查
（一）发行人说明核查
1、核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
（1）访谈了发行人管理层；
（2）取得并查阅中国招标投标公共服务平台网站公布的发行人主营产品招投标情况，了解主要客户招投标情况、中标对象；
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（3）取得了发行人招投标业务内控制度文件、招投标业务收入明细、主要客户全套招投标文件、主要客户销售合同查看了主要客户招投标要求、招投标的关键时间节点，确认发行人中标时间和签订销售合同时间是否存在异常；
（4）访谈并函证了主要客户，了解了双方建立合作背景、选择发行人产品的原因、对发行人产品的评价情况，同类型产品的其他供应商情况，2019年至2022年各期访谈比例分别为90.65%、83.86%、79.60%和67.49%，各期函证比例分别为88.40%、86.38%、82.06%和80.09%；
（5）现场查看了发行人主要客户厂房，查看发行人设备运行状态和工作原理，查看了其他同类型设备的厂家品牌；
（6）查看了发行人设备生产制造过程，取得了设备BOM清单，了解产品研发和设计过程；
（7）查看了行业研究报告，了解半导体专用设备国内厂商的竞争格局，查看其他厂商的官方网站等公开披露信息；
（8）查看了行业研究报告，了解主要客户扩产安排、了解发行人市场占有率情况，测算半导体专用设备采购理论需求数据，结合客户境内采购比例，估算与发行人报告期各年销量的匹配性和未来业绩影响；
（9）取得并复核了报告期内主要产品主要客户收入明细、销售单价变动情况，分析收入变动原因和销售定价公允性；
2、核查意见
经核查，我们认为：
（1）发行人已说明招投标和商务谈判的客户及差异情况；发行人已说明招投标履行的程序以及关键时间节点，参与招投标的其他国内外厂商情况；发行人已说明招投标条件、中标的原因，原因具有合理性；报告期内发行人公开
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招投标模式业务收入下降主要系长江存储等客户调整业务模式导致，具有合理性；
（2）发行人已说明与主要客户建立合作时的技术水平、产品性能以及同行业公司情况；发行人已说明成立初期客户试错成本情况；合作初期客户同时选择其他供应商进行合作，在半导体设备国产化进程加速、晶圆制造企业加速扩产的背景下，发行人产品性能突出，可以满足客户产线要求并提供更高质量的全方位服务，另外在交期和价格方面亦有一定的比较优势，客户选择与发行人合作具有合理性；
（3）发行人已说明短时间内成为相关客户国内主要供应商的原因，产品研发和设计难度，技术壁垒情况；发行人已说明成立以来发行人的技术突破和产品改进，与国外厂商主要产品参数的差异情况；发行人已说明国内其他厂商未开拓相关客户的原因，在半导体专用设备行业客户黏性高、合作稳定性强的背景下，发行人拥有突出的产品竞争力优势和全面完善的服务优势，同时把握了客户产能快速扩大和工艺迅速迭代的窗口期，目前已全面覆盖晶圆制造主流客户，龙头客户大批量装机经验形成了突出的先发优势，此外发行人重视研发和创新，持续跟进最新技术以保持技术优势，短期来看，发行人半导体专用温控设备和半导体专用工艺废气处理设备被替代的可能性较小；发行人已说明目前国内厂商的竞争格局，发行人技术和产品优势，未来主要产品被挤占市场的风险相对较小；
（4）发行人已根据报告期内客户扩产安排，测算对应的相关设备需求，报告期内主要客户半导体专用设备产能需求量和客户向公司采购量的匹配情况良好，不存在异常情况；发行人根据客户未来扩产安排、发行人市占率情况测算了客户扩产安排对未来业绩的影响，在客户持续扩产的背景下，2023年和2024年对应公司半导体专用温控设备销售收入和半导体专用工艺废气处理设备销售收入预计持续增长。
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（二）请保荐机构和申报会计师按照《监管规则适用指引——发行类第5号》关于“单一大客户依赖”的相关要求进行核查，并核查发行人及其主要人员与主要客户及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来，客户采购后的使用情况、是否处于正常运行状态及依据，说明相关核查措施、范围、比例和结论请保荐机构和申报会计师按照《监管规则适用指引——发行类第5号》关于“单一大客户依赖”的相关要求进行核查根据《监管规则适用指引——发行类第5号》之“5-17客户集中”关于“单一大客户依赖”的相关要求，2021年度，公司向长江存储销售金额占当期营业收入的比例超过50%，存在对长江存储的依赖，但未对持续经营能力构成重大不利影响，主要原因分析如下：
1、发行人主要产品或服务应用领域和下游需求情况，市场空间是否较大;发行人技术路线与行业技术迭代的匹配情况，是否具备开拓其他客户的技术能力以及市场拓展的进展情况，包括与客户的接触洽谈、产品试用与认证、订单情况等
（1）发行人主要产品或服务应用领域和下游需求情况，市场空间是否较大
报告期内，公司的主要产品为半导体专用设备，包括半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备和晶圆传片设备，下游应用领域主要为半导体晶圆制造行业。
半导体行业在5G、汽车、电子等行业需求的推动下快速增长，极大地驱动了半导体设备行业的发展。半导体产品可分为集成电路、光电子器件、分立器件和传感器，其中集成电路占80%以上的份额，细分领域包括逻辑芯片、存储器、微处理器和模拟芯片等，是绝大多数电子设备的核心组成部分，也是现代信息产业的基础，下游应用最为广泛。随着新能源汽车、工业智造、新一代
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移动通讯、新能源及数据中心等市场的发展与相关技术的升级，全球晶圆代工行业市场规模大幅增长，根据IC Insights的统计，2015年至2021年，全球晶圆代工市场规模从508亿美元增长至1,072亿美元，年均复合增长率为13.25%，预计2021年至2025年晶圆制造市场总销售额将继续以年均8.98%的增长速度持续增长，直至2025年预计总销售额将达到1,512亿美元。在这一背景下，下游晶圆片厂商不断扩充产能，扩大投资，根据SEMI数据统计，2021年及2022年全球分别开始新建23座、33座晶圆制造工厂、2023年全球预计开始建设28座晶圆制造工厂，其预计全球半导体行业在2021至2023年间开始建设的84座大规模芯片制造工厂中投资5000多亿美元。晶圆制造市场的飞速发展，极大带动了半导体专用设备的采购需求，长期来看半导体市场需求仍将维持较高水平。
对于半导体专用温控设备和工艺废气处理设备的市场空间，公司统计了国内主要晶圆制造厂商公布的未来几年扩产计划，基于谨慎性原则折算出2023-2025年国内新增12英寸晶圆等效产能。基于公开招投标数据以及报告期内公司相关设备的平均售价，公司估算出半导体专用温控设备2023年、2024年、2025年的市场规模为87,760.00万元、101,871.00万元、104,522.00万元，半导体专用工艺废气处理设备2023年、2024年、2025年的市场规模为236,952.00万元、271,656.00万元、275,558.00万元，市场空间较大。关于公司主要产品市场空间相关内容详见首轮回复之“问题4/一/（三）”相关内容。综上，公司主要产品的市场空间广阔，市场需求增长趋势明确，具有良好的发展机遇。
（2）发行人技术路线与行业技术迭代的匹配情况
1）半导体专用温控设备
半导体专用温控设备的技术路线主要包括热交换器、单级压缩、复叠、热电四种类型，不同技术路线的区别主要体现为温控范围指标上的差异，目前相关技术路线在市场中均有应用。
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公司技术路线与行业技术路线的匹配情况如下：
| 技术路线 | 温控区间 | 公司技术路线情况 | 行业技术路线情况 | 是否匹配 |
| 热交换器 | 20℃以上温度区间 | 针对节能及控制技术、高温元器件、高温控温技术等进行研究，已开发多款产品 | 主流技术路线 | 是 |
| 单级压缩 | -45℃~120℃温度区间 | 研究低温单级压缩、节能算法、混合控温等技术，已推出多款系列产品 | 主流技术路线 | 是 |
| 复叠 | -120℃~40℃温度区间 | 研究低温压缩技术、复叠系统控制算法等，已推出多款复叠产品 | 主流技术路线 | 是 |
| 热电 | -10℃~80℃温度区间 | 暂未覆盖 | 市场需求较小 | 否 |
由上可知，公司产品类型覆盖热交换器、单级压缩、复叠三种类型，其中热电类型产品市场需求较小，公司早期专注于主流技术路线，未覆盖此方向。综上，公司产品覆盖行业内主流产品细分类型，产品结构较为完整，与行业技术路线相匹配，公司技术路线与行业技术路线不存在重大差异。2）半导体专用工艺废气处理设备半导体专用工艺废气处理设备的技术路线主要分为燃烧水洗式、等离子水洗式、电加热水洗式、集成一体式以及吸附式五种类型，其中吸附式产品市场需求较小。不同类型间的主要区别是产生高温环境的能量方式不同。公司技术路线与行业技术路线的对比情况如下：
| 技术路线 | 公司技术路线情况 | 行业技术路线情况 | 是否匹配 |
| 燃烧水洗式 | 已研发多款形成面向不同工艺的单腔、双腔产品 | 主流技术路线 | 是 |
| 等离子水洗式 | 基于废气处理量、多粉尘环境等需求持续研发迭代，已形成多款产品 | 主流技术路线 | 是 |
| 电加热水洗式 | 已形成多款产品 | 主流技术路线 | 是 |
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| 技术路线 | 公司技术路线情况 | 行业技术路线情况 | 是否匹配 |
| 集成一体式 | 未覆盖 | 主流技术路线 | 否 |
| 吸附式 | 未覆盖 | 市场需求小 | 否 |
由上可知，公司产品类型包括燃烧水洗式、等离子水洗式、电加热水洗式三个细分类型，其中集成一体式主要由国外竞争对手掌握、吸附式产品市场需求较小，公司未覆盖这两个方向。综上，公司产品基本覆盖行业内主流产品细分类型，产品结构较为完整，与行业技术路线相匹配，公司技术路线与行业技术路线不存在重大差异。3）晶圆传片设备晶圆传片设备的技术路线主要分为真空式、夹持式、微晶背接触式三种类型，其主要区别是机械手与晶圆接触方式不同，目前在市场中均有应用。公司技术路线与行业技术路线的对比情况如下：
| 技术路线 | 适用场景 | 公司技术路线情况 | 行业技术路线情况 | 是否匹配 |
| 微晶背接触式 | 28nm及以下制程，或对于晶背和晶边质量要求高的晶圆传片应用制程 | 优化寻心算法、运动控制算法、减速器及洁净空间设计等，多次推出新产品满足客户需求 | 主流技术路线 | 是 |
| 真空式 | 28nm以上制程，或对于晶背无质量要求或要求较低的晶圆传片应用制程 | 结合客户需求进行技术迭代 | 主流技术路线 | 是 |
| 夹持式 | 28nm以上制程，或对于晶边无质量要求或要求较低的晶圆传片应用制程 | 结合客户需求进行技术迭代 | 主流技术路线 | 是 |
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由上可知，公司产品类型覆盖真空式、夹持式、微晶背接触式三个细分类型，覆盖行业内主流产品细分类型，产品结构完整，与行业技术路线相匹配，公司技术路线与行业技术路线不存在重大差异。综上，公司半导体专用设备技术路线与行业技术路线不存在重大差异，基本匹配。
（3）是否具备开拓其他客户的技术能力以及市场拓展的进展情况，包括与客户的接触洽谈、产品试用与认证、订单情况等
1）公司开拓其他客户的技术能力
?公司具备雄厚的研发能力和完善的研发机制
自成立以来，公司始终重视产品研发及创新，致力于建设研发体系、完善研发管理制度。经过多年的内部培育及外部吸纳，公司形成了一支由博士、硕士、学士组成的，多层次、高水平、富有实践经验和具有竞争力的研发队伍。截至2023年4月30日，公司应用于主营业务的发明专利76项，研发创新成果显著。系统的研发体系、完善的研发结构、专业经验丰富的研发团队，保障公司获得半导体专用设备领域的前沿核心技术，为客户提供专业的技术服务，提升公司核心竞争力。
?公司产品技术指标达到国内领先、国际先进水平
公司产品主要对标SMC、ATS、爱德华公司、戴思公司、瑞斯福公司、平田公司等境外企业，在产品性能和技术指标上达到国内领先、国际先进水平。报告期内公司产品型号不断迭代更新，产品销售额大幅增长，市占率逐步提高，逐步打破国外厂商占据主要地位的市场格局。
?公司产品更新迭代能力突出
一方面，公司在产品研发设计上充分遵循客户需求导向的理念，根据客户的使用反馈情况，深刻理解客户的核心工艺需求和技术发展趋势，根据客户需
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求并基于现有的技术储备进行产品研发，快速响应客户定制化需求；另一方面，公司在研发过程中不断积累经验，不断突破产品关键技术指标，销售额稳定增长。以半导体专用温控设备为例，公司自主研发并掌握了制冷控制技术、精密控温技术、节能技术等核心技术，并结合温度控制算法，实现半导体前道工序环节温度的快速切换和精准控温。公司突出的产品更新迭代能力保证了产品性能的提升和成本的优化，为打入新客户供应链奠定基础。综上，公司已具备开拓客户的技术能力。2）市场拓展的进展情况，包括与客户的接触洽谈、产品试用与认证、订单情况等?公司已与一批境内主流客户达成合作经过持续努力的产业深耕，公司自主研发的半导体专用设备已成功进入长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、睿力集成等行业知名半导体制造企业，与客户建立了良好的合作关系。在国产替代的背景下，公司凭借良好的产品口碑、和突出的服务能力，公司已进入诸多知名客户供应链体系，市场占有率不断提升。2021年，公司对长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔外的销售收入分别为26,369.80万元、8,477.50万元、1,522.34万元、5,202.50万元；2022年，公司与前述客户持续保持良好合作，销售收入分别为18,833.87万元、9,124.58万元、9,499.14万元、5,400.24万元。?新客户开拓情况公司持续积极拓展新客户，同时加大研发投入，完善产品系列，并积极拓展产品应用领域，增强公司综合实力及市场竞争力，从而减少对大客户的依赖。2022年度，公司拓展了长鑫集电（北京）存储技术有限公司、芯恩（青岛）集成电路有限公司、上海鼎泰匠芯科技有限公司等超过20家新客户，新客户开拓成效显著。报告期内，公司营业收入呈现上涨趋势，且客户集中度整体呈下降趋势。
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截至2022年末，公司在手订单超过11亿元，主要客户包括长江存储、中芯国际、芯恩（青岛）集成电路有限公司、上海鼎泰匠芯科技有限公司、睿力集成等，客户数量超过50家，涵盖半导体专用设备产品型号超过60种，实现了良好的细分技术领域覆盖成效。除长江存储外，其他客户的在手订单7.41亿元，占比超过60%。
此外，公司积极与诸多客户进行初步接洽并积极推进产品验证流程，如公司与下游客户达成合作，将为公司未来收入增长提供更多潜力。
综上，报告期内，发行人新客户开拓成效显著，支撑其业绩持续增长。
2、发行人及其下游客户所在行业是否属于国家产业政策明确支持的领域，相关政策及其影响下的市场需求是否具有阶段性特征，产业政策变化是否会对发行人的客户稳定性、业务持续性产生重大不利影响
（1）发行人及其下游客户所在行业是否属于国家产业政策明确支持的领域
1）发行人所属行业
根据国家统计局颁布的《战略性新兴产业分类(2018)》，公司产品属于“1、新一代信息技术产业”中“1.2电子核心产业”中的“1.2.1新型电子元器件及设备制造-3562*半导体器件专用设备制造”。根据国家发改委颁布的《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》，公司产品属于“1.3.1 集成电路”中的集成电路设备。因此，公司产品属于战略新兴政策重点发展的半导体制造专用设备，所在行业属于国家重点鼓励、扶持的战略性新兴产业。
2）发行人下游客户所属行业
报告期各期，公司半导体专用设备产品的主要客户群体情况如下：
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| 产品类型 | 客户类型 | 主要代表客户 |
| 半导体专用温控设备 | 集成电路制造企业以及集成电路设备制造企业 | 长江存储、中芯国际、华虹集团、绍兴中芯、广州粤芯、睿力集成、北方华创、中微公司等 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 集成电路制造企业 | 长江存储、中芯国际、大连英特尔、广州粤芯、成都高真、厦门士兰集科微电子有限公司、积塔半导体等 |
| 晶圆传片设备 | 集成电路制造企业 | 长江存储、中芯国际、华虹集团、昕原半导体（上海）有限公司等 |
由上表可知，根据《战略性新兴产业分类(2018)》，公司下游客户所在行业属于“1、新一代信息技术产业”中“1.2 电子核心产业”中的“1.2.4集成电路制造-3973*集成电路制造”，属于国家重点鼓励、扶持的战略性新兴产业。3）发行人及其下游客户所在行业是否属于国家产业政策明确支持的领域?发行人所在的半导体行业半导体产业作为新一代信息技术产业的核心组成部分之一，近年来国务院、国家发展改革委、工信部、科技部等部门均出台产业政策重点培育半导体产业，重点支持半导体产业链加快发展步伐，产业政策如2021年12月中共中央网络安全和信息化委员会办公室颁布的《“十四五”国家信息化规划》、2021年8月北京市人民政府颁布的《北京市“十四五”时期高精尖产业发展规划》等。?发行人下游客户所在的集成电路产业集成电路产业是国家战略性产业之一，其发展程度是一个国家科技发展水平的核心指标之一，影响着社会信息化进程，受到政府的大力支持。自2000年以来，我国政府颁布了一系列政策法规，以大力支持集成电路行业的发展，如2021年3月全国人大颁布的《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》，强调“集中优势资源攻关核心技术”；2020
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年《关于促进集成电路产业和软件产业高质量发展企业所得税政策的广告》给予集成电路生产企业或项目一系列税收优惠。综上，发行人及其下游客户所在行业均属于国家产业政策明确支持的领域。
（2）相关政策及其影响下的市场需求是否具有阶段性特征，产业政策变化是否会对发行人的客户稳定性、业务持续性产生重大不利影响1）相关政策不存在明显的阶段性特征集成电路产业作为我国的战略性产业之一，对我国进一步实现产业结构提升、经济增长方式转变意义重大。近年来，国务院、国家发展改革委、工信部等多次颁布相关产业政策，大力推广集成电路等自主软硬件产品，强化集成电路设计、软件开发、系统集成、内容与服务协同创新，鼓励企业攻克高端通用芯片等关键性技术，推动集成电路产业的有序发展。集成电路产业的相关政策属于长期性的激励政策，具有较强的持续性，不存在明显的阶段性特征。
2）发行人所在行业的市场需求不存在明显的阶段性特征
?中国半导体设备行业飞速发展，公司产品市场空间广阔
半导体行业在5G、汽车、电子等行业需求的推动下快速增长，极大地驱动了半导体设备行业的发展。而随着半导体产业的第三次转移，中国大陆半导体行业迸发出巨大的经济活力，晶圆产能快速增长，促进了半导体设备需求的增长。据SEMI统计，2022年全球半导体设备行业市场规模达1,076.40亿美元，2011年至2022年间增长了641.10亿美元，年复合增长率达到8.58%，保持高速增长趋势；而从地区来看，2020年中国大陆的销售金额为187.2亿美元，首次成为全球半导体设备第一大市场，重要性与日俱增。2022年中国大陆的销售金额为282.70亿美元，继续保持全球半导体设备第一大市场地位。
受益于晶圆产能的增长，中国半导体设备市场发展迅速。根据SEMI统计，2022年中国半导体设备行业市场规模达282.70亿美元，2011年至2022年间增
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长了246.20亿美元，年复合增长率达到20.45%。中国半导体设备市场的高速增长，为公司产品提供了巨大的持续性市场需求。?半导体设备国产化带来持续的市场需求目前，半导体设备市场主要由美国、日本厂商主导，我国半导体设备产业整体起步较晚,国产设备的国产化率较低，根据SEMI统计数据显示，2021年国产半导体设备销售额为385.5亿元，仅占中国大陆半导体设备销售额的20.02%，进口依赖程度较高。2019年以来国际环境愈发复杂多变，深刻影响到国家建设集成电路产业链建设，半导体设备国产化诉求增强，中芯国际、华虹集团、广州粤芯等国内晶圆厂在新增产能建设过程中积极导入国产设备，极大拉动国内半导体设备需求。随着国家政策的持续支持和推动，半导体设备未来在技术及产品层面有望快速迭代，加速实现国产替代进程，使得公司产品的市场需求具有持续性。
综上，相关政策及其影响下的市场需求不具有阶段性特征，相关政策及市场需求具有持续性。3）公司具有应对产业政策变化的能力?行业领先的研发能力和管理能力作为国内领先的半导体专用设备供应商，公司高度重视核心技术的自主研发与创新。自成立以来公司紧跟国家政策、行业发展趋势，始终坚持以客户需求为导向的产品战略布局。在经营管理上，公司管理层、研发核心团队和销售团队均拥有多年相关从业经验，具有极强的市场敏锐度，具备根据产业政策和市场需求变化及时调整公司战略和产品方向的能力；在产品研发上，公司产品更新迭代能力突出，不断突破国外技术垄断，实现了相关产品的国产替代，获得下游主流客户认可并得到市场验证。以公司半导体专用温控设备为例，公司通过创造性的两级复叠
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制冷技术，成功实现-70℃超低温温控的同时保证产品性能稳定，满足下游客户的工艺制程要求。上述能力使公司有能力应对可能的产业政策变化。?与客户建立紧密合作报告期内，公司已进入长江存储、中芯国际、华虹集团、北方华创等一系列知名客户的供应链，产品技术获得这些主流客户认可，成为其重要供应商。这些客户均为行业内的领军企业，代表着下游领域前沿的发展趋势，公司与这些业内知名的下游客户联系紧密，一方面已形成了较强的商业粘性，在行业内积累了良好的口碑，具备进一步拓宽业务范围和客户的能力和机会，另一方面可以第一时间掌握市场需求动向，了解下游行业产业政策发展趋势，并根据最新情况及时调整公司产品布局。因此，产业政策变化不会对发行人的客户稳定性、业务持续性产生重大不利影响。
3、对于存在重大依赖的单一客户属于非终端客户的情况，应当穿透核查终端客户的有关情况、交易背景，分析说明相关交易是否具有合理性，交易模式是否符合行业惯例，销售是否真实报告期内，长江存储为直接使用公司产品的终端客户。核查发行人及其主要人员与主要客户及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来
1、核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
（1）访谈了客户，了解了发行人及其主要人员与客户及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来，2019年至2022年各期访谈比例分别为90.65%、83.86%、79.60%和67.49%；
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（2）取得了主要客户明细，查询了客户工商信息、股东信息、董事、监事、高级管理人员名单等；
（3）获取发行人已开立银行结算账户清单，获取发行人报告期内银行流水，关注是否存在银行账户用途以及所发生的流水与发行人业务不匹配的情形，是否存在金额、日期相近的异常大额资金进出的情形，并抽查记账凭证、银行回单等原始单据；
（4）取得并复核了发行人董事、监事、高级管理人员的调查表，核查发行人董事、监事、高级管理人员及其亲属是否和主要客户及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系；
（5）取得发行人董事、监事、高级管理人员、主要业务人员报告期内银行流水和相关人员出具的个人资金流水及关联关系、其他密切关系情况的说明与承诺，根据流水中交易对方、交易金额和交易账户情况逐笔核查和发行人客户及客户主要人员（包括但不限于股东、董事、监事、高级管理人员等）之间是否存在异常资金往来，核查人员、流水完整性具体情况如下：
核查人员：
| 类型 | 公司人数 | 核查人数 | 核查标准 |
| 董事、监事、高级管理人员 | 17 | 14 | 除了3个独立董事外，其余100%核查 |
| 销售及售后支持人员 | 142 | 30 | 中层及以上级别人员100%核查，基层人员按照薪酬水平高低核查人数10%以上； 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例超过50% |
| 研发人员 | 86 | 25 | 中层及以上级别人员100%核查，基层人员按照薪酬水平高低核查人数10%以上； 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例超过50% |
| 管理人员 | 72 | 21 | 中高层及以上级别人员100%核查，中层和基层人员按照薪酬水平高低核查人数10%以上； 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例超过50% |
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| 类型 | 公司人数 | 核查人数 | 核查标准 |
| 合计 | 317 | 90 | - |
注：销售及售后支持人员、研发人员和管理人员中公司高级管理人员重复人数分别为1人、1人和4人；公司人数指2022年末人数。
销售及售后支持人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数占比 | 核查标准 |
| 高层 | 1 | 1 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 8 | 8 | 100% | |
| 中层 | 9 | 9 | 100% | |
| 基层 | 124 | 12 | 10% | 按照薪酬水平高低核查人数10%以上 |
| 合计 | 142 | 30 | 21% | 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例达到51% |
注：高层指副董事长、总经理、副总经理等，中高层指部门总监等，中层指部门部长、副部长、经理等，基层指其他员工，下同。
研发人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数 占比 | 核查标准 |
| 高层 | 1 | 1 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 5 | 5 | 100% | |
| 中层 | 9 | 9 | 100% | |
| 基层 | 71 | 10 | 14% | 按照薪酬水平高低核查人数10%以上 |
| 合计 | 86 | 25 | 29% | 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例达到51% |
管理人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数占比 | 核查标准 |
| 高层 | 5 | 5 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 8 | 8 | 100% | |
| 中层、基层 | 59 | 8 | 14% | 按照薪酬水平高低核查人数10%以上 |
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| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数占比 | 核查标准 |
| 合计 | 72 | 21 | 29% | 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例达到67% |
流水完整性情况：
核查银行范围包括中国工商银行、中国农业银行、中国银行、中国建设银行、交通银行、中国邮政储蓄银行、招商银行、兴业银行、浦发银行、中信银行、平安银行、民生银行、光大银行、华夏银行、广发银行、北京/上海/武汉/芜湖市当地银行或农商行。我们取得核查人员的银行流水，以及未提供流水银行的个人无开立银行账户证明。部分中层和基层业务人员等出于个人隐私考虑，未提供名下银行流水，我们取得了相关人员出具的个人资金流水及关联关系、其他密切关系情况的说明与承诺，确认个人与公司客户、供应商及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或资金往来。
2、核查意见
经核查，我们认为：
报告期内，发行人及其主要人员与主要客户及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来。
客户采购后的使用情况、是否处于正常运行状态及依据，说明相关核查措施、范围、比例和结论
1、 核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
（1）访谈了发行人管理层；
（2）访谈了发行人主要客户，了解了双方合作背景、客户对发行人产品评价、使用产品情况、产品验收安排等，主要客户反馈公司产品质量和技术有
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一定优势、未来拟继续开展业务合作、报告期内不存在产品质量问题，2019年至2022年各期客户访谈比例分别为90.65%、83.86%、79.60%和67.49%；
（3）取得并核查了发行人主要客户半导体专用设备的验收单，检查了验收单中产品序列号、规格型号、数量、验收人员、安装日期和验收日期等信息，复核产品基本信息、验收日期和收入确认信息是否一致，设备安装日期和验收日期有无异常等，核查范围为报告期内销售收入排名前十大的客户以及其他销售规模较大的客户，2019年至2022年各期半导体专用设备验收单核查设备数量分别为812台、1,158台、1,530台和1,938台，核查比例分别为99.88%、96.74%、
98.90%和99.03%；
（4）现场查看了客户现场发行人半导体专用设备运行情况和工艺设备适配情况，查看了半导体专用设备和适配工艺设备的运行状态（主要通过观察设备预警灯、查看操作界面等方式），2019年至2022年各期现场查看半导体专用设备数量分别为602台、853台、1,056台和1,230台，占发行人各期半导体专用设备销售数量的比例分别为74.05%、71.26%、68.26%和62.85%；检查了发行人与主要客户沟通的设备定期巡检记录（记录了设备主要参数指标、运行状态情况），确认设备运行是否正常；
（5）查看报告期内以及报告期后发行人与主要客户新签订单明细和交易持续性情况，分析发货、验收、签订订单情况，与客户产能需求情况对比，分析主要客户的持续合作性，以佐证公司已销售产品的使用情况；
（6）核查了报告期内及报告期后半导体专用设备退货情况；
2、 核查意见
经核查，我们认为：
报告期内，客户采购发行人半导体专用设备后，设备投入产线正常使用，设备处于正常运行状态。
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问题4.关于供应商根据首轮问询回复，（1）部分供应商成立不久即成为发行人主要供应商，如香河海春、万维克林等，部分供应商员工人数较少，注册资本和实收资本较少，但经营规模较大、为发行人提供的材料规模较大；（2）2021年原材料采购规模大幅上升，占收入的比例异常高于其他年度；部分供应商主要为发行人服务，如香河海春、万维克林、北京豪拓等，部分供应商的注册地和经营地均位于上海；（3）报告期内发行人存在委托香河海春采购原材料的情况，部分原材料存在同时委托采购和直采的情况，2021年因京仪装备阶段性停工，产能转移至安徽京仪，委托采购的情况大幅减少，但2022年上半年有所上升；（4）香河海春与万维克林存在关联关系，报告期内，发行人向上述供应商采购各类原材料的金额变化较大。请发行人说明：（1）发行人选择供应商的标准，主要供应商从事生产业务还是贸易业务，部分供应商成立不久即成为发行人主要供应商的原因；在员工人数较少、注册资本和实缴资本较少的情况下，供应商经营规模较大、能够满足发行人采购需求的原因；（2）2021年采购规模大幅上升的原因；按原材料类别，说明主要供应商情况，是否对特定供应商存在依赖及依据；
（3）香河海春、万维克林、北京豪拓等成立之初即与发行人合作并主要为发行人服务的合理性，发行人与其建立合作前的主要供应商，转换供应商的原因，在发行人主要经营地在北京的情况下，选择较多上海供应商的合理性，发行人与上述供应商是否存在关联关系、其他密切关系和异常资金往来；（4）发行人委托香河海春采购的原材料内容，采购价格与直采的差异、香河海春的毛利率，委托采购的原因及合理性，是否存在利益输送的情况，采购数量与BOM清单的匹配性，同时直采和委托采购的情况及原因；（5）产能转移后，委托采购减少的原因、对应直采增加的情况，但仍存在部分委托采购、2022年1-6月进一步上升的原因；（6）发行人向万维克林采购是否与香河海春有关，二者是否存在为发行人承担成本的情况，向香河海春、万维克林采
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购各类原材料（包括外协加工）金额变化的原因，与收入增长的匹配性；（7）具体说明发行人向主要供应商（包括外协）采购价格的公允性，物流与资金流的匹配性，发行人及其主要人员与主要供应商及其主要人员之间是否存在关联关系或异常资金往来。请保荐机构和申报会计师核查供应商的生产经营情况，上述（7）涉及的内容，以及香河海春、万维克林及其主要人员与发行人主要客户及其主要人员之间是否存在关联关系或异常资金往来，是否存在代垫成本或资金体外循环的情况，说明相关核查措施、比例、依据和结论，并对上述事项发表明确意见。回复：
一、发行人说明
（一）发行人选择供应商的标准，主要供应商从事生产业务还是贸易业务，部分供应商成立不久即成为发行人主要供应商的原因；在员工人数较少、注册资本和实缴资本较少的情况下，供应商经营规模较大、能够满足发行人采购需求的原因
1、发行人选择供应商的标准，主要供应商从事生产业务还是贸易业务，部分供应商成立不久即成为发行人主要供应商的原因
（1）发行人选择供应商的标准
公司选择主要供应商主要以产品质量、供应能力、服务水平、价格等作为筛选的标准，具体而言主要包括：
①产品质量：主要考察供应商是否具备完善的资质和质量控制管理体系，以满足公司对产品质量的要求；
②供应能力：主要考察供应商的供货及时性以及供货规模能否满足公司的生产需求；
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③服务水平：主要考察供应商订单响应能力、技术支持能力、售后服务能力等服务水平；
④价格：在产品质量、供应能力、服务水平满足公司需求的情况下，公司将选择更具价格优势的供应商。
（2）主要供应商从事生产业务还是贸易业务，部分供应商成立不久即成为发行人主要供应商的原因
2019年度至2022年度，公司主要供应商从事生产和贸易的具体情况如下表所示：
| 主要供应商 | 生产业务/贸易业务 | 公司采购的具体情况 | |
| 香河海春 | 同时从事生产与贸易业务 | 公司委托香河海春完成半导体专用温控设备组件组装，并采购重要程度相对较低的物料和耗材 | |
| 上海凯曦 | 贸易业务 | 公司主要采购其代理销售的3M公司等品牌的氟化液 | |
| 上海典熙 | 贸易业务 | 公司主要采购其代理销售的境外品牌PLC套件类材料 | |
| 万维克林 | 生产业务 | 公司主要采购其自主生产的清洗机等产品 | |
| 全谷制冷 | 同时从事生产与贸易业务 | 同时从事境外品牌压缩机和阀件的分销和压缩冷凝机组制造，同时还可提供非标定制业务，公司主要向其采购由公司定制的制冷系统 | |
| 北京豪拓 | 生产业务 | 主要从事真空设备、真空零部件、半导体设备零部件的生产和销售业务，公司主要向其采购由公司定制的机械加工件 | |
| 明尼苏达矿业制造（上海） | 贸易业务 | 作为3M公司在中国境内的子公司和产品销售主体，公司主要向其采购3M公司品牌氟化液 | |
| 晟瑞斯 | 贸易业务 | 公司主要向其采购其代理销售的境外品牌的机械标准件材料 | |
| 合肥新沪 | 生产业务 | 作为上市公司浙江大元泵业股份有限公司(603757.SH)的全资子公司，公司主要采购其自主生产的泵类产品 | |
| 上海桐香 | 生产业务 | 公司主要采购其自主生产的加热带产品 | |
| 上海蔚福 | 生产业务 | 公司主要采购其自主生产的管材类产品 | |
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公司主要供应商中，成立不久即成为公司主要供应商的企业包括香河海春、万维克林、上海典熙、北京豪拓和晟瑞斯，公司与其合作的背景具体如下：
① 香河海春
香河海春成立于2016年，其主要负责人韦海玉拥有较为丰富的半导体行业零部件组装、电镀、装配等环节的经验。韦海玉2008年开始从事专用设备及零部件组装、电镀、装配业务至今，曾于北京海春达信电镀设备有限公司任职并从事相关工作，于2015年设立北京海春达信科技有限公司并成为北京自动化院的合格供应商，后于2016年将生产主体整体搬迁至河北地区并担任香河海春的业务负责人，由北京海春达信科技有限公司从事机械加工件的生产制造业务，香河海春主要从事机械设备的组装、装配服务和电气元件的销售且通过了GB/T 19001-2016/ISO 9001:2015质量管理体系认证。在公司设立后，公司综合考虑北京自动化院与北京海春达信科技有限公司的合作历史，基于半导体专用温控设备的组件组装需求，经遴选和评估将香河海春认定为合格供应商并委托香河海春完成半导体专用温控设备组件组装，并向其采购重要程度相对较低的物料和耗材。
双方开展合作后，由香河海春依据公司提供的图纸和作业指导书完成组件组装的半导体专用温控设备组装质量良好，且能够满足公司对供应及时性的需求，公司基于供货质量、供应及时性以及保密管理的要求，选择与香河海春保持长期稳定的合作关系。
②万维克林
万维克林成立于2018年，主要从事半导体清洗机业务，可为晶圆、管路、零部件等提供维护和清洗服务，且通过了ISO9001:2015质量管理体系认证，拥有多项与清洗机业务相关的实用新型专利，距离公司主要经营地北京市距离较近，供应能力较好。万维克林主要管理人员曾任职于日本CKD株式
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会社等半导体行业企业，除了向公司供应相关产品外，自其成立以来，万维克林持续为中芯国际、北方华创、中国电子科技集团等客户提供产品，行业经验较为丰富。公司综合评估其提供的产品质量情况、供货及时性等方面，经遴选和评估将万维克林认定为合格供应商，公司向万维克林采购的清洗机、储存柜等产品质量较好、供应稳定。
③上海典熙
上海典熙成立于2016年，主营业务为代理销售流量、压力、液位、皮带称、阀门等自动化过程仪表。公司由于存在PLC套件类材料的采购需求，了解到上海典熙为境外品牌PLC产品的主要签约代理商之一，产品供应渠道正规且供应及时性和供货质量较为稳定，因此，公司经遴选和评估将上海典熙认定为合格供应商并向其采购PLC套件类材料，材料质量较好、供应稳定。
④北京豪拓
北京豪拓成立于2016年，其实际控制人、总经理隗功杰2006年起任职于普发真空（上海）有限公司，长期从事专用设备及精密零部件行业，2016年隗功杰及团队设立北京豪拓从事专用设备、真空零部件、半导体设备零部件的加工、生产和销售。2017年公司与北京豪拓因展会结识后，公司综合评估后将北京豪拓认定为合格供应商，公司主要向其采购定制化机械加工件、零部件。公司半导体专用工艺废气处理设备研发初期即与北京豪拓对接机械加工件生产的需求，北京豪拓基于公司提供的图纸和参数为公司提供的各类机械加工件样品能够满足公司产品的应用需求，因此选择其作为公司主要机械加工件供应商并保持长期合作关系，其供应的机械加工件材料质量较好、供应稳定。
⑤晟瑞斯
晟瑞斯成立于2016年，主营业务为代理销售境外品牌的机械标准件产品。公司存在密封圈等机械标准件的采购需求，由于晟瑞斯为境外品牌机械
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标准件的授权代理商之一，产品供应渠道正规且供应及时性和供货质量较为稳定，因此，公司经遴选和评估将晟瑞斯认定为合格供应商并向其采购机械标准件。
2、在员工人数较少、注册资本和实缴资本较少的情况下，供应商经营规模较大、能够满足发行人采购需求的原因
2019年度至2022年度，公司主要供应商中员工人数较少、注册资本和实缴资本较小的企业为上海典熙、香河海春、上海凯曦、北京豪拓、晟瑞斯和上海蔚福。
上海典熙为境外品牌PLC产品的代理商，上海凯曦为3M品牌氟化学品材料的代理商，晟瑞斯为境外品牌机械标准件的代理商，三家供应商主要从事贸易代理业务，由于贸易类相关业务不需要大量的资本投入，亦不需要组织大规模的人工投入生产，三家供应商员工人数和注册资本较少具备合理性。
上海蔚福是多家半导体设备企业的合格供应商，其股东同时控制浙江蔚福科技股份有限公司。浙江蔚福科技股份有限公司主要从事金属软管等产品，注册资本为1,000万元，厂房面积约4,500平方米，拥有波纹管全自动焊接专机、软管全自动焊接专机等生产设备，员工人数约60人，能够满足公司的采购需求。上海蔚福是其股东同一控制下销售主体，员工人数和注册资本较少具备合理性。
公司与香河海春、北京豪拓建立合作关系的背景详见本问题之“一/（一）/1”。香河海春厂房面积超过3,000平方米，拥有立式加工中心、数控车床、电火花设备、立体加工铣床等生产设备，员工人数超过120人。北京豪拓厂房面积约4,000平方米，拥有数控车床、立式加工中心、切割机床等自动化或半自动化生产设备，员工人数超过50人，两家供应商具备为公司供应的必备生产条件。香河海春和北京豪拓均为非公众公司，组织形式和股权结构较为简单，经营资金主要来自经营积累或股东日常投入，且其从事的基础加
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工业务一般通过订单式生产的方式进行，经营规模和供应能力与注册资本的关联度较低。香河海春和北京豪拓的管理团队拥有较为丰富的泛半导体行业从业经验，产品质量、供应能力和服务水平能够满足公司产品的需求，且选择中小型供应商在沟通效率、保密管理等方面对公司而言更具优势。综上，部分员工人数较少、注册资本和实缴资本较少的供应商中生产型供应商具备生产所需设备，生产人数能够匹配其产能，具备为发行人供应的必备生产条件，公司与相关供应商的合作具备商业合理性。
（二）2021年采购规模大幅上升的原因；按原材料类别，说明主要供应商情况，是否对特定供应商存在依赖及依据
1、2021年采购规模大幅上升的原因
2019年度至2022年度，公司原材料采购金额、营业收入和当年新签销售订单金额的具体情况如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 原材料采购金额 | 68,125.82 | 48,428.91 | 25,124.78 | 17,734.79 |
| 营业收入 | 66,372.32 | 50,137.21 | 34,879.78 | 23,096.60 |
| 当年新签销售订单金额 | 144,619.69 | 74,049.84 | 41,001.91 | 26,405.96 |
| 原材料采购金额/营业收入 | 102.64% | 96.59% | 72.03% | 76.79% |
| 原材料采购金额/当年新签销售订单金额 | 47.11% | 65.40% | 61.28% | 67.16% |
公司对原材料的采购需求主要来源于销售订单，在销售订单完成签署后，公司完成生产投产和材料采购计划的制定和原材料的采购、入库工作。原材料采购入库后，经产品生产、产品入库、产品出库和产品验收等多个环节最终实现销售收入，一般而言产品生产周期为1至2个月，产品客户验收周期约为3至6个月，原材料采购与实现营业收入的间隔周期约为5至9个月。
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因此，公司采购金额与收入金额不完全同步增长主要受到各年度客户验收存在一定周期、收入确认与采购交易之间存在时间性差异的影响。公司签署销售订单并确定生产计划后，一般而言原材料到货周期为1至3个月，原材料采购入库时点与销售订单签署时点整体上更为接近，2019年至2022年，公司原材料采购金额占当年新签销售订单金额的比例分别为
67.16%、61.28%、65.40%和47.11%。2019年度、2020年度和2021年度，公司原材料采购金额占当年新签销售订单金额的比例相对接近，2021年度原材料采购金额大幅增长的主要原因为2021年度公司新签销售订单金额较上年度快速增长，公司基于对未来市场前景的良好预期，增加了产品投产和原材料采购、备货规模。2022年度，公司下半年新签订单金额较高，部分订单尚未下达投产计划，另一方面公司受内外部环境因素影响，2022年11月和12月材料入库金额相对较低，导致原材料采购金额占当年新签销售订单金额的比例有所下降。综上，公司2021年度采购规模大幅上升具备合理性。
2、按原材料类别，说明主要供应商情况，是否对特定供应商存在依赖及依据公司不同类别主要原材料的主要供应商情况具体如下：
（1）氟化液
公司氟化液材料的主要供应商情况具体如下：
单位：万元
| 供应商 | 采购金额 | |||
| 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |
| 明尼苏达矿业制造（上海） | 7,455.86 | 2,363.71 | 344.96 | - |
| 上海凯曦 | 322.41 | 271.75 | 2,541.02 | 2,076.58 |
| 供应商A | 902.76 | 1,145.91 | 395.95 | 133.19 |
| 合计 | 8,681.03 | 3,781.37 | 3,281.93 | 2,209.77 |
8-2-2-61
公司主要向明尼苏达矿业制造（上海）、上海凯曦和供应商A采购氟化液材料。上海凯曦为3M公司在中国境内的代理商，明尼苏达矿业制造（上海）为3M公司境内子公司，2021年以前，公司主要向上海凯曦采购氟化液；2021年开始，公司主要向明尼苏达矿业制造（上海）采购氟化液，公司与主要供应商的合作较为稳定。公司主要使用的氟化液材料来源于明尼苏达矿业制造（上海）销售的3M品牌，其产品在绝缘性、换热特性等方面表现较好，公司对其存在一定依赖性。公司已开始推进国产氟化液材料的应用工作，以降低对境外品牌的依赖程度。
（2）PLC套件
公司PLC套件材料的主要供应商情况具体如下：
单位：万元
| 供应商 | 采购金额 | |||
| 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |
| 上海典熙 | 4,456.56 | 3,719.07 | 1,874.83 | 1,238.02 |
| 供应商B | 764.45 | 736.85 | 427.89 | 321.78 |
| 供应商C | 284.49 | 408.48 | - | - |
| 合计 | 5,505.50 | 4,864.40 | 2,302.72 | 1,559.80 |
公司主要向上海典熙、供应商B和供应商C采购PLC套件材料，公司与主要供应商的合作较为稳定。公司对上海典熙的采购规模相对较高，主要原因在于其供应及时性和供货质量较为稳定，由于市场上PLC套件材料的品牌及销售PLC套件材料的贸易代理商数量众多，公司对PLC套件材料的供应商不存在依赖。
（3）阀类
公司阀类材料的主要供应商情况具体如下：
单位：万元
| 供应商 | 采购金额 |
8-2-2-62
| 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |
| 供应商D | 2,268.93 | 1,632.06 | 905.81 | 485.41 |
| 供应商E | 597.75 | 355.39 | 172.99 | 48.18 |
| 供应商F | 318.72 | 123.63 | 1.52 | 77.38 |
| 合计 | 3,185.39 | 2,111.08 | 1,080.31 | 610.96 |
公司主要向供应商D、供应商E和供应商F采购阀类材料，公司与主要供应商的合作较为稳定。公司对供应商D的采购规模相对较高，采购内容主要为公司定制生产的半导体专用工艺废气处理设备使用的阀门，公司能够通过向其他供应商提供图纸的方式实现相关材料的采购，对主要供应商不存在依赖。
（4）泵类
公司泵类材料的主要供应商情况具体如下：
单位：万元
| 供应商 | 采购金额 | |||
| 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |
| 供应商G | 3,090.33 | 1,643.17 | 581.57 | 110.11 |
| 合肥新沪屏蔽泵有限公司 | 163.49 | 399.79 | 885.26 | 778.22 |
| 供应商H | 232.21 | 175.17 | 84.72 | 53.87 |
| 合计 | 3,486.03 | 2,218.13 | 1,551.55 | 942.20 |
公司主要向供应商G、合肥新沪屏蔽泵有限公司和供应商H采购泵类材料。2019年度和2020年度，公司主要向合肥新沪屏蔽泵有限公司采购泵类材料，在综合考虑自身需求、性能、价格等因素综合考虑逐渐转为向供应商G采购泵类材料，对合肥新沪屏蔽泵有限公司的采购金额逐渐减少。由于市场上能够提供泵类材料的可选择供应商较多，且泵类材料主要为公司的定制部件，公司对泵类材料的主要供应商不存在依赖。
（5）制冷系统
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公司制冷系统的主要供应商情况具体如下：
单位：万元
| 供应商 | 采购金额 | |||
| 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |
| 全谷制冷 | 2,699.63 | 2,091.37 | 1,808.75 | 614.90 |
制冷系统系公司提供图纸设计定制的由压缩机等器件组成的实现制冷功能的模块组件，公司主要向全谷制冷定制制冷系统，与全谷制冷的合作较为稳定。全谷制冷为规模较大的压缩机器件分销商且具备非标定制业务的生产能力，自建立合作以来，全谷制冷在产品质量、供应能力、服务水平以及价格等方面均具有一定优势，公司能够通过向其他供应商提供图纸的方式实现制冷系统的采购，对主要供应商不存在依赖。
（6）加热带
公司加热带的主要供应商情况具体如下：
单位：万元
| 供应商 | 采购金额 | |||
| 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |
| 供应商I | 1,467.95 | 943.39 | 54.03 | - |
| 供应商J | 691.34 | 716.87 | 22.83 | - |
| 供应商K | - | - | - | 134.78 |
| 合计 | 2,159.28 | 1,660.26 | 76.86 | 134.78 |
2020年度以前，公司主要向供应商K采购马拉松型号半导体专用工艺废气处理设备产品使用的加热带。2020年度，公司自研半导体专用工艺废气处理设备开始批量生产销售后，公司主要向供应商I和供应商J采购加热带，公司加热带材料的主要供应商均从事加热组件的生产，公司亦已储备潜在的加热组件供应商为公司提供试制产品，公司对加热带的主要供应商不存在依赖。
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（三）香河海春、万维克林、北京豪拓等成立之初即与发行人合作并主要为发行人服务的合理性，发行人与其建立合作前的主要供应商，转换供应商的原因，在发行人主要经营地在北京的情况下，选择较多上海供应商的合理性，发行人与上述供应商是否存在关联关系、其他密切关系和异常资金往来
1、香河海春、万维克林、北京豪拓等成立之初即与发行人合作并主要为发行人服务的合理性，发行人与其建立合作前的主要供应商，转换供应商的原因
香河海春、万维克林、北京豪拓和晟瑞斯成立之初即与公司合作的背景详见本问题之“一/（一）/1”。香河海春、万维克林、北京豪拓和晟瑞斯与公司的交易规模占其同类业务比例接近或超过50%。自上述供应商成立以来，历年公司采购金额以及占上述供应商当年收入比例的情况具体如下：
单位：万元
| 供应商 | 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | 2018年度 | 2017年度 |
| 香河海春 | 采购金额 | 5,894.21 | 3,396.29 | 5,758.15 | 2,718.38 | 1,741.98 | 636.71 |
| 占供应商当年收入比例 | 约80% | 约80% | 约80% | 约80% | 约80% | 约80% | |
| 万维克林 | 采购金额 | 2,641.53 | 1,259.04 | 362.01 | 879.60 | 201.38 | - |
| 占供应商当年收入比例 | 约50% | 约50% | 约40% | 约50% | 约10% | - | |
| 北京豪拓 | 采购金额 | 4,050.29 | 2,551.66 | 1,220.22 | 450.94 | 30.72 | 0.58 |
| 占供应商当年收入比例 | 约40% | 约40% | 约40% | 约30% | 约30% | 约1% | |
| 晟瑞斯 | 采购金额 | 751.18 | 1,103.60 | 663.10 | 880.32 | 1,042.70 | 1,743.64 |
| 占供应商当年收入比例 | 约40% | 约50% | 约40% | 约50% | 约60% | 约60% |
（1）香河海春
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2017年，公司选择通过外协加工完成半导体专用温控设备组件组装工序，针对早期需要进行外协组装的型号，综合评估不同供应商的意向报价进行了比价评审，香河海春的报价为含税价格约80元/小时，其他供应商含税报价区间为约85元/小时-100元/小时，因此公司初步选定组装供应商为香河海春；2017年5月，香河海春按照作业指导书完成了首批16台半导体专用温控设备的组件组装，且能够满足公司对组装质量的要求，因此，公司确定香河海春为组件组装环节的外协供应商，公司向香河海春的采购规模逐年上升，公司与香河海春建立合作前不存在其他的半导体专用温控设备组装外协供应商。公司与香河海春采购价格的公允性详见本回复之“问题4/一/（四）”和“问题4/一/（七）”。
由香河海春依据公司提供的图纸和作业指导书完成组件组装的半导体专用温控设备组装能够满足公司对组装质量的要求，随着公司半导体专用温控设备产品组件组装的外协采购需求的增加，香河海春能够在保障产品组装质量的同时满足公司对供应及时性的需求，公司基于供货质量、供应及时性、服务水平以及保密管理的要求，选择与香河海春保持长期稳定的合作关系并成为其主要客户，香河海春亦选择优先保障公司的采购供应。公司向香河海春提供的图纸包括组件组装的图纸和作业指导书，通过采购合同中的保密条款并签署保密协议对保密事项作出了约定：
①公司存放于香河海春处的货物样品、相关技术图纸资料、技术信息等的所有权和知识产权归公司所有，香河海春不可泄露给任何第三方，如因香河海春泄露所产生的损失，公司有权要求香河海春进行赔偿；
②香河海春不得利用公司存放于香河海春处的货物样品、相关技术图纸资料、技术信息等为自己或第三方加工相同或相似货物产品，如香河海春违反本条约定，香河海春需赔偿公司由此遭受的全部经济损失。
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截至目前，尚未发生过供应商技术泄密的事件，公司已形成了有效的技术保密措施，将相关图纸、作业指导书提供给香河海春的泄露风险可控。
（2）万维克林
公司因存在清洗机等支持性设备的采购需求，与万维克林接洽后向其进行采购。上述支持性设备的采购需求来源于客户向公司下达的采购订单，公司首次获得订单后寻找能够满足客户端要求的合格供应商。2018年7月起，公司向万维克林采购了首批清洗机产品共6台，确认万维克林提供的清洗机产品符合客户端的需求后开始向万维克林采购相关支持性设备，因此，在客户未向公司提出采购需求前，公司未寻找清洗机的供应商，双方合作前公司不存在其他的清洗机供应商，公司采购占其同类产品业务比例约50%。万维克林向公司提供的清洗机产品能够满足公司对产品功能、参数、质量和售后服务的要求，因此公司选择万维克林作为清洗机等支持性设备的供应商并保持长期合作关系，万维克林亦由于公司对相关产品的需求量较大，选择优先保障公司产品的供应。
公司向万维克林累计采购金额占比最高的三种型号的物料平均单价与公司向第三方供应商的询价结果具体如下：
单位：万元/台、万元/根
| 材料名称 | 规格型号 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | 第三方供应商询价单价 |
| 超声波清洗机 | 型号A | 23.79 | - | - | - | 25.66 |
| 清洗机 | 型号B | 30.14 | 30.14 | - | - | 32.07 |
| 管线桥架 | 单轨桥架 | 1.24 | 1.24 | - | - | 1.36 |
公司向第三方供应商的询价结果为意向报价，与公司向万维克林的采购单价相比差异较小，整体单价较为接近，公司向万维克林的采购价格具备公允性。
（3）北京豪拓
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公司存在半导体专用工艺废气处理设备机械加工件的采购需求，与北京豪拓接洽后向其进行采购，双方合作前公司存在向芜湖泰驰商贸有限责任公司采购半导体专用工艺废气处理设备机械加工件的情形，公司综合评价供货质量、交付效率等指标，2021年起已不再与芜湖泰驰商贸有限责任公司进行合作。公司半导体专用工艺废气处理设备研发初期，需要由供应商依据公司提供的图纸和参数完成机械加工件的制造与供应，在前期研发对接过程中，北京豪拓能够按照公司的要求为公司提供小批量样品试制，且为公司提供的各类机械加工件样品能够满足公司自研产品的应用需求，因此公司选择转换供应商，以北京豪拓作为主要机械加工件供应商并保持长期合作关系。随着公司半导体专用工艺废气处理设备生产需求的增加，公司对北京豪拓的采购随之增加并成为其主要客户，北京豪拓亦将主要产能分配给公司的产品，导致公司采购展期同类产品业务比例较高。公司向北京豪拓累计采购金额占比最高的三种型号的物料平均单价与公司向第三方供应商的询价结果具体如下：
单位：万元/个
| 材料名称 | 规格型号 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | 第三方供应商询价单价 |
| 反应腔外腔 | 型号F | 0.42 | 0.42 | 0.44 | 0.48 | 0.45 |
| 洗涤塔下部 | 型号G | 0.28 | 0.28 | 0.27 | 0.21 | 0.29 |
| 火炬头托架 | 型号H | 0.21 | 0.21 | 0.24 | 0.22 | 0.22 |
公司向第三方供应商的询价结果与公司向北京豪拓的采购单价相比基本不存在差异，公司向北京豪拓的采购价格具备公允性。
（4）晟瑞斯
公司由于收到客户的密封圈等零配件的采购订单，需向境外品牌零部件代理商采购相关零配件。公司获悉晟瑞斯为境外品牌的授权代理商后自2016年开始向其进行采购，双方合作前公司不存在其他的同类物料供应商。由于
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晟瑞斯为境外品牌密封圈的授权代理商之一，产品供应渠道正规且供应及时性和供货质量较为稳定，公司选择与晟瑞斯保持长期稳定的合作关系并成为其主要客户，晟瑞斯提供的产品能够满足公司的采购需求。
公司向晟瑞斯累计采购金额占比最高的三种型号的物料平均单价与公司向第三方供应商的询价结果具体如下：
单位：万元/个
| 材料名称 | 规格型号 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | 第三方供应商询价单价 |
| 密封阀门板 | 型号O | 0.93 | 0.93 | 0.93 | 0.96 | 0.94 |
| 阀门密封圈 | 型号P | 0.35 | 0.35 | 0.35 | 0.35 | 0.37 |
| 密封圈 | 型号Q | 0.66 | 0.66 | 0.66 | 0.69 | 0.68 |
公司向第三方供应商的询价结果与公司向晟瑞斯的采购单价相比基本不存在差异，公司向晟瑞斯的采购价格具备公允性。
可比公司关于部分前五大供应商或主要供应商的公开披露情况具体如下：
| 公司简称 | 供应商名称 | 注册资本 | 成立时间 | 合作时间 | 人员规模 | 采购材料类别 |
| 芯源微 | 沈阳市南峰精密机械厂 | 个体工商户 | 2011年 | 2011年 | 少于50人 | 机械加工件 |
| 沈阳市于洪区华业金属装饰制品厂 | 个体工商户 | 2002年 | 2012年 | 少于50人 | 机械加工件 | |
| 沈阳艾斯利德机电设备有限公司 | 50万元 | 2010年 | 2011年 | 少于50人 | 电机 | |
| 华海清科 | 天津精芯机械设备制造有限公司/天津精工机械设备制造有限公司 | 500万元/100万元 | 2017年/2016年 | 2018年 | 少于50人 | 零部件 |
| 至纯科技 | 上海皓韬流体设备有限公司 | 100万元 | 2011年 | 2012年 | 少于50人 | 阀门 |
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根据可比公司芯源微、华海清科和至纯科技的公开披露，上述可比公司同样存在部分零部件供应商或加工供应商为个体工商户或注册资本较低、成立之初即与可比公司合作、员工人数较少并成为可比公司前五大供应商或主要供应商的情形，可比公司北方华创亦披露了培育某中小型加工企业成长为其金属加工类的最大供应商的情况。综上，半导体设备厂商选择中小型加工供应商的情况属于普遍现象。
公司向晟瑞斯和万维克林采购的密封圈、清洗机等零配件和支持性设备的采购需求来源于下游客户的采购订单，公司确认供应商提供的支持性设备产品或代理销售的境外品牌原材料能够满足客户的需求后，基于产品供应稳定性的考虑向上述供应商持续进行采购。
公司向香河海春和北京豪拓采购的组件组装服务和机械加工件的生产属于通用技术，但由于公司产品属于半导体专用设备，产品组装存在一定的组装难度，产品使用的机械加工件的生产需要一定的加工精度。香河海春的主要管理团队具备十余年的半导体及先进制造服务经验，香河海春同一控制下的兄弟公司香河博阳达信设备机械有限公司主要客户包括北方华创、华海清科等半导体设备企业，香河海春团队是业内组装和加工经验较为丰富的专业团队之一；北京豪拓的主要管理团队曾长期从事真空零部件、半导体设备零部件的加工业务，具备丰富的零部件加工经验。上述供应商同时还具备从事组装、加工业务相关生产场地、生产设备和生产人员，能够满足公司的采购需求。
公司采购的组装服务和机械加工件存在品种较多、交付周期较短等特点，由于公司成立初期业务规模整体较小，对大型的加工厂商而言为公司分配产能并快速交付的业务吸引力较低，在香河海春和北京豪拓具备充足的生产场地并配臵相关设备能够满足公司生产需求的情况下，公司在成立初期选择上述中小型供应商进行采购具备合理性。上述供应商并非专门为公司设立，公司成立初期业务规模较小，经逐步的对接、认证向上述供应商进行采购，综
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合考虑沟通效率、交付及时性、合作意愿、供货质量等因素向上述供应商采购具有合理原因；随着公司业务规模的增长，基于保密原则公司与组件组装服务和机械加工件供应商建立了稳定的合作关系，采购规模整体上呈上升趋势，上述供应商亦选择优先分配产能满足公司的采购需求。未来随着公司在研及新研制半导体专用温控设备产品的升级迭代，对零部件的标准程度以及生产过程的精度控制提出了更高的要求，公司将根据未来募投项目实施后根据实际生产能力以及产品结构确定向上述供应商的采购规模，供应商亦可根据自身的发展规划自主决策产能分配情况。综上，上述供应商并非专为公司设立，公司向上述供应商的采购价格具备公允性，公司与上述供应商之间不存在利益输送，上述供应商及其实际控制人、主要人员、关联方与发行人客户、供应商及其关联方不存在关联关系。香河海春、万维克林、北京豪拓和晟瑞斯成立之初即与公司合作并主要为公司服务，一方面由于上述供应商能够在产品质量、供应能力、服务水平等方面满足公司对供应商的要求，另一方面上述供应商亦存在为中芯国际、北方华创、华海清科、中国电子科技集团等客户提供产品或服务，向公司的销售规模占其自身比例较高属于供应商基于公司逐渐提升的供应需求做出的经营策略选择，公司与上述供应商的合作具备合理性。
2、在发行人主要经营地在北京的情况下，选择较多上海供应商的合理性，发行人与上述供应商是否存在关联关系、其他密切关系和异常资金往来公司与主要上海供应商的合作原因具体如下：
| 供应商 | 选择上海供应商的原因 |
| 上海凯曦 | 公司存在3M公司品牌氟化液采购需求，上海凯曦为3M公司在中国境内的主要代理商之一，作为代理商其注册地选择在上海，方便开展代理业务，符合代理商行业惯例 |
| 明尼苏达矿业制造（上海） | 公司存在3M公司品牌氟化液采购需求，3M公司在中国境内销售主体选择注册地在上海，方便在国内展业 |
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| 供应商 | 选择上海供应商的原因 |
| 上海典熙 | 公司存在PLC套件等原材料的采购需求，上海典熙为境外品牌PLC产品的主要签约代理商之一，作为代理商其注册地选择在上海，方便开展代理业务，符合代理商行业惯例 |
| 全谷制冷 | 公司存在制冷系统采购需求，全谷制冷为规模较大的压缩机器件分销商且具备非标定制业务生产能力，且距离安徽京仪所在地芜湖市较近 |
| 上海桐香 | 公司存在加热带采购需求，上海桐香从事加热组件的生产，距离半导体专用工艺废气处理设备生产基地安徽京仪所在地芜湖市较近 |
| 上海蔚福 | 公司存在金属软管等管材类原材料的采购需求，上海蔚福为其股东同一控制下销售主体，其股东同一控制下生产主体浙江蔚福科技股份有限公司在金属软管、波纹金属软管等领域拥有较强的技术能力，其股东将销售主体设臵在上海有利于其展业，且距离安徽京仪所在地芜湖市较近 |
公司对产品交付效率较为重视，由北京母公司和安徽京仪分别开展生产活动，以同时满足北方区域和南方区域客户对产品交付及时性和供应商服务能力的要求。北京母公司主要经营地位于北京市，安徽京仪主要经营地位于安徽省芜湖市，因此，公司对供应商的主要选择区域为华北地区的北京、河北地区的供应商，以及与芜湖市距离较近的安徽、上海等地区的供应商。公司与上海供应商的合作系基于其供应能力和供应质量符合公司需求，且大部分境外产品代理商的注册地集中在上海，公司与上海供应商的合作具备合理性。综上，公司与香河海春、万维克林、北京豪拓等供应商以及上海供应商的交易基于真实的采购业务，具备商业合理性，公司与上述供应商之间不存在关联关系、其他密切关系和异常资金往来。
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（四）发行人委托香河海春采购的原材料内容，采购价格与直采的差异、香河海春的毛利率，委托采购的原因及合理性，是否存在利益输送的情况，采购数量与BOM清单的匹配性，同时直采和委托采购的情况及原因
1、发行人委托香河海春采购的原材料内容，采购价格与直采的差异、香河海春的毛利率，委托采购的原因及合理性，是否存在利益输送的情况
公司由于委托香河海春完成半导体专用温控设备组件组装，在北京母公司委托香河海春完成组件组装时，双方根据组装数量，对重要程度相对较低的剩余物料和耗材委托香河海春进行采购，采购金额按台进行整体结算。2019年度至2022年度，公司向香河海春采购按整台结算的原材料的台数分别为649台、1,293台、405台和2,055台，具体情况如下：
单位：万元、台
| 项目 | 主要内容 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 整台结算原材料-台数 | - | 2,055 | 405 | 1,293 | 649 |
| 整台结算原材料-金额 | - | 3,010.64 | 920.07 | 3,971.16 | 1,936.09 |
| 其中：电气元件 | 变频器、线缆类、传感器、断路器等 | 1,175.94 | 312.82 | 1,201.42 | 623.40 |
| 仪器仪表 | 流量计等 | 627.14 | 134.66 | 418.02 | 233.59 |
| 机械标准件 | 阀类、接头类等 | 418.86 | 114.56 | 572.11 | 224.14 |
| 机械加工件 | 钣金、管材类等 | 327.85 | 214.58 | 1,284.01 | 577.74 |
| 其他 | 低值辅料、耗材 | 307.47 | 109.83 | 364.41 | 66.06 |
| 电器装臵 | 人机界面等 | 153.38 | 33.61 | 131.19 | 211.16 |
在公司委托香河海春采购的业务中，香河海春委托采购原材料业务毛利率主要处于1%-10%的区间。公司产品使用的原材料种类繁多，同类物料的规格型号较多，选取2019年度至2022年度累计采购金额超过100万元的主要型号材料进行采购价格对比分析，具体对比情况如下：
单位：元/个
| 材料名称 | 型号 | 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
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| 材料名称 | 型号 | 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 流量计 | HF-SCA40 | 委托采购平均单价 | 1,916.81 | 1,939.09 | 2,086.11 | 2,089.81 |
| 自采平均单价 | 1,895.93 | 1,885.81 | 1,879.65 | 1,896.24 | ||
| 价格差异率 | 1.10% | 2.83% | 10.98% | 10.21% | ||
| 驱动板 | IB-G | 委托采购平均单价 | 390.66 | 397.32 | 419.56 | - |
| 自采平均单价 | 389.05 | 381.42 | 381.42 | - | ||
| 价格差异率 | 0.41% | 4.17% | 10.00% | - | ||
| 人机界面 | F007-B | 委托采购平均单价 | 692.04 | 692.04 | - | - |
| 自采平均单价 | 691.96 | 661.84 | 665.47 | 655.48 | ||
| 价格差异率 | 0.01% | 4.56% | - | - | ||
| 电子膨胀阀驱动器 | EKE1A | 委托采购平均单价 | 569.31 | 572.50 | 593.71 | 591.60 |
| 自采平均单价 | 539.36 | 539.36 | 539.36 | 535.89 | ||
| 价格差异率 | 5.55% | 6.14% | 10.08% | 10.40% | ||
| 变频器 | FR-D720 | 委托采购平均单价 | - | 1,370.62 | 1,381.48 | 1,410.62 |
| 自采平均单价 | 1,937.55 | 1,337.25 | 1,246.02 | 1,271.55 | ||
| 价格差异率 | - | 2.50% | 10.87% | 10.94% | ||
| 接触器 | SC-4 | 委托采购平均单价 | 107.80 | 111.14 | 116.81 | 115.46 |
| 自采平均单价 | 106.19 | 106.19 | 106.19 | 104.24 | ||
| 价格差异率 | 1.51% | 4.66% | 10.00% | 10.77% |
通过上述比较，2019年度至2022年度公司委托采购主要型号物料价格与自采物料价格差异率整体处于合理水平，参考此数据报告期内香河海春委托采购原材料的毛利率总体处于1%-10%区间。2017年度公司确定香河海春为组件组装供应商后，由于北京母公司仓储场地相对较小，半导体专用温控设备涉及数千种各型号材料，公司基于存货管理的便利性考虑，产品主要核心原材料由公司自行采购后向香河海春提供，对重要程度相对较低的剩余物料和耗材委托香河海春进行采购。公司预估2017年向香河海春采购整台结算的材料规模约400万元-500万元，双方经过对委托采购业务的议价，综合
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考虑香河海春从事相关委托采购业务需承担采购人员、仓储管理人员的人工成本、仓库租赁成本并叠加一定的毛利，合计约材料结算规模的10%，因此双方交易定价模式确定为在香河海春对外采购的价格的基础上加上约10%的毛利。2017年度，香河海春与公司合作情况良好，因此2018年度至2020年度，公司沿用了2017年度约定的采购模式和定价模式。
随着半导体专用温控设备的生产需求和采购需求逐年提升，公司向香河海春委托采购的金额逐年提升，原有定价模式对公司而言经济性逐渐下降，因此公司开展了与香河海春就委托采购的议价和谈判工作，基于公司委托采购规模已大幅上升的背景，双方协商委托香河海春采购材料交易定价参考香河海春对外采购价格基础上，给予少量溢价，按照能够覆盖其付出的基本成本确定。综上，公司与香河海春委托采购业务的毛利率由10%下降至1%-2%的区间具备合理性。公司半导体专用温控设备使用的主要原材料中，制冷系统和泵类材料由公司自主完成结构设计并由公司向供应商提供图纸定制化采购，氟化液和PLC套件材料与循环系统和控制系统直接相关，上述原材料与公司产品实现功能直接相关，重要程度相对较高；公司委托香河海春采购的原材料主要为变频器和流量计等器件、机架和连接法兰等机械加工件以及耗材和低值辅料等，其中机架、连接法兰等焊接件由公司向香河海春提供图纸和尺寸等参数，上述物料均为通用的标准电气元件、仪器仪表或起到连接、固定作用的基础焊接件，与公司产品实现功能并非直接相关。因此，公司向香河海春委托采购的为重要程度相对较低的基础加工件以及通用的标准电气元件、仪器仪表。公司委托香河海春采购的原因具体如下：
（1）公司委托香河海春完成半导体专用温控设备的组件组装业务的主体在常规情况下为北京母公司，北京母公司早期的仓储场地相对较小，半导体专用温控设备涉及数千种各型号材料，公司基于存货管理的便利性考虑，
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产品主要核心原材料由公司自行采购后向香河海春提供，对重要程度相对较低的剩余物料和耗材委托香河海春进行采购；
（2）U谷基地主要为半导体专用设备的生产调试基地和产成品的仓储基地，原材料仓储空间依然相对较少，若北京母公司将重要程度相对较低的物料和耗材转为自行采购后再委外至香河海春的业务模式，公司需要承担额外的备货和存货出入库管理成本。对于单台需组装设备而言，采用由香河海春预先采购后向公司进行销售的业务模式，能够满足公司自采的重要程度较高的物料委外至香河海春时香河海春即具备组件组装的生产条件，公司能够降低因剩余物料到货时间延期导致生产计划推迟的风险；同时，双方根据单台设备实际使用的剩余物料进行结算，相比公司自采备货能够有效缩短原材料在库时间。综上，公司委托香河海春采购原材料并按单台实际用量进行结算，具备合理性，双方的交易基于公司真实的采购需求，不存在利益输送的情况。
2、采购数量与BOM清单的匹配性，同时直采和委托采购的情况及原因
公司半导体专用温控设备细分型号众多，不同型号产品对于同类材料的用量有所差异，因此选取委托香河海春组装并按整台结算的主要型号产品，将与香河海春结算主要材料的单台结算数量与BOM单台用量进行对比，具体情况如下：
单位：个
| 产品型号 | 变频器 | 流量计 | 人机界面 | 接触器 | ||||
| BOM数量 | 单台结算数量 | BOM数量 | 单台结算数量 | BOM数量 | 单台结算数量 | BOM数量 | 单台结算数量 | |
| Y-8050SC | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| Y-8055DC | 3 | 3 | 2 | 2 | 1 | 1 | 6 | 6 |
| Y-8050DCX | 4 | 4 | 2 | 2 | 1 | 1 | 6 | 6 |
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| 产品型号 | 变频器 | 流量计 | 人机界面 | 接触器 | ||||
| BOM数量 | 单台结算数量 | BOM数量 | 单台结算数量 | BOM数量 | 单台结算数量 | BOM数量 | 单台结算数量 | |
| Y-8060DCK | 3 | 3 | 2 | 2 | 1 | 1 | 6 | 6 |
| B-830TC | 5 | 5 | 3 | 3 | 1 | 1 | 4 | 4 |
综上，对于单台产品而言公司委托采购的数量与BOM清单数量一致。以委托香河海春采购的主要原材料为例，公司半导体专用温控设备产量以及主要原材料直采和委托采购的数量情况具体如下：
单位：个
| 类别 | 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 半导体专用温控设备 | 产量 | 2,485 | 1,940 | 1,274 | 681 |
| 变频器 | 委托采购 | - | 505 | 3,443 | 1,691 |
| 北京母公司直采 | 7,955 | 1,156 | - | - | |
| 安徽京仪直采 | 1,214 | 4,672 | 17 | 763 | |
| 合计采购数量 | 9,169 | 6,333 | 3,460 | 2,454 | |
| 采购数量/产量 | 3.69 | 3.26 | 2.72 | 3.60 | |
| 流量计 | 委托采购 | 3,320 | 681 | 2,011 | 1,091 |
| 安徽京仪直采 | 1,804 | 2,841 | 1 | 220 | |
| 合计采购数量 | 5,124 | 3,522 | 2,012 | 1,311 | |
| 采购数量/产量 | 2.06 | 1.82 | 1.58 | 1.93 | |
| 人机界面 | 委托采购 | 2,055 | 405 | 1,293 | 649 |
| 安徽京仪直采 | 620 | 1,746 | 55 | 113 | |
| 合计采购数量 | 2,675 | 2,151 | 1,348 | 762 | |
| 采购数量/产量 | 1.08 | 1.11 | 1.06 | 1.12 | |
| 接触器 | 委托采购 | 8,490 | 1,861 | 5,762 | 3,092 |
| 安徽京仪直采 | 3,345 | 6,442 | 197 | 476 | |
| 合计采购数量 | 11,835 | 8,303 | 5,959 | 3,568 |
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| 采购数量/产量 | 4.76 | 4.28 | 4.68 | 5.24 |
注：2021年度，香河海春采购变频器的渠道减少，自2021年3月起公司转为直采。
公司主要原材料直采和委托采购的合计数量与半导体专用温控设备产量匹配性良好。为同时满足北方区域和南方区域客户的需求，公司由北京母公司和安徽京仪分别开展生产活动，通常情况下，半导体专用温控设备组装环节由北京母公司委托香河海春完成或由安徽京仪独立完成。对于由北京母公司委托香河海春完成组件组装的设备，由北京母公司完成主要核心原材料的采购，双方根据单台设备消耗的剩余材料进行整台结算，存在委托采购的情况；对于由安徽京仪独立完成组件组装的设备，由于安徽京仪仓储场地规模相对较大，安徽京仪自行完成全部原材料的采购并进行组装。因此，公司存在同时由安徽京仪直采和北京母公司委托香河海春采购的情况，具备合理性。
（五）产能转移后，委托采购减少的原因、对应直采增加的情况，但仍存在部分委托采购、2022年1-6月进一步上升的原因
北京母公司为明确职能定位、扩充北京地区半导体专用温控设备生产场地和满足研发部门需求，在2021年2月-2021年11月期间暂停了北京母公司大族企业湾基地半导体专用温控设备的生产活动，大族企业湾承担管理、研发和晶圆传片设备生产职能，原因详见本回复之“问题5/一/（二）”。在此期间公司半导体专用温控设备生产活动均由安徽京仪完成，委托香河海春完成组件组装的主体在停工期间由北京母公司变更为安徽京仪，但安徽京仪委托香河海春完成组装时由安徽京仪自身完成全部物料采购，不通过与香河海春按整台结算的方式采购原材料。因此，2021年度按照整台结算的原材料采购台数由1,293台减少至405台，主要物料对应直采增加的情况详见本问题之“一/（四）/1”。
2021年度，公司与香河海春按整台结算原材料的情况仍存在，2021年度期初和期末（即停工前后）公司与香河海春合计结算405台设备涉及的材料。
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2022年度，随着北京母公司U谷生产基地启用，安徽京仪不再作为委托香河海春完成组件组装的主体，重新由北京母公司作为委托主体，北京母公司沿用此前的采购模式，即与香河海春按整台结算由香河海春提供的原材料，同时将原委托香河海春的部分物料如变频器、钣金件等转为自主采购，因此，2022年度公司按照整台结算的原材料采购台数上升至2,055台，但单台设备委托香河海春采购的物料平均价值由3.07万元/台减少至1.47万元/台。
（六）发行人向万维克林采购是否与香河海春有关，二者是否存在为发行人承担成本的情况，向香河海春、万维克林采购各类原材料（包括外协加工）金额变化的原因，与收入增长的匹配性
1、发行人向万维克林采购是否与香河海春有关，二者是否存在为发行人承担成本的情况
香河海春、万维克林因股权结构存在关联关系，但二者的业务相互独立开展，万维克林主要从事清洗机、储存柜等设备的生产，公司选择与万维克林的原因详见本问题之“一/（一）/1”，公司向万维克林采购与香河海春无关，二者不存在为公司承担成本的情况。
2、向香河海春、万维克林采购各类原材料（包括外协加工）金额变化的原因，与收入增长的匹配性
（1）香河海春
报告期内，公司向香河海春采购的主要内容具体情况如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 外协加工费 | 2,853.28 | 1,993.81 | 1,674.76 | 644.99 |
| 整台结算原材料金额 | 3,010.64 | 920.07 | 3,971.16 | 1,936.09 |
| 整台结算原材料台数 | 2,055 | 405 | 1,293 | 649 |
①外协加工费
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报告期内，公司向香河海春采购半导体专用温控设备相关的外协加工费和半导体专用温控设备收入情况具体如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | ||||
| 金额 | 增长率 | 金额 | 增长率 | 金额 | 增长率 | 金额 | ||
| 外协加工费 | 2,853.28 | 43.11% | 1,993.81 | 19.05% | 1,674.76 | 159.66% | 644.99 | |
| 半导体专用温控设备收入 | 31,675.20 | 26.66% | 25,008.91 | 30.38% | 19,181.41 | 27.82% | 15,006.77 | |
| 外协加工费/半导体专用温控设备收入 | 9.01% | - | 7.97% | - | 8.73% | - | 4.30% | |
2019年度，公司销售的半导体专用温控设备中50%以上均为2019年度以前生产的产品，当年外协加工采购金额相对较低；2020年度，公司半导体专用温控设备产品产量由2019年度的681台大幅提升至1,274台，外协加工采购金额较上年度上升较多。2020年度至2022年度，公司向香河海春采购半导体专用温控设备相关的外协加工费占半导体专用温控设备收入的比例较为稳定，与半导体专用温控设备收入均呈现增长趋势，匹配关系良好。
②整台结算原材料
报告期内，公司向香河海春采购半导体专用温控设备相关整台结算原材料和半导体专用温控设备收入情况具体如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | 2022年较2020年增长率 |
| 整台结算原材料台数 | 2,055 | 405 | 1,293 | 649 | 58.93% |
| 半导体专用温控设备收入 | 31,675.20 | 25,008.91 | 19,181.41 | 15,006.77 | 65.13% |
2019年度，公司销售的半导体专用温控设备中50%以上均为2019年度以前生产的产品，当年整台结算原材料的台数相对较低；2020年度至2022
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年度，由于存在2021年度北京母公司阶段性停工的影响，公司与香河海春整台结算原材料的台数和金额在2021年度大幅减少，未呈现与销售收入相同的增长趋势。此外，由于原委托香河海春采购的物料中，变频器等物料转为北京母公司自行采购，整台结算原材料的金额在台数增长的情况下有所下降。剔除2021年度的影响，2022年度公司向香河海春采购的按整台结算原材料的台数和半导体专用温控设备收入较2020年度增长率分别为58.93%和
65.13%，两者增速较为匹配。
（2）万维克林
2019年度至2022年度，公司向万维克林采购主要原材料的具体内容如下：
单位：万元
| 类别 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 管线桥架 | 168.30 | 181.54 | - | - |
| 清洗机 | 1,684.48 | 475.09 | 201.88 | 543.88 |
| 储存柜及相关零部件 | 187.84 | 21.60 | - | 315.28 |
公司向万维克林采购管线桥架，属于个别客户对公司产品在客户现场的固定安装的偶发性要求，属于公司自用安装材料，与收入不存在匹配关系。
公司向万维克林采购清洗机、储存柜和相关零部件主要用于向客户销售，相关产品实现的销售收入具体情况如下：
单位：万元
| 类别 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 清洗机 | 565.63 | 423.90 | 116.40 | 1,098.11 |
| 储存柜及相关零部件 | 53.11 | - | 17.56 | 150.79 |
由于公司向客户销售的清洗机等支持性设备需安装并由客户验收后确认收入，公司2022年度采购的清洗机等截至2022年末主要为发出商品，因此采购金额与相关收入金额未完全匹配。
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（七）具体说明发行人向主要供应商（包括外协）采购价格的公允性，物流与资金流的匹配性，发行人及其主要人员与主要供应商及其主要人员之间是否存在关联关系或异常资金往来
1、具体说明发行人向主要供应商（包括外协）采购价格的公允性
公司向香河海春和万维克林采购原材料的具体情况详见本问题之“一/
（四）/1”和本问题之“一/（三）/1”。公司向其余主要供应商采购的物料种类和型号较多，因此选取主要供应商报告期内累计采购金额占比最高的三种型号或超过50%的物料型号或外协型号进行分析。
（1）原材料采购
单位：元/千克、万元/台、万元/个、万元/套
| 材料名称 | 规格型号 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | 第三方供应商询价单价 |
| 氟化液 | FC型号 | 510.65 | 341.46 | 345.97 | 350.00 | 335.40-1,000.00 |
| PLC-CPU模块 | 型号C | 0.37 | 0.37 | 0.37 | 0.37 | 0.37 |
| PLC-PID模块 | 型号D | 0.38 | 0.38 | 0.38 | 0.38 | 0.39 |
| 通讯模块 | 型号E | 0.31 | 0.31 | 0.31 | - | 0.32 |
| 反应腔外腔 | 型号F | 0.42 | 0.42 | 0.44 | 0.48 | 0.45 |
| 洗涤塔下部 | 型号G | 0.28 | 0.28 | 0.27 | 0.21 | 0.29 |
| 火炬头托架 | 型号H | 0.21 | 0.21 | 0.24 | 0.22 | 0.22 |
| 制冷系统 | 型号I | 1.15 | 1.10 | 1.10 | 1.00 | 1.11 |
| 制冷系统 | 型号J | 1.14 | 1.10 | 1.11 | 1.05 | 1.11 |
| 制冷系统 | 型号K | 1.14 | 1.12 | 1.08 | - | 1.23 |
2019至2021年公司采购氟化液价格基本稳定，2022年度由于氟化液材料供应趋于紧张，氟化液材料价格大幅上升，公司采购价及第三方供应商报价单价均显著增长。公司采购氟化液均为国际龙头公司3M公司生产，双方交易定价符合3M公司产品销售价格体系，价格具备公允性。
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公司上述其他主要原材料采购价格2019年至2022年内保持相对稳定，采购单价与公司第三方供应商的询价结果不存在重大差异。
（2）外协采购
单位：元/件、元/小时
| 加工类别 | 规格型号 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | 第三方供应商询价单价/北京地区价格 |
| 半导体专用温控设备、晶圆传片设备组件组装 | - | 约80元/小时 | 金属件焊接95-110元/小时 装配60-65元/小时 | |||
| 洗涤塔下部表面处理 | 型号L | 1,514.44 | 1,445.28 | 1,445.39 | - | 1,543.36 |
| 洗涤塔溢流焊接件表面处理 | 型号M | 778.96 | 737.51 | 737.62 | - | 830.97 |
| 洗涤塔中部表面处理 | 型号N | 591.19 | 560.30 | 560.62 | - | 625.66 |
①半导体专用温控设备组件组装
2017年，公司选择通过外协加工完成半导体专用温控设备组件组装工序，针对早期需要进行外协组装的型号，综合评估不同供应商的意向报价进行了比价评审，香河海春的报价为含税价格约80元/小时，其他供应商含税报价区间为约85元/小时-100元/小时，因此公司初步选定组装供应商为香河海春；2017年5月，香河海春按照作业指导书完成了首批16台半导体专用温控设备的组件组装，且能够满足公司对组装质量的要求，因此，公司确定香河海春为组件组装环节的外协供应商。公司与香河海春根据各型号产品的实际组装工时，以约80元/小时的含税价格确定主要型号的单台平均外协费用，各主要型号的单台平均外协费用报告期内未发生明显变化。由于外协供应商需根据公司提供图纸、作业指导书等技术资料确定组装报价，由于香河海春供应质量、交付及时性等能够满足公司要求，引入新外协供应商将产生额外的
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技术泄密风险和产品无法保持一致性的风险，基于保密管理和供应稳定性的需要，公司未选择向其他供应商提供技术资料并采购组件组装服务。公司产品进行组件组装的具体内容包括组件和整机的接线、焊接、切割、装配、包棉等操作步骤，根据与京仪装备同位于北京市的上市申报企业北京中航科电测控技术股份有限公司的公开信息披露，与公司类似的外协业务环节具体采购价格如下：
单位：元/小时
| 项目 | 金属件焊接 | 装配 |
| 外协采购单价 | 95-110 | 60-65 |
公司采购价格与同地区上市申报企业类似环节采购价格较为接近，公司与香河海春对外协加工费用的定价具备公允性。
②半导体专用工艺废气处理设备洗涤塔表面处理
报告期内，公司主要委托镇江开元根据公司的要求，完成半导体专用工艺废气处理设备使用的机械加工件的表面处理。镇江开元地处江苏省镇江市，与公司半导体专用工艺废气处理设备生产基地安徽省芜湖市地理位臵较近且具备覆盖金属表面防腐处理加工的GB/T 19001-2016/ISO 9001:2015质量管理体系认证，因此，公司向其采购机械加工件表面处理的外协加工服务。公司向第三方供应商的询价结果与公司向镇江开元的采购单价相比差异较小，公司向镇江开元的采购价格具备公允性。
③晶圆传片设备组件组装
报告期内，公司主要委托山东念恩根据公司的提供图纸，完成晶圆传片设备的组件组装，对于公司委托山东念恩完成组件组装的机台的外协费用，双方根据山东念恩完成组装的不同型号产品进行定价，公司与山东念恩根据各型号产品的实际组装工时，以约80元/小时的含税价格确定主要型号的单台平均外协费用。公司向山东念恩采购价格的单位工时价格的合理性详见本
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问题之“一/（七）/1/（1）/①”，公司与山东念恩对外协加工费用的定价具备公允性。
2、物流与资金流的匹配性，发行人及其主要人员与主要供应商及其主要人员之间是否存在关联关系或异常资金往来
公司采购与付款业务的具体流程如下：
（1）合同签订：公司根据采购需求，通过与供应商签署采购合同的方式开展采购业务，双方在合同中列明产品名称、规格型号、产品价格和采购数量等信息，并对交货地点、交货时间、货款结算方式等进行约定；关于交货地点，公司结合生产交期安排等因素约定原材料交付至公司仓储场地或者外协加工商生产经营地。供应商按照合同约定将货物交付至指定地点。
（2）货物流转：采购物资送达后，品质中心进行到货检验，检验合格后由采购中心及生产部办理入库手续；对于交付至外协加工商生产经营地的原材料，公司指定专人在外协加工商生产经营地进行到货检验，检验合格后确认入库，公司在外协加工商生产经营地设有专门仓储区域用于存放公司采购的原材料，该区域与委托外协加工商采购的原材料有明确的区域隔离。
（3）资金流转：公司在合同约定的货物全部交付完成后，采购中心在收到供应商发票并确认发票信息与采购合同、采购入库信息无误后，发起付款申请，经审批后由财务部根据合同约定的货款结算方式向供应商支付货款。
公司与供应商的采购业务基于真实的采购需求，双方在合同中明确约定货物流转方式和资金流转方式，公司向供应商支付的货款均与采购业务直接相关且直接流向供应商，支付的货款与双方合同约定的金额保持一致，物流与资金流具备匹配性，公司及主要人员与主要供应商及其主要人员之间不存在关联关系或异常资金往来。
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二、中介机构核查
（一）发行人说明核查
1、核查程序
（1）访谈发行人管理层，了解发行人选择供应商的标准、主要供应商从事业务以及能够满足公司采购需求的原因；
（2）实地查看了主要供应商的生产厂房、机器设备，取得了主要供应商关于厂房面积、员工人数等基本情况的说明；
（3）取得了发行人与香河海春、万维克林、北京豪拓和晟瑞斯自开展合作以来的各年度采购明细；取得了香河海春、万维克林、北京豪拓和晟瑞斯及上述供应商实际控制人和主要人员出具的与发行人及其关联方无关联关系的声明函；
（4）取得了发行人向香河海春、万维克林、北京豪拓和晟瑞斯报告期内累计采购金额占比最高的三种型号或超过50%的物料型号的采购价格、询价记录和位于北京市的上市申报企业外协加工采购价格，分析向上述供应商采购原材料以及向香河海春采购外协加工服务价格的公允性；
（5）取得了发行人的银行流水，取得发行人董事、监事、高级管理人员、主要业务人员报告期内银行流水和相关人员出具的个人资金流水及关联关系、其他密切关系情况的说明与承诺，根据流水中交易对方、交易金额和交易账户情况逐笔核查发行人、发行人董事、监事、高级管理人员、主要业务人员与包括香河海春、万维克林、北京豪拓和晟瑞斯在内的主要供应商及其主要人员（包括但不限于股东、董事、监事、高级管理人员等）之间是否存在异常资金往来；
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（6）访谈了发行人管理层，取得了香河海春关于双方开展委托采购业务之初毛利率合理性的说明，分析2021年度以前香河海春委托采购业务毛利率的合理性；
（7）取得了香河海春的公司资金流水、主要管理人员韦海玉的个人资金流水和香河海春实际控制人张东华出具的关于资金流水情况及关联关系的说明与承诺，确认其与发行人客户、供应商及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来；取得了万维克林的公司流水、万维克林股东、董事、监事、高级管理人员的个人资金流水，并分析上述主体是否与发行人主要客户及其主要人员之间存在关联关系或异常资金往来，是否存在代垫成本或资金体外循环的情况；
（8）取得并复核报告期内公司的订单明细、采购明细表等相关文件，分析2021年度原材料采购规模大幅上升的原因；
（9）取得发行人的采购明细表，核查报告期各期向香河海春采购的主要产品及金额，核查采购价格公允性，比较发行人向香河海春采购和直采时的单价是否存在重大差异，了解差异原因；分析委托采购减少的原因、以及对应直采增加的情况；
（10）访谈发行人管理层、采购负责人等相关人员，了解采购方式与发行人业务的联系、委托采购的必要性和商业理由、直采和委托采购的具体情况，分析不同采购方式的变动情况、变化的原因及合理性；
（11）获取了公司主要产品的BOM清单，分析与香河海春结算主要材料的单台结算数量与BOM单台用量是否匹配，核查采购数量与BOM清单的匹配性；
（12）取得了发行人主要供应商的企业信用报告，登录国家企业信用信息公示系统和利用企查查等工具对主要供应商的基本情况进行了查询，查阅了发行人主要供应商的工商资料，核查了发行人主要供应商的注册名称、成
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立日期、注册资本、注册地址、控股股东及实际控制人、经营范围等信息，分析采购原材料或服务的内容是否与供应商主营业务和经营范围相匹配；
（13）对采购业务进行细节测试，抽查了报告期内主要供应商入库单与采购合同、付款记录、记账凭证、采购发票等是否相符，分析采购业务的真实性以及物流与资金流的匹配性，报告期各期核查金额及比例具体如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 采购金额 | 73,259.57 | 52,113.78 | 27,961.56 | 18,814.47 |
| 核查金额 | 48,884.54 | 33,459.41 | 18,517.27 | 11,698.90 |
| 核查比例 | 66.73% | 64.20% | 66.22% | 62.18% |
（14）对主要供应商实施了函证及访谈程序，确认采购交易的真实性及采购金额的准确性，通过访谈了解供应商的基本经营及业务情况、发行人与供应商的合作背景、发行人与供应商在报告期的交易情况、确认其与发行人实际控制人、董事、监事、高级管理人员等不存在关联关系、异常资金往来、其他利益安排等情形。2019年度至2022年度，供应商函证回函比例分别为
88.67%、91.70%、88.27%和89.95%，访谈比率分别为72.76%、81.26%、74.06%和77.18%；
（15）取得了发行人向主要供应商报告期内累计采购金额占比最高的三种型号或超过50%的物料型号的采购价格、询价记录和位于北京市的上市申报企业外协加工采购价格，分析原材料采购价格和外协加工采购价格的公允性。
2、核查意见
经核查，我们认为：
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（1）发行人已制定了完善的供应商选择和评估制度，部分供应商成立不久即成为发行人主要供应商的原因合理，生产型供应商具备为发行人供应的必备生产条件，能够满足发行人采购需求；
（2）2021年采购规模随公司新签销售订单金额的增长而扩大，其原因具有合理性；发行人已按原材料类别分别说明主要供应商情况，除氟化液对相关供应商存在一定依赖性外，对各个供应商均不存在依赖；
（3）发行人转换供应商、与香河海春、万维克林、北京豪拓和晟瑞斯建立合作的原因合理；发行人子公司安徽京仪的经营地位于芜湖市，距离上海较近，主要境外供应商国内代理商或者销售主体为便于展业选择注册地在上海，发行人主要基于供应能力和供应质量选择供应商，原因具有合理性；发行人与上述供应商不存在关联关系、其他密切关系和异常资金往来；香河海春、万维克林及其主要人员与发行人主要客户、供应商及其主要人员之间不存在异常资金往来，不存在为发行人代垫成本的情况；发行人对上述供应商的采购价格具备公允性，上述供应商及其实际控制人、主要人员、关联方与发行人客户、供应商及其关联方不存在关联关系；发行人不存在体外资金循环的情况；
（4）发行人已说明委托香河海春采购的原材料内容及价格公允性、与直采的差异等情况，发行人委托采购的行为具有合理性，采购数量与BOM清单具有匹配性，不存在利益输送的情况；发行人已说明直采和委托采购的相关情况，同时直采和委托采购的原因合理；
（5）发行人已说明产能转移后减少委托采购、对应增加直采的相关情况，2022年度委托采购进一步上升主要系北京母公司产能恢复，重新作为委托主体进行采购，原因具备合理性；
（6）发行人向香河海春和万维克林采购不同业务，与二者的交易间不存在关联关系，不存在二者为发行人承担成本的情况；发行人向香河海春的
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采购金额除原材料采购金额由于2021年度北京母公司阶段性停工有所减少外，其余年度具有一定的匹配性；由于发行人向客户销售的支持性设备需安装并由客户验收后确认收入，2022年度向万维克林采购的清洗机、储存柜及相关零部件目前主要为发出商品，因此向万维克林的采购金额与相关收入金额未完全匹配；
（7）发行人已说明向主要供应商（包括外协）采购价格的公允性以及物流与资金流的匹配性，发行人及其主要人员与主要供应商及其主要人员之间不存在关联关系或异常资金往来。
（二）请保荐机构和申报会计师核查供应商的生产经营情况，上述（7）涉及的内容，以及香河海春、万维克林及其主要人员与发行人主要客户及其主要人员之间是否存在关联关系或异常资金往来，是否存在代垫成本或资金体外循环的情况，说明相关核查措施、比例、依据和结论
1、核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
（1）取得了发行人主要供应商的企业信用报告，登录国家企业信用信息公示系统和利用企查查等工具对主要供应商的基本情况进行了查询，查阅了发行人主要供应商的工商资料，核查了发行人主要供应商的注册名称、成立日期、注册资本、注册地址、控股股东及实际控制人、经营范围等信息，分析采购原材料或服务的内容是否与供应商主营业务和经营范围相匹配；
（2）对主要供应商实施了函证及访谈程序，确认采购交易的真实性及采购金额的准确性，通过访谈了解供应商的基本经营及业务情况、发行人与供应商的合作背景、发行人与供应商在报告期的交易情况、未来合作意向等。报告期各期，供应商函证回函比例分别为91.70%、88.27%和89.95%，访谈比率分别为81.26%、74.06%和77.18%；取得了主要供应商关于生产经营情况的说明；
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（3）取得了发行人向主要供应商报告期内累计采购金额占比最高的三种型号或超过50%的物料型号的采购价格、询价记录和位于北京市的上市申报企业外协加工采购价格，分析原材料采购价格和外协加工采购价格的公允性；
（4）对采购业务进行细节测试，抽查了报告期内主要供应商入库单与采购合同、付款记录、记账凭证、采购发票等是否相符，分析采购业务的真实性以及物流与资金流的匹配性，报告期各期核查金额及比例具体如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 采购金额 | 73,259.57 | 52,113.78 | 27,961.56 | 18,814.47 |
| 核查金额 | 48,884.54 | 33,459.41 | 18,517.27 | 11,698.90 |
| 核查比例 | 66.73% | 64.20% | 66.22% | 62.18% |
（5）取得发行人董事、监事、高级管理人员、主要业务人员报告期内银行流水和相关人员出具的个人资金流水及关联关系、其他密切关系情况的说明与承诺，根据流水中交易对方、交易金额和交易账户情况逐笔核查和发行人与主要供应商及其主要人员（包括但不限于股东、董事、监事、高级管理人员等）之间是否存在异常资金往来，核查人员、流水完整性具体情况如下：
核查人员：
| 类型 | 公司人数 | 核查人数 | 核查标准 |
| 董事、监事、高级管理人员 | 17 | 14 | 除了3个独立董事外，其余100%核查； 其中包括生产管理人员、主要生产部门人员3人； |
| 销售及售后支持人员 | 142 | 30 | 中层及以上级别人员100%核查，基层人员按照薪酬水平高低核查人数10%以上； 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例超过50% |
| 研发人员 | 86 | 25 | 中层及以上级别人员100%核查，基层人员按照薪 |
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| 类型 | 公司人数 | 核查人数 | 核查标准 |
| 酬水平高低核查人数10%以上； 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例超过50% | |||
| 管理人员 | 72 | 21 | 中高层及以上级别人员100%核查，中层和基层人员按照薪酬水平高低核查人数10%以上； 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例超过50% |
| 管理人员中采购人员 | 16 | 3 | 中高层及以上级别人员100%核查 |
| 合计 | 317 | 90 | - |
注：销售及售后支持人员、研发人员和管理人员中公司高级管理人员重复人数分别为1人、1人和4人；公司人数指2022年末人数。
销售及售后支持人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数占比 | 核查标准 |
| 高层 | 1 | 1 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 8 | 8 | 100% | |
| 中层 | 9 | 9 | 100% | |
| 基层 | 124 | 12 | 10% | 按照薪酬水平高低核查人数10%以上 |
| 合计 | 142 | 30 | 21% | 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例达到51% |
注：高层指副董事长、总经理、副总经理等，中高层指部门总监等，中层指部门部长、副部长、经理等，基层指其他员工，下同。研发人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数 占比 | 核查标准 |
| 高层 | 1 | 1 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 5 | 5 | 100% | |
| 中层 | 9 | 9 | 100% | |
| 基层 | 71 | 10 | 14% | 按照薪酬水平高低核查人数10%以上 |
| 合计 | 86 | 25 | 29% | 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例达到51% |
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管理人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数占比 | 核查标准 |
| 高层 | 5 | 5 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 8 | 8 | 100% | |
| 中层、基层 | 59 | 8 | 14% | 按照薪酬水平高低核查人数10%以上 |
| 合计 | 72 | 21 | 29% | 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例达到67% |
公司管理人员中采购人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数占比 | 核查标准 |
| 高层 | 1 | 1 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 1 | 1 | 100% | |
| 中层、基层 | 14 | 1 | 7% | 按照薪酬水平高低核查人数1人 |
| 合计 | 16 | 3 | 19% | - |
流水完整性情况：
核查银行范围包括中国工商银行、中国农业银行、中国银行、中国建设银行、交通银行、中国邮政储蓄银行、招商银行、兴业银行、浦发银行、中信银行、平安银行、民生银行、光大银行、华夏银行、广发银行、北京/上海/武汉/芜湖市当地银行或农商行。我们取得核查人员的银行流水，以及未提供流水银行的个人无开立银行账户证明。部分中层和基层业务人员等出于个人隐私考虑，未提供名下银行流水，我们取得了相关人员出具的个人资金流水及关联关系、其他密切关系情况的说明与承诺，确认个人与公司客户、供应商及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或资金往来。
（6）取得了香河海春的公司资金流水、主要管理人员韦海玉的个人资金流水和香河海春实际控制人张东华出具的关于资金流水情况及关联关系的说明与承诺，确认其与公司客户、供应商及其主要人员之间不存在关联关
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系、其他密切关系或资金往来；取得了万维克林的公司流水、万维克林股东、董事、监事、高级管理人员的个人资金流水，并分析上述主体是否与发行人主要客户及其主要人员之间存在关联关系或异常资金往来，是否存在代垫成本或资金体外循环的情况。
2、核查意见
经核查，我们认为：
（1）发行人主要供应商均处于正常的生产经营状态，与发行人的交易较为稳定；
（2）发行人向主要供应商（包括外协）采购价格具备公允性，与主要供应商采购交易的物流与资金流具备匹配关系，
（3）发行人及主要人员与主要供应商及其主要人员之间不存在关联关系或异常资金往来；
（4）香河海春、万维克林及其主要人员与发行人主要客户及其主要人员之间不存在关联关系或异常资金往来，不存在代垫成本或资金体外循环的情况。
问题5.关于成本和毛利率
根据首轮问询回复，（1）温控设备和晶圆传片设备的组装采用外协加工完成，工艺废气处理设备由发行人自主完成；（2）2021年制造费用占比下降的主要原因系产能转移至安徽京仪，京仪装备阶段性停工，安徽京仪综合成本较低，但2022年产能又转移至京仪装备；（3）外协加工费用、人工费用与收入增长不匹配；（4）报告期内温控设备中Y系列-单通道毛利率由24%上升至38%，Y系列-双通道毛利率由30%上升至44%；废气处理设备中，单腔毛利率高于双腔，双腔毛利率由25%上升至44%，马拉松式设备毛利率较低，2020年不再生产。
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请发行人说明：（1）不同设备组装的难度差异，发行人将温控设备和晶圆传片设备组装外协的原因，发行人是否有能力从事相关设备组装；（2）产能转移的原因、方式以及对发行人的影响，双方在人员、设备、厂房等方面的安排和措施，京仪装备阶段性停工的情况、经济性和合理性；2022年产能又转移至京仪装备的原因，相关人员、设备、厂房等的安排情况，产能频繁转移的经济性和合理性；产能转移前后人员、设备、厂房的对比情况，是否与收入增长相匹配；（3）制造费用的构成明细，产能转移对各明细的具体影响及原因；外协加工费用、直接人工费与收入增长不匹配的原因；（4）在发行人仅从事设备调试的情况下，毛利率较高的原因和合理性，国内外可比厂商是否也仅从事设备调试，毛利率是否具有可比基础；（5）结合报告期内发行人完成的技术突破，具体说明Y系列温控设备、双腔废气处理设备毛利率大幅上升的原因，单腔废气处理设备高于双腔的原因，马拉松式设备与发行人自研设备的具体差异，价格、成本对比情况，自研设备毛利率较高的原因。
请保荐机构和申报会计师核查并发表明确意见。
回复：
一、发行人说明
（一）不同设备组装的难度差异，发行人将温控设备和晶圆传片设备组装外协的原因，发行人是否有能力从事相关设备组装
公司产品进行组件组装的具体内容包括组件和整机的接线、焊接、切割、装配、包棉等操作步骤，各主要产品的组装难度情况具体如下：
1、半导体专用温控设备和晶圆传片设备
半导体专用温控设备组装过程是将机架组件、制冷系统组件、循环系统组件、控制系统组件等装配为整机，晶圆传片设备组装过程是将机架组件、X轴导轨、机械手组件、控制系统组件等装配为整机，各组件的组装过程相对独立，组件间通过卡套管和波纹管连接装配且交叉作业较少，涉及重点工艺控制节点30余项，整体装配难度相对适中，部分新研制型号半导体专用
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温控设备存在组件间交互作业复杂、需要完成一体化装配的情况，装配难度更高。
2、半导体专用工艺废气处理设备
半导体专用工艺废气处理设备组装过程是将机架组件、气路系统组件、反应腔系统组件、控制系统组件等装配为整机。半导体专用工艺废气处理设备各组件彼此并不完全独立，在整体装配时需要对各组件内部进行交叉作业，涉及较多的延伸到各组件内部的焊接、拼接、紧固等生产步骤，且组件间的交叉作业需确保1,000余处连接部分在装配过程中处于无泄漏状态，涉及重点工艺控制节点80余项，整体装配难度较大。
3、公司将半导体专用温控设备和晶圆传片设备组件组装工序外协的原因具体如下：
（1）公司发展初期资金实力相对较弱，不存在自有土地使用权、房屋所有权等不动产权，实施上述组件组装操作所需要的厂房和设备投资金额较大，还需配备规模较大的基础操作人员，仅通过公司自身完成全部产品的组件组装工序的产能存在一定限制，公司选择将有限的组装产能主要投入到组装难度更高的半导体专用工艺废气处理设备；
（2）公司晶圆传片设备在报告期前期的生产需求较少，聘用人员自行完成组件组装工序将形成较高的闲臵成本，使用外协加工厂商完成组装更具经济性；
（3）半导体专用温控设备和晶圆传片设备的组件组装环节难度相对适中，且公司已形成了完善清晰的作业指导书，对组件组装涉及的各项操作已明确列示，委外加工厂商按照公司提供的图纸和作业指导书从事作业的执行工作，完成组件组装的技术难度较低，公司通过对委外加工厂商的日常质量管理和组件组装后的调试环节，能够满足公司产品的稳定运行。
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4、公司有能力从事相关设备组装
目前，安徽京仪承担了全部半导体专用工艺废气处理设备的组装工作，报告期内安徽京仪独立完成半导体专用温控设备的组件组装工作累计超过1,000台，且公司新研制的V系列三通道等组装难度更为复杂的半导体专用温控设备产品均由公司自行完成组装，公司亦可通过招聘、培训生产人员的方式自行完成晶圆传片设备的组装，因此，公司有能力从事相关设备组装。
（二）产能转移的原因、方式以及对发行人的影响，双方在人员、设备、厂房等方面的安排和措施，京仪装备阶段性停工的情况、经济性和合理性；2022年产能又转移至京仪装备的原因，相关人员、设备、厂房等的安排情况，产能频繁转移的经济性和合理性；产能转移前后人员、设备、厂房的对比情况，是否与收入增长相匹配
1、产能转移的原因、方式以及对发行人的影响，双方在人员、设备、厂房等方面的安排和措施，京仪装备阶段性停工的情况、经济性和合理性；2022年产能又转移至京仪装备的原因，相关人员、设备、厂房等的安排情况，产能频繁转移的经济性和合理性
公司主要客户包括中芯北京、中芯京城、大连英特尔等北方区域客户和长江存储、华虹集团、广州粤芯、睿力集成等南方区域客户。公司高度重视产品交付效率，由北京母公司和安徽京仪分别开展生产活动，以同时满足北方区域和南方区域客户对产品交付及时性和供应商服务能力的要求。北京母公司原有生产场所位于北京市北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼（大族企业湾基地），2020年末，公司在手订单金额已达到14,035.12万元，较上年度增长6,122.13万元。公司预计新增订单金额将于2021年进一步增长，一方面北京母公司存在扩充原有生产场地满足北京地区半导体专用温控设备产品持续增长的生产需求，另一方面，由于公司研发项目及子课题的增加，研发部门亦存在新增研发场地的需求。因此，公司计划进一步明确北
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京母公司的职能划分，建立两大基地，以原有大族企业湾基地作为管理运营中心、研发中心和晶圆传片设备生产基地，部署新的生产基地作为北京地区半导体专用温控设备的生产基地。
安徽京仪在北京母公司进行职能划分前的2020年度产能尚未实现充分利用。因此，公司基于对未来订单快速增长的预期以及研发场地的新增需求，结合安徽京仪产能尚未饱和的客观情况，于2021年2月选择将北京母公司原有的生产场地转为研发部门使用和晶圆传片设备生产基地，北京母公司在北京地区寻找新的生产场所作为北京地区半导体专用温控设备的生产基地，并将半导体专用温控设备生产活动转移至安徽京仪，直至北京地区完成新生产基地的部署工作。2021年下半年，北京母公司完成了位于北京市北京经济技术开发区（大兴）长恒路20号院35号楼的新厂房（U谷基地）的租赁，并开展生产基地的建设工作。2021年12月，U谷基地作为北京地区半导体专用温控设备的生产基地正式投入使用，北京母公司恢复半导体专用温控设备的生产且产能进一步提升。公司进行上述活动前后年度半导体专用温控设备的整体产能和产量情况具体如下：
单位：台
| 项目 | 2022年度 | 2020年度 |
| 产能 | 2,400 | 1,500 |
| 产量 | 2,485 | 1,274 |
| 产能利用率 | 103.54% | 84.93% |
公司在产能扩充后，实现了半导体专用温控设备整体产能上升60.00%，产量上升95.05%。此外，公司通过新租赁厂房和购臵、租赁设备的方式扩充北京地区产能，原有设备未进行搬迁，产能转移未涉及付出搬迁成本。北京母公司在阶段性停工期间，除部分人员离职外，其余生产人员暂时转岗至其
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他部门或借调至安徽京仪从事生产工作，新厂房投入使用后转回生产部门继续从事生产活动。综上，北京母公司阶段性停工和产能恢复并非单纯的产能转移和频繁切换，而是明确北京母公司两大基地职能定位、扩充北京地区半导体专用温控设备生产场地和满足研发部门需求的必要解决方案。公司通过前述方案，解决了研发部门的新增场地需求，在较短的时间内提升了北京地区的生产能力，实现了对安徽京仪原有产能的充分利用，除厂房租赁、生产基地厂务建设和设备等必要支出和部分人员流失成本外，未付出搬迁支出等其他成本，具备经济性和合理性。
2、产能转移前后人员、设备、厂房的对比情况，是否与收入增长相匹配公司上述活动前后人员、设备、厂房的对比情况具体如下：
单位：台数、人、平方米、万元
| 项目 | 职能划分前 | 职能划分后 | 增长率 |
| 生产设备数量 | 328 | 451 | 37.50% |
| 生产人数 | 72 | 91 | 26.39% |
| 生产厂房面积 | 11,479.74 | 16,819.33 | 46.51% |
| 营业收入 | 34,879.78 | 66,372.32 | 90.29% |
公司上述活动前后生产设备数量、生产人数和生产厂房面积均有所增长，由于安徽京仪在产能转移前产能尚未充分利用，生产设备数量、生产人数和生产厂房面积增长率低于营业收入增长率，整体上与营业收入增长呈正相关关系。
产能转移前、转移后以及又转回，北京母公司和安徽京仪各自的生产设备、场地面积、生产人数，产量、产能利用率情况如下：
北京母公司：
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单位：平方米、台、人
| 项目 | 产能转移前 | 产能转移后 | 新产能形成后 |
| 生产场所 | 大族企业湾基地（温控设备、晶圆传片设备） | 大族企业湾基地（晶圆传片设备） | U谷基地（温控设备）大族企业湾基地（晶圆传片设备） |
| 生产厂房面积 | 1,904.74 | 436.59 | 3,334.33 |
| 生产设备数量 | 102 | 18 | 147 |
| 生产人数 | 16 | 4 | 34 |
| 产能利用率 | 104.68% | 17.42% | 101.26% |
| 当年产量-温控设备 | 1,069 | 57 | 1,244 |
| 当年产量-晶圆传片设备 | 4 | 16 | 43 |
注：生产厂房面积为各月平均数，下同。2021年，北京母公司将半导体专用温控设备产能转移至安徽京仪后，北京母公司的生产厂房面积、生产设备数量、生产人数、产能利用率和半导体专用温控设备产量均有所下降。
2022年末，北京母公司新增了U谷基地作为半导体专用温控设备的生产基地，生产厂房面积、生产设备数量、生产人数、产能利用率和产品产量呈现增长趋势。安徽京仪：
单位：平方米、台、人
| 项目 | 产能转移前 | 产能转移后 | 新产能形成后 |
| 生产场所 | 12号厂房 | 12号厂房、9号厂房 | 12号厂房、9号厂房 |
| 生产厂房面积 | 9,575.00 | 11,530.00 | 13,485.00 |
| 生产设备数量 | 226 | 272 | 304 |
| 用工人数小计 | 73 | 114 | 143 |
| 其中：生产人数 | 56 | 50 | 57 |
| 劳务外包人数 | 17 | 64 | 86 |
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| 项目 | 产能转移前 | 产能转移后 | 新产能形成后 |
| 产能利用率 | 42.93% | 111.48% | 104.95% |
| 当年产量-温控设备 | 205 | 1,883 | 1,241 |
| 当年产量-工艺废气处理设备 | 278 | 458 | 666 |
2021年北京母公司将半导体专用温控设备产能转移至安徽京仪，安徽京仪下半年租赁了新的生产场所，生产厂房面积、生产设备数量、用工人数、产能利用率和产品产量均有所上升。2022年末，北京母公司新增了U谷基地作为半导体专用温控设备的生产基地，半导体专用温控设备中部分型号的生产继续由安徽京仪负责，其他型号由U谷基地负责，因此2022年末安徽京仪半导体专用温控设备产量有所下降，产能利用率小幅下降。除此外，安徽京仪的生产厂房面积、生产设备数量、用工人数和工艺废气处理设备产品产量均有所上升。综上，北京母公司和安徽京仪各自的生产设备、场地面积、生产人数、产量、产能利用率变动具有合理性，符合公司实际情况。公司主要生产用机器设备中，半导体专用温控设备调试平台、半导体专用工艺废气处理设备调试平台、硅片盒装载器为不同类型产品生产专用的设备，其他的设备如测漏仪、保压仪等调试相关设备，以及焊接、切割相关设备一般为各类产品均可以使用的通用设备，整体而言公司生产用机器设备中以通用设备为主。公司主要机器设备具体情况详见首轮问询回复“问题16/一/（一）”公司机器设备的名称、用途、在生产中的主要作用相关内容。产能=年工作天数/单位机台调试标准时长*调试人员数量*单名调试人员可同时调试设备的数量，产能利用率=产量/产能。公司生产能力限制因素主要为调试人员数量、人员工作效率（即单名调试人员可同时调试设备的数量）。
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公司生产用机器设备以通用设备为主，机器设备规模并非限制公司生产能力的主要因素。
公司产量和机器设备用电量之间具有良好的匹配关系，随着产量增长，机器设备运行时间和用电量相应增长，2019年至2022年，公司产量和用电量的匹配情况如下：
单位：台、万千瓦时
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 半导体专用设备产量 | 3,194 | 2,414 | 1,556 | 792 |
| 用电量 | 296.56 | 224.46 | 154.41 | 115.33 |
| 单位产量的用电量 | 0.09 | 0.09 | 0.10 | 0.15 |
注：单位产量的用电量=用电量/半导体专用设备产量。
2019年至2022年，公司单位产量对应的用电量分别为0.15万千瓦时/台、
0.10万千瓦时/台、0.09万千瓦时/台和0.09万千瓦时/台。2020年度、2021年度和2022年度，公司单位产量的用电量水平基本稳定，半导体专用设备的生产和用电情况具有良好的匹配关系。2019年度，因处于业绩提升前期，公司整体生产规模较小，用电量中固定成本部分较高，规模效应尚不显著，故当年单位产量的用电量较高，具有合理性。
公司产量和用工人数之间具有良好的匹配关系，2019年至2022年，公司单位产量的用工人员数量情况如下：
单位：台、人
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 半导体专用设备产量 | 3,194 | 2,414 | 1,556 | 792 |
| 用工人员数量 | 215 | 131 | 83 | 93 |
| 单位产量的用工人员数量 | 0.07 | 0.05 | 0.05 | 0.12 |
2019年至2022年，公司单位产量的用工人员数量分别为0.12人/台、0.05人/台、0.05人/台和0.07人/台。2020年度、2021年度和2022年，公司单位产
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量的用工人员数量水平基本稳定，半导体专用设备的生产和用工人数具有良好的匹配关系。2019年度，公司处于业绩提升前期，人均产出效率均处于磨合提升阶段，整体水平较低，故当期单位产量的用工人员数量较高，具有合理性。转移以及后期转回阶段，北京母公司和安徽京仪生产人员增加、减少以及处理方式如下：
| 项目 | 主体 | 产能转移前后 | 新产能形成后 |
| 生产人员安排 | 北京母公司 | 北京母公司部分生产人员离职，其余生产人员暂时转岗至其他部门或借调至安徽京仪从事生产工作 | 北京母公司生产人员恢复生产，从事与U谷基地、大族企业湾基地的生产工作 |
| 安徽京仪 | 产能利用率增加，扩充劳务外包人员满足新增生产需求 | 生产人员逐年增加，由于产品结构发生变化，更多负责工艺废气处理设备的生产与调试工作 | |
| 生产设备安排 | 北京母公司 | 原有设备未进行搬迁 | 新租赁厂房，购臵、租赁设备，扩充产能 |
| 安徽京仪 | 设备数量逐年增加 | 设备数量逐年增加 |
（三）制造费用的构成明细，产能转移对各明细的具体影响及原因；外协加工费用、直接人工费与收入增长不匹配的原因
1、制造费用的构成明细，产能转移对各明细的具体影响及原因
（1）主营业务成本-制造费用构成明细
2019年至2022年，公司半导体专用设备主营业务成本中制造费用分别为1,249.87万元、1,745.80万元、1,525.61万元和1,607.56万元，占比分别为
9.34%、8.44%、5.94%和5.07%。2019年至2022年，公司主营业务成本中制造费用明细如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
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| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 运费 | 640.19 | 439.58 | 436.40 | - |
| 职工薪酬 | 274.00 | 267.50 | 393.35 | 337.34 |
| 折旧、摊销和租赁费 | 341.51 | 458.67 | 576.28 | 578.17 |
| 包装材料费用等 | 178.41 | 164.19 | 134.84 | 133.34 |
| 电费 | 92.72 | 91.14 | 70.15 | 60.70 |
| 其他 | 80.73 | 104.53 | 134.78 | 140.32 |
| 合计 | 1,607.56 | 1,525.61 | 1,745.80 | 1,249.87 |
| 销量 | 1,957 | 1,547 | 1,197 | 813 |
| 单位制费 | 0.82 | 0.99 | 1.46 | 1.54 |
2019年至2022年，公司当年半导体专用设备销量中对应的投产年度分布情况如下：
| 项目 | 2022年 | 2021年 | 2020年 | 2019年 |
| 2020年以前年度投产 | 0.87% | 2.39% | 44.36% | 100.00% |
| 2020年度投产 | 5.47% | 48.67% | 55.64% | |
| 2021年度投产 | 74.04% | 48.93% | - | - |
| 2022年度投产 | 19.62% | - | - | - |
| 合计 | 100.00% | 100.00% | 100.00% | 100.00% |
2021年公司销量较2020年增加，但主营业务成本中制造费用较2020年减少220.19万元，下降12.61%，主要原因如下：
1）因产能转移事项导致，2021年北京母公司大族企业湾生产基地阶段性调整转为管理、研发中心和晶圆传片设备生产基地，因此北京母公司制造费用中折旧摊销、职工薪酬等转为非成本项目核算，2021年北京母公司制造费用有所下降。为承载公司2021年的产能转移任务和新增的生产任务，2021年安徽京仪产能利用率提升，由42.93%提升至111.48%，2021年安徽京仪在人员数量、机器设备及厂房未发生大幅变化情况下（2020年及2021年安徽
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京仪计入制造费用的人员数量均约16人，2020年及2021年安徽京仪折旧主要组成部分厂房折旧均约300万元）满产能运转，顺利完成当年的生产任务，2021年安徽京仪制造费用保持相对稳定。综合2021年北京母公司制造费用下降及安徽京仪的制造费用保持相对稳定的情况，2021年公司主营业务成本中制费下降，随着销量增加2021年单位制费也有所下降；2021年销量中约
48.93%由2021年当年生产，约48.67%由2020年生产，即2021年销量中近一半产品单位制造费用较低，导致2021年主营业务成本中制造费用下降；2）2020年销量中约44.36%由2019年及以前年度生产（其中大部分为2019年度生产），约55.64%由2020年生产，2019年产能利用率和规模效应尚不显著，生产成本中单位制费水平达1.48万元，导致2020年主营业务成本中制造费用水平较高。
2022年公司主营业务成本中制造费用较2021年增加81.95万元，小幅增长5.37%，增幅小于2022年销量的增长幅度。公司2022年销量中约74.04%由2021年生产，2021年生产成本对2022年主营业务成本的影响较大，2021年单位制造费用因安徽京仪产能利用率提升而下降，受此影响2022年制造费用整体增幅较小。
（2）生产成本-制造费用构成明细
2019年至2022年，公司生产成本中制造费用明细如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 职工薪酬 | 895.04 | 260.29 | 325.85 | 317.11 |
| 折旧、摊销和租赁费 | 691.90 | 362.99 | 608.57 | 543.50 |
| 包装材料费用等 | 308.09 | 225.95 | 158.62 | 125.34 |
| 电费 | 185.48 | 113.12 | 100.95 | 57.06 |
| 其他 | 144.99 | 89.09 | 143.58 | 131.91 |
| 运费 | 913.66 | 682.75 | 486.25 | - |
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| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 合计 | 3,139.15 | 1,734.19 | 1,823.82 | 1,174.92 |
| 产量 | 3,194 | 2,414 | 1,556 | 792 |
| 单位制费 | 0.98 | 0.72 | 1.17 | 1.48 |
注:上表中运费项目直接计入营业成本中除直接材料和直接人工外的其他成本科目，职工薪酬、折旧摊销和租赁费等其他项目为与生产直接相关的费用。
2021年生产成本中归集的制造费用下降，主要因产能转移事项导致，2021年北京母公司大族企业湾生产基地阶段性调整转为管理、研发中心和晶圆传片设备生产基地，因此北京母公司制造费用中折旧摊销、职工薪酬等转为非成本项目核算，2021年北京母公司制造费用有所下降。2021年以前安徽京仪产能利用率不高，尚保留较大的提升空间，因此2021年安徽京仪场地和人员足够承载北京母公司转移的产能，并能够承载2021年公司新增的产量。2021年北京母公司生产成本中职工薪酬较2020年下降114.06万元，安徽京仪生产成本中职工薪酬增加48.50万元，综合导致2021年度生产成本中归集的职工薪酬下降65.56万元；2021年北京母公司生产成本中折旧、摊销和租赁费减少285.98万元，安徽京仪生产成本中折旧、摊销和租赁费增加
40.40万元，综合导致2021年度生产成本中归集的折旧、摊销和租赁费下降
245.58万元。
（3）主营业务成本制造费用-运费变化原因分析
报告期内公司主营业务成本制造费用-运费和半导体专用设备销售数量匹配情况如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 运费金额 | 640.19 | 439.58 | 436.40 |
| 销量 | 1,957.00 | 1,547.00 | 1,197.00 |
| 单位运费 | 0.33 | 0.28 | 0.36 |
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2021年运费规模与2020年基本持平，但单位运费有所下降，主要系2021年存在产能转移的情况，安徽京仪作为主要生产基地进行生产和发货，安徽京仪作为发货地的发货数量占比大幅提升，从约30%上升至约90%。由于公司主要客户集中在华东地区，从安徽京仪发货距离更短且发货数量更为集中，规模效应明显，导致单位运费有所下降。2022年运费规模较2021年上涨200.61万元，单位运费有所上涨，略低于2020年水平，主要是由于北京母公司新生产基地投入使用，承担了一部分生产职能并进行发货，北京地区发往华东、华南地区的距离较远，单位运费较高。
（4）主营业务成本制造费用-职工薪酬变化原因分析
公司主营业务成本制造费用-职工薪酬和半导体专用设备销量匹配情况如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 职工薪酬 | 274.00 | 267.50 | 393.35 | 337.34 |
| 销量 | 1,957 | 1,547 | 1,197 | 813 |
| 单位薪酬 | 0.14 | 0.17 | 0.33 | 0.41 |
公司生产成本制造费用-职工薪酬和半导体专用设备产量匹配情况如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 职工薪酬 | 895.04 | 260.29 | 325.85 | 317.11 |
| 产量 | 3,194 | 2,414 | 1,556 | 792 |
| 单位薪酬 | 0.28 | 0.11 | 0.21 | 0.40 |
2020年，主营业务成本制造费用-职工薪酬较2019年小幅上升，主要系销量增加47.23%、单位制造费用-职工薪酬小幅下降19.51%导致制造费用-职工薪酬增加。
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2021年，主营业务成本制造费用-职工薪酬较2020年下降约125.85万元，主要原因为公司产能利用率提升，单位薪酬的下降幅度大于销量的增幅，导致职工薪酬整体下降。为承载公司2021年的产能转移任务和新增的生产任务，2021年安徽京仪产能利用率提升，由42.93%提升至111.48%，2021年北京母公司在阶段性停工期间制造费用-职工薪酬有所下降，但安徽京仪人员数量变化较小，满产能运转并顺利完成当年的生产任务，导致2021年单位薪酬下降。2021年销量中约48.93%由2021年当年生产，约48.67%由2020年生产，即2021年销量中近一半产品单位薪酬较低，导致2021年主营业务成本中制造费用-职工薪酬下降。
2022年，公司销量中约74.04%由2021年生产，2021年生产成本对2022年主营业务成本的影响较大，2021年生产成本中制造费用-单位薪酬因产能利用率提升而下降。2022年北京母公司及安徽京仪均扩招库房经理等员工，2022年度公司计入生产成本制造费用中职工薪酬（895.04万元）高于2021年（260.29万元）及2020年（325.85万元），公司2022年销量中约19.62%由2022年生产，综合影响下2022年整体单位薪酬较2021年下降17.65%，下降幅度小于同期单位折旧、摊销和租赁费下降幅度（下降43.33%）。同时，2022年销量较2021年增长26.50%，结合单位薪酬下降幅度及销量增幅，公司2022年制造费用-职工薪酬整体增幅较小。
（5）主营业务成本制造费用-折旧、摊销和租赁费变化原因分析
报告期内公司主营业务成本制造费用-折旧、摊销和租赁费和半导体专用设备销量匹配情况如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 折旧、摊销和租赁费 | 341.51 | 458.67 | 576.28 | 578.17 |
| 销量 | 1,957.00 | 1,547.00 | 1,197.00 | 813 |
| 单位折旧、摊销和租赁费 | 0.17 | 0.30 | 0.48 | 0.71 |
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报告期内公司生产成本制造费用-折旧、摊销和租赁费和半导体专用设备产量匹配情况如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 折旧、摊销和租赁费 | 691.90 | 362.99 | 608.57 | 543.50 |
| 产量 | 3,194 | 2,414 | 1,556 | 792 |
| 单位折旧、摊销和租赁费 | 0.22 | 0.15 | 0.39 | 0.69 |
2020年，主营业务成本制造费用-折旧、摊销和租赁费与2019年基本一致。
2021年，折旧、摊销和租赁费较2020年下降117.61万元，主要原因为公司产能利用率提升，单位折旧、摊销和租赁费的下降幅度大于销量的增幅，导致折旧、摊销和租赁费整体下降。为承载公司2021年的产能转移任务和新增的生产任务，2021年安徽京仪产能利用率提升，由42.93%提升至111.48%，
具体而言，2021年北京母公司在阶段性停工期间原有生产场地转为其他部门使用，折旧、摊销和租赁费有所下降，但安徽京仪产能储备充足，机器设备未发生较大变化，租赁场地方面虽新租赁了9号厂房，但安徽京仪单位租赁成本约为北京大族企业湾基地成本的18.05%，安徽京仪租赁成本仅上升约20万元，上升规模较小，能够满产能运转并顺利完成当年的生产任务，导致2021年单位折旧、摊销和租赁费下降。2021年销量中约48.93%由2021年当年生产，约48.67%由2020年生产，即2021年销量中近一半产品单位折旧、摊销和租赁费较低，导致2021年主营业务成本中折旧、摊销和租赁费下降。
2022年，公司销量中约74.04%由2021年生产，2021年生产成本对2022年主营业务成本的影响较大，2021年生产成本中单位折旧、摊销和租赁费因产能利用率提升而下降，因此2022年主营业务成本中单位折旧、摊销和租
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赁费较2021年下降43.33%，2022年销量较2021年增长26.50%，综合影响下公司2022年制造费用-折旧、摊销和租赁费整体下降117.16万元。综上，公司最近四年营业成本中制造费用规模较小，且占主营业务成本比例较低，公司制造费用变动具有合理性。
2、外协加工费用、直接人工费与收入增长不匹配的原因
报告期各期，公司外协加工半导体专用设备的销售数量情况具体如下：
单位：台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 外协加工机台销量 | 1,250 | 882 | 962 | 365 |
| 半导体专用设备总销量 | 1,957 | 1,547 | 1,197 | 813 |
| 占比 | 63.87% | 57.01% | 80.37% | 44.90% |
报告期各期，公司半导体专用设备成本中外协加工费用、直接人工费与营业收入占比的情况具体如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 半导体专用设备业务收入① | 56,281.34 | 43,505.85 | 30,026.66 | 18,755.98 |
| 外协加工费用② | 1,997.29 | 1,437.12 | 1,450.00 | 515.19 |
| 直接人工③ | 1,445.72 | 1,112.21 | 687.53 | 619.76 |
| 合计④=②+③ | 3,443.01 | 2,549.33 | 2,137.53 | 1,134.95 |
| 合计占比④/① | 6.12% | 5.86% | 7.12% | 6.05% |
2019年至2022年，外协加工费与直接人工合计金额占收入的比例分别为6.05%、7.12%、5.86%、6.12%，外协加工费与直接人工合计的增长趋势与营业收入的增长趋势基本匹配。
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（四）在发行人仅从事设备调试的情况下，毛利率较高的原因和合理性，国内外可比厂商是否也仅从事设备调试，毛利率是否具有可比基础
1、在发行人仅从事设备调试的情况下，毛利率较高的原因和合理性
公司面向集成电路制造行业，主要产品半导体专用工艺废气处理设备的设计、研发和全生产流程均由公司自主完成；主要产品半导体专用温控设备仅有附加价值较低的组装环节由外协供应商根据公司提供的作业指导书完成，外协供应商仅按照公司的要求和指导，负责执行已具备成熟组装工艺的产品的组装工作，不掌握相关产品的核心技术，并且公司新研制的组装难度较高的产品均由公司子公司安徽京仪自行完成组装。因此，公司掌握半导体专用温控设备设计、研发和全生产流程的核心技术，使用外协供应商完成组装环节是公司基于工序难度和经济性考虑做出的选择。公司是一家依托核心技术开展业务，集研发、设计、生产和销售的纵向一体化业务模式的半导体设备供应商，并非仅从事半导体设备的调试。公司产品毛利率较高的原因具体如下：
（1）公司的技术能力赋予产品核心价值
公司所处的半导体设备行业为知识和技术密集型行业，公司产品的核心价值在于公司所掌握的相关产品核心技术及设计能力，产品生产依靠公司的研发设计能力完成驱动，产品具有较高的附加价值。
具体而言，公司依托核心技术具备主要产品在系统整体、零部件和核心算法的设计能力，自主形成标准作业指导确保产品组装环节的一致性，并在调试环节通过负载测试、气密性测试、模拟工况测试等操作满足下游客户对产品功能、稳定性、安全性等指标的要求。公司能够长期持续满足下游客户工艺制程迭代过程中对相关半导体设备产品的需求，通过公司产品高精度、高效率、高稳定性等特点，保障下游客户的生产效率，在不断满足最新工艺制程需求的同时，帮助客户提升生产良率，为客户带来价值。
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（2）公司打破国外厂商垄断，关键性能参数达到主要竞争对手产品水平
公司与境外同行业可比上市公司主要产品以及主营业务毛利率与境外同行业可比上市公司毛利率对比情况如下：
| 公司简称 | 主要产品 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| SMC公司 | 温控器、压缩空气净化元件、气动辅助元件等 | - | 50.02% | 48.15% | 49.40% |
| 爱德华公司 | 干泵、环保解决方案（尾气处理系统）等 | 42.02% | 41.95% | 41.27% | 43.11% |
| 平田公司 | EFEM、Sorter和硅片传输机器人等 | - | 18.94% | 20.94% | 17.78% |
| 平均值 | - | 42.02% | 36.97% | 36.78% | 36.76% |
| 京仪装备 | 半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备和晶圆传片设备 | 39.98% | 38.03% | 29.56% | 27.56% |
公司主要产品半导体专用温控设备和半导体专用工艺废气处理设备推出前，国内相关领域主要由国外厂商主导，产品价格处于较高水平，提高了集成电路制造厂商的制造和使用成本，公司主要产品推出后，打破了国外厂商垄断市场的情况，在产品技术路线与产品性能方面，公司与主要竞争对手在技术路线上不存在重大差异，公司主要产品与国外主流竞品在主要技术指标方面不存在重大差异，能够较好地满足客户需求，产品质量和运行情况已通过国内主流晶圆产线的验证认可。公司产品能够对标行业内的主流竞品，因此，公司产品能够实现与境外可比公司接近的较高毛利水平。
综上，公司毛利率较高具备合理性。
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2、国内外可比厂商是否也仅从事设备调试，毛利率是否具有可比基础基于公司对行业内了解的信息，公司半导体专用温控设备的主要竞争对手ATS公司存在使用台湾地区外协厂商从事组装外协业务的情形，其余境外竞争对手和境内可比公司未披露使用外协厂商完成组装环节的情形。根据境内可比公司华海清科的披露：“公司产品为大型设备，公司的核心竞争力体现在软硬件研发设计能力而非加工制造能力，公司生产流程主要包括场内装配、测试，生产人员经专项培训后可达到业务能力要求，无其他特殊执业技能要求，生产人员的平均薪酬较低。”根据可比公司中微公司的披露：“作为研发型企业，发行人的生产环节与传统加工制造企业相比较为简单，主要为零部件组装和整机调试，生产过程较为简单，培训上岗较快，外部劳动力市场供应充足。”半导体设备行业企业的组装环节技术难度相对较低的现象普遍存在，组装环节不属于附加价值较高的业务环节，公司产品的技术水平和核心价值与同行业可比公司均重点体现于设计研发环节，公司选择将部分产品的组装工序外协完成不影响公司产品与可比厂商产品技术水平和核心价值的可比性，公司与国内外可比厂商毛利率具有可比基础。
（五）结合报告期内发行人完成的技术突破，具体说明Y系列温控设备、双腔废气处理设备毛利率大幅上升的原因，单腔废气处理设备高于双腔的原因，马拉松式设备与发行人自研设备的具体差异，价格、成本对比情况，自研设备毛利率较高的原因
1、结合报告期内发行人完成的技术突破，具体说明Y系列温控设备、双腔废气处理设备毛利率大幅上升的原因
公司总体参考成本加成的方式与客户协商定价，产品成本为公司定价的基础，再结合客户订单的配臵需求和产品成本情况、客户合作时间及议价能力等因素与客户协商定价，影响定价的主要因素包括产品成本和配臵要求、客户合作时间及议价能力等。一般而言，公司产品的售价会随着产品配臵的
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提高而相应升高；对于近年新建立合作的客户，随着产品市场认可度的提升公司拥有更高的定价自主权和议价能力，新客户产品售价相应较高。公司的销售定价模式与半导体设备行业公司类似，符合行业惯例。同行业可比公司华海清科披露，“2020年300 X 系列正式实现销售，因300 X 系列产品性能及功能进一步提高，公司议价能力增强，平均价格较其他系列机台高，毛利率也较高。”芯源微披露，“公司主要为下游集成电路、LED 芯片等半导体制造厂商提供半导体专用设备，产品呈现较为显著的定制化特征，不同客户的产品配臵及性能要求以及议价能力可能会有所不同，从而导致毛利率存在一定差异”。科创板上市公司深圳中科飞测科技股份有限公司披露，“2020年度S1型号产品部分售价较高，7台设备为本年度新客户销售，采购数量较少，因此销售单价相对偏高。”2021年和2022年公司主营业务毛利率水平与境内外同行业可比上市公司毛利率水平不存在显著差异，公司整体毛利率情况与行业水平基本一致。
（1）Y系列半导体专用温控设备
公司Y系列单通道、双通道半导体专用温控设备的毛利率变动影响因素分析情况如下：
单位：万元/台
| 类别 | 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |||
| 金额/毛利率 | 毛利率 变动影响 | 金额/毛利率 | 毛利率 变动影响 | 金额/毛利率 | 毛利率变动影响 | 金额/毛利率 | ||
| Y系列-单通道 | 平均单价 | 12.55 | 5.92% | 11.45 | 2.65% | 11.05 | -0.52% | 11.12 |
| 平均单位成本 | 7.88 | -1.11% | 7.74 | 5.42% | 8.36 | 0.84% | 8.45 | |
| 毛利率 | 37.22% | 4.81% | 32.42% | 8.07% | 24.34% | 0.31% | 24.03% | |
| Y系列-双通道 | 平均单价 | 24.75 | 6.87% | 22.08 | -3.19% | 23.09 | -1.32% | 23.53 |
| 平均单位成 | 13.96 | 0.43% | 14.06 | 9.30% | 16.12 | 1.00% | 16.35 | |
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| 本 | |||||||
| 毛利率 | 43.61% | 7.30% | 36.31% | 6.11% | 30.20% | -0.32% | 30.52% |
注：平均单价毛利率影响数=（当期平均单价-上期销售成本）/当期平均单价-（上期平均单价-上期销售成本）/上期平均单价；平均单位成本毛利率影响数=（当期平均单价-当期平均单位成本）/当期平均单价-（当期平均单价-上期平均单位成本）/当期平均单价，下同。
1）2020年度毛利率变化较小2020年度，公司Y系列单通道和双通道产品毛利率与2019年度相比未发生明显变动。
2）2021年度毛利率上升2021年度，Y系列单通道和Y系列双通道半导体专用温控设备产品毛利率分别上升8.07个百分点和6.11个百分点，其中平均单位成本下降带动毛利率分别上升5.42个百分点和9.30个百分点，是Y系列产品毛利率上升的主要原因。2021年度，Y系列产品设计和工艺、选材用料不断优化，实现了产品成本的降低，例如，公司通过将产品使用的循环液体驱动部件升级为磁力驱动部件，一方面使单位部件成本下降约2,000元，还实现了规避循环液体接触到电机轴形成污染的可能，并降低了循环液体接触电机轴产生的较大的热负荷。此外，Y系列双通道产品还通过改变循环容器容量和取消缓冲循环容器的方式，能够实现在满足温控精度要求的前提下，通过对原有算法的改进和优化，根据回水温度的变化情况对系统制冷加热能力进行预调节，代替了用氟化液进行缓冲的效果，显著减少了循环液体用量并降低了相关成本，循环液体用量的减少也提升了设备控制循环液体温度快速变化的效率，实现了产品的降本增效。3）2022年度毛利率上升
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2022年度，Y系列单通道和Y系列双通道半导体专用温控设备产品毛利率分别上升4.81个百分点和7.30个百分点，主要原因在于公司产品平均单价上升带动毛利率分别上升5.92个百分点和6.87个百分点。
① Y系列-单通道：
单位：万元/台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | ||||
| 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | |
| 新客户 | 21.87% | 15.21 | 42.80% | 1.74% | 16.56 | 49.52% |
| 其他客户 | 78.13% | 11.96 | 35.66% | 98.26% | 11.39 | 32.11% |
| 所有客户合计 | 100.00% | 12.55 | 37.22% | 100.00% | 11.45 | 32.42% |
Y系列-单通道收入端，2022年，公司向新客户销售的机台数量由6台上升为109台，新客户销售收入占比由1.74%上升至21.87%，且新客户产品平均售价和毛利率水平较高，导致Y系列单通道产品平均单价和毛利率上升；其他客户中客户销售结构有所变化导致平均单价和毛利率小幅上升。
② Y系列-双通道：
单位：万元/台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | ||||
| 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | |
| 新型号A1 | 10.81% | 31.33 | 51.88% | - | - | - |
| 其他型号 | 89.19% | 24.13 | 42.61% | 100.00% | 22.08 | 36.31% |
| 其中：新客户 | 7.29% | 38.77 | 54.87% | 0.30% | 37.85 | 62.17% |
| 所有客户合计 | 100.00% | 24.75 | 43.61% | 100.00% | 22.08 | 36.31% |
Y系列-双通道收入端，产品结构方面，公司新型号产品A1实现了对主要客户批量销售，2022年销售数量由0台上升至66台，收入占比由0%上升至10.81%，该产品平均单价和毛利率较高，导致Y系列双通道产品平均毛利率上升。其他型号方面，2022年公司向新客户销售的机台数量由1台上升为
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36台，新客户销售收入占比由0.30%上升至7.29%，且新客户产品平均售价和毛利率水平较高，导致Y系列双通道产品平均毛利率上升；另外，传统型号对应的其他客户的客户销售结构变化导致产品单价亦呈现上升趋势。
③2021年和2022年新客户单价较高的原因主要系：
1）产品配臵因素影响单价。新客户部分订单产品配臵要求与其他客户相比较高，增加了桥架、快插、定制化保温棉等部件要求，配臵增加导致产品成本上升，定价层面影响体现为平均单价亦有所上升，且定价增幅超过成本增幅。以2022年为例，Y系列-单通道产品中新客户产品平均成本为8.70万元/台，高于其他客户产品平均成本7.70万元/台；Y系列-双通道产品中新客户产品平均成本为17.49万元/台，高于其他客户产品平均成本13.78万元/台。因产品配臵增加和产品成本提升，新客户Y系列产品的订单售价总体高于其他客户产品。2）新客户因素影响单价。随着公司产品市场认可度的提升，公司拥有更高的定价自主权和议价能力，部分新客户的产品平均价格较高。公司成立初期为了开拓市场，产品性价比优势为重要竞争力之一。随着公司半导体专用温控设备市场份额逐年扩大，2020年公司起国内温控市场排名上升至第一，公司产品已在国内市场占据了一席之地，议价能力有所提升。
④新型号产品售价较高的原因主要系：
公司通过不断研发投入和产品升级，将技术实力转化为市场竞争力，新产品A1与前一代产品A0相比，在节能设计、产品结构设计、控制系统设计等方面进行了升级，主要元器件水泵等的选型也进行了更新换代，产品节能性能、制冷性能明显提升，占地面积进一步缩小约15%，产品售价随产品技术难度提高而增加。2021年度、2022年度，A1型号与其前代型号A0情况如下表所示：
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单位：万元/台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | ||||
| 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | |
| 新型号A1 | 10.81% | 31.33 | 51.88% | - | - | - |
| 前代型号A0 | 2.62% | 26.33 | 42.44% | 0.60% | 25.24 | 51.94% |
注：收入占比指特定型号占Y系列双通道产品收入的比例。
（2）双腔燃烧水洗式半导体专用工艺废气处理设备
公司双腔燃烧水洗式半导体专用工艺废气处理设备的毛利率变动影响因素分析情况如下：
单位：万元/台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |||
| 金额/毛利率 | 毛利率 变动影响 | 金额/毛利率 | 毛利率 变动影响 | 金额/毛利率 | 毛利率 变动影响 | 金额/毛利率 | |
| 平均单价 | 60.68 | -1.89% | 62.86 | 7.69% | 55.33 | 6.15% | 50.80 |
| 平均单位成本 | 33.73 | -1.00% | 33.12 | 3.84% | 35.53 | 4.83% | 38.20 |
| 毛利率 | 44.42% | -2.89% | 47.31% | 11.53% | 35.78% | 10.98% | 24.80% |
2019年度，公司双腔燃烧水洗式半导体专用工艺废气处理设备销售数量仅为2台且均为研发样机，该系列产品销售收入占全部半导体专用工艺废气处理设备产品销售收入的比例为2.83%，毛利率为24.80%，该年度毛利率处于较低水平主要由于研发样机成本较高且该系列产品尚未实现批量销售、平均单价偏低所致，故该年度双腔燃烧水洗式半导体专用工艺废气处理设备的毛利率低于批量销售的毛利率水平。
2020年度和2021年度，公司双腔燃烧水洗式半导体专用工艺废气处理设备实现批量销售，该系列产品销售收入占全部半导体专用工艺废气处理设备产品销售收入的比例分别为88.67%和77.83%。2021年度，双腔燃烧水洗式产品毛利率上升11.53个百分点，平均单价上升带动毛利率上升7.69个百分
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点，是毛利率上升的主要原因。2020年度和2021年度，双腔燃烧水洗式产品分型号的产品情况具体如下：
单位：万元/台
| 项目 | 2021年度 | 2020年度 | ||||
| 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | |
| 新型号B1 | 26.87% | 55.01 | 43.94% | 4.86% | 56.49 | 39.31% |
| 前代型号B0 | 12.03% | 47.88 | 33.93% | 35.19% | 45.43 | 24.95% |
| 新型号C1 | 39.44% | 77.42 | 56.31% | - | - | - |
| 前代型号C0 | 21.11% | 63.04 | 42.21% | 59.10% | 63.14 | 41.67% |
| 其他型号 | 0.55% | 79.12 | 55.88% | 0.85% | 78.74 | 54.42% |
| 双腔燃烧水洗式产品合计 | 100.00% | 62.86 | 47.31% | 100.00% | 55.33 | 35.78% |
2021年度，公司双腔燃烧水洗式产品进一步获得市场认可，销售价格整体有所上升。公司新型号双腔燃烧水洗式产品B1和C1在当年开始实现批量销售，B1产品收入占当年双腔燃烧水洗式半导体专用工艺废气处理设备收入的比例由4.86%上升至26.87%，C1产品收入占当年双腔燃烧水洗式半导体专用工艺废气处理设备收入的比例由0%上升至39.44%。B1型号平均单价高于其2020年前代型号产品平均单价21.11%，毛利率上涨18.99个百分点；C1型号平均单价高于其2020年前代型号产品平均单价22.62%，毛利率上涨14.64个百分点。
B1和C1型号产品毛利率较高主要系公司对产品设计选材进行了更新。新型号产品同前代型号产品相比，通过对反应塔等设备组件结构和材质的升级提升了产品的废气处理能力和反应腔的腔体使用寿命，安全性能也有所提升，设备整体性能优于其他同系列产品，平均单价较其他同系列产品进一步提升。
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2022年度，公司双腔燃烧水洗式产品毛利率较上年度未发生明显变化，平均单价和平均单位成本较上年度均略有下降。
（3）其他半导体专用温控设备毛利率变化情况
报告期各期，公司其他半导体专用温控设备毛利率分别为22.57%、24.11%和53.53%，销售收入分别为1,836.11万元、3,226.45万元和676.69万元，销售机台数量分别为53台、93台和24台，其他半导体专用温控设备整体规模较小，毛利率水平易受个别客户影响而呈现波动趋势。其他半导体专用温控设备主要为根据客户最新需求定制研发形成的销量规模较小的B系列、H系列等。
2022年，其他半导体专用温控设备毛利率较上期上升了29.42个百分点，主要系公司成功引入新客户，新客户B系列产品收入占比由0%上升至45.66%，新客户B系列产品售价较2021年上涨30.00%，导致当年其他半导体专用温控设备毛利率水平有所上升。具体数据如下：
单位：万元/台
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | ||||
| 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | 收入占比 | 平均单价 | 毛利率 | |
| B系列 | 59.98% | 45.10 | 49.81% | 100.00% | 34.69 | 23.63% |
| 其中：新客户 | 45.66% | 51.50 | 51.10% | - | - | - |
| 其他客户 | 14.32% | 32.30 | 45.68% | 100.00% | 34.69 | 23.63% |
| H系列 | 33.52% | 16.20 | 66.39% | - | - | - |
| 其中：新客户 | 33.52% | 16.20 | 66.39% | - | - | - |
| 其他系列 | 6.50% | 43.98 | 33.30% | |||
| 其中：其他客户 | 6.50% | 43.98 | 33.30% | - | - | - |
| 其他半导体专用温控设备合计 | 100.00% | 28.20 | 53.53% | 100.00% | 34.69 | 23.63% |
新客户B系列产品定价较高的原因为新客户产品具体配臵要求较高，在
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定制化通讯硬件模块、通讯程序、光电传感器设计等方面提出了新的要求，配臵增加导致产品的成本上升，定价层面影响体现为平均单价亦有所上升，2022年B系列产品中新客户产品平均成本为25.18万元/台，高于B系列产品其他客户产品平均成本17.55万元/台，产品售价因产品配臵增加和产品成本提升而处于较高水平，2022年B系列产品售价达到51.50万元/台。
2022年由于B系列其他客户需求调整，对其销售的B系列产品机台数量有所下降，从92台减少至2台，产品收入占比有所下降。2022年其他客户采购B系列设备数量较少，2021年其他客户批量采购的B系列产品的毛利率较低，故2022年总体毛利率水平有所上升。
2、单腔废气处理设备高于双腔的原因
报告期各期，公司单腔燃烧水洗式半导体专用工艺废气处理设备毛利率分别为52.92%、51.59%和49.94%，双腔燃烧水洗式半导体专用工艺废气处理设备毛利率分别为35.78%、47.31%和44.42%，单腔燃烧水洗式产品毛利率整体上高于双腔燃烧水洗式产品。
整体而言，相同设计的单腔燃烧水洗式产品和双腔燃烧水洗式产品主要区别在于腔体数量，产品技术难度方面不存在明显差异，客户根据产线需求进行选择和配臵。从各类产品细分类型来看，公司单腔燃烧水洗式产品中毛利率水平高的先进产品占比较高，双腔燃烧水洗式产品均为成熟产品类型，导致单腔燃烧水洗式产品毛利率整体上高于双腔燃烧水洗式产品。
公司单腔燃烧水洗式中先进产品进行了特殊设计，在安全性能和稳定性能上更具先进性，具体而言，单腔燃烧水洗式主要产品依据客户现场实际工况的需求，通过在气体流通过程中采用双重硬件保护的方法，进一步提升了公司产品的安全性能；在系统控制方面，采用嵌入式系统控制和故障容错控制，保障设备的稳定性，满足客户对气体流通控制部件泄漏率等级达到A级
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的要求，双腔水洗式产品未采用上述设计方式。以2022年度为例，公司单腔燃烧水洗式产品的毛利率和收入占比情况具体如下：
| 项目 | 毛利率 | 收入占比 |
| 先进产品 | 51.61% | 72.63% |
| 成熟产品 | 45.51% | 27.37% |
| 合计 | 49.94% | 100.00% |
2022年度，公司单腔燃烧水洗式产品中先进产品收入占比为72.63%，毛利率为51.61%，带动单腔燃烧水洗式产品整体毛利率高于双腔燃烧水洗式产品，成熟单腔产品毛利率为45.51%，与双腔产品不存在重大差异。
综上，单腔燃烧水洗式产品毛利率高于双腔水洗式产品，具备合理性。
3、马拉松式设备与发行人自研设备的具体差异，价格、成本对比情况，自研设备毛利率较高的原因
公司经过数年的自主研发，自研半导体专用工艺废气处理设备产品技术路线已覆盖燃烧水洗式、等离子水洗式、电加热水洗式三个细分类型，马拉松型号产品技术路线为单腔燃烧式。马拉松型号产品与公司自研产品技术角度的具体差异如下：
反应腔结构方面，马拉松型号产品反应腔采用风冷却结构，公司半导体专用工艺废气处理设备的反应腔采用水冷却结构，基于设计期望的换热效率，热平衡，液体张力影响等因素，形成特定水冷结构，实现有效热平衡进而保证腔壁的温度在合理范围内，达到设计可靠性需求。
人机交互方面，马拉松型号产品使用工控机显示，公司半导体专用工艺废气处理设备基于自主功能设计、逻辑设计、安全设计等进行相匹配控制系统研发，进而自主设计人机交互软件系统，控制系统与人机交互软件均获得软件著作权保护。
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马拉松型号产品与公司单腔燃烧水洗式产品技术路线和腔体数量更为接近，二者的价格、成本对比情况具体如下：
单位：万元/台
| 项目 | 马拉松 | 单腔燃烧水洗式 |
| 平均单价 | 43.27 | 50.52 |
| 平均单位成本 | 35.85 | 25.29 |
| 毛利率 | 17.14% | 49.94% |
注：报告期内公司未实现马拉松型号产品销售收入，因此马拉松型号产品数据取自2019年度数据，单腔燃烧水洗式取自2022年度数据。
如本问题“一/（五）/2”所述，公司单腔燃烧水洗式产品的安全性能、稳定性、泄漏率等级等指标在自研产品中处于较高水平，产品的质量及竞争力得到国内知名客户认可，因此平均单价相对较高，高于马拉松型号产品
16.77%。在产品平均单位成本方面，由于马拉松型号采用风冷却反应腔结构，其使用的陶瓷材料为高透气性且单价较高的材料，而公司单腔燃烧水洗式产品由于采用水冷式结构对于陶瓷材料的透气性指标要求较低，材料价格也处于较低水平。对于马拉松型号产品使用的工控机、水泵、流量计等价格处在万元级别的物料，公司在自主研发设备的过程中经过多次的材料选型、试验和优化测试，在自研设备中使用价格处在千元级别或百元级别的物料实现相关功能，在设备成本方面具有较大优势，平均单位成本低于马拉松型号产品
29.45%。
综上，公司自研半导体专用工艺废气处理设备同马拉松型号产品相比技术方面已有明显差异，公司自研设备市场认可度高，成本方面也更具优势，毛利率高于马拉松型号产品具备合理性。
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4、等离子式工艺废气处理设备毛利率变化原因
2019年至2022年等离子式工艺废气处理设备毛利率分别为51.36%、
48.24%、39.88%和51.05%，销售收入分别为180.48万元、590.47万元、274.86万元和2,825.27万元。
2019年及2020年等离子式工艺废气处理设备毛利率相对稳定。2021年度，等离子式工艺废气处理设备毛利率较前期略有下降，主要系当年销售设备数量较少，仅8台，受个别客户需求影响较大，当年为了开拓市场给予主要客户中芯国际一定的定价优惠，拉低了当期毛利率水平。2022年度，等离子式工艺废气处理设备毛利率较前期上升11.17个百分点，主要系当年等离子废气处理设备新客户部分订单产品平均定价水平和毛利率较高，收入占比由0%上升至74.15%，导致当年毛利率较上年有所上升。2022年等离子式工艺废气处理设备的新客户产品定价较高主要系：一方面，客户产品配臵要求较高，增加了加热带等部件要求，配臵增加导致产品的成本上升，定价层面影响体现为平均单价亦有所上升，2022年等离子废气处理设备中新客户产品平均成本为22.77万元/台，高于等离子废气处理设备其他客户产品平均成本20.61万元/台。另一方面，2022年公司废气处理设备市场占有率进一步提高至15.57%，市占率排名上升至国内第四，公司拥有更高的定价自主权和议价能力，新客户平均单价相对有所上升。
二、中介机构核查
（一）核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
1、访谈了发行人管理层、生产负责人等相关人员，了解公司的生产环节和生产模式、公司设备组装环节的技术细节和难度、将温控设备和晶圆传片设备组装外协的原因；
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2、访谈了发行人管理层，了解公司产能转移的原因、方式等，以及发行人及子公司在人员、设备、厂房等方面的安排和措施；
3、获取了发行人及子公司的产能明细表，分析北京母公司阶段性停工的情况、经济性和合理性；
4、获取了发行人的固定资产清单、员工花名册等相关文件，分析产能转移前后人员、设备、厂房的对比情况以及与收入增长的匹配性；
5、获取了发行人的制造费用明细表，分析制造费用构成明细以及各明细项目在产能转移前后的变化及原因、分析外协加工费用、直接人工费与收入增长的匹配性；
6、查阅了公司主要竞争对手的官方网站的信息、同行业可比公司关于生产环节难易程度的公开披露，分析发行人与国内外可比厂商毛利率的可比性；
7、访谈了发行人管理层和核心技术人员，了解报告期内公司Y系列温控设备、双腔废气处理设备取得的技术突破以及单腔废气处理设备高于双腔的原因、马拉松式设备与发行人自研设备的具体差异；获取发行人的销售明细表，分析Y系列温控设备、双腔废气处理设备毛利率大幅上升、单腔废气处理设备高于双腔和自研设备毛利率较高、其他半导体专用温控设备毛利率变化、等离子式工艺废气处理设备毛利率变化的原因及合理性。
（二）核查意见
经核查，我们认为：
1、发行人已说明不同设备组装的难度差异、将温控设备和晶圆传片设备组装外协的原因，发行人有能力从事相关设备组装；
2、发行人已说明产能转移的原因、方式及影响，并说明产能转移前后双方在人员、设备、厂房等方面的安排和措施，北京母公司阶段性停工的情
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况、经济性和合理性；北京母公司阶段性停工和产能恢复主要系明确北京母公司两大基地职能定位、扩充北京地区半导体专用温控设备生产场地和满足研发部门需求的必要解决方案，具备经济性和合理性；产能转移前后人员、设备、厂房的对比情况与收入增长具有匹配性；
3、发行人已说明制造费用的构成明细，产能转移对各明细的具体影响及原因；2020年度销售的产品中通过外协方式进行组装的产品占比较高，外协加工费与直接人工合计占营业收入的比例相对较高，2021年度和2022年度发行人外协加工费与直接人工合计占营业收入的比例较为稳定；
4、发行人采用集研发、设计、生产和销售的纵向一体化业务模式，使用外协供应商完成组装环节是公司基于工序难度和经济性考虑做出的选择，并非仅从事半导体设备的调试。发行人产品的核心价值在于产品核心技术及设计能力，打破了国外厂商的垄断地位，产品能够对标行业内的主流竞品，毛利率较高具备合理性；公司主要竞争对手同样存在使用外协厂商从事组装外协业务的情形，半导体设备行业企业的组装环节技术难度相对较低的现象普遍存在，公司产品毛利率与国内外可比厂商具有可比基础；
5、发行人Y系列温控设备、双腔废气处理设备毛利率大幅上升、单腔废气处理设备高于双腔的原因具有合理性；发行人已说明马拉松式设备与发行人自研设备的差异，发行人自研设备毛利率较高具有合理原因。
问题6.关于预计负债的计提
根据首轮问询回复，（1）报告期内公司预计负债的计提金额分别为2,633.74万元、2,219.33万元、2,440.58万元和2,001.62万元，相对较高；（2）其中，特定型号计提预计负债占收入的比例接近50%，主要原因系相关产品的稳定性不足，报告期内特定型号产品的销售金额分别为3,622.58万元、1,661.21万元、464.93万元、0万元，售后服务费的发生额分别为209.98万元、
548.44万元、1,070.09万元和351.14万元，相对较高；（3）其他产品预计负
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债的计提比例为5%-6%，也高于同行业可比公司，主要原因系公司主要产品的应用场景对产品的腐蚀性较强，质保期需更换零部件。请发行人说明：（1）特定型号与其他产品的区分标准，其他产品不存在稳定性不足问题的依据，特定型号产品的主要客户，在其他产品不存在稳定性不足问题的情况下，相关客户采购稳定性不足产品的原因；（2）区分特定型号和其他产品，说明预计负债的计提情况、售后服务费的发生情况以及预计负债的结存情况，特定型号产品未来是否仍会发生较高的售后服务费及依据；（3）稳定性不足问题的解决时点，2022年停止销售特定型号产品的原因，相关问题是否真实解决；（4）区分特定型号和其他产品，说明预计负债计提比例的依据、报告期各年度收入对应的实际售后服务费情况，结合预计负债计提情况、质保年限、目前已过年限等，说明预计负债计提的充分性；（5）区分特定型号和其他产品，说明导致售后服务费发生的主要问题，是否为质保期间的正常问题，更换零部件是否由腐蚀较强导致、更换频率的合理性，发行人产品是否存在质量问题。请保荐机构和申报会计师核查并发表明确意见。回复：
一、发行人说明
（一）特定型号与其他产品的区分标准，其他产品不存在稳定性不足问题的依据，特定型号产品的主要客户，在其他产品不存在稳定性不足问题的情况下，相关客户采购稳定性不足产品的原因特定型号产品与其他产品的区分标准主要为适配工艺设备应用环节的不同。特定型号产品的应用环节为电容耦合等离子体刻蚀（CCP）和电感耦合等离子体刻蚀（ICP）环节，主要客户为客户A。由于客户A工艺制程的跨越式提升，电容耦合等离子体刻蚀和电感耦合等离子体刻蚀环节使用的工艺设备在较短时间内实现了快速升级迭代，工艺制程和工艺设备升级后对公司产品的负载能力、温度切换速度等指标提出了更高要求，适配原工艺制程的特定型号产品在更为苛刻的运行条件下稳定性大幅下降，导致特定型号产品需要进行返厂维修。
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其他产品不存在稳定性不足问题的依据为发生返修的占比较低，无需对产品进行复杂的升级处理，而特定型号产品发生返修的占比较高，需对产品工艺做出技术升级。在特定型号产品稳定性不足的情况出现后，公司面对客户工艺制程升级时，提前与客户对接升级后的工艺制程对公司产品的技术需求指标变化情况，并且及时开展产品技术升级的研发和验证，避免再次发生稳定性问题，因此其他产品未出现稳定性不足的情况。特定型号产品适配于电容耦合等离子体刻蚀和电感耦合等离子体刻蚀环节使用的工艺设备，公司推出V系列、T系列产品前，其他产品无法替代特定型号产品应用于相关环节，客户仅能采购特定型号产品并就公司产品的升级迭代进行沟通和验证。在特定型号产品稳定性不足的情况出现后，公司与客户积极沟通升级后的工艺制程对温控设备技术需求的变化情况，针对稳定性不足的产品进行产品设计升级，因此在其他产品无法替代特定型号产品的情况下，客户继续采购特定型号产品。
（二）区分特定型号和其他产品，说明预计负债的计提情况、售后服务费的发生情况以及预计负债的结存情况，特定型号产品未来是否仍会发生较高的售后服务费及依据
报告期内，公司预计负债的计提情况、售后服务费的发生情况以及预计负债的结存情况具体如下：
特定型号产品
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 期初余额 | 1,236.86 | 2,104.50 | 1,851.88 |
| 本期计提 | - | 202.45 | 801.06 |
| 本期发生 | 850.46 | 1,070.09 | 548.44 |
| 期末余额 | 386.40 | 1,236.86 | 2,104.50 |
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其他产品
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 期初余额 | 2,952.57 | 2,016.27 | 1,427.77 |
| 本期计提 | 3,740.27 | 2,238.13 | 1,418.27 |
| 本期发生 | 2,354.20 | 1,301.83 | 829.77 |
| 期末余额 | 4,338.64 | 2,952.57 | 2,016.27 |
报告期内，公司售后服务费的发生明细具体如下：
特定型号产品
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | |||
| 金额 | 占比 | 金额 | 占比 | 金额 | 占比 | |
| 材料费用 | 597.80 | 70.29% | 888.20 | 83.00% | 339.15 | 61.84% |
| 人工成本 | 219.58 | 25.82% | 159.51 | 14.91% | 157.08 | 28.64% |
| 其他 | 33.08 | 3.89% | 22.38 | 2.09% | 52.21 | 9.52% |
| 合计 | 850.46 | 100.00% | 1,070.09 | 100.00% | 548.44 | 100.00% |
其他产品
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | |||
| 金额 | 占比 | 金额 | 占比 | 金额 | 占比 | |
| 材料费用 | 1,562.47 | 66.37% | 876.30 | 67.31% | 536.74 | 64.68% |
| 人工成本 | 307.61 | 13.07% | 320.22 | 24.60% | 208.26 | 25.10% |
| 其他 | 484.13 | 20.56% | 105.31 | 8.09% | 84.78 | 10.22% |
| 合计 | 2,354.20 | 100.00% | 1,301.83 | 100.00% | 829.77 | 100.00% |
公司特定型号产品和其他产品售后服务费构成主要为材料费用和人工成本构成，材料成本为产品维修或零部件替换发生的材料替换成本，人工成本为产品维护、维修、拆卸时发生的薪酬支出。公司对特殊型号产品未来预计售后服务费用的测算过程具体如下：
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单位：月、万元
| 项目 | 2022年度金额/数量 | 2021年度金额/数量 |
| 2022年度特殊型号产品在保机台月度数① | 2,137 | 3,235 |
| 2022年度特殊型号产品售后服务费发生额② | 850.46 | 1,070.09 |
| 单位机台月度售后服务费③=②/① | 0.40 | 0.33 |
| 未来在保机台月度数④ | 513 | |
| 预计特殊型号产品未来售后服务费用⑤=③*④ | 204.16 | 169.69 |
截至2022年12月31日，处于质保期的特殊型号产品剩余在保月度数合计为513个月度，剩余在保月度数较少，根据2021年度和2022年度单位月度售后服务费孰高值进行测算，剩余在保特定型号产品预计期后将发生维修质保支出约204.16万元。公司2022年末对特定型号计提的预计负债余额为386.40万元，能够覆盖未来售后服务费的发生金额，且2021年2月后生产的半导体专用温控设备产品未再发生此类问题，特定型号稳定性不足的问题已得到解决，因此特定型号产品未来不会发生较高的售后服务费。
（三）稳定性不足问题的解决时点，2022年停止销售特定型号产品的原因，相关问题是否真实解决
稳定性不足问题的解决时点为2021年初，公司已通过产品设计升级，将产品循环系统升级为磁力循环部件结构形式，通过磁力联轴器来驱动叶轮从而驱动循环流体，驱动叶轮部位与电机轴完全隔离，避免了循环部件的电机轴接触到液体造成污染的可能；同时，公司通过对控制系统和制冷系统优化升级，实时监测制冷系统的状态，增加回油控制确保系统的稳定输出，在工艺负载较大时，根据负载实时调节制冷量需求，保障产品的稳定运行。
公司特定型号产品为应用于特定环节的稳定性不足产品，2021年2月起生产的半导体专用温控设备产品均已按照新的产品设计方式进行生产，已不再发生因早期产品设计方式导致的稳定性不足现象，因此升级后的产品已不属于特
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定型号产品，公司未再销售使用早期设计的特定型号产品。按照新的产品设计方式进行生产的产品，均未再发生稳定性不足的问题，相关问题已真实解决。
（四）区分特定型号和其他产品，说明预计负债计提比例的依据、报告期各年度收入对应的实际售后服务费情况，结合预计负债计提情况、质保年限、目前已过年限等，说明预计负债计提的充分性
1、特定型号产品
报告期内，公司特定型号产品计提预计负债的具体情况如下：
单位：万元、台
| 项目 | 2021年度 | 2020年度 |
| 销售数量① | 17 | 67 |
| 单台产品质保期内预计售后服务费② | 11.91 | 11.96 |
| 当期计提金额③=①*② | 203.01 | 800.09 |
| 特定型号产品销售收入④ | 464.93 | 1,661.21 |
| 特定型号产品计提比例⑤=③/④ | 43.54% | 48.22% |
注：单台产品质保期内预计售后服务费因材料成本差异而存在一定浮动。
公司参考单台特定型号产品在产品质保期内维修质保支出的历史数据，确定单台产品质保期内预计发生的维修质保支出，按照当期特定型号产品的销售数量和单台产品质保期内预计发生的维修质保支出的乘积确定当期计提金额，按照上述方法进行计提，2020年度和2021年度计提比例分别为48.22%和43.54%。公司特定型号产品售后服务费发生年度对应的销售年度情况具体如下：
单位：万元
| 销售年度 | 售后服务费发生年度 | 未来预计发生售后服务费 | 合计 | ||
| 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | |||
| 2020年度 | 184.40 | 232.03 | 125.84 | 144.46 | 686.73 |
| 2021年度 | 46.79 | 58.87 | - | 59.70 | 165.36 |
| 2022年度 | - | - | - | - | - |
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注：各年度销售的特定型号产品的未来预计发生售后服务费=截至2022年12月31日各年度销售的特定型号产品未来在保机台月度数*实际已发生的单位机台月度售后服务费。
公司对特定型号产品计提充分的依据具体如下：
（1）就计提方式而言，公司参考单台特定型号产品在产品质保期内维修质保支出的历史数据，确定单台产品质保期内预计发生的维修质保支出，按照当期特定型号产品的销售数量和单台产品质保期内预计发生的维修质保支出的乘积确定当期计提金额，公司2020年度销售的特定型号产品预计负债计提金额为800.09万元，在保期间预计累计发生售后服务费686.73万元；2021年度销售的特定型号产品预计负债计提金额为203.01万元，在保期间预计累计发生售后服务费165.36万元，特定型号产品预计负债计提金额均高于在保期间预计售后服务费累计发生额；
（2）就质保期限而言，如本问题之“一/（二）”所述，2022年度单位机台月度售后服务费为0.40 万元，特定型号产品剩余在保机台月度数为513个月，预计未来剩余在保特定型号产品预计期后将发生维修金额维修质保支出约
204.16万元。公司2022年末对特定型号计提的预计负债余额为386.40万元，能够覆盖未来售后服务费的发生金额，因此，公司对特定型号产品预计负债的累计计提额能够覆盖累计售后服务费发生额。
综上，公司特定型号产品的预计负债计提充分。
2、其他产品
报告期内，公司其他产品计提预计负债的具体情况如下：
单位：万元、万月
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 预计负债期初余额① | 2,952.57 | 2,016.27 | 1,427.77 |
| 当年售后服务费发生金额② | 2,354.20 | 1,301.83 | 829.77 |
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| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 当年在保机台月度数③ | 4.84 | 3.50 | 2.21 |
| 单位机台月度售后服务费④=②/③ | 0.05 | 0.04 | 0.04 |
| 未来在保机台月度数⑤ | 8.92 | 7.94 | 5.37 |
| 预计负债期末余额⑥=④*⑤ | 4,338.63 | 2,952.57 | 2,016.27 |
| 预计负债计提金额⑦=⑥-①+② | 3,740.27 | 2,238.13 | 1,418.27 |
| 其他产品销售收入⑧ | 56,281.34 | 43,040.93 | 28,365.45 |
| 预计负债计提比例⑨=⑦/⑧ | 6.65% | 5.20% | 5.00% |
公司依据当年售后服务费发生金额和当年全部处于质保期的机台的在保月度数量，计算单位机台月度售后服务费，并根据未来在保机台月度数与单位机台月度售后服务费的乘积，计算期末在保机台未来潜在的售后服务费支出，即预计负债期末余额，测算能够满足未来售后服务费支出的期末预计负债余额。在确认期末预计负债余额后，公司根据预计负债期初余额、当期售后服务费发生额和计算得到的预计负债期末余额，推算出当期预计负债计提金额，按照上述方法进行计提，报告期各期其他产品预计负债计提比例分别为5.00%、5.20%和6.65%。
公司其他产品售后服务费发生年度对应的销售年度情况具体如下：
单位：万元
| 销售年度 | 售后服务费发生年度 | 未来预计发生售后服务费 | 合计 | ||
| 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | |||
| 2020年度 | 416.34 | 648.57 | 154.39 | 174.18 | 1,393.48 |
| 2021年度 | 1,013.83 | 317.59 | - | 835.28 | 2,166.70 |
| 2022年度 | 663.77 | - | - | 2,999.65 | 3,663.42 |
注：各年度销售的其他产品的未来预计发生售后服务费=截至2022年12月31日各年度销售的其他产品未来在保机台月度数*实际已发生的单位机台月度售后服务费。
就其他产品预计负债计提方式和质保期限而言，公司已充分考虑当年在保月度数和未来剩余在保期限的影响，基于当年在保机台月度数量和未来在保机
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台月度数确认单位机台月度售后服务费和期末预计负债余额，进而推算当期预计负债计提金额，计提金额能够满足未来售后服务费的支出需求。部分科创板上市企业关于预计负债计提方法的披露具体情况如下：
| 公司简称 | 股票代码 | 预计负债计提方法 |
| 星环科技 | 688031.SH | 预计负债的计提标准为：按照实际发生的售后服务费用占上一年度相应涉及免费售后服务的业务收入总额的比例确定报告期各期末预计负债的计提比例，售后服务费当期计提额=预计负债期末余额-预计负债期初余额+当期售后服务实际发生额 |
| 安达智能 | 688125.SH | 计提的售后维保费主要根据公司历史售后维保的相关支出与历史产品销售收入的关系，对未来将要发生的售后维保费用进行的合理估计，测算“预计负债——售后维保费”应有余额，并于下一个资产负债表日重新预测未来将要发生的售后维保费，按预计负债差额计提当期售后维保费 |
| 西山科技 | 688576.SH | 根据历史实际发生的质保期内的维护质保费占前一年度附有质保义务产品收入的比例的平均数，同时结合公司未来售后服务的投入情况，作为报告期各期末预计负债计提比例的依据，本期售后维护质保费金额=本期实际发生额+预计负债期末余额-预计负债期初余额 |
科创板上市企业中，星环科技、安达智能和西山科技均选择通过根据未来将要发生的售后维保费先确定预计负债期末余额，进而推算当期预计负债计提金额，因此，公司对预计负债的计提方法具备合理性。
根据不同销售年度销售的产品剩余在保月度数，测算未来预计发生的售后服务费和已发生的售后服务费合计金额与计提金额进行分析，公司2020年度销售的其他产品预计负债计提金额为1,418.27万元，在保期间预计累计发生售后服务费1,393.48万元；2021年度销售的其他产品预计负债计提金额为2,238.13万元，在保期间预计累计发生售后服务费2,166.70万元；2022年度销售的其他产品预计负债计提金额为3,740.27万元，在保期间预计累计发生售后服务费
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3,663.42万元，预计负债计提金额均高于在保期间预计售后服务费发生额。因此，公司对其他产品的预计负债计提充分。
（五）区分特定型号和其他产品，说明导致售后服务费发生的主要问题，是否为质保期间的正常问题，更换零部件是否由腐蚀较强导致、更换频率的合理性，发行人产品是否存在质量问题
1、特定型号产品
公司特定型号产品发生问题的主要原因是产品循环系统中循环液体驱动部件采用屏蔽循环部件结构形式驱动，电机轴与驱动叶轮轴为一体化部件，在工艺制程压力较高或工艺负载较大时，循环液体接触到电机轴形成污染，导致出现轻微化学反应或工艺制程温控精度偏差的情况。该情况造成氟化液污染、循环部件损坏、水箱漏液等问题。该问题的发生主要由于工艺制程和工艺设备升级后对公司产品的负载能力、温度切换速度等指标提出了更高要求，适配原工艺制程的特定型号产品在更为苛刻的运行条件下稳定性大幅下降，导致特定型号产品需要进行返厂维修，属于工艺和技术迭代过程中的正常问题。
2、其他产品
报告期内，公司其他产品售后服务费发生的主要问题包括：（1）钣金、阀类、管材等日常维护消耗；（2）流量计、泵类等元器件消耗；（3）反应腔、洗涤塔等腐蚀类消耗三类问题导致。
日常维护消耗主要因阀类、钣金、管材等基础材料在设备运行过程中需要定期检查，若经判断存在潜在损坏风险，公司将为客户更换上述部件以避免因基础材料损坏导致的设备异常，属于设备定期检查时的预防性支出。流量计、泵类等元器件消耗主要因在设备运行中因使用环境、使用频率、使用方式等因素导致部分元器件发生损坏，发生频率较低，是设备运行中的正常事项，在元器件发生损坏时由公司为客户进行更换。
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反应腔、洗涤塔等腐蚀类消耗主要发生于半导体专用工艺废气处理设备，由于部分零部件接触的工艺废气具备一定的腐蚀性，并且在废气处理过程中需在高温、高压的环境下运行，反应腔、洗涤塔等部件容易发生腐蚀，在发生腐蚀现象后公司将为客户更换新的部件以确保设备的稳定运行。以反应腔为例，反应腔直接用于处理工艺废气，腔体的腐蚀速率小于1mm/年，更换频率约为1-2年，与主要竞争对手产品不存在重大差异，更换频率具备合理性。2021年和2022年销售的其他产品在2022年产生的售后服务费有所上升，主要原因在于随着客户工艺制程的不断升级，公司产品处理的工艺废气腐蚀性更强，废气种类更为复杂，公司半导体专用工艺废气处理设备销售数量上升，反应腔、洗涤塔等腐蚀类消耗增加导致上述零部件更换支出有所上升。公司产品2022年度发生的售后服务费支出有所上升具备合理性，公司产品不存在质量问题。
二、中介机构核查
（一）核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
1、了解了发行人质量保证金计提流程，评价并测试了与产品质量保证金的计提相关的关键内部控制；
2、了解和评估了管理层计提产品质量保证金所采用方法的一贯性及假设的适当性；
3、检查了销售合同中的质量保证条款，核实管理层计提质量保证金的关键假设与销售合同的约定是否相符；
4、访谈了管理层，了解特定型号与其他产品的区分标准，其他产品不存在稳定性不足问题的依据，特定型号产品的主要客户，特定型号产品客户采购
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稳定性不足产品的原因，与管理层讨论了当前或期后是否存在重大产品缺陷，是否存在可能对未来将发生的产品质量保证费用产生重大影响的事项；
5、复核了管理层对特定型号和其他产品质量保证金的计算过程，检查了各期期末尚在质保期内的产品数量、复核了管理层依据历史经验估计的产品质量保证费用计提比例及金额的合理性，对计提金额进行复算；
6、检查了售后服务费的实际发生情况，包括发行人工资表、材料出库单、保内维修记录及相关合同等原始资料，确认售后服务费发生的准确性；
7、复核了报告期各期期末预计负债的结存情况，结合在质量保证期限内的机台数量、质量保证期间，判断发行人预计负债计提及余额的充分性；
8、访谈管理层了解特定型号产品稳定性不足问题的解决时点，并通过检查解决时点之后的质量保证金实际发生情况，判断特定型号产品稳定性不足解决时点的合理性。
（二）核查意见
经核查，我们认为：
1、特定型号与其他产品的区分标准明确，其他产品不存在稳定性不足的问题，特定型号产品的主要客户为长江存储，在其他产品不存在稳定性不足问题的情况下，相关客户采购稳定性不足产品的原因具备合理性；
2、特定型号和其他产品预计负债的计提情况合理，售后服务费的实际发生情况未高于计提金额，预计负债的结存金额充分，特定型号产品稳定性不足的情况在报告期内已解决，特定型号产品未来不再发生较高的售后服务费；
3、稳定性不足的问题在2021年初解决，发行人特定型号产品为应用于特定环节的稳定性不足产品，2021年2月起生产的半导体专用温控设备产品均已按照新的产品设计方式进行生产，已不再发生因早期产品设计方式导致的稳定性不足现象，因此升级后的产品已不属于特定型号产品，发行人未再销售使用
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早期设计的特定型号产品。按照新的产品设计方式进行生产的产品，均未再发生稳定性不足的问题，相关问题已真实解决；
4、特定型号和其他产品在报告期内计提预计负债的比例合理、依据充分，报告期各年度收入对应的实际售后服务费情况与预计负债的计提基本匹配，预计负债计提充分；
5、特定型号和其他产品售后服务费发生的主要问题属于质保期间的正常问题，更换零部件和更换频率具备合理性，发行人产品不存在质量问题。
问题7.关于研发费用
根据首轮问询回复，（1）发行人成立初期技术积累较少，但回复中又说明发行人已就相关产品进行了长期的技术积累，因而报告期内研发费用率低于可比公司；（2）研发项目平均工时呈上升趋势，由1.23上升至1.59；2021年，研发人员平均薪酬由25.69万元上升至35.36万元，上升幅度较大；
（3）发行人未将材料费与研发项目所处阶段做匹配，研发样机材料冲减金额高于研发样机的销售金额；（4）研发费用率低于同行业可比公司的依据不够充分；（5）研发费用与加计扣除金额存在较大的差异（3500余万），主要原因系内部委托研发未进行登记备案以及未对分摊方式归集的研发费用申报加计扣除。
请发行人说明：（1）成立初期技术积累较少与报告期期初已形成长期的技术积累是否矛盾，短期内形成自主核心技术与核心技术具有先进性、技术壁垒较高、国内唯一厂商等是否矛盾；（2）结合研发项目重要性和难度，说明研发项目平均工时上升的原因；研发人员的薪酬分布情况，2021年研发人员平均薪酬大幅上升的原因；（3）详列各研发项目各年度材料领用情况，并说明材料领用金额与研发项目所处阶段的匹配性，研发样机材料冲减金额高于研发样机销售金额的原因；（4）从产品特点、技术水平、研发需求和研发内容等，具体说明发行人研发费用率低于同行业可比公司、材料费占比较小的原因，相关研发项目解决的主要问题，在产品中的应用以及对产品性能的具体改善情况；（5）内部委托研发的具体内容和金额，双方的会计处理以及合并报表抵消分录，未进行登记备案的原因，是否存在不符合认定条
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件的情况，确认为研发费用的依据；其他分摊方式确认为研发费用的具体情况及依据，未进行申报的原因。请保荐机构和申报会计师核查研发人员与发行人客户、供应商之间是否存在关联关系和异常资金往来，核查研发费用与加计扣除金额差异的原因，说明核查措施、比例和结论，并对上述事项发表明确意见。回复：
一、发行人说明
（一）成立初期技术积累较少与报告期期初已形成长期的技术积累是否矛盾，短期内形成自主核心技术与核心技术具有先进性、技术壁垒较高、国内唯一厂商等是否矛盾
1、半导体专用温控设备
（1）早期产品技术积累情况
公司半导体专用温控设备技术积累最早追溯至北京自动化院时期，北京自动化院时期半导体专用温控设备产品的技术研发最早可以追溯至2013年，具体情况见本回复之“问题1/1.2/一/（三）”。2016年公司设立至今，公司持续进行核心技术研发及积累。
2016年6月公司设立之2018年底期间公司主要进行以下技术积累：
1）制冷系统技术的积累：在单级压缩基础上，进行了喷液及喷气增焓系统技术积累，为低温系列产品推出及后续复叠系统的研发奠定了基础。同时针对系统稳定运行需求，进行了系统可靠性设计及运行的积累。
2）温度控制技术的积累：在经典PID控制基础上的进行自主温控算法的推导及应用，对出水温度，回水温度，水箱入口温度、压缩机频率、水泵频率、电子膨胀阀开发、热气旁通阀开度等变量进行控制，对制冷系统过热度进行自适应变目标控制等，研发的过程中逐步积累了前馈控制、串级控制、模糊控制技术、自适应控制技术实现温度的精密控制。
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3）节能技术的积累：进行了两级控制技术、数码涡旋控制技术、变频控制技术等节能技术积累，制冷系统与热交换器系统结合的系统设计技术积累。4）通讯技术的积累：根据不同的工艺设备的通讯要求，设计开发了LonWorks、DeviceNet、RS232等通讯程序，并开始形成公司自有的通讯协议。
（2）公司技术积累与核心技术具有先进性、技术壁垒较高、国内唯一厂商等表述不存在矛盾
公司半导体专用温控设备技术积累时间最早可以追溯至2013年，公司成立后至2018年期间在制冷系统技术、温度控制技术、节能技术、通讯技术等方面均进行了积累，期间技术积累时间已达到六年，并已形成包括Y8010DC、Y8055DC、Y8060DC、B-830TC等在内十种型号产品，覆盖单通道、双通道、三通道产品类型。公司研发团队人员数量由2016年末16人增长至2018年末55人，研发人员数量复合增长率达到85.40%，研发团队保持较快增速。公司半导体专用温控设备的研发团队核心人员保持稳定，主要技术人员芮守祯、何茂栋、曹小康来自于北京自动化院，其从事半导体专用温控设备研发的时间分别为10年、9年、13年，该领域研发工作经验超过或接近10年，从事该领域研发工作时间长、研发工作经历具有连续性，对产品的技术积累及应用经验均较为丰富，对半导体专用温控设备行业具有深刻的理解及多次产品成功的研发经验。
基于较早对半导体专用温控设备研发投入及研发人员拥有长期丰富的研发经验、主要研发人员的稳定性及研发团队的较快增长，公司在半导体专用温控设备领域形成了半导体温控装臵制冷控制技术、半导体温控装臵精密控温技术、半导体温控装臵节能技术等核心技术，该类核心技术具有技术先进性及较高技术壁垒，具体见本回复“问题1/1.1/一/（一）及（四）”。
关于国内唯一厂商，根据QY Research数据，公司半导体专用温控设备2022年国内市场市占率达到35.73%，公司市占率排名达到国内第一，公司为实现半导体专用温控设备大规模装机应用的厂商中唯一一家国内厂商，该表述符合公司市场竞争地位。
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2、半导体专用工艺废气处理设备
（1）早期产品技术积累情况
公司半导体专用工艺废气处理设备主要技术人员杨春水在半导体专用工艺废气处理设备领域从业经验达到14年，其2016年入职公司前在国际主流厂商爱德华公司从事该领域时间达到5年，公司设立后即加入公司一直从事半导体专用工艺废气处理设备的售后、研发工作，在一线积累了大量的半导体专用工艺废气处理设备的应用经验。公司成立后大连英特尔开始采购半导体专用工艺废气处理设备，在2017年随着公司产品的大量现场应用，随之也出现了一系列的应用问题，问题包括厂务适配问题、零部件质量问题、系统控制问题和制程应用问题。新设备安装与设备运行期间的应用问题相互叠加，公司技术团队持续进驻客户现场，在第一时间进行问题的解决，由此实践进行相关的技术积累与沉淀，形成了公司自主的半导体专用工艺废气处理设备应用经验与人才积累。开发能有效适配先进制程的工艺废气处理设备的需求快速出现，由此在2018年到2019年，公司开始进行大量的投入半导体专用工艺废气处理设备的研发工作，形成第一代自主知识产权的半导体专用工艺废气处理设备并投入市场进行验证。因存储芯片先进制程迭代速度快，公司产品在较短时间内获得大量实践验证机会，开始快速实现技术迭代与升级。
（2）公司技术积累与核心技术具有先进性、技术壁垒较高、国内唯一厂商等表述不存在矛盾
受益于近年下游晶圆厂商产能扩张周期，公司抓住下游客户需求高速增长机会。公司通过前期合作获得验证机会，产品技术指标得到客户验证通过因而形成订单，实现了产品大批量应用，形成了较为丰富的产品应用经验。公司半导体专用工艺废气处理设备主要技术人员杨春水在半导体专用工艺废气处理设备领域从业经验达到14年，在该领域内已有较长期的从业经验，熟悉半导体专用工艺废气处理设备产品工作原理、产品设计调试难点及核心零部件结构，了解产品可改进的空间并进行持续研发迭代，拥有丰富的产品研发经验。
基于半导体专用工艺废气处理设备较为丰富的应用经验及研发人员拥有长期丰富的研发经验，公司在半导体专用工艺废气处理设备领域形成了低
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温等离子废气处理技术、新型材料防腐及密封技术、系统设计算法及原理、半导体废气处理纯氧燃烧技术、Harsh工艺除尘技术等核心技术，该类核心技术具有技术先进性及较高技术壁垒，具体见本回复“问题1/1.1/一/（一）及（四）”。
关于国内极少数厂商，根据QY Research数据，公司半导体专用工艺废气处理设备2022年国内市场市占率达到15.57%，公司市占率排名达到国内第四，公司为实现半导体专用温控设备大规模装机应用的厂商中唯一一家国内厂商，该表述符合公司市场竞争地位。
（二）结合研发项目重要性和难度，说明研发项目平均工时上升的原因；研发人员的薪酬分布情况，2021年研发人员平均薪酬大幅上升的原因
1、结合研发项目重要性和难度，说明研发项目平均工时上升的原因
报告期内，公司研发人员数量、工时与研发项目数量情况具体如下：
单位：人、万小时、个
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 研发人员平均人数 | 76 | 60 | 56 |
| 项目总工时 | 15.02 | 11.47 | 9.85 |
| 研发项目数量 | 9 | 8 | 11 |
| 项目平均工时 | 1.67 | 1.43 | 0.90 |
注1： 2020年度至2022年度项目平均工时=项目总工时/研发项目数量；注2：研发项目数量为当年实际发生研发投入的项目数量。
报告期内，公司研发项目总工时分别为9.85万小时、11.47万小时和15.02万小时，项目平均工时分别为0.90万小时、1.43万小时及1.67万小时，2020年度项目平均工时偏低，主要系该年度两个新增项目在四季度立项，当年时间投入较少。
报告期内，公司研发费用中职工薪酬的分项目明细情况具体如下：
单位：万元
| 项目 类别 | 项目名称 | 研发费用-职工薪酬 | ||
| 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | ||
| 半导体 | 集成电路制造新一代节能及多通 | 377.31 | 454.48 | 347.59 |
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| 专用温控设备 | 道温控装备技术 | |||
| 集成电路制造温控装备信息采集及智慧化调测系统 | 122.93 | 202.38 | 142.26 | |
| 集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发 | 314.90 | 271.47 | 125.94 | |
| 集成电路制造温控装备关键技术持续改进及应用 | - | - | 23.80 | |
| 集成电路专用超低温温控装臵研发及产业化 | 308.44 | - | - | |
| 半导体温控装备产品技术创新迭代及新部品技术设计开发及验证 | 54.17 | - | - | |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | - | 57.36 | 442.93 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究 | 412.70 | 411.90 | 17.69 | |
| 新一代半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | 417.68 | 223.14 | 1.14 | |
| 晶圆传片设备 | 集成电路嵌入式高速晶圆传控技术研究及产品研发 | - | - | 42.77 |
| 集成电路X-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 52.24 | 137.25 | 148.80 | |
| 集成电路R-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 787.29 | 346.04 | 109.43 | |
| AMR自主移动机器人开发 | - | - | 23.37 | |
| 合计 | 2,847.66 | 2,104.02 | 1,425.72 |
2021年度，公司重点加大了集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发、半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究、集成电路R-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发等项目的投入力度，在半导体专用温控设备方面，重点研发低温-40℃以内切换及混合温控产品、超低温-120℃预研及大流量、大负载温控设备、新型热交换器系列产品；在半导体专用工艺废气处理设备方面，重点研发第二代单腔和双腔燃烧水洗式产品；在晶圆传片设备方面，重点研发新一代G3系列产品。2022年度，公司在2021年度研发重点方向的基础上，进一步加大了对集成电路专用超低温温控装臵研发及产业化和新一代半导体工艺气体热反应处理装备及研究项目的研发投入，
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实现国内外首创并全面掌握-120℃~-40℃的温控技术、开发第三代半导体专用工艺废气处理设备并掌握集成一体式半导体专用工艺废气处理设备的技术路线。上述研发项目旨在完成对公司现有技术的更深层次突破以及全新技术路线系列产品的研发，是公司能否继续保持技术优势并实现相关领域的进一步突破的关键所在，研发难度较大，因此单个项目对于人员投入的需求进一步提升，研发项目平均工时上升具备合理性。
2、研发人员的薪酬分布情况，2021年研发人员平均薪酬大幅上升的原因报告期内，研发人员薪酬分布情况具体如下：
单位：人
| 月薪（元） | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | |||
| 人数 | 占比 | 人数 | 占比 | 人数 | 占比 | |
| 10,000以下 | 12 | 16.00% | 13 | 20.97% | 15 | 25.42% |
| 10,000-20,000 | 32 | 42.67% | 29 | 46.77% | 28 | 47.46% |
| 20,000以上 | 31 | 41.33% | 20 | 32.26% | 16 | 27.12% |
| 合计 | 75 | 100.00% | 62 | 100.00% | 59 | 100.00% |
注：为准确还原薪酬分布情况，研发人员人数按照每月研发人员人数（而非年末人数）计算得出。报告期各期，公司研发费用中职工薪酬构成分布的具体情况如下表所示：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 研发费用-职工薪酬 | 2,847.66 | 2,104.02 | 1,425.72 |
| 其中：基本工资 | 2,471.39 | 1,875.19 | 1,388.59 |
| 奖金 | 376.27 | 228.83 | 37.13 |
| 研发人员平均薪酬 | 37.72 | 35.36 | 25.69 |
| 其中：平均基本工资 | 32.73 | 31.52 | 25.02 |
| 平均奖金 | 4.98 | 3.85 | 0.67 |
2021年度，公司进一步提升了对人才队伍建设的重视程度，为研发人员提供更具市场竞争力的薪酬待遇及良好的研发条件，调增了研发人员基本工资的标准并对研发人员予以一定水平奖金激励，研发人员平均薪酬水平大幅上升。2022年度，公司研发人员平均薪酬水平呈现稳中有升的趋势。
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（三）详列各研发项目各年度材料领用情况，并说明材料领用金额与研发项目所处阶段的匹配性，研发样机材料冲减金额高于研发样机销售金额的原因
1、详列各研发项目各年度材料领用情况，并说明材料领用金额与研发项目所处阶段的匹配性
公司遵循行业惯用研发模式，研发阶段主要包括预研阶段、设计开发需求输入、计划阶段、设计开发阶段、验收阶段、研发样机入库阶段、客户端验证（Demo）、生产导入阶段、收尾阶段，其中设计开发阶段为材料投入的主要阶段。公司各研发项目下设多个研发子课题，报告期各期，公司各研发项目材料领用金额主要受不同研发子课题所处阶段的影响，具体情况如下：
2022年度
单位：万元
| 项目名称 | 材料投入金额 ① | 研发样机材料冲减金额 ② | 材料费 ③= ①-② | 材料投入的主要研发子课题及所处阶段 | 材料领用金额与研发项目所处阶段是否匹配 |
| 集成电路制造新一代节能及多通道温控装备技术 | 94.98 | 66.72 | 28.26 | 化学机械研磨Chiller、-70℃三通道产品Chiller、三通道面板方向Chiller等子课题处于设计开发阶段，-40°三通道大负载Chiller等3项子课题形成研发样机 | 匹配 |
| 集成电路制造温控装备信息采集及智慧化调测系统 | 53.64 | - | 53.64 | 样机开发平台及自动调试系统、分散式设备监视系统处于设计开发阶段 | 匹配 |
| 集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发 | 38.78 | 32.19 | 6.59 | 两通道大流量Chiller、单通道热交换器Chiller等子课题处于设计开发阶段并形成研发样机 | 匹配 |
| 集成电路专用超低温温控装臵研发及产业化 | 324.76 | 15.98 | 308.78 | 项目整体处于设计开发阶段，并形成研发样机 | 匹配 |
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| 项目名称 | 材料投入金额 ① | 研发样机材料冲减金额 ② | 材料费 ③= ①-② | 材料投入的主要研发子课题及所处阶段 | 材料领用金额与研发项目所处阶段是否匹配 |
| 半导体温控装备产品技术创新迭代及新部品技术设计开发及验证 | 6.84 | - | 6.84 | 项目整体处于计划阶段 | 匹配 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究 | 128.35 | 14.16 | 114.19 | Scrubber数据信息化研究与新部品设计及验证、Scrubber研发实验平台等子课题处于设计开发阶段，Harsh工艺燃烧水洗废气处理设备形成研发样机 | 匹配 |
| 新一代半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | 157.12 | - | 157.12 | 双腔等离子工艺废气处理设备、第二代电加热水洗废气处理设备等子课题处于设计开发阶段 | 匹配 |
| 集成电路X-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 0.25 | - | 0.25 | 项目整体处于客户端验证阶段 | 匹配 |
| 集成电路R-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 611.76 | 247.00 | 364.76 | 带有翻片功能G3系列4端口Sorter、G3 第三代晶圆运动控制平台与机械手开发等子课题处于设计开发阶段，并形成研发样机 | 匹配 |
| 合计 | 1,416.49 | 376.04 | 1,040.45 |
2021年度
单位：万元
| 项目名称 | 材料投入金额 ① | 研发样机材料冲减金额 ② | 材料费 ③= ①-② | 材料投入的主要研发子课题及所处阶段 | 材料领用金额与研发项目所处阶段是否匹配 |
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| 项目名称 | 材料投入金额 ① | 研发样机材料冲减金额 ② | 材料费 ③= ①-② | 材料投入的主要研发子课题及所处阶段 | 材料领用金额与研发项目所处阶段是否匹配 |
| 集成电路制造新一代节能及多通道温控装备技术 | 291.68 | 194.49 | 97.19 | T系列三通道混合控温Chiller、-40°三通道大负载Chiller、等子课题处于设计开发阶段，形成V系列等研发样机 | 匹配 |
| 集成电路制造温控装备信息采集及智慧化调测系统 | 39.69 | - | 39.69 | 样机开发平台及自动调试系统、分散式设备监视系统处于设计开发阶段 | 匹配 |
| 集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发 | 157.40 | 16.60 | 140.80 | Chiller数字化综合测试平台开发与研究等子课题处于设计开发阶段，-40℃单通道低温Chiller形成研发样机 | 匹配 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | 1.69 | - | 1.69 | 项目整体处于收尾阶段 | 匹配 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究 | 50.23 | - | 50.23 | 工艺废气处理设备技术升级与结构优化等子课题处于设计开发阶段 | 匹配 |
| 新一代半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | 29.66 | - | 29.66 | 工艺废气处理设备大处理量及模块化设计等子课题处于设计开发阶段 | 匹配 |
| 集成电路X-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 59.81 | 71.35 | -11.55 | 超薄晶圆倒片机等子课题处于设计开发阶段，Sorter研发测试平台子课题形成研发样机 | 匹配 |
| 集成电路R-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 441.74 | 250.81 | 190.93 | 带有翻片功能G3系列4端口Sorter等子课题处于设计开发阶段，G3系列2端口Sorter等子课题形成研发样机 | 匹配 |
| 合计 | 1,071.90 | 533.26 | 538.64 |
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注：部分研发项目当年研发费用材料费为负的原因为冲减研发样机材料包含上年度支出材料，下同。2020年度
单位：万元
| 项目名称 | 材料投入金额 ① | 研发样机材料冲减金额 ② | 材料费 ③= ①-② | 材料投入的主要研发子课题及所处阶段 | 材料领用金额与研发项目所处阶段是否匹配 |
| 集成电路制造新一代节能及多通道温控装备技术 | 315.83 | 157.07 | 158.75 | V系列产品研发等子课题处于设计开发阶段，并形成研发样机 | 匹配 |
| 集成电路制造温控装备信息采集及智慧化调测系统 | 37.31 | - | 37.31 | 技术升级验证、分散式设备监视系统等子课题处于设计开发阶段 | 匹配 |
| 集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发 | 26.46 | 62.12 | -35.66 | 两通道低温Chiller及试验平台等子课题处于设计开发阶段，并形成研发样机 | 匹配 |
| 集成电路制造温控装备关键技术持续改进及应用 | 4.74 | 13.93 | -9.19 | 项目整体上处于收尾阶段，并形成研发样机 | 匹配 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | 74.62 | 18.86 | 55.76 | 工艺废气处理设备的性能提升研究等子课题处于设计开发阶段，形成单腔燃烧水洗式样机 | 匹配 |
| 新一代半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | 12.39 | - | 12.39 | 一体机真空研究与实验子课题处于设计开发阶段 | 匹配 |
| 集成电路嵌入式高速晶圆传控技术研究及产品研发 | 23.27 | - | 23.27 | 项目整体上处于收尾阶段 | 匹配 |
| 集成电路X-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 258.42 | - | 258.42 | Sorter研发测试平台等子课题处于设计开发阶段 | 匹配 |
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| 项目名称 | 材料投入金额 ① | 研发样机材料冲减金额 ② | 材料费 ③= ①-② | 材料投入的主要研发子课题及所处阶段 | 材料领用金额与研发项目所处阶段是否匹配 |
| 集成电路R-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 85.95 | 77.53 | 8.42 | G3系列双手臂4端口Sorter 子课题处于设计开发阶段并形成研发样机 | 匹配 |
| 合计 | 839.01 | 329.52 | 509.49 |
综上，报告期各期公司各研发项目的材料领用金额主要与下设各子课题设计开发阶段的材料需求相关，整体上与研发项目所处阶段具备匹配性。
2、研发样机材料冲减金额高于研发样机销售金额的原因
报告期内，公司研发样机材料冲减金额和研发样机销售金额具体如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | |||
| 销售金额 | 材料冲减金额 | 销售金额 | 材料冲减金额 | 销售金额 | 材料冲减金额 | |
| 半导体专用温控设备 | 403.57 | 114.89 | 117.25 | 211.09 | 103.40 | 233.13 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 144.30 | 14.16 | - | - | 224.80 | 18.86 |
| 晶圆传片设备 | 474.93 | 247.00 | - | 322.16 | 83.60 | 77.53 |
| 合计 | 1,022.80 | 376.04 | 117.25 | 533.26 | 411.80 | 329.52 |
公司对于研发活动中形成的研发样机，如样机性能达到技术开发目标且很可能对外实现销售，在研发样机通过评审达到入库标准时即确认为存货并冲减当期研发费用，而非在实现销售时才冲减。报告期各期，公司研发样机材料冲减金额高于研发样机销售金额的原因为研发样机并非均在入库当期即实现销售、入库时点和销售时点并非完全一致所致。
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（四）从产品特点、技术水平、研发需求和研发内容等，具体说明发行人研发费用率低于同行业可比公司、材料费占比较小的原因，相关研发项目解决的主要问题，在产品中的应用以及对产品性能的具体改善情况
1、从产品特点、技术水平、研发需求和研发内容等，具体说明发行人研发费用率低于同行业可比公司、材料费占比较小的原因
报告期内，公司与境内同行业可比上市公司研发费用率对比情况如下：
| 公司简称 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 北方华创 | 12.56% | 13.40% | 11.07% |
| 中微公司 | 12.77% | 12.79% | 14.55% |
| 芯源微 | 10.99% | 11.16% | 13.81% |
| 华海清科 | 13.14% | 14.17% | 13.10% |
| 至纯科技 | 6.32% | 6.93% | 6.84% |
| 盛剑环境 | 5.52% | 4.56% | 4.15% |
| 平均值 | 10.22% | 10.50% | 10.59% |
| 京仪装备 | 7.29% | 6.55% | 6.81% |
报告期内，公司研发费用率低于境内可比公司北方华创、中微公司、芯源微和华海清科，且材料费占比较少，具体原因如下：
1、产品特点有所差异
就产品特点而言，公司与境内可比公司均为半导体设备行业的企业，但主营产品存在差异。公司产品与中微公司、芯源微和华海清科主要产品成本的对比情况具体如下：
| 公司简称 | 主要产品 | 产品成本区间 | |
| 中微公司 | 刻蚀设备、MOCVD 设备 | 300万元/腔-600万元/腔 | |
| 芯源微 | 涂胶/显影机、去胶机等 | 100万元/台-300万元/台 | |
| 华海清科 | CMP设备 | 900万元/台-1500万元/台 |
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| 公司简称 | 主要产品 | 产品成本区间 | |
| 京仪装备 | |||
| 半导体专用温控设备 | 5万元/台-30万元/台 | ||
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 15万元/台-40万元/台 |
公司境内可比公司主要产品为工艺设备，产品的单位成本金额约为公司产品的10-20倍，因此公司对完成单个型号产品研发的材料支出将远小于可比公司完成单个型号研发产品研发的材料支出。
2、技术所处阶段有所差异
就技术水平而言，公司主要产品的主要技术指标与国际竞争对手的竞品已不存在重大差异，主要产品已大批量应用于长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、睿力集成等国内主流集成电路制造产线，产品在客户产线表现良好，产品技术指标及产品性能表现已获得国内知名客户认可，就市场占有率而言，公司半导体专用温控设备及半导体专用工艺废气处理设备2022年国内市场占有率分别排名第一和第四，国内市场占有率排名处于较为领先地位。可比公司关于产品市场占有率和技术水平的公开披露具体如下：
| 公司简称 | 产品市场占有率、技术水平 | |
| 北方华创 | 集成电路工艺设备国内整体上处于追赶阶段，与国际先进水平尚有差距 | |
| 中微公司 | 公司的刻蚀产品与泛林半导体、东京电子、应用材料等国际巨头相比，其市场占有率仍然较低 | |
| 芯源微 | 公司生产的半导体设备产品与包括日本东京电子等在内的国际巨头相比在技术指标及全球市场占有率方面仍有较大差距 | |
| 华海清科 | CMP设备市场高度集中，目前公司的竞争对手主要为美国应用材料和日本荏原，公司在市场占有率、历史积淀、经营规模、产品丰富性和技术水平等方面均仍与两家行业巨头存在一定差距 |
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根据可比公司的公开披露，主要可比公司半导体设备产品面临技术水平较国际竞争对手存在一定差距或市场竞争地位还有待提高的局面，目前仍处于产品技术突破或产品结构转型的关键阶段，所需要的研发投入规模更高。
3、研发需求和研发内容有所差异
就研发需求和研发内容而言，公司主要产品的主要技术指标与国际竞争对手的竞品已不存在重大差异，现阶段研发目标主要专注于产品的可持续优化提升，即根据市场需求以及前沿发展趋势，不断推动产品控制方案升级并提升产品竞争力，以更好的适配下游客户先进制程技术升级的需求。公司研发项目侧重于对产品整体结构设计、设备底层算法的迭代优化、控制方案的升级和对产品关键性能的升级优化。
此外，可比公司在研发过程中需进行大量的工艺实验，消耗的材料规模较大，例如，可比公司芯源微在工艺实验验证中需要以晶片为载体，使用光刻胶、显影液等化学品测试涂胶及显影工艺效果是否达标，同时还需使用特殊气体及辅助材料保证工艺实验不受自然环境影响，可比公司中微公司在研发活动中亦需消耗大量硅片、蓝宝石晶片、蓝宝石衬底、图形衬底等试验材料。而公司产品在研发验证阶段，可以通过自主开发的调试系统，模拟半导体专用温控设备在客户现场的复杂工况客户现场不同负载下的工况、半导体专用工艺废气处理设备在客户现场空闲、低燃和高燃三种不同气体流量环境下的运行情况以及晶圆传片设备在客户现场传片的主要工艺流程，消耗性物料投入较少。
综上，公司研发费用率低于同行业可比公司、材料费占比较小具备合理性。
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2、相关研发项目解决的主要问题，在产品中的应用以及对产品性能的具体改善情况公司研发项目解决的主要问题，在产品中的应用以及对产品性能的具体改善情况具体如下：
（1）半导体专用温控设备
| 项目名称 | 研发项目解决的主要问题 | 在产品中的应用和对产品性能的具体改善情况 |
| 集成电路制造新一代节能及多通道温控装备技术 | 本项目解决了早期型号产品的能耗问题，通过模块化设计的方式，实现产品的节能优化需求 | 本项目形成的模块化设计理念使产品的装配、维护、升级更加便捷，形成V系列、B系列等产品，控温范围实现-70℃~120℃成熟应用；产品能耗同比减少50%，温控精度实现〒0.02℃~〒0.2℃，系统结构实现模块化组装 |
| 集成电路制造温控装备信息采集及智慧化调测系统 | 本项目开发以测试平台、实验开发、信息采集系统及智慧化调测系统为主，形成可靠的数据存储、预分析报警、辅助决策、自动调试等功能 | 本项目形成测试平台4套，实现了节能技术验证、切换温控负载验证、模块化试验机验证；自动调试技术实现部分自动化执行，调试过程精准可靠针对安全性能提升、通讯升级和兼容、优化性能短板等方面进行技术升级，延长旧机型的产品生命周期。 |
| 集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发 | 本项目是为满足集成电路制造行业对低温及冷热兼容的前沿技术需求进行实验及产品研发，研发低温-40℃以内切换及混合温控产品、超低温-120℃预研及大流量、大负载温控设备、新型热交换器系列产品等，满足东京电子等工艺设备商对多通道温控设备的要求 | 本项目已成功开发T系列等产品，满足东京电子等工艺设备商对混合控温、大温差切换的技术需求。依托本项目，公司掌握复叠系统设计、超低温系统关键技术，实现低温、高温下温控算法和材料选型的技术积累 |
| 集成电路制造温控装备关键技术持续改进及应用 | 本项目的研发旨在改进现有产品制冷系统和循环系统控制逻辑，增大产品的温度控制范围，提高产品在低温工况下的制冷量 | 本项目已形成数码控制技术、两级控制技术、节能及高精温控算法，相关技术已应用于产品生产 |
8-2-2-153
| 项目名称 | 研发项目解决的主要问题 | 在产品中的应用和对产品性能的具体改善情况 |
| 集成电路专用超低温温控装臵研发及产业化 | 本项目依托公司承担的国家级重大专项课题（温控装臵相关）项目，旨在全面掌握-120℃~-40℃的低温系统、控制算法及相关技术，并实现产业化，力争达到国内外首创和国际领先水平，满足工艺制程的升级需求 | 本项目已形成满足-60℃温控需求的研发样机，并处于客户端验证阶段，形成和优化了超低温系统设计技术、高精度温控算法、喷气增焓、喷液及多级复叠制冷技术等，同时在超低温保温材料、结构设计等方面形成技术积累 |
| 半导体温控装备产品技术创新迭代及新部品技术设计开发及验证 | 本项目开发以测试平台、部件导入测试为主，包括对高低温耐温部件和材料选型验证、制冷系统方案的创新优化、高精度温度检测、控制技术的研究与探索等 | 进一步优化一体化测试平台技术、新型材料保温技术等，持续提升产品综合竞争力，对保温材料、管路、密封材料等进行了验证工作，通过优化材料选型降低了部分零部件的成本 |
（2）半导体专用工艺废气处理设备
| 项目名称 | 研发项目解决的主要问题 | 在产品中的应用和对产品性能的具体改善情况 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | 本项目主要是为了研发出自主知识产权的等离子水洗式、电加热水洗式、双腔和单腔的燃烧水洗式半导体专用废气处理设备，并对新研发的设备在应用实践中进行性能提升 | 形成了自主知识产权的第一代研发样机，各系列产品已实现批量生产、销售 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究 | 本项目主要是为了研发出多种进气方式的燃烧水洗式产品，满足客户多样化的需求；同时搭建工艺废气处理设备研发实验测试平台，对相关零部件进行长期在线验证及进行相关新零部件、新结构设计、研发方案的实验测试；研发适用于苛刻工艺的燃烧水洗式工艺废气处理设备，以及应对研发设备在新工艺新应用的环境下进行技术升级 | 对单腔和双腔燃烧水洗式产品进行了升级迭代，产品实现对半导体领域的刻蚀工艺、薄膜工艺和扩散工艺的适配；形成Harsh工艺除尘技术，逐渐完善了核心技术；核心零部件的使用寿命得到提升，等离子火炬历经十余次技术迭代和实际应用，其寿命从3个月提升到6个月以上 |
| 新一代半导体工艺气体热反应处理装 | 本项目是为了开发新一代的工艺废气处理设备，满足市场需求。同时开发集成一体式工艺废气处理设备，提升技术实力以及进行 | 尚未开始应用 |
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| 项目名称 | 研发项目解决的主要问题 | 在产品中的应用和对产品性能的具体改善情况 |
| 备及研究 | 氮氧化物处理的研究工作 |
（3）晶圆传片设备
| 项目名称 | 研发项目解决的主要问题 | 在产品中的应用和对产品性能的具体改善情况 |
| 集成电路嵌入式高速晶圆传控技术研究及产品研发 | 本项目项目主要目的是开发能够嵌入式晶圆传片设备，同时为了提高晶圆传片设备的WPH而研制R-θ机械手 | 形成了半导体晶圆传控技术、微晶背接触传控技术，实现了嵌入式晶圆传片设备和自动晶圆仓储系统桁车机械手的取放晶圆盒动作交互，R-θ机械手原型机应用于后续产品的开发和量产中 |
| 集成电路X-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 本项目主要目的是研发使用X-θ结构的晶圆传片设备，节约晶圆传片设备在客户现场的占地空间，提升公司产品的关键指标 | 形成了晶圆区域检测技术、晶圆翻片技术和X-θ自动寻心算法，针对X-θ机械手结构完成微晶背接触传控技术升级，通过独特的X-θ结构设计，节约了晶圆传片设备在客户现场的占地空间，设备关键指标WPH由180突破至250以上，应用于产品的批量生产、销售 |
| 集成电路R-θ洁净机械人传控技术平台研究及产品开发 | 本项目主要完成对原有R-θ机械手的升级工作，并开发新一代G3系列产品 | 完成双臂R-θ机械手和微晶背接触材料的开发，具有翻片功能的G3系列产品已实现批量生产，设备关键指标WPH从250突破到了330以上 |
| 自主移动机器人开发 | 项目主要解决在集成电路制造过程中对晶圆盒的自动搬运问题 | 实现对洁净机器人系统结构设计、运动控制以及视觉定位技术的技术积累，相关技术应用于产品研发工作 |
8-2-2-155
（五）内部委托研发的具体内容和金额，双方的会计处理以及合并报表抵消分录，未进行登记备案的原因，是否存在不符合认定条件的情况，确认为研发费用的依据；其他分摊方式确认为研发费用的具体情况及依据，未进行申报的原因
1、内部委托研发的具体内容和金额，双方的会计处理以及合并报表抵消分录，未进行登记备案的原因，是否存在不符合认定条件的情况，确认为研发费用的依据
（1）内部委托研发的具体内容和金额，双方的会计处理以及合并报表抵消分录
北京母公司作为京仪装备业务的决策主体，承担半导体专用设备的研发、生产和销售工作，公司大多数研发人员归属于北京母公司。安徽京仪作为公司主要生产主体之一，主要负责半导体专用设备的生产并承担部分研发工作，具有较为充足的研发场地，承接了公司包括半导体工艺气体热反应处理装备及研究、半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究、集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发、半导体温控装备产品技术创新迭代及新部品技术设计开发及验证等研发项目的部分子课题研发工作。安徽京仪的研发人员数量相对有限，因此部分研发工作需北京母公司的研发人员完成。北京母公司承接的研发项目少量存在安徽京仪研发人员协助完成的情形，主要原因为熟悉相关研发项目情况的人员为安徽京仪的研发人员。双方根据研发人员实际参与对方研发项目的工时分摊研发人员职工薪酬、与研发活动相关的折旧及摊销等支出，由受托方确认其他业务成本和其他业务收入，委托方确认委托研发费用。
2019年度至2022年度，公司未申报加计扣除的内部委托研发费用分别为1,246.13万元、804.73万元、875.44万元和820.64万元，受托方确认的其他业务
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成本和其他业务收入和委托方确认的委托研发费用金额保持一致。内部委托研发费用的项目构成具体如下：
单位：万元
| 委托研发情况 | 项目名称 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 安徽京仪委托北京母公司 | 半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | - | 56.26 | 504.42 | 544.28 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究 | 458.18 | 464.73 | 17.67 | - | |
| 集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发 | 322.77 | 253.93 | 116.42 | 440.06 | |
| 其他项目 | 39.69 | - | 13.19 | 149.80 | |
| 合计 | 820.64 | 774.92 | 651.70 | 1,134.14 | |
| 北京母公司委托安徽京仪 | 集成电路制造新一代节能及多通道温控装备技术 | - | 46.15 | 62.58 | 34.71 |
| 集成电路制造温控装备信息采集及智慧化调测系统 | - | 26.80 | 41.00 | 19.05 | |
| 其他项目 | - | 27.58 | 49.45 | 58.23 | |
| 合计 | - | 100.52 | 153.03 | 111.99 | |
| 总计 | 820.64 | 875.44 | 804.73 | 1,246.13 |
2019年度至2022年度，北京母公司和安徽京仪的研发支出情况具体如下：
单位：万元
| 主体 | 类型 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 北京母公司 | 自主研发费用 | 3,630.98 | 2,065.30 | 1,454.80 | 692.48 |
| 委托安徽京仪研发费用 | - | 100.52 | 153.03 | 111.99 | |
| 合计 | 3,630.98 | 2,165.82 | 1,607.83 | 804.47 | |
| 安徽京仪 | 自主研发费用 | 389.08 | 342.91 | 114.74 | 242.46 |
| 委托北京母公司研发费用 | 820.64 | 774.92 | 651.70 | 1,134.14 | |
| 合计 | 1,209.72 | 1,117.83 | 766.45 | 1,376.60 |
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①北京母公司和安徽京仪的研发部门基本情况
截至报告期末，北京母公司与安徽京仪研发人员和研发场地情况具体如下：
单位：人、平方米
| 项目 | 北京母公司 | 安徽京仪 |
| 研发人员数量 | 73 | 13 |
| 研发场地面积 | 716.07 | 3,093.79 |
北京母公司设立之初承接北京自动化院相关业务，北京自动化院时期相关产品的主要技术人员自北京自动化院离职并入职北京母公司，北京母公司将上述人员作为研发团队的核心成员，不断壮大研发人才团队。北京母公司核心研发团队从事相关产品的研发工作时间较长，经验更为丰富，技术实力更为强劲，同时北京母公司所处的北京市具备突出的研发及技术人才优势，对研发及技术人员具备更强的吸引力，因此公司大部分研发人员选择入职于北京母公司。北京母公司主要为半导体专用温控设备和晶圆传片设备的研发基地，截至报告期末，北京母公司共有研发人员73人，子公司安徽京仪共有研发人员13人。安徽京仪设立后，由于场地较为充足，在生产职能方面负责全部半导体专用工艺废气处理设备以及部分半导体专用温控设备的生产工作，因此公司将安徽京仪作为半导体专用工艺废气处理设备的研发基地并承担部分半导体专用温控设备的研发职能。截至报告期末，北京母公司共有研发场地716.07平方米，子公司安徽京仪共有研发场地3,093.79平方米。
②北京母公司和安徽京仪研发分工定位情况
针对半导体专用温控设备，北京母公司承接半导体专用温控设备包括控制算法设计、产品功能和结构设计等主要研发工作，但由于北京母公司研发场地面积相对紧张，除半导体专用温控设备的研发工作外还需承担晶圆传片设备的研发工作，因此由安徽京仪承接了部分半导体专用温控设备研发项目研发工作。
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针对半导体专用工艺废气处理设备，由于一般而言半导体专用工艺废气处理设备研发需要使用天然气等厂务条件，北京母公司研发场地条件无法满足前述研发环境条件，公司将半导体专用工艺废气处理设备的研发活动主要安排在安徽京仪。综上，由于公司大部分研发人员选择入职于北京母公司，北京母公司研发团队人员更为充足、技术实力更强，但研发场地相对紧张且不具备一般半导体专用工艺废气处理设备研发的场地条件，因此北京母公司主要承担半导体专用温控设备和晶圆传片设备的研发。安徽京仪研发人员较少但研发场地更为充足，且研发场地条件能够满足半导体专用工艺废气处理设备研发需求，因此主要由安徽京仪承接半导体专用工艺废气处理设备研发。同时因北京母公司研发场地紧张，安徽京仪承接了部分半导体专用温控设备研发项目研发工作。公司基于北京和安徽两地研发人员数量、技术实力、研发场地面积及条件等因素综合考虑北京母公司和安徽京仪的研发工作内容，两地研发工作各有侧重，北京母公司以半导体专用温控设备和晶圆传片设备研发为主，安徽京仪以半导体专用工艺废气处理设备研发为主，北京母公司和安徽京仪研发分工定位具有合理性。
③主要内部委托研发项目情况
公司内部委托研发主要以安徽京仪委托北京母公司研发为主，该模式与公司内部研发分工定位相符。安徽京仪委托北京母公司研发的项目主要为半导体专用工艺废气处理设备的研发项目，安徽京仪具备研发场地条件因而由其承担该项目研发，北京母公司研发人员数量较多及研发实力较强，因此安徽京仪委托北京母公司研发人员参与半导体专用工艺废气处理设备研发。同时，北京母公司场地有限，部分半导体专用温控设备项目研发由安徽京仪承担，并考虑到
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北京母公司研发人员数量较多及研发实力较强，因此由安徽京仪委托北京母公司研发人员参与半导体专用温控设备研发。公司内部受托方参与委托方研发项目的均为受托方的研发部门的研发人员，部门所属人员均专职从事研发活动，同时参与所属公司和受托方的研发项目，不存在生产及其他部门人员参与研发活动的情形。在合并报表层面，受托方和委托方承接的研发项目均属于公司的研发项目，公司研发人员均专职参与公司的研发项目。公司内部委托研发费用涉及的主要项目为半导体工艺气体热反应处理装备及研究、半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究、集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发。半导体专用工艺废气处理设备研发项目端，半导体工艺气体热反应处理装备及研究项目主要是为了研发出燃烧水洗式、等离子水洗式、电加热水洗式的半导体专用废气处理设备并对新研发的设备在应用实践中进行性能提升，半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究项目主要目的是为了单腔和双腔燃烧水洗式产品进行升级迭代的研发。由于公司半导体专用工艺废气处理设备由安徽京仪完成生产且安徽京仪拥有充足的研发场地，上述两个研发项目均由安徽京仪负责承接，但由于安徽京仪的研发人员数量相对较少，北京母公司的研发实力较强，需要北京母公司的研发人员给予技术支持，因此安徽京仪委托北京母公司，由北京母公司包括Scrubber研发部技术总监杨春水在内的半导体专用工艺废气处理设备研发团队参与相关项目的研发工作。在北京母公司研发人员的协助下，相关项目已形成了拥有自主知识产权的第一代半导体专用工艺废气处理设备以及第二代燃烧水洗式产品，在核心零部件的使用寿命等方面取得了一定突破；
半导体专用温控设备研发项目端，集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发项目主要是研发低温切换及混合温控产品、超低温温控产品预研及大流量、大负载温控设备、新型热交换器系列产品，满足东京电子等工艺设备商
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对多通道温控设备的要求，由安徽京仪负责承接，由北京母公司Chiller研发部负责人员在内的半导体温控设备研发团队参与该项目的研发工作。在北京母公司研发人员的协助下，该项目已成功开发T系列、热交换器系列等产品。上述项目的研发成果实现产业化应用并形成销售收入的情况具体如下：
单位：万元
| 项目名称 | 形成的主要型号 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备及研究 | 第一代半导体专用工艺废气处理设备 | 18,720.81 | 15,344.79 | 10,372.18 | 282.08 |
| 半导体工艺气体热反应处理装备持续升级优化及研究 | 第二代燃烧水洗式产品 | 3,963.05 | 3,068.55 | - | - |
| 集成电路制造温控装备前沿技术探究及产品研发 | T系列、热交换器系列等 | 2,685.83 | 3,368.95 | - | - |
针对内部委托研发业务，双方的会计处理以及合并报表抵消分录具体如下：
①受托方会计处理
借：应收账款贷：其他业务收入应交税费-应交增值税借：其他业务成本贷：应付职工薪酬、累计折旧、累计摊销等
②委托方会计处理：
借：研发费用-委托研发费用应交税费-应交增值税
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贷：应付账款
③合并报表抵消分录
借：应付账款贷：应收账款借：其他业务收入贷：研发费用-委托研发费用借：研发费用-职工薪酬、折旧费、摊销费等贷：其他业务成本
（2）未进行登记备案的原因，是否存在不符合认定条件的情况，确认为研发费用的依据
公司内部委托研发合同未进行登记备案的原因在于，不同企业对于内部委托研发费用能否加计扣除的理解不同，公司基于自身业务特点及与当地税务主管部门的沟通交流情况，未对内部委托研发合同进行登记备案，具有合理性。部分科创板申报企业如西安爱科赛博电气股份有限公司亦存在内部委托开发基于谨慎性原则未申请加计扣除的情形。由于各年度受托方研发人员实际参与委托方研发项目的时间、支出等受到各项目研发进度、内部人员安排等多种因素的影响，公司内部受托方无法于各年初即确定当年为委托方研发项目发生的实际研发支出，因此未在技术合同中列示技术性收入。
公司未申报加计扣除的内部委托研发费用对企业所得税的影响测算结果如下：
单位：万元
| 主体 | 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 北京母公 | 委托安徽京仪研发费用① | - | 100.52 | 153.03 | 111.99 |
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| 主体 | 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 司 | 企业所得税税率② | 15% | 15% | 15% | 15% |
| 委托研发费用扣除比例③ | 80% | 80% | 80% | 80% | |
| 研发费用税前加计扣除比例④ | 100% | 100% | 75% | 75% | |
| 内部委托研发费用加计扣除对应纳所得税额的影响⑤=①*②*③*④ | - | 12.06 | 13.77 | 10.08 | |
| 北京母公司应纳所得税额⑥ | 1,563.87 | 547.02 | - | - | |
| 未申报内部委托研发费用对应纳所得税额的影响⑦=⑤（⑤≤⑥）或⑦=⑥（⑤＞⑥） | - | 12.06 | - | - | |
| 安徽京仪 | 委托北京母公司研发费用① | 820.64 | 774.92 | 651.70 | 1,134.14 |
| 企业所得税税率② | 15% | 15% | 15% | 15% | |
| 委托研发费用扣除比例③ | 80% | 80% | 80% | 80% | |
| 研发费用税前加计扣除比例④ | 100% | 100% | 75% | 75% | |
| 内部委托研发费用加计扣除对应纳所得税额的影响⑤=①*②*③*④ | 98.48 | 92.99 | 58.65 | 102.07 | |
| 安徽京仪应纳所得税额⑥ | 519.70 | 231.96 | 681.34 | 67.88 | |
| 未申报内部委托研发费用对应纳所得税额的影响⑦=⑤（⑤≤⑥）或⑦=⑥（⑤＞⑥） | 98.48 | 92.99 | 58.65 | 67.88 | |
| 对应纳所得税额的影响合计 | 98.48 | 105.05 | 58.65 | 67.88 | |
注1：根据《财政部、国家税务总局、科学技术部关于完善研究开发费用税前加计扣除政策的通知》（财税【2015】119号）的规定，企业委托外部机构或个人进行研发活动所发生的费用，按照费用实际发生额的80%计入委托方研发费用并计算加计扣除；注2：根据《关于提高研究开发费用税前加计扣除比例的通知》（财税?2018?99号）和《关于进一步完善研发费用税前加计扣除政策的公告》（财政部税务总局公告2021年第13号）的规定，在2018年1月1日至2020年12月31日期间研发费用税前加计扣除比例为75%，自2021年1月1日起研发费用税前加计扣除比例为100%。
2019年度，北京母公司存在亏损的情形，内部委托研发费用未申报加计扣除对应纳所得税额不存在影响；安徽京仪应纳所得税额较低，内部委托研发费用未申报加计扣除对应纳所得税额的影响为67.88万元。2019年北京母公司和
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安徽京仪未申报内部委托研发费用对应纳所得税额的影响合计为67.88万元，影响金额较小，2019年度公司在操作中未在技术合同中列示技术性收入。2020年度至2022年度，未申报内部委托研发费用对应纳所得税额的影响合计金额分别为58.65万元、105.05万元和98.48万元，总体影响金额较小，报告期内公司延续了相同的操作惯例。
公司未申报加计扣除的内部委托研发费用在合并财务报表层面均属于企业在产品、技术、材料、工艺、标准的研究、开发过程中发生的各项费用，包括研发人员职工薪酬、与研发活动相关的折旧与摊销等，符合《企业会计准则第6号—无形资产》、财政部关于企业加强研发费用财务管理的若干意见（财企?2007?194号）等规定对研发费用的定义，未能申报加计扣除属于单体财务报表层面会计核算范畴和税务范畴的差异，内部委托研发费用不存在不符合研发费用认定条件的情况。
2、其他分摊方式确认为研发费用的具体情况及依据，未进行申报的原因
公司未申报加计扣除的通过其他分摊方式确认为研发费用的具体情况如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 折旧及摊销 | 204.38 | 212.43 | 139.57 | 81.47 |
| 技术服务费 | 55.56 | 28.30 | 45.43 | - |
| 其他 | 63.62 | 38.61 | 65.28 | 44.35 |
| 合计 | 323.56 | 279.34 | 250.28 | 125.81 |
（1）折旧及摊销
折旧及摊销主要为研发部门分摊的房屋使用权资产折旧以及无形资产摊销。
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①根据《财政部国家税务总局科技部关于完善研究开发费用税前加计扣除政策的通知》和《国家税务总局关于研发费用税前加计扣除归集范围有关问题的公告》相关规定，允许加计扣除的研发费用不包括研发部门应分摊的房屋租赁费、房屋使用权资产折旧费，因此研发部门分摊的房屋使用权资产折旧费用无法加计扣除。
②无形资产摊销主要为用于研发活动的非专利技术的摊销。公司设立时受让取得北京自动化院半导体专用设备相关的非专利技术。北京自动化院在控制算法、器件变量控制等方面拥有了一定的技术积累，形成了经典PID（比例积分微分）控制算法、器件控制等初代算法和硬件控制的理论基础。公司产品的研发活动以引进北京自动化院技术为基础，对控制算法和硬件控制方法进行迭代研发，非专利技术作为技术理论基础对公司后续的研发活动产生影响，与研发活动直接相关，根据研发项目工时比例进行分摊，公司在申报加计扣除时，基于谨慎性原则，未对上述通过分摊方式归集的研发支出申报加计扣除。
（2）技术服务费
未申报加计扣除的技术服务费主要包括聘请第三方为公司参与制定国家或行业标准提供资料查询和技术调研等服务费用、在研发项目实施过程中向第三方定制的三维设计等工具类软件程序设计费用、研发成果的鉴定费用等。上述技术服务费支出与研发活动直接相关，根据研发项目工时比例进行分摊，且由于单笔合同金额通常小于10万元，公司未要求提供技术服务的受托方对相关技术合同进行登记备案，受托方亦未主动进行登记备案，因此公司未对上述通过分摊方式归集的研发支出申报加计扣除。
（3）其他
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未申报加计扣除的其他费用主要为研发部门摊销的房屋装修费摊销、短期房屋租赁费及物业费、水电费、股份支付费用等，上述费用不属于研发费用加计扣除优惠政策的项目，公司于申报研发费用加计扣除时予以调减。公司通过其他分摊方式确认的研发费用均为获取新产品、新技术、新工艺和新材料等技术成果的活动所产生的且金额能够可靠计量的无形资产摊销、技术服务费、折旧费，符合研发费用的认定标准。公司对研发费用加计扣除的申报较为谨慎，仅对具体研发项目直接发生的材料费用、职工薪酬等进行申报，未对需要分摊归集的研发费用或不在加计扣除范围内的研发费用进行加计扣除的申报，公司在报告期内保持一贯的处理方式，相关处理未违反税收相关法律法规的规定。
二、中介机构核查
（一）发行人说明核查
1、核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
（1）访谈发行人管理层和研发人员，了解公司主要产品研发过程和技术积累过程；
（2）获取并查阅发行人报告期内研发人员花名册，了解发行人各期研发人员数量及研发人员履历情况；获取并查阅第三方机构对发行人主营产品细分市场的统计数据，了解发行人主营产品市场竞争格局及主要厂商的市场占有率；
（3）获取了发行人的研发工时记录表和研发项目费用台账、各研发项目的立项报告、研发成果等资料，结合研发项目难度分析研发项目平均工时上升的原因及其合理性；
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（4）访谈发行人管理层，了解研发人员的认定标准以及研发薪酬的归集和核算方法，复核研发人员薪酬归集的准确性；获取了研发人员薪酬的构成明细，分析研发人员平均薪酬的变化情况及变化原因；
（5）查阅了报告期内发行人研发领料明细表，检查材料领用金额是否与研发项目所处阶段相符；
（6）访谈发行人管理层，了解研发样机入库时点和相关会计处理方法，获取发行人销售明细表并检查研发样机入库记录，分析研发样机入库时点的准确性；
（7）查阅了可比公司关于产品特点、技术水平、市场占有率、研发需求和研发内容等公开披露，分析发行人研发费用率低于同行业可比公司、材料费占比较小的原因并了解研发费用率差异原因；获取了发行人各研发项目的立项报告、研发成果等资料，了解各研发项目解决的主要问题，在产品中的应用以及对产品性能的具体改善情况；
（8）访谈发行人管理层并获取了发行人的内部委托研发合同，了解内部委托研发的具体内容、双方的会计处理以及合并报表抵消分录、未进行登记备案和申报的具体原因；获取发行人研发支出明细账，分析其他分摊方式确认为研发费用的具体情况及依据，评价发行人有关研发费用的会计核算是否符合《企业会计准则》的认定标准。
2、核查意见
经核查，我们认为：
（1）发行人已说明早期技术积累及研发过程，发行人短期内形成自主核心技术与核心技术具有先进性、技术壁垒较高、国内唯一厂商等表述不存在矛盾；
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（2）2021年度和2022年度，发行人重点研发项目旨在完成对公司现有技术的更深层次突破以及全新技术路线系列产品的研发，研发难度较大，单个项目对于人员投入的需求进一步提升，研发项目平均工时上升具备合理性；发行人已说明研发人员薪酬的构成分布，2021年度研发人员平均薪酬水平大幅上升的原因在于发行人调增了研发人员基本工资并对研发人员予以一定水平的奖金激励，具有合理性，2022年度发行人研发人员平均薪酬水平呈现稳中有升的趋势；
（3）发行人已说明各研发项目各年度的材料领用情况，材料领用金额与研发项目所处阶段匹配；发行人研发样机材料冲减金额高于研发样机销售金额主要系研发样机的入库时点，该时点和销售时点并非完全一致，具有合理性；
（4）发行人产品特点、技术所处阶段、研发需求和研发内容与可比公司存在一定差异，研发费用率低于同行业可比公司、材料费占比较小的原因合理；发行人已说明相关研发项目解决的主要问题、在产品中的应用以及对产品性能的具体改善情况；
（5）发行人已说明内部委托研发的背景、具体内容、涉及的研发项目、金额、双方的会计处理以及合并报表抵消分录，内部委托研发费用根据受托方研发人员实际参与委托方研发项目的工时结算研发人员职工薪酬、与研发活动相关的折旧及摊销等支出；发行人已说明内部委托研发未进行登记备案的原因，具有合理性，相关内部委托研发费用在合并财务报表层面均属于企业在产品、技术、材料、工艺、标准的研究、开发过程中发生的各项费用，符合《企业会计准则》等规定对研发费用的定义，内部委托研发费用不存在不符合研发费用认定条件的情况；
（6）发行人通过其他分摊方式确认的研发费用均为获取新产品、新技术、新工艺和新材料等技术成果的活动所产生的且金额能够可靠计量的无形
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资产摊销、技术服务费、折旧费等，符合研发费用的认定标准。发行人对具体研发项目直接发生的材料费用、职工薪酬等进行加计扣除申报，未对需要分摊归集的研发费用进行加计扣除申报，未违反税收相关法律法规的规定。
（二）请保荐机构和申报会计师核查研发人员与发行人客户、供应商之间是否存在关联关系和异常资金往来，核查研发费用与加计扣除金额差异的原因，说明核查措施、比例和结论
请保荐机构和申报会计师核查研发人员与发行人客户、供应商之间是否存在关联关系和异常资金往来，说明核查措施、比例和结论
1、核查情况
我们履行了如下主要核查程序：
（1）访谈了发行人主要客户，了解了发行人及其主要人员与客户及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来，报告期各期客户访谈比例分别为83.86%、79.60%和67.49%；访谈了发行人主要供应商，了解了发行人及其主要人员与客户及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来，报告期各期供应商访谈比例分别为81.26%、
74.06%和77.18%；
（2）取得了报告期客户、供应商明细，查询了客户、供应商工商信息、股东信息、董事、监事、高级管理人员名单等；
（3）获取发行人已开立银行结算账户清单，获取发行人报告期内银行流水，关注是否存在银行账户用途以及所发生的流水与发行人业务不匹配的情形，是否存在金额、日期相近的异常大额资金进出的情形，并抽查记账凭证、银行回单等原始单据；
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（4）取得并复核了发行人董事、监事、高级管理人员的调查表，核查发行人董事、监事、高级管理人员及其亲属和客户及其主要人员、供应商及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系；
（5）取得发行人董事、监事、高级管理人员、主要业务人员报告期内银行流水和相关人员出具的个人资金流水及关联关系、其他密切关系情况的说明与承诺，根据流水中交易对方、交易金额和交易账户情况逐笔核查和发行人客户及客户主要人员（包括但不限于股东、董事、监事、高级管理人员等）、发行人供应商及供应商主要人员（包括但不限于股东、董事、监事、高级管理人员等）之间是否存在异常资金往来，核查人员、流水完整性具体情况如下：
研发人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数 占比 | 核查标准 |
| 高层 | 1 | 1 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 5 | 5 | 100% | |
| 中层 | 9 | 9 | 100% | |
| 基层 | 71 | 10 | 14% | 按照薪酬水平高低核查人数10%以上 |
| 合计 | 86 | 25 | 29% | 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例达到51% |
流水完整性情况：
核查银行范围包括中国工商银行、中国农业银行、中国银行、中国建设银行、交通银行、中国邮政储蓄银行、招商银行、兴业银行、浦发银行、中信银行、平安银行、民生银行、光大银行、华夏银行、广发银行、北京/上海/武汉/芜湖市当地银行或农商行。我们取得核查人员的银行流水，以及未提供流水银行的个人无开立银行账户证明。部分中层和基层业务人员等出于个人隐私考虑，未提供名下银行流水，我们取得了相关人员出具的个人资金流水及关联关系、其他密切关系情况的说明与承诺，确认个人与公司客户、供应商及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或资金往来。
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2、核查意见
经核查，申报会计师认为：
报告期内，发行人研发人员与发行人客户、供应商之间不存在关联关系和异常资金往来。核查研发费用与加计扣除金额差异的原因
1、核查情况
我们履行了如下主要核查程序：
（1）获取并查阅发行人报告期各年所得税汇算清缴报告及报送税务机关的研发项目可加计扣除研究开发费用归集表，并与账面研发费用进行核对分析；
（2）访谈发行人管理层并获取了发行人的内部委托研发合同，查询科学技术部、财政部、国家税务总局对委托研发合同登记备案的要求，了解和分析内部委托研发的具体内容和未进行登记备案和申报的具体原因；
（3）获取发行人研发支出明细账，分析其他分摊方式确认为研发费用的具体情况，评价发行人有关研发费用的会计核算是否符合《企业会计准则》的认定标准。
2、核查意见
经核查，我们认为：
发行人研发费用与加计扣除金额的差异主要为未申报的内部委托研发费用和其他分摊方式确认的研发费用，内部委托研发费用未能申报加计扣除属于单体财务报表层面会计核算范畴和税务范畴的差异，其他分摊方式确认的研发费用属于发行人基于谨慎性原则未进行申报的研发费用，相关费用符合研发费用的认定标准，发行人研发费用核算准确，研发费用加计扣除相关情况符合相关规定。
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问题8.关于存货根据首轮问询回复，（1）2020年末至2022年6月末，发行人存货由14,899.14万元上升至42,199.23万元，主要由原材料和发出商品上升导致；（2）存货跌价准备的计提比例高于同行业公司，主要原因系部分产品无市场需求或成本较高，发行人未从库龄角度说明跌价准备计提情况及充分性；（3）中介机构未充分说明对成本结转完整性的核查措施。请发行人说明：（1）结合报告期内各年各季度的发货情况，说明2021年末和2022年6月末发出商品金额较高的原因，进一步说明发出商品期后结转情况；（2）分库龄说明各类存货及其跌价准备计提情况，具体说明1年以上库龄存货的情况、未领用或销售原因、跌价准备计提的充分性；无市场需求或成本较高存货及其跌价准备计提情况，剔除后，跌价准备计提比例与同行业公司的对比情况及差异原因；（3）结合材料领用、成本结转与BOM清单的对比情况，说明成本结转的完整性。
请保荐机构和申报会计师说明对发出商品监盘比例较低的原因，是否存在其他替代措施及核查比例，核查采购数量和金额的真实性，领用数量、成本结转与BOM清单的匹配性，结存存货的账实情况，以及采购数量、领用数量与结存数量的勾稽关系等，说明成本结转的完整性以及具体的核查措施，并对上述事项发表明确意见。回复：
一、发行人说明
（一）结合报告期内各年各季度的发货情况，说明2021年末和2022年6月末发出商品金额较高的原因，进一步说明发出商品期后结转情况
报告期内公司发出商品账面余额对应各年各季度的发货情况具体如下：
单位：万元
| 发货时间 | 2022年末发出商品 | 2022年6月末发出商品 | 2021年末发出商品 |
| 2020年第3季度 | - | - | 23.45 |
| 2020年第4季度 | - | - | 27.18 |
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| 2021年第1季度 | 262.03 | 380.46 | 1,048.24 |
| 2021年第2季度 | 183.15 | 585.24 | 2,586.24 |
| 2021年第3季度 | 486.80 | 1,114.64 | 4,398.21 |
| 2021年第4季度 | 1,829.77 | 4,258.08 | 11,379.05 |
| 2022年第1季度 | 4,374.23 | 5,702.46 | - |
| 2022年第2季度 | 4,577.34 | 6,572.09 | - |
| 2022年第3季度 | 13,923.12 | - | - |
| 2022年第4季度 | 12,178.48 | - | - |
| 合计 | 37,814.91 | 18,612.97 | 19,462.36 |
各期末发出商品期后验收情况如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年末 | 2022年6月末 | 2021年末 |
发出商品
| 发出商品 | 37,814.91 | 18,612.97 | 19,462.36 |
| 期后验收金额 | 15,281.40 | 11,157.50 | 17,450.96 |
| 期后验收比例 | 40.41% | 59.94% | 89.67% |
注：期后指截至2023年5月末。
截至2023年5月末，2022年末公司发出商品期后尚未验收部分及尚未验收部分对应的库龄情况如下：
单位：万元
| 项目 | 金额 | 0-6个月 | 7-12个月 | 1-2年 | 2-3年 |
| 中芯国际 | 5,662.46 | 30.88 | 4,664.84 | 966.74 | - |
| 长江存储 | 4,039.28 | 595.51 | 3,182.59 | 261.18 | - |
| 鼎泰匠芯 | 2,597.81 | 799.48 | 1,795.05 | 3.28 | - |
| 积塔半导体 | 1,501.90 | 296.67 | 1,205.22 | - | - |
| 睿力集成 | 1,481.17 | 0.13 | 378.79 | 1,102.25 | - |
| 华虹集团 | 1,381.43 | 43.17 | 419.69 | 907.79 | 10.78 |
| 青岛芯恩 | 1,326.56 | 170.80 | 1,155.77 | - | - |
| 重庆京东方 | 774.74 | - | 104.61 | 232.60 | 437.53 |
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| 其他客户 | 3,768.18 | 345.28 | 2,509.57 | 913.32 | - |
| 合计 | 22,533.52 | 2,281.92 | 15,416.15 | 4,387.15 | 448.31 |
注：期后指截至2023年5月末，库龄指截至2023年5月末库龄情况；鼎泰匠芯指上海鼎泰匠芯科技有限公司，青岛芯恩指芯恩（青岛）集成电路有限公司，重庆京东方指重庆京东方显示技术有限公司，下同。库龄0-6个月发出商品整体金额2,281.92万元，占尚未验收发出商品比例达到10.13%，整体处于公司半导体专用设备的正常验收周期内。库龄超过6个月的发出商品对应的客户主要系中芯国际下属的中芯京城、长江存储、鼎泰匠芯、积塔半导体、睿力集成、华虹集团下属的上海集成电路装备材料中心、睿力集成、青岛芯恩和重庆京东方。公司重视发出商品的期后验收情况，已安排专门的销售人员对接客户并定期跟踪汇报发出商品验收情况。公司与前述客户合作情况良好，对应发出商品的回款情况良好，截至2023年5月末尚未验收的发出商品合计回款比例已超过50%，预计后续将持续稳步安排验收确认，预计公司发出商品无法验收的风险较小。截至2023年5月末，主要客户发出商品库龄较长的原因、发出商品状态、对应回款情况具体如下：
（1）中芯国际下属的中芯京城的库龄超过6个月的发出商品金额为3,715.02万元，占中芯国际对应库龄发出商品比例超过65%，中芯京城长库龄发出商品部分产品已处于运行状态，部分产品因客户端适配的工艺设备交付原因尚未运行，尚未验收主要系客户瓶颈机台的交付延迟导致中芯京城产线建设进度较慢导致，如中芯国际公开披露“2022年末中芯京城进入试产阶段，因瓶颈机台的交付延迟，量产时间预计推迟一到两个季度”。
（2）长江存储库龄超过6个月的发出商品金额3,443.77万元，对应发出商品部分已处于运行状态，部分产品因客户端适配的工艺设备交付原因尚未运行，发出商品尚未验收的原因与中芯京城类似，主要系因瓶颈机台的交付延迟导致产线建设进度较慢。截至2023年5月末，长江存储尚未验收的发出商品已累计回款超过75%，客户回款比例较高。
（3）鼎泰匠芯超过6个月的发出商品金额1,798.33万元，对应发出商品已正常运行，处于等待客户验收状态。鼎泰匠芯是公司2022年开拓的新客
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户，发出商品尚未验收主要系客户对应产线属于新建产线，客户对公司设备与工艺设备适配运行要求时间较长，内部验收流程较慢。截至2023年5月末，鼎泰匠芯尚未验收的发出商品已全部回款。
（4）积塔半导体超过6个月的发出商品金额1,205.22万元，对应发出商品已正常运行，处于等待客户验收状态。发出商品尚未验收主要系客户对应12英寸产线属于新建产线，客户对公司设备与工艺设备适配运行要求时间较长，内部验收流程较慢。截至2023年5月末，积塔半导体尚未验收的发出商品的回款比例超过40%，客户回款比例较高。
（5）睿力集成库龄超过6个月的发出商品金额1,481.04万元，金额较高，对应发出商品已正常运行，处于等待客户验收状态。睿力集成是公司2021年开拓的新客户，客户对于新供应商的产品验收要求严格，对公司设备与工艺设备适配运行要求时间较长，另外前期因瓶颈机台的交付延迟影响整体进度较慢，导致验收周期较长。报告期内睿力集成验收周期较长的情况基本符合客户实际情况和行业惯例，如同行业可比公司华海清科公开披露，2020年睿力集成采购其300 Dual型号CMP设备的验收周期分别为12个月和16个月，时间较长；科创板申报企业深圳精智达技术股份有限公司公开披露，2020年睿力集成采购其 DRAM 产线的测试设备的验收周期约8个月；盛美股份披露2020年睿力集成采购单片清洗设备明确约定要求试运行12月。截至2023年5月末，睿力集成尚未验收的发出商品的回款比例超过45%，客户回款比例较高。
（6）华虹集团旗下上海集成电路装备材料中心库龄超过6个月的发出商品金额1,257.72万元，金额较高，对应发出商品已正常运行，处于已运行等待验收状态，验收时间较长的原因主要系上海集成电路装备材料中心整体验收要求较高，一般要求产线建设完工后集中验收设备，普遍产品验收周期较长，报告期内华虹集团平均验收时间约8个月。华虹集团验收周期较长的情况基本符合客户实际情况和行业惯例。截至2023年5月末，华虹集团尚未验收的发出商品的回款比例超过45%，客户回款比例较高。
（7）青岛芯恩库龄超过6个月的发出商品金额1,155.77万元，对应发出商品处于正常运行并等待客户验收的状态。青岛芯恩是公司2022年开拓的新客户，对应12英寸产线属于新建产线，客户对公司设备与工艺设备适配
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运行要求时间较长，内部验收流程较慢。截至2023年5月末，青岛芯恩尚未验收的发出商品的回款比例超过90%，客户已基本全部回款。
（8）重庆京东方库龄超过6个月的发出商品金额774.74万元，对应发出商品处于正常运行并等待客户验收的状态。重庆京东方为公司2021年开拓的新客户，系面板行业头部企业，验收要求较高且内部流程时间较长，导致公司发出商品库龄较长。京东方验收周期较长的情况基本符合客户实际情况和行业惯例，如创业板申报企业苏州杰锐思智能科技股份有限公司公开披露，2022年合肥京东方光电科技有限公司采购其B3 BLU-AOI设备验收周期为1-2年，科创板企业凌云光技术股份有限公司公开披露，2019年合肥京东方光电科技有限公司采购其MOBILE LCM AOI设备验收周期超过2年。截至2023年5月末，重庆京东方尚未验收的发出商品的回款比例超过95%，客户已基本全部回款。
1、2021年末发出商品较高的原因
（1）公司2021年度第四季度发出商品发出金额11,379.05万元，占当年末发出商品期末余额比例为58.47%，占比较高。公司2021年度收入平均验收周期集中在2-3个月，第四季度发出商品基本处于正常验收周期内；（2）2021年第四季度前的发出商品金额8,083.32万元，占当年发出商品期末余额比例为41.53%，该部分发出商品主要集中于华虹集团和睿力集成。华虹集团的产品验收周期普遍较长，主要受客户内部管理安排、产线建设进度等多种内外部因素影响；睿力集成产品验收较慢主要系睿力集成是公司2021年开拓的新客户，客户对于新供应商的产品验收要求严格，验收流程及验收时间较长；（3）2021年末发出商品期后消化比例为超过85%，比例较高，主要产品已基本验收。
2、2022年6月末发出商品较高的原因
（1）公司2022年1-6月收入平均验收周期约5个月，较前期有所拉长，主要系客户结构发生变化，另外在国际环境变化的背景下，部分客户产线建设进度放缓。2022年6月末发出商品余额18,612.97万元，其中2022年1-6月发出金额12,274.55万元，占2022年6月末发出商品期末余额比例为65.95%，主要为正常验收周期内的发出商品；（2）2022年前的发出商品金额6,338.42万元，占2022年6月末发出商品期末余额比例为34.05%，该部分发出商品
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主要集中于睿力集成、华虹集团。睿力集成未验收的原因主要由于睿力集成是公司2021年开拓的新客户，客户对于新供应商产品验收流程及验收时间较长；华虹集团验收流程普遍较长，另外华虹集团旗下上海集成电路研发中心有限公司2021年、2022年扩张产能产线，亦拉长了验收周期；（3）2022年6月末发出商品期后消化比例超过55%，期后正在持续安排验收中。
3、2022年末发出商品较高的原因
（1）公司2022年度收入平均验收周期主要集中在4-5个月，在全球供应链紧张的背景下，客户产线建设进度放缓，导致收入验收周期拉长。2022年末公司发出商品余额37,814.91万元，其中2022年度第三季度、第四季度发出金额26,101.60万元，占期末余额比例69.02%，主要为正常验收周期内的发出商品；（2）2022年第三季度前发出商品金额11,713.32万元，占当年发出商品期末余额比30.98%。该部分发出商品主要集中于江苏卓胜微电子股份有限公司、中芯国际旗下中芯京城。根据中芯国际公开披露信息，2022年末中芯京城进入试产阶段，因瓶颈机台的交付延迟，量产时间预计推迟一到两个季度，因产线建设进度较慢，导致公司半导体专用设备收入验收周期较长。
（3）2022年末发出商品余额为37,814.91万元，截至2023年5月末期后消化比例超过40%，期后正在持续安排验收中。
（二）分库龄说明各类存货及其跌价准备计提情况，具体说明1年以上库龄存货的情况、未领用或销售原因、跌价准备计提的充分性；无市场需求或成本较高存货及其跌价准备计提情况，剔除后，跌价准备计提比例与同行业公司的对比情况及差异原因
1、分库龄说明各类存货及其跌价准备计提情况，具体说明1年以上库龄存货的情况、未领用或销售原因、跌价准备计提的充分性
（1）分库龄的各类存货及其跌价准备计提情况
2019年末至2022年末公司各类型存货分库龄跌价准备计提情况如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年末 | 2021年末 | ||||
| 存货余额 | 跌价金额 | 计提比例 | 存货余额 | 跌价金额 | 计提比例 | |
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| 项目 | 2022年末 | 2021年末 | ||||
| 存货余额 | 跌价金额 | 计提比例 | 存货余额 | 跌价金额 | 计提比例 | |
| 1年以内 | 65,316.51 | 641.18 | 0.98% | 35,056.08 | 273.91 | 0.78% |
| 原材料 | 14,845.30 | 10.57 | 0.07% | 5,240.57 | - | - |
| 在产品 | 7,869.54 | 80.56 | 1.02% | 4,619.49 | 107.06 | 2.32% |
| 库存商品 | 5,252.18 | 195.58 | 3.72% | 3,706.46 | 76.82 | 2.07% |
| 发出商品 | 35,043.06 | 341.71 | 0.98% | 19,440.96 | 90.04 | 0.46% |
| 委托加工物资 | 1,823.35 | 12.76 | 0.70% | 1,784.79 | - | - |
| 合同履约成本 | 483.08 | - | - | 263.80 | - | - |
| 1-2年 | 4,585.76 | 225.28 | 4.91% | 927.55 | 76.19 | 8.21% |
| 原材料 | 732.03 | 152.89 | 20.89% | 335.34 | 67.07 | 20.00% |
| 在产品 | 514.50 | 13.17 | 2.56% | 34.63 | - | - |
| 库存商品 | 513.18 | 46.42 | 9.05% | 536.17 | 9.12 | 1.70% |
| 发出商品 | 2,771.86 | 12.80 | 0.46% | 21.40 | - | - |
| 委托加工物资 | - | - | - | - | - | - |
| 合同履约成本 | 54.19 | - | - | - | - | - |
| 2年以上 | 1,912.77 | 1,035.07 | 54.11% | 1,477.71 | 673.75 | 45.59% |
| 原材料 | 654.78 | 596.19 | 91.05% | 421.35 | 350.69 | 83.23% |
| 在产品 | 22.45 | 22.45 | 100.00% | - | - | - |
| 库存商品 | 1,235.54 | 416.43 | 33.70% | 1,056.36 | 323.06 | 30.58% |
| 发出商品 | - | - | - | - | - | - |
| 委托加工物资 | - | - | - | - | - | - |
| 合同履约成本 | - | - | - | - | - | - |
| 合计 | 71,815.04 | 1,901.54 | 2.65% | 37,461.34 | 1,023.86 | 2.73% |
单位：万元
| 项目 | 2020年末 | 2019年末 | ||||
| 存货余额 | 跌价金额 | 计提比例 | 存货余额 | 跌价金额 | 计提比例 | |
| 1年以内 | 13,567.51 | 141.75 | 1.04% | 8,968.03 | 116.28 | 4.51% |
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| 项目 | 2020年末 | 2019年末 | ||||
| 存货余额 | 跌价金额 | 计提比例 | 存货余额 | 跌价金额 | 计提比例 | |
| 原材料 | 1,576.49 | - | - | 2,465.55 | - | - |
| 在产品 | 1,867.25 | 30.20 | 1.62% | 1,733.18 | 3.01 | 0.17% |
| 库存商品 | 4,859.76 | 111.55 | 2.30% | 2,804.37 | 60.90 | 2.17% |
| 发出商品 | 3,840.26 | - | - | 1,139.65 | 46.77 | 4.10% |
| 委托加工物资 | 1,373.90 | - | - | 825.29 | 5.61 | 0.68% |
| 合同履约成本 | 49.85 | - | - | - | - | - |
| 1-2年 | 831.91 | 94.34 | 11.34% | 1,647.56 | 132.90 | 8.07% |
| 原材料 | 266.18 | 53.24 | 20.00% | 558.69 | 111.74 | 20.00% |
| 在产品 | 10.30 | - | - | 266.22 | 15.29 | 5.74% |
| 库存商品 | 520.58 | 41.10 | 7.90% | 822.66 | 5.88 | 0.71% |
| 发出商品 | 34.85 | - | - | - | - | - |
| 委托加工物资 | - | - | - | - | - | - |
| 合同履约成本 | - | - | - | - | - | - |
| 2年以上 | 1,191.47 | 455.64 | 38.24% | 477.51 | 306.18 | 64.12% |
| 原材料 | 310.12 | 163.23 | 52.63% | 36.04 | 20.91 | 58.02% |
| 在产品 | - | - | - | - | - | - |
| 库存商品 | 881.35 | 292.41 | 33.18% | 441.45 | 285.27 | 64.62% |
| 发出商品 | - | - | - | - | - | - |
| 委托加工物资 | - | - | - | - | - | - |
| 合同履约成本 | - | - | - | - | - | - |
| 合计 | 15,590.89 | 691.73 | 4.44% | 11,093.10 | 555.37 | 5.01% |
2019年末至2022年末，公司库龄1年以上存货占比分别为19.16%、12.98%、
6.42%、9.05%，占比较小。
（2）库龄1年以上原材料情况
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库龄1年以上原材料主要为部分电器装臵、机械标准件、电气元件等通用材料，主要系随着公司规模不断扩大、国际经济形势的变化及供应链环境，公司对原材料的备料需求增加导致，目前尚未全部领用主要系公司前期备货较多，具备合理性。目前，公司正在逐步消化长库龄原材料中。公司大部分主要原材料市场价格相对稳定，预计由于市场价格发生重大变化从而导致原材料跌价和损毁风险较小。公司按照存货成本与可变现净值孰低的原则计提存货跌价准备，综合考虑了原材料预计使用情况和库龄情况计提相应跌价准备，2022年末不合格品库、呆滞品库原材料全额计提跌价，其他仓库的原材料按照库龄计提相应跌价，库龄1-2年的跌价准备计提比例为20%，库龄2-3年的计提比例为50%，库龄超过3年的计提比例100%，存货跌价准备计提充分。
（3）库龄1年以上的库存商品情况
库龄1年以上的库存商品主要为备货产品、继受北京自动化院机台、早期生产的旧型号产品。库龄2年以上的库存商品金额为1,235.54万元，其中继受北京自动化院机台部分221.19万元，早期生产的旧型号产品138.73万元，备货产品为主要部分金额806.09万元。继受北京自动化院机台与早期生产的旧型号机台已无市场对价，因该部分机台进行改造所需花费的人力成本、材料成本较高，公司未对该类机台进行改造，预计该类机台预计售价和可变现净值较低，故对该部分机台全额计提存货跌价准备，存货跌价准备计提充分。备货产品主要为公司主流型号半导体专用温控设备，具有较好的市场前景和客户需求，毛利率水平较高，预计无法销售和跌价风险较低，存货跌价准备计提充分。
2022年末，公司库龄1年以上的库存商品跌价准备计提比例为26.47%，库龄2年以上的库存商品跌价准备计提比例为33.18%，整体处于较高水平。同行业可比公司中微公司披露：最近一年末（2018年末）库龄1年以上库存商品未计提跌价，长库龄库存商品为库存式生产所制造，可随时作为成熟产品销售，未计提跌价准备。综上，公司长库龄库存商品存货跌价准备计提比例较高，存货跌价准备计提充分。
（4）库龄1年以上的发出商品情况
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库龄超过1年的发出商品主要为发给睿力集成等客户的半导体专用设备，受客户内部验收管理安排、产线建设进度等多种因素的影响，产品验收周期较长。公司按照存货成本与可变现净值孰低的原则计提存货跌价准备，长库龄发出商品期后正常验收中，对应毛利率较高，存货跌价风险较小，存货跌价准备计提充分。
（5）库龄1年以上的在产品情况
库龄1年以上的在产品主要为改造中的半导体专用工艺废气处理设备，该类改造产品需根据客户订单明确改造技术需求后完成入库。由于此部分产品改造需求形成时间较晚，导致未在1年内完成入库。截至2023年4月末，前述产已基本完成入库，一半产品已形成销售订单并已发往客户现场。公司按照存货成本与可变现净值孰低的原则计提存货跌价准备，长库龄在产品存货跌价风险较小，存货跌价准备计提充分。
（6）在手订单对存货的覆盖情况
2019年末至2022年末，公司在手订单对在产品、库存商品和发出商品合计的覆盖比例超过1倍，且呈现逐年上升趋势，主要存货的在手订单支持情况良好。随着订单的生产和交付，存货后续可以正常领用、销售，存货跌价风险较小。报告期各期末，公司在手订单与期末存货的匹配关系如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年末 | 2021年末 | 2020年末 | 2019年末 |
| 在产品、库存商品、发出商品期末账面余额 | 53,222.31 | 29,415.49 | 12,014.34 | 7,207.53 |
| 在手订单 | 116,195.11 | 37,947.75 | 14,035.12 | 7,912.99 |
| 在手订单覆盖比例 | 2.18 | 1.29 | 1.17 | 1.10 |
公司2022年末在手订单的产品结构情况具体如下：
单位：亿元
| 项目 | 金额 |
| 半导体专用温控设备 | 7.14 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 3.42 |
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| 项目 | 金额 |
| 晶圆传片设备 | 0.48 |
| 其他 | 0.58 |
| 合计 | 11.62 |
根据公开信息检索，公司在手订单涉及的部分主要客户产线建设情况具体如下：
| 公司名称 | 具体情况 |
| 长江存储 | 长江存储二期项目2020年中开工，追加月产能20万片，目前持续建设中 |
| 中芯国际 | 截至2023年一季度末，中芯深圳已进入量产，中芯京城预计下半年进入量产，中芯东方预计年底通线，中芯西青还在建设中 |
| 青岛芯恩 | 青岛芯恩已开始二期项目的采购工作 |
| 鼎泰匠芯 | 自2022年2月FAB主厂房结构封顶，12英寸车规级功率半导体自动化晶圆制造中心项目正式迈入机电安装工程施工阶段 |
| 华虹集团 | 2023年内，华虹集团无锡12寸生产线将逐步释放产能，并将适时启动新产线的建设 |
| 江苏卓胜微电子股份有限公司 | 截至2022年末，在6英寸滤波器产线的基础上，通过添臵先进设备，逐步推进打造12英寸产品的生产制造能力 |
根据公开信息，公司在手订单涉及的下游晶圆厂客户正有序推进产线建设，在手订单涉及的产品类型主要为公司生产的半导体专用设备产品，公司主要产品市场认可度高，与重要客户均有在手订单，客户数量超过50家，涵盖半导体专用设备产品型号超过60种，业务合作关系稳定，收入的可持续性较强。截至2023年5月末，公司2022年末在手订单已转化形成销售收入超过2.6亿元，在手订单能够为收入增长提供有力支撑。
综上，公司在手订单充足，长库龄存货期后持续结转、销售，公司已结合存货使用状态、库龄等计提了充分的存货跌价准备，报告期各期末计提的存货跌价准备比例高于同行业可比公司，公司存货跌价准备计提充分、合理。
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2、无市场需求或成本较高存货及其跌价准备计提情况，剔除后，跌价准备计提比例与同行业公司的对比情况及差异原因
2019年末至2022年末，公司存货跌价准备计提明细情况如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年末 | 2021年末 | 2020年末 | 2019年末 |
| 存货跌价准备余额① | 1,901.54 | 1,023.86 | 691.73 | 555.37 |
| 无市场需求及成本较高存货跌价准备余额② | 815.67 | 416.41 | 320.42 | 302.12 |
| 剔除特殊情况后跌价准备余额③=①-② | 1,085.87 | 607.44 | 371.3 | 253.24 |
| 剔除特殊情况后存货原值④ | 67,866.31 | 36,476.37 | 15,249.60 | 10,682.56 |
| 剔除特殊情况后存货跌价比例⑤=③/④ | 1.60% | 1.67% | 2.43% | 2.37% |
| 同行业可比上市公司计提比例 | 1.07% | 1.51% | 2.24% | 2.70% |
注：无市场需求存货主要系早期向北京自动化院购买的半导体专用设备，成本较高存货主要系晶圆传片设备。
2019年末至2022年末，剔除无市场需求或成本较高存货及其跌价准备计提金额后，公司各期期末存货跌价准备计提比例分别为2.37%、2.43%、1.67%及1.60%，与同行业可比上市公司相比基本一致，不存在重大差异，公司跌价准备计提充分。
（三）结合材料领用、成本结转与BOM清单的对比情况，说明成本结转的完整性
2019年至2022年，公司原材料领用出库主要分为生产用直接材料、研发领用材料、售后领用材料及其他，生产用直接材料领出后转入生产成本核算，已完工产品从生产成本转入库存商品成本，研发样机从研发费用转入库存商品，在库存商品实现对外销售时结转营业成本。报告期各期，公司原材料领用和营业成本金额具体匹配关系如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 期初原材料余额 | 5,997.26 | 2,152.79 | 3,060.28 | 1,819.72 |
| 加：本期购入材料 | 68,125.82 | 48,428.91 | 25,124.78 | 17,734.79 |
| 加：本期购入委外加工等 | 5,133.75 | 3,684.87 | 2,836.78 | 1,079.69 |
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由上表可知，公司营业成本金额与材料领用金额具有良好的匹配关系。发行人半导体专用设备的存货领出数量与结转营业成本数量的匹配关系如下表所示：
单位：台
| 类别 | 产品类型 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 存货领出数量① | 半导体专用温控设备 | 1,527 | 1,243 | 994 | 722 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 411 | 316 | 201 | 89 | |
| 晶圆传片设备 | 22 | 1 | 4 | 2 | |
| 验证机及转固② | 半导体专用温控设备 | 2 | 9 | 1 | - |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 1 | 4 | 1 | - | |
| 晶圆传片设备 | - | - | - | - | |
| 成本结转数量③=①-② | 半导体专用温控设备 | 1,525 | 1,234 | 993 | 722 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 410 | 312 | 200 | 89 | |
| 晶圆传片设备 | 22 | 1 | 4 | 2 | |
| 实现销售数量④ | 半导体专用温控设备 | 1,525 | 1,234 | 993 | 722 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 410 | 312 | 200 | 89 | |
| 晶圆传片设备 | 22 | 1 | 4 | 2 |
减：期末原材料余额
| 减：期末原材料余额 | 16,232.11 | 5,997.26 | 2,152.79 | 3,060.28 |
| 减：研发领料 | 1,416.49 | 1,071.90 | 839.01 | 684.1 |
| 减：售后领料及其他 | 3,408.94 | 2,386.80 | 1,231.45 | 681.74 |
| 直接材料成本 | 58,199.29 | 44,810.61 | 26,798.59 | 16,208.08 |
| 加：直接人工成本 | 2,215.93 | 1,753.20 | 941.25 | 869.79 |
| 加：制造费用 | 2,225.49 | 1,051.44 | 1,337.57 | 1,174.92 |
| 产品生产成本 | 62,640.71 | 47,615.26 | 29,077.40 | 18,252.79 |
| 加：在产品期初余额 | 6,438.91 | 3,251.44 | 2,824.69 | 3,134.88 |
| 减：在产品期末余额 | 10,229.84 | 6,438.91 | 3,251.44 | 2,824.69 |
| 产成品（库存商品）成本 | 58,849.78 | 44,427.79 | 28,650.65 | 18,562.98 |
| 加：库存商品+发出商品期初余额 | 24,761.37 | 10,136.79 | 5,208.13 | 2,803.72 |
| 加：运费及研发样机 | 1,313.30 | 1,266.27 | 847.79 | 573.24 |
| 减：库存商品+发出商品期末余额 | 44,815.81 | 24,761.37 | 10,136.79 | 5,208.13 |
| 营业成本 | 40,108.64 | 31,069.48 | 24,569.78 | 16,731.79 |
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由上可知，公司半导体专用设备存货领出数量-验证机及转固=成本结转数量，成本结转数量=实现销售数量。报告期内，公司领用了几台设备用于客户端验证或转为内部测试用固定资产，考虑前述情况后，半导体专用设备的存货领出数量与结转营业成本数量匹配，结转营业成本数量与销售数量匹配。公司选取各类半导体专用设备产品使用的主要材料，核查主要材料领出与设备BOM清单匹配情况如下：
半导体专用温控设备—制冷系统
单位：个
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 实际领用原材料数量① | 3,228 | 2,493 | 1,621 | 904 |
| 理论所需原材料数量② | 3,228 | 2,493 | 1,621 | 904 |
| 差异率③=（①-②）/② | - | - | - | - |
注：理论所需原材料数量主要系根据产品产量和不同型号产品BOM清单列示的原材料需求量计算得出，下同。
半导体专用温控设备—水泵
单位：个
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 实际领用原材料数量① | 4,162 | 3,156 | 2,173 | 1,209 |
| 理论所需原材料数量② | 4,162 | 3,156 | 2,172 | 1,206 |
| 差异率③=（①-②）/② | - | - | 0.05% | 0.25% |
半导体专用工艺废气处理设备—反应腔
单位：个
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 实际领用原材料数量① | 1,074 | 777 | 502 | 162 |
| 理论所需原材料数量② | 1,074 | 776 | 495 | 157 |
| 差异率③=（①-②）/② | - | 0.13% | 1.41% | 3.18% |
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半导体专用工艺废气处理设备—火炬头
单位：个
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
实际领用原材料数量①
| 实际领用原材料数量① | 944 | 727 | 454 | 145 |
| 理论所需原材料数量② | 944 | 725 | 450 | 141 |
| 差异率③=（①-②）/② | - | 0.28% | 0.89% | 2.84% |
晶圆传片设备—晶圆载物台
单位：个
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 |
| 实际领用原材料数量① | 136 | 42 | 16 | 4 |
| 理论所需原材料数量② | 136 | 42 | 16 | 4 |
| 差异率③=（①-②）/② | - | - | - | - |
2019年至2022年，公司主要材料领出数量与设备BOM清单所需数量具有良好的匹配关系，部分原材料实际领用与理论所需数量存在较小差异，主要系部分产品投产过程中根据客户变更需求进行改造调整以及物料损耗等导致，具有合理性。
综上，报告期内公司营业成本金额与材料领用金额具有良好的匹配关系，半导体专用设备的存货领出数量与结转营业成本数量匹配，结转营业成本数量与销售数量匹配，公司主要材料领出与设备BOM清单具有良好的匹配关系，公司成本结转准确、完整。
二、中介机构核查
（一）发行人说明核查
1、核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
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（1）访谈了管理层及主要销售人员，了解各期末发出商品金额较高的原因、长库龄存货未领用或销售的原因；
（2）获取并核查了报告期内发货明细，并检查了相应的销售合同，确认发货与销售合同或订单的对应情况；
（3）获取并核查了报告期各期末发出商品明细、发出商品期后结转情况，检查期后验收单等原始资料；
（4）通过公开信息查询同行业可比公司的发出商品变动情况，并判断发行人的发出商品规模与同行业可比公司情况是否存在显著差异；
（5）获取并核查了报告期各期末存货库龄明细，分析库龄划分的准确性；
（6）获取并核查了报告期各期末无市场需求或成本较高存货的清单，结合未来的预计售价、至出售时预计将要发生的成本费用等信息，复核管理层确认可变现净值的过程及合理性；
（7）剔除无市场需求或成本较高存货的原值和跌价准备后，将发行人的货跌价准备计提比例与同行业可比公司的存货跌价准备计提比例进行对比；
（8）对发行人报告期内产品的主要原材料的采购数量、领用数量与BOM单数量进行核对，检查是否存在异常数量；
（9）对营业成本执行倒扎程序，从原材料采购、原材料领用、直接人工发生额、制造费用发生额、生产成本的借贷方发生额、主营业务成本的发生额进行核对和勾稽；
（10）检查报告期内产品销售数量与结转成本数量是否一致，从而确认成本结转的完整性。
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2、核查意见
经核查，我们认为：
（1）发行人已说明报告期内各年各季度发出商品发货情况，已说明2021年末和2022年6月末发出商品金额较高的原因，2021年末和2022年6月末发出商品期后结转比例较高，期后正在逐步安排验收确认；
（2）发行人已分库龄说明各类存货及其跌价准备计提情况，1年以上库龄存货的情况、未领用或销售原因、跌价准备计提的充分性；发行人已说明无市场需求或成本较高存货及其跌价准备计提情况，剔除前述产品后发行人存货跌价准备计提比例与同行业可比上市公司相比基本一致，不存在重大差异；
（3）报告期内发行人营业成本金额与材料领用金额具有良好的匹配关系，半导体专用设备的存货领出数量与结转营业成本数量匹配，结转营业成本数量与销售数量匹配，公司主要材料领出与设备BOM清单具有良好的匹配关系，公司成本结转准确、完整。
（二）请保荐机构和申报会计师说明对发出商品监盘比例较低的原因，是否存在其他替代措施及核查比例，核查采购数量和金额的真实性，领用数量、成本结转与BOM清单的匹配性，结存存货的账实情况，以及采购数量、领用数量与结存数量的勾稽关系等，说明成本结转的完整性以及具体的核查措施
请保荐机构和申报会计师说明对发出商品监盘比例较低的原因，是否存在其他替代措施及核查比例
2021年末、2022年末，我们对发出商品的现场盘点比例分别为60.07%、
67.52%，覆盖客户数量分别为15家、18家。
报告期各期末，申报会计师对发出商品执行监盘比例及替代程序比例如下：
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单位：万元
| 项目 | 2022年末 | 2021年末 |
| 发出商品期末余额 | 37,814.91 | 19,462.36 |
| 监盘程序比例 | 67.52% | 60.07% |
| 替代程序比例 | 23.07% | 31.99% |
| 盘点+替代程序比例 | 90.59% | 92.06% |
发出商品送抵客户现场后一般暂存于集成电路制造厂房生产区域而非库房，主要客户对于生产区域的内部管理较为严格，且生产区域涉及客户商业机密，在贸易纠纷的国际环境背景下客户内部管理愈发严格，请客户配合监盘的难度较大，因此对发出商品的监盘比例较低。我们对未能现场监盘的发出商品执行了替代程序，通过检查发出商品在报告期期末之前发出、在报告期期后经过客户验收确认（若有）等核查程序，确认发出商品的存在性，替代具体核查程序包括：取得报告期内以及报告期后的销售合同、销售台账、发货台账、物流记录以及验收单，选取未监盘的发出商品半导体专用设备，检查发货单、物流记录等单据和发出商品信息是否一致，检查发出商品对应的客户名称、发出商品数量、型号等信息是否与销售订单信息一致，检查核对发出商品的期后验收单中数量、型号、客户名称、验收时间等信息是否一致。报告期各期末，我们对发出商品执行监盘程序及替代程序的覆盖比例合计超过90%。
核查采购数量和金额的真实性，领用数量、成本结转与BOM清单的匹配性
核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
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（1）取得了发行人采购核算相关内部控制制度文件，了解发行人采购与付款流程相关的内部控制流程，执行了采购与付款流程的穿行测试和控制测试；
（2）通过公开信息查阅报告期内主要供应商背景信息，了解供应商的经营范围、业务资质、市场知名度、主要产品等，并与发行人采购内容进行核对，确认采购内容与供应商业务范围的匹配性；
（3）对发行人报告期内原材料采购进行细节测试，抽查了相关记账凭证及框架合同、采购合同、入库单、采购发票等原始单据，验证公司报告期内采购金额的真实性；
（4）对报告期内主要供应商进行访谈和函证，确认发行人与供应商的交易背景、商业合理性、采购金额，确认采购金额的真实性，2019年至2022年各期供应商访谈比例分别为72.76%、81.26%、74.06%和77.18%；2019年至2022年各期供应商函证比例分别为88.67%、91.70%、88.27%和89.95%：
（5）取得并复核了发行人存货明细、材料领用明细、主要产品BOM清单、生产成本明细，分析主要材料的领用数量与BOM清单的一致性、分析材料领用及营业成本金额的匹配性；
（6）取得并复核了发行人结转成本数据、收入确认数据和库存商品数据，分析收入确认数量、结转成本数量和库存商品发出数量的匹配性，确认成本结转的完整性；
（7）对营业成本执行倒扎程序，从原材料采购、原材料领用、直接人工发生额、制造费用发生额、生产成本的借贷方发生额、主营业务成本的发生额进行核对和勾稽。
2、核查意见
经核查，我们认为：
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报告期内，发行人采购数量和金额真实，发行人材料领用与营业成本金额具有良好的匹配关系、主要材料领出数量与产品BOM清单具有良好的匹配关系。结存存货的账实情况，以及采购数量、领用数量与结存数量的勾稽关系等，说明成本结转的完整性以及具体的核查措施核查程序
（1）2021年末和2022年末，我们对存货进行了监盘，检查期末存货是否真实存在以及是否存在长期积压、破旧、磨损、残次等情况，对部分盘点未覆盖的发出商品和合同履约成本执行了替代程序，对委托加工物资执行了函证程序。
原材料监盘方面，保荐机构和申报会计师获取并检查发行人盘点计划，选取接近报告截止日实施监盘程序，保荐机构和申报会计师随发行人赴北京母公司和安徽京仪仓库现场对原材料期末结存情况进行监盘，对盘点表上的存货编码与物料卡片上的存货编码进行核对，判断盘点表中存货的规格型号与存货实物是否对应，并陪同发行人员工清点原材料数量并与盘点表核对，监盘过程中除关注数量是否一致外，同时关注存货的品质状况，关注是否存在长期积压、破旧、磨损、残次等情况。
发出商品监盘方面，保荐机构和申报会计师获取并检查发行人盘点计划和期末各客户的发出商品明细表（包括设备名称、型号、序列号、位臵信息等），保荐机构和申报会计师随发行人赴客户集成电路制造厂房存放设备的区域查看发行人设备情况，根据客户发出商品明细表对客户现场的发出商品进行清点，通过观察设备自带的标签（通常包含供应商名称、型号、序列号等信息）和机体LOGO识别设备型号和序列号，判断设备是否为发行人设备，通过观察设备操作界面判断设备运行状态，关注发出商品数量是否与盘点表
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一致、设备现场运行状态、验收及安装进度、设备在客户现场保存情况，是否存在毁损的迹象等。
对存货的核查确认具体情况如下：
2022年末
单位：万元
| 项目 | 期末金额 | 盘点金额 | 盘点比例 | 函证及替代金额 | 可确认比例 |
| 原材料 | 16,232.11 | 16,165.29 | 99.59% | - | 99.59% |
| 在产品 | 8,406.49 | 7,493.55 | 89.14% | - | 89.14% |
| 库存商品 | 7,000.90 | 6,914.00 | 98.76% | - | 98.76% |
| 发出商品 | 37,814.91 | 25,530.86 | 67.52% | 8,725.25 | 90.59% |
| 委托加工物资 | 1,823.35 | 1,810.08 | 99.27% | 1,811.11 | 99.33% |
| 合同履约成本 | 537.27 | - | - | 537.27 | 100.00% |
| 合计 | 71,815.04 | 57,913.78 | 80.64% | 11,073.63 | 93.54% |
注：可确认比例=（盘点金额+函证及替代金额）/期末金额，同时执行盘点与函证程序的部分剔除重复金额，下同。2021年末
单位：万元
| 项目 | 期末金额 | 盘点金额 | 盘点比例 | 函证及替代金额 | 可确认比例 |
| 原材料 | 5,997.26 | 5,996.84 | 99.99% | - | 99.99% |
| 在产品 | 4,654.12 | 4,542.39 | 97.60% | - | 97.60% |
| 库存商品 | 5,299.00 | 5,299.00 | 100.00% | - | 100.00% |
| 发出商品 | 19,462.36 | 11,690.13 | 60.07% | 6,226.69 | 92.06% |
| 委托加工物资 | 1,784.79 | 890.45 | 49.89% | 1,784.79 | 100.00% |
| 合同履约成本 | 263.80 | - | - | 263.80 | 100.00% |
| 合计 | 37,461.34 | 28,418.82 | 75.86% | 8,275.29 | 95.57% |
（2）取得了报告期发行人存货明细账、分析存货采购/入库、领用/出库与结存数量、金额的勾稽关系；
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2022年，存货采购/入库数量、领用/出库数量与结存数量的勾稽关系如下：
单位：个、台等
| 类别 | 期初结存数量 | 入库数量 | 出库数量 | 期末结存数量 |
材料类
| 材料类 | 电气元件 | 640,079.81 | 2,102,907.50 | 1,974,453.19 | 768,534.12 |
| 电器装臵 | 7,050.00 | 57,359.00 | 52,649.00 | 11,760.00 | |
| 化学制品 | 58,161.70 | 216,318.50 | 128,430.00 | 146,050.20 | |
| 机械标准件 | 71,123.80 | 474,334.10 | 427,478.20 | 117,979.70 | |
| 机械加工件 | 686,901.72 | 914,673.60 | 882,017.79 | 719,557.53 | |
| 仪器仪表 | 508.00 | 12,431.00 | 11,178.00 | 1,761.00 | |
| 其他 | 992,779.41 | 4,745,362.32 | 3,734,682.81 | 2,003,458.92 | |
| 设备类 | 半导体专用温控设备 | 1,242.00 | 2,485.00 | 1,527.00 | 2,200.00 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 265.00 | 666.00 | 411.00 | 520.00 | |
| 晶圆传片设备 | 17.00 | 43.00 | 22.00 | 38.00 |
注：发行人原材料种类繁多，部分类型原材料如电缆、铜管等以长度、重量为计量单位，故数量非整数，下同。
2021年，存货采购/入库数量、领用/出库数量与结存数量的勾稽关系如下：
单位：个、台等
| 类别 | 期初结存数量 | 入库数量 | 出库数量 | 期末结存数量 | |
| 材料类 | 电气元件 | 252,913.50 | 2,621,449.30 | 2,234,282.99 | 640,079.81 |
| 电器装臵 | 1,764.00 | 44,199.00 | 38,913.00 | 7,050.00 | |
| 化学制品 | 4,811.00 | 176,606.90 | 123,256.20 | 58,161.70 | |
| 机械标准件 | 30,670.10 | 363,177.25 | 322,723.55 | 71,123.80 | |
| 机械加工件 | 597,816.43 | 671,439.90 | 582,354.61 | 686,901.72 | |
| 仪器仪表 | 319.00 | 11,268.00 | 11,079.00 | 508.00 | |
| 其他 | 641,905.60 | 3,645,854.33 | 3,294,980.52 | 992,779.41 | |
| 设备 | 半导体专用温控设备 | 545 | 1,940 | 1,243 | 1,242 |
| 半导体专用工艺废气 | 123 | 458 | 316 | 265 | |
8-2-2-193
| 类 | 处理设备 | ||||
| 晶圆传片设备 | 2 | 16 | 1 | 17 |
2020年，存货采购/入库数量、领用/出库数量与结存数量的勾稽关系如下：
单位：个、台等
| 类别 | 期初结存数量 | 入库数量 | 出库数量 | 期末结存数量 | |
| 材料类 | 电气元件 | 212,074.25 | 684,626.72 | 643,787.47 | 252,913.50 |
| 电器装臵 | 3,259.00 | 20,488.00 | 21,983.00 | 1,764.00 | |
| 化学制品 | 6,032.50 | 117,149.00 | 118,370.50 | 4,811.00 | |
| 机械标准件 | 71,013.00 | 159,575.00 | 199,917.90 | 30,670.10 | |
| 机械加工件 | 818,189.40 | 234,887.00 | 455,259.97 | 597,816.43 | |
| 仪器仪表 | 723.00 | 3,018.00 | 3,422.00 | 319.00 | |
| 其他 | 703,226.01 | 1,393,461.30 | 1,454,781.71 | 641,905.60 | |
| 设备类 | 半导体专用温控设备 | 264.00 | 1,274.00 | 993.00 | 545.00 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 45.00 | 278.00 | 200.00 | 123.00 | |
| 晶圆传片设备 | 2.00 | 4.00 | 4.00 | 2.00 | |
2022年，存货采购/入库金额、领用/出库金额与结存金额的勾稽关系如下：
单位：万元
| 类别 | 期初结存金额 | 入库金额 | 出库金额 | 期末结存金额 | |
| 材料类 | 电气元件 | 927.01 | 10,213.25 | 8,926.12 | 2,214.14 |
| 电器装臵 | 4,978.01 | 21,433.91 | 19,666.22 | 6,745.70 | |
| 化学制品 | 2,038.59 | 10,229.08 | 4,557.56 | 7,710.12 | |
| 机械标准件 | 1,062.87 | 9,167.68 | 8,354.80 | 1,875.75 | |
| 机械加工件 | 2,590.65 | 13,640.38 | 11,476.01 | 4,755.02 | |
| 仪器仪表 | 155.29 | 1,120.07 | 1,052.93 | 222.42 | |
| 其他 | 875.18 | 2,321.44 | 1,890.66 | 1,305.96 | |
| 设 | 半导体专用温控设备 | 11,972.56 | 27,372.82 | 18,102.24 | 21,243.13 |
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| 备类 | 半导体专用工艺废气处理设备 | 4,947.99 | 18,703.39 | 12,116.48 | 11,534.91 |
| 晶圆传片设备 | 1,210.69 | 3,818.26 | 1,587.97 | 3,440.98 |
2021年，存货采购/入库金额、领用/出库金额与结存金额的勾稽关系如下：
单位：万元
| 类别 | 期初结存金额 | 入库金额 | 出库金额 | 期末结存金额 | |
| 材料类 | 电气元件 | 344.21 | 6,553.88 | 5,971.09 | 927.01 |
| 电器装臵 | 630.51 | 15,961.27 | 11,613.76 | 4,978.01 | |
| 化学制品 | 162.97 | 5,691.82 | 3,816.20 | 2,038.59 | |
| 机械标准件 | 313.14 | 7,647.15 | 6,897.42 | 1,062.87 | |
| 机械加工件 | 961.72 | 9,614.20 | 7,985.27 | 2,590.65 | |
| 仪器仪表 | 61.24 | 1,365.50 | 1,271.46 | 155.29 | |
| 其他 | 159.56 | 1,595.08 | 879.47 | 875.18 | |
| 设备类 | 半导体专用温控设备 | 6,225.58 | 21,953.17 | 16,206.20 | 11,972.56 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 3,316.11 | 11,356.20 | 9,724.31 | 4,947.99 | |
| 晶圆传片设备 | 114.74 | 1,178.78 | 82.83 | 1,210.69 | |
2020年，存货采购/入库金额、领用/出库金额与结存金额的勾稽关系如下：
单位：万元
| 类别 | 期初结存金额 | 入库金额 | 出库金额 | 期末结存金额 | |
| 材料类 | 电气元件 | 608.98 | 5,903.55 | 6,168.32 | 344.21 |
| 电器装臵 | 847.67 | 7,356.92 | 7,574.08 | 630.51 | |
| 化学制品 | 206.90 | 3,792.79 | 3,836.72 | 162.97 | |
| 机械标准件 | 521.66 | 3,667.75 | 3,876.27 | 313.14 | |
| 机械加工件 | 1,346.98 | 3,572.65 | 3,957.91 | 961.72 | |
| 仪器仪表 | 85.55 | 238.31 | 262.62 | 61.24 | |
| 其他 | 296.26 | 524.20 | 660.89 | 159.56 | |
| 设 | 半导体专用温控设备 | 2,897.37 | 17,133.44 | 13,805.23 | 6,225.58 |
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| 类别 | 期初结存金额 | 入库金额 | 出库金额 | 期末结存金额 | |
| 备类 | 半导体专用工艺废气处理设备 | 1,414.86 | 8,511.22 | 6,609.97 | 3,316.11 |
| 晶圆传片设备 | 116.77 | 318.33 | 320.35 | 114.74 | |
由上表可知，存货期初结存数量+入库数量=出库数量+期末结存数量，存货期初结存金额+入库金额=出库金额+期末结存金额。
（3）取得了发行人采购、生产、成本核算相关内部控制制度文件，了解发行人存货、成本核算相关的内部控制流程，执行了采购与付款流程的穿行测试和控制测试；
（4）对管理层进行访谈，了解发行人产品特点及生产流程，结合工艺流程判断生产成本核算方法的合理性；
（5）获取并复核了发行人生产成本计算表、营业成本明细表等与成本费用的归集、分摊及营业成本结转相关资料，对发行人生产成本、制造费用的合理性进行分析性复核；
（6）对报告期内发行人采购合同、入库单的完整性进行检查，期末执行应计未计负债检查程序，确认报告期内存货采购及应付账款的完整性；
（7）对发行人报告期内原材料、外协采购进行细节测试，抽查了相关记账凭证及框架合同、采购合同、入库单、采购发票等原始单据，验证公司报告期内采购金额的真实性；
（8）获取发行人员工花名册和工资表，检查生产人员的划分标准、生产人员的薪酬准确性、生产人员的薪酬归集和分配过程，对应付职工薪酬进行完整性测试，确认报告期内薪酬费用的完整性；
（9）对存货进行计价测试，检查原材料、产成品等计价方法是否合理并一贯执行，测算是否存在成本结转单价异常的情况，成本出库金额是否准确；
8-2-2-196
（10）对发行人报告期内产品的主要原材料的采购数量、领用数量与BOM清单需求数量进行核对，检查是否存在异常情况；
（11）对生产成本的借方发生额进行细节测试，检查材料领用记录、薪酬归集、生产成本计算表等原始资料，对生产成本的贷方发生额进行检查，包括生产成本结转库存商品的过程、库存商品的单位成本分析等；
（12）对营业成本执行倒扎程序，从原材料采购、原材料领用、直接人工发生额、制造费用发生额、生产成本的借贷方发生额、主营业务成本的发生额进行核对和勾稽；
（13）取得并复核了发行人结转成本数据、收入确认数据和库存商品数据，分析收入确认数量、结转成本数量和库存商品发出数量的匹配性，确认成本结转的完整性；
（14）获取并检查发行人收入成本明细表、发出商品明细表，执行收入截止性测试和发出商品期后测试，确认成本结转的完整性、及时性。
2、核查意见
经核查，我们认为：
报告期内，发行人存货采购/入库、领用/出库与结存具有良好的勾稽关系；报告期内，发行人成本与收入确认情况匹配，成本结转准确、完整。
问题9.关于预付款项
根据首轮问询回复，2019年末和2020年末，1年以上预付账款的金额较高的主要原因系供应商Yurikai Co.,Ltd.对原材料的交付情况较差，目前已全额计提减值准备（约450万），双方已完成原有合同的变更，采购内容由自产原材料变更为贸易代理材料。
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请发行人说明：（1）2021年末和2022年6月末，预付账款对应的材料总体交付情况；（2）报告期各期末预付账款原值及账龄情况，长账龄预付款对应供应商的具体情况，发行人与其建立合作的时间、背景，预付款时点、原因以及是否符合行业交易惯例，相关供应商与发行人及其客户之间是否存在关联关系，长期未交货的原因、合理性以及期后交货情况；（3）在预付款账龄较长、相关供应商目前仍未交货的情况下，说明预付款的最终流向，相关供应商的经营状态，在未交货的情况下，未退回预付款的原因，发行人就未交货具体的处理方式，是否与其发生进一步交易及原因。请保荐机构和申报会计师核查长账龄预付款对应的供应商与发行人及其主要客户是否存在关联关系，发行人及其主要人员与相关供应商是否存在异常资金往来，预付款的最终流向，并说明相关合作的真实性、未交货且未退回预付款的合理性，对上述事项发表明确意见。回复：
一、发行人说明
（一）2021年末和2022年6月末，预付账款对应的材料总体交付情况
截至2023年3月31日，2021年末、2022年6月末和2022年末，公司预付账款对应的材料总体交付情况具体如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年末 | 2022年6月末 | 2021年末 |
| 预付账款原值 | 1,296.49 | 3,051.34 | 1,374.82 |
| 剔除Yurikai Co.,Ltd.后预付账款原值 | 841.31 | 2,596.16 | 919.63 |
| 已交付金额 | 504.18 | 2,422.11 | 827.25 |
| 交付比例 | 38.89% | 79.38% | 60.17% |
| 剔除Yurikai Co.,Ltd.后交付比例 | 59.93% | 93.30% | 89.95% |
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公司2021年末、2022年6月末及2022年末预付账款对应的材料金额期后交付比例分别为60.17%、79.38%和38.89%，剔除Yurikai Co.,Ltd.影响后，期后交付比例分别为89.95%、93.30%和59.93%，除供应商Yurikai Co., Ltd.对原材料的交付情况较差外，其余预付款项交付良好。
（二）报告期各期末预付账款原值及账龄情况，长账龄预付款对应供应商的具体情况，发行人与其建立合作的时间、背景，预付款时点、原因以及是否符合行业交易惯例，相关供应商与发行人及其客户之间是否存在关联关系，长期未交货的原因、合理性以及期后交货情况
报告期各期末，公司预付账款原值及账龄情况具体如下：
单位：万元
| 账龄 | 2022年末 | 2021年末 | 2020年末 |
| 1年以内 | 793.02 | 917.81 | 126.43 |
| 1-2年 | 48.29 | 0.24 | 48.31 |
| 2-3年 | - | 1.58 | 156.11 |
| 3年以上 | 455.18 | 455.18 | 462.53 |
| 合计 | 1,296.49 | 1,374.82 | 793.38 |
报告期各期末，公司长账龄预付款对应的主要供应商为Yurikai Co., Ltd.，预付款项账龄情况具体如下：
| 项目 | 2022年末 | 2021年末 | 2020年末 |
| 预付款项原值 | 455.18 | 455.18 | 618.63 |
| 其中：2-3年 | - | - | 156.11 |
| 3年以上 | 455.18 | 455.18 | 462.53 |
公司向Yurikai Co., Ltd.采购PLC套件类原材料，该供应商位于日本，主要从事部分PLC套件材料的生产和贸易代理业务，为北京自动化院的合格供应商。公司成立初期存在采购PLC套件类原材料的需求，该供应商在与北京自动化院合作期间具备供应合格的PLC套件能力，因此将该供应商纳入合格供应商名录
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并向其采购PLC套件。由于该供应商生产的PLC套件材料需购臵芯片等原材料，公司与其约定合同完成签署后预付全额款项。向部分供应商特别是境外供应商预付原材料款项属于半导体行业的普遍现象，根据可比公司至纯科技的披露，其存在向境外供应商通过全额预付货款的方式进行采购的情形，因此，公司向Yurikai Co., Ltd.预付款项符合行业惯例，该供应商与公司及公司客户之间不存在关联关系。该供应商由于自身的经营情况供货周期不稳定，无法获取其生产PLC套件产品所需使用的关键芯片材料的充足供应，生产工厂已处于停工状态，长期未能实现自产PLC套件的交付，2021年度，该供应商完成部分原材料的交付，但是长期来看该供应商存在生产和供货能力不足的情况，难以完成相关原材料的交付。双方已完成原有合同的变更，采购内容由自产原材料变更为贸易代理材料，报告期后尚未实现交付。
（三）在预付款账龄较长、相关供应商目前仍未交货的情况下，说明预付款的最终流向，相关供应商的经营状态，在未交货的情况下，未退回预付款的原因，发行人就未交货具体的处理方式，是否与其发生进一步交易及原因截至报告期期末，公司与Yurikai Co., Ltd.尚未结清的预付款对应的日元金额合计为8,620.18万日元，最终流向情况主要为采购原材料、支付租赁费及支付职工薪酬等。其具体流向情况如下：
单位：万日元
| 序号 | 最终流向 | 金额 |
| 1 | 向东京电机产业公司等供应商采购原材料、固定资产等 | 7,500.91 |
| 2 | 支付租赁费 | 738.11 |
| 3 | 支付职工薪酬 | 381.16 |
| 合计 | 8,620.18 |
Yurikai Co., Ltd.由于自身的经营情况供货周期不稳定，无法获取其生产PLC套件产品所需使用的关键芯片材料的充足供应，生产工厂已处于停工状态，长
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期未能实现自产PLC套件的交付。除关键芯片材料无法获取充足供应外，由于Yurikai Co., Ltd.已使用公司预付款项进行了其他原材料的采购，因此该供应商向公司反馈暂时无法退回预付款项。自上述情况发生以来，公司始终保持与该供应商的沟通工作，并不断与其商讨解决方案，双方已完成原有合同的变更，采购内容由自产原材料变更为贸易代理材料，并约定仍未能按照变更合同时点完成交付将通过仲裁方式解决上述事项。
Yurikai Co., Ltd.发生延迟交货的情况后，公司已不再向Yurikai Co., Ltd.采购其生产的PLC套件，但受2021年全球PLC套件供应链紧张的影响，公司寻求通过多种渠道完成PLC套件的备货。由于Yurikai Co., Ltd.为境外PLC套件品牌的贸易商，公司委托Yurikai Co., Ltd.采购贸易代理PLC套件材料616.82万元，货款与货物均已结清。
二、中介机构核查
（一）发行人说明核查
1、核查程序
我们履行了如下核查程序：
（1）通过访谈管理层及发行人主要采购人员、查阅供应商合同，了解了预付款项发生的原因、发行人与其建立合作的时间、背景、商业合理性、长期未交货的原因及期后交货情况或期后处理方式；
（2）获取了发行人报告期内预付款项明细，获取并检查了账龄较长预付款项对应的采购合同、支付预付款项的银行流水、报告期内入库单、期后到货入库单等支持性文件，核查报告期期末预付款项的存在性及期后交货情况；
（3）对报告期内主要供应商进行函证，确认报告期期末预付款项的存在性、准确性，对主要供应商进行访谈，了解双方的合作背景、报告期内的交易内容及金额、是否存在关联关系等信息；
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（4）通过公开信息查阅了预付款供应商的背景信息，包括供应商的经营范围、规模，判断供应商所售产品或服务类型与发行人需求是否匹配，查阅了预付款供应商的注册地址、股东及法人代表等基本信息，与发行人的股东、董事、监事、高级管理人员及发行人员工花名册进行对比，与发行人客户的股东及法人代表等信息进行对比，判断供应商与发行人及发行人客户有无关联关系；
（5）取得并查阅了Yurikai Co., Ltd.的银行流水，取得Yurikai Co., Ltd.出具的关于关联关系及预付款最终流向的书面确认；
（6）取得报告期内发行人及其主要人员（包括主要采购人员、管理人员、销售人员等）的银行流水，核查其交易对手方、摘要等内容，核查其与Yurikai Co.,Ltd.是否存在异常资金往来；
（7）访谈发行人主要采购人员，了解发行人与Yurikai Co., Ltd.合作的背景、真实性、未交货且未退回预付款的合理性。
2、核查意见
经核查，我们认为：
（1）发行人已说明2021年末、2022年6月末和2022年末，公司预付账款对应的材料总体交付情况，除供应商Yurikai Co., Ltd.对原材料的交付情况较差外，其余预付款项交付良好；
（2）发行人已说明报告期各期末预付账款原值及账龄情况，长账龄预付款对应供应商主要为Yurikai Co., Ltd.该供应商曾为北京自动化院的合格供应商，发行人成立初期向其采购PLC套件材料，由于该供应商生产的PLC套件材料需购臵芯片等原材料，发行人与其约定合同完成签署后预付全额款项，预付款项的采购模式符合行业惯例，该供应商与公司及公司客户之间不存在关联关系；该供应商由于自身的经营情况供货周期不稳定，无法获取其生产PLC套件产品
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所需使用的关键芯片材料的充足供应，因此长期未能交付，报告期后该供应商尚未交付货物；
（3）发行人向Yurikai Co., Ltd.预付款主要为采购原材料、支付办公室租赁费及支付社会保险。Yurikai Co., Ltd.的生产工厂已处于停工状态，由于其已使用公司预付款项进行了原材料的采购，暂时无法将预付款项退回公司；发行人已与该供应商完成原有合同的变更，采购内容由自产原材料变更为贸易代理材料，并约定仍未能按照变更合同时点完成交付将通过仲裁方式解决上述事项；
（4）Yurikai Co., Ltd.发生延迟交货的情况后，发行人已不再向Yurikai Co., Ltd.采购其生产的PLC套件，但受2021年全球PLC套件供应链紧张的影响，公司寻求通过多种渠道完成PLC套件的备货。由于Yurikai Co., Ltd.为境外PLC套件品牌的贸易商，公司委托Yurikai Co., Ltd.采购贸易代理PLC套件材料616.82万元，货款与货物均已结清。
（二）请保荐机构和申报会计师核查长账龄预付款对应的供应商与发行人及其主要客户是否存在关联关系，发行人及其主要人员与相关供应商是否存在异常资金往来，预付款的最终流向，并说明相关合作的真实性、未交货且未退回预付款的合理性
1、核查情况
针对上述事项，我们履行了如下核查程序：
（1）取得并查阅了Yurikai Co., Ltd.的银行流水，取得Yurikai Co., Ltd.出具的关于关联关系及预付款最终流向的书面确认；
（2）取得报告期内发行人及其主要人员（包括主要采购人员、管理人员、销售人员等）的银行流水，核查其交易对手方、摘要等内容，核查其与Yurikai Co.,Ltd.是否存在异常资金往来；
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（3）取得并查阅了发行人与Yurikai Co., Ltd.签署的采购合同、发行人向Yurikai Co., Ltd.支付预付货款的银行流水；获取了发行人的BOM清单，分析向Yurikai Co., Ltd.采购的PLC套件材料是否能够用于公司产品的生产；
（4）访谈发行人主要采购人员，了解发行人与Yurikai Co., Ltd.合作的背景、真实性、未交货且未退回预付款的合理性。
2、核查意见
经核查，我们认为：
（1）公司向Yurikai Co., Ltd.预付款的最终流向情况主要为采购原材料和固定资产、支付办公室租赁费及支付社会保险。其具体流向情况如下：
单位：万日元
| 序号 | 最终流向 | 金额 |
| 1 | 向东京电机产业公司等供应商采购原材料、固定资产等 | 7,500.91 |
| 2 | 支付办公室租赁费 | 738.11 |
| 3 | 支付职工薪酬 | 381.16 |
| 合计 | 8,620.18 |
经核查，Yurikai Co., Ltd.与发行人及其主要客户不存在关联关系，发行人及其主要人员与Yurikai Co., Ltd.不存在异常资金往来。
（2）发行人向Yurikai Co., Ltd.采购的PLC套件材料能够用于公司产品的生产，公司基于真实的原材料需求向该供应商进行采购，相关合作具备真实性。根据对Yurikai Co., Ltd.银行流水的核查结果，Yurikai Co., Ltd.已使用公司预付款项进行了原材料的采购，暂时无法将预付款项退回公司，具备合理性。
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问题10.关于其他
10.1请发行人说明：（1）历次产品迭代时间和主要内容，性能改进情况，先进产品的推广情况及收入占比；（2）按照产品系列或工艺处理方式，说明温控设备和废气处理设备的收入结构情况及变动原因。请保荐机构和申报会计师说明截止性测试选择资产负债表日前后10天收入的充分性，与前后1个月收入的差异，并对上述事项发表明确意见。
回复：
一、发行人说明
（一）历次产品迭代时间和主要内容，性能改进情况，先进产品的推广情况及收入占比
公司历次产品迭代时间和主要内容、性能改进情况见本回复“问题1/1.2/一/（一）”。
报告期内，随着公司持续加强技术研发和技术人才队伍的建设，主要产品实现了性能的升级迭代，满足了客户最新工艺的需求。从产品参数先进性等维度来看，主要产品中部分产品适配客户最新需求，产品参数（如算法、制冷能力等）达到先进水平，通过公司的积极推广，先进产品陆续通过主流客户验证并取得规模化订单，报告期内先进产品收入占比逐年增长。先进产品具体型号和推广情况如下：
| 主营产品 | 主要先进产品系列及特点 | 最早研发时间 | 主要推广客户 |
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| 主营产品 | 主要先进产品系列及特点 | 最早研发时间 | 主要推广客户 |
| 半导体专用温控设备 | V系列（节能系列，节能能力先进）； T系列（混合控温系列，能满足100℃温差范围的混合控温）； C系列（超低温系列，能达到-70℃温度）； 部分Y系列（算法、制冷能力等先进） | V系列最早于2020年研发、T系列最早于2019年研发、C系列最早于2020年研发；Y系列为公司最早研发系列，自公司设立后持续研发迭代 | 长江存储、北方华创、睿力集成、华虹集团、芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 部分燃烧水洗式（系统安全性能等级等指标先进）； 等离子燃烧式（环保指标先进） | 燃烧水洗式为公司最早研发产品，其中先进产品最早于2019年开始研发；等离子燃烧式最早于2019年研发 | 大连英特尔、成都高真、中芯国际、睿力集成、华虹集团 |
| 晶圆传片设备 | 微晶背接触式（洁净度指标先进） | 最早自2020年研发 | 长江存储、华虹集团、成都高真 |
2019年至2022年，半导体专用设备中先进产品的收入情况如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | ||
| 先进产品金额 | 先进产品占比 | 先进产品金额 | 先进产品占比 | |
| 半导体专用温控设备 | 12,256.89 | 38.70% | 9,794.84 | 39.17% |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 6,788.32 | 29.93% | 3,343.41 | 18.16% |
| 晶圆传片设备 | 1,045.37 | 54.38% | - | - |
| 合计 | 20,090.57 | 35.70% | 13,138.25 | 30.20% |
项目
| 项目 | 2020年度 | 2019年度 | ||
| 先进产品金额 | 先进产品占比 | 先进产品金额 | 先进产品占比 | |
| 半导体专用温控设备 | 3,953.97 | 20.61% | 5,001.24 | 33.33% |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 590.47 | 5.63% | 180.48 | 5.03% |
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| 晶圆传片设备 | 83.60 | 23.06% | - | - |
| 合计 | 4,628.04 | 15.41% | 5,181.73 | 27.63% |
（二）按照产品系列或工艺处理方式，说明温控设备和废气处理设备的收入结构情况及变动原因
1、半导体专用温控设备
2019年至2022年，公司各型号半导体专用温控处理设备收入结构如下表所示：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |||||
| 金额 | 比例 | 金额 | 比例 | 金额 | 比例 | 金额 | 比例 | ||
| Y系列 | 26,710.50 | 84.33% | 18,377.12 | 73.48% | 17,345.30 | 90.43% | 13,060.24 | 87.03% | |
| V系列 | 2,593.40 | 8.19% | 1,584.87 | 6.34% | - | - | -- | -- | |
| T系列 | 1,694.62 | 5.35% | 1,820.48 | 7.28% | - | - | -- | -- | |
| 其他 | 676.69 | 2.14% | 3,226.45 | 12.90% | 1,836.11 | 9.57% | 1,946.53 | 12.97% | |
| 合计 | 31,675.20 | 100.00% | 25,008.91 | 100.00% | 19,181.41 | 100.00% | 15,006.77 | 100.00% | |
注：B系列、H系列等型号因报告期内销售收入较少，受个别客户需求影响较大，在其他项合并列示。
2020年，公司半导体专用温控设备实现收入19,181.41万元。其中Y系列产品收入占比达90.43%，主要系Y系列产品研发时间较早，核心技术率先实现产业化形成产品，形成销售收入。
2021年，公司半导体专用温控设备实现收入25,008.91万元。其中V系列、T系列产品收入占比分别上涨至6.34%、7.28%，主要系2021年公司实现技术突破，结合客户需求，推出V200型号、首台三通道混合控温设备T-320型号等系列产品，通过客户验证成功取得订单，贡献了一定收入。
2022年度，公司半导体专用温控设备实现收入31,675.20万元。当期，V系列产品收入占比继续增长至8.19%，主要系随着公司相关工艺的成熟和升级，V
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系列产品型号进一步丰富，销售收入实现增长；T系列产品收入占比下降至
5.35%，Y系列产品收入占比回升至84.33%。
综上，报告期内公司半导体专用温控设备销售收入结构变动主要受产品型号升级换代的影响。
2、半导体专用工艺废气处理设备
2019年至2022年，公司各型号半导体专用工艺废气处理设备收入结构如下表所示：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |||||
| 金额 | 比例 | 金额 | 比例 | 金额 | 比例 | 金额 | 比例 | ||
| 燃烧水洗式 | 19,777.00 | 87.19% | 18,138.49 | 98.51% | 9,535.31 | 90.96% | 101.60 | 2.83% | |
| 等离子水洗式 | 2,825.27 | 12.45% | 274.86 | 1.49% | 590.47 | 5.63% | 180.48 | 5.03% | |
| 其他 | 81.60 | 0.36% | - | - | 356.87 | 3.40% | 3,305.64 | 92.14% | |
| 合计 | 22,683.86 | 100.00% | 18,413.34 | 100.00% | 10,482.65 | 100.00% | 3,587.72 | 100.00% | |
注：其他主要为早期生产的马拉松式等型号，集中于2019年销售。
2020年，公司半导体专用工艺废气处理设备实现收入10,482.65万元，较上年增长192.18%。当年，销售收入较低的马拉松型号停产，双腔燃烧水洗式设备通过客户产线验证后实现大规模销售，燃烧水洗式设备收入占比达90.96%。
2021年，公司半导体专用工艺废气处理设备实现收入18,413.34万元，较上年增长75.66%，燃烧水洗式设备销售收入占比进一步上升至98.51%，主要系当年燃烧水洗式设备取得技术突破，基于客户的多样化需求，推出更适用于薄膜、扩散等工艺应用环境的多粉尘型号，且当年主要客户大连英特尔扩产订单需求大幅增加，导致收入快速增长。
2022年度，公司半导体专用工艺废气处理设备实现收入22,683.86万元，较上年增长23.19%。当期，等离子水洗式设备收入占比增长至12.45%，主要系公司取得新客户成都高真大批量订单，销售收入大幅增长。
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综上，报告期内公司半导体专用工艺废气处理设备销售收入结构变动主要受产品型号升级换代、客户结构变化等因素的影响。
二、中介机构核查
（一）发行人说明核查
1、核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
（1）访谈发行人管理层等，了解公司产品的研发过程、技术迭代情况和推广情况；
（2）查阅发行人产品研发材料、客户招投标文件等，了解不同产品研发时间，分析发行人主要产品的技术指标、性能改进等情况；
（3）取得并复核了发行人收入明细表，分析不同产品型号收入结构变动的原因、与产品迭代的匹配性。
2、核查意见
经核查，我们认为：
（1）发行人已说明历次产品迭代时间和主要内容，性能改进情况，先进产品的推广情况及收入占比，通过发行人的积极推广，先进产品陆续通过客户验证并取得订单，报告期内先进产品收入占比逐年增长；
（2）发行人已按照产品系列或工艺处理方式，说明温控设备和废气处理设备的收入结构情况及变动原因，收入结构变动主要受产品型号升级换代、客户结构变化等因素的影响。
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（二）请保荐机构和申报会计师说明截止性测试选择资产负债表日前后10天收入的充分性，与前后1个月收入的差异
1、核查情况
我们履行了如下主要核查程序：
（1）执行了细节测试，核查了发行人主要客户的销售合同、验收单、销售发票、收款记录、记账凭证等，取得并核查了验收单中产品序列号、规格型号、数量、验收人员、安装日期和验收日期等信息，复核产品基本信息、验收日期和收入确认信息是否一致，设备安装日期和验收日期有无异常等，核查范围为报告期内销售收入排名前十大的客户以及其他销售规模较大的客户，报告期各期半
导体专用设备验收单核查设备数量分别为1,158台、1,530台和1,938台，核查比例分别为96.74%、98.90%和99.03%；
（2）执行了销售收入截止性测试，检查了资产负债表日前后10天内（如果10天内交易不足10笔，按照10笔抽取）半导体专用设备交易的销售合同、出库单、验收单、销售发票、记账凭证等，复核合同签订日期、产品出库日期、验收日期有无异常，复核收入确认时点是否准确、收入确认金额和账面是否一致。按照前后10天抽查、前后1个月抽查截止性情况的具体金额占比情况如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 半导体专用设备收入 | 56,281.34 | 43,505.85 | 30,026.66 |
| 前后10天截止性测试金额占比 | 6.82% | 5.25% | 5.93% |
| 前后1个月截止性测试金额占比 | 12.65% | 25.83% | 20.62% |
注：2022年度前后1个月截止性测试金额占比较低主要系2022年12月，因内外部环境影响客户验收安排有所推迟，当期收入规模较小导致。
报告期内，由于收入确认时间分布情况，前后1个月截止性测试金额高于前后10天金额。
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本次考虑到覆盖范围和重要性程度，我们按照前后1个月的标准对收入截止性测试进行了补充，补充后报告期各期半导体专用设备收入截止性测试金额占比分别为20.62%、25.83%和12.65%。因前述细节测试的核查比例已经超过95%，逐笔核查已经覆盖报告期内主要收入，且细节测试核查内容亦能满足截止性测试的核查要求，因此我们对截止性测试和细节测试的核查能合理保证发行人收入确认的真实、准确、完整。
2、核查意见
经核查，我们认为：
结合细节测试和截止性测试，报告期各期我们的收入核查是充分的，经核查，发行人不存在提前或延迟确认收入的情况，报告期各期收入确认不存在异常情况，收入确认真实、准确。
10.2请发行人说明：截至目前，尚未回款的主要客户情况、应收账款账龄、对应的收入确认年度以及尚未回款的具体原因。
请保荐机构和申报会计师核查并发表明确意见。
回复：
一、发行人说明
（一）截至目前，尚未回款的主要客户情况、应收账款账龄、对应的收入确认年度以及尚未回款的具体原因
2022年末，公司应收账款主要客户及应收账款账龄、期后回款情况如下：
单位：万元
| 客户 | 金额 | 1年以内 | 1-2年 | 2-3年 | 3年以上 | 期后回款 |
| 华虹集团 | 6,977.98 | 6,822.61 | 155.38 | - | - | 1,616.93 |
| 中芯国际 | 6,362.66 | 5,683.42 | 594.47 | 62.89 | 21.88 | 3,886.35 |
| 长江存储 | 2,521.05 | 1,323.24 | 1,109.75 | 88.06 | - | 938.11 |
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| 客户 | 金额 | 1年以内 | 1-2年 | 2-3年 | 3年以上 | 期后回款 |
| 北方华创 | 2,031.20 | 2,031.20 | - | - | - | 1,898.85 |
| 广州粤芯 | 651.67 | 612.34 | - | 39.33 | - | 370.41 |
| 合计 | 18,544.56 | 16,472.81 | 1,859.59 | 190.28 | 21.88 | 8,710.65 |
注：上述应收账款主要客户金额占总余额比例超过85%，期后指截至2023年4月末。
截至2023年4月末，2022年期末应收账款尚未回款部分对应的账龄分布和收入确认年度分布情况具体如下：
单位：万元
| 客户 | 金额 | 账龄1年以内/收入 确认2022年 | 账龄1-2年/收入确认2021年 | 账龄2-3年/收入确认2020年 | 账龄3年以上/收入确认2020年前 |
| 华虹集团 | 5,361.05 | 5,302.30 | 58.76 | -- | -- |
| 中芯国际 | 2,476.31 | 2,039.61 | 351.93 | 62.89 | 21.88 |
| 长江存储 | 1,582.94 | 385.13 | 1,109.75 | 88.06 | -- |
| 北方华创 | 132.35 | 132.35 | -- | -- | -- |
| 广州粤芯 | 281.26 | 241.93 | -- | 39.33 | -- |
| 合计 | 9,833.91 | 8,101.32 | 1,520.44 | 190.28 | 21.88 |
尚未回款的客户主要为华虹集团、中芯国际、长江存储等，相关客户为行业内知名企业，信誉度较高，经营情况良好，前述客户长账龄应收账款形成的具体原因如下：
| 客户 | 长账龄应收账款尚未回款的原因 |
| 华虹集团 | （1）客户资金支付审批流程较长； （2）客户订单规模较大，一般按照整个订单执行情况进行集中付款 |
| 中芯国际 | 客户资金支付审批流程较长 |
| 长江存储 | 大部分款项尚在合理账期内，部分长账龄款项形成系客户未收到公司开具的整个订单对应的合格发票，期后公司已协调解决了发票问题，预计6月末客户完成长账龄款项回款 |
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同行业可比上市公司华海清科披露，“公司主要客户如华虹集团、长江存储、中芯国际、厦门联芯等都属于行业内地位较高的下游厂商，内部付款审批流程较长，超过信用期的概率较高，存在部分货款延后几个月支付的情况。”综上，尚未回款的客户主要为华虹集团、中芯国际和长江存储，相关客户形成长账龄应收账款主要系：1）客户作为国内知名集成电路制造厂商，内部资金支付审批流程较慢，付款较慢，亦符合半导体专用设备行业惯例；2）部分客户发票开具要求高，在客户未收到整个订单合格发票的情形下暂不执行付款流程，导致付款进度较慢；截至本回复出具之日，公司已解决前述发票问题，预计2023年6月末部分客户将完成长账龄款项的回款。
二、中介机构核查
（一）核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
1、访谈了发行人管理层及相关负责人，了解主要客户的经营状况、合同约定的信用政策及实际执行情况、主要客户尚未回款的原因及合理性等；
2、取得并核查了尚未回款的主要客户应收账款明细表， 结合报告期内及期后应收账款回款情况，分析应收账款的款项性质、产生背景、未来收回可能性等，并访谈了公司销售负责人以及财务部相关人员；
3、取得并核查了尚未回款的主要客户的销售合同，查看信用政策、结算方式等相关条款，确认应收账款是否存在逾期情况，分析未回款金额与相关信用政策的匹配性；
4、取得并核查了尚未回款的主要客户账龄明细表，复核计算应收账款账龄划分及变动情况，分析应收账款账龄与收入的匹配性等。
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（二）核查意见
经核查，我们认为：
发行人已说明尚未回款的主要客户情况、应收账款账龄、对应的收入确认年度以及尚未回款的具体原因，尚未回款的主要客户系华虹集团、中芯国际和长江存储，相关客户为行业内知名企业，信誉度较高，付款流程较长且期后已陆续回款，具有合理性且符合行业惯例。
10.4根据首轮问询回复，（1）发行人销售人员较多，2021年验证机费用较高；（2）2021年，管理人员平均薪酬由35.40万元增长至52.02万元，增长幅度较大。
请发行人说明：（1）销售人员占比与同行业公司的对比情况及差异原因，2021年验证机费用较高的原因，验证机赠送给客户是否符合行业惯例，主要赠送的客户及赠送数量；（2）管理人员的薪酬分布情况，2021年管理人员平均薪酬大幅上升的原因。
请保荐机构和申报会计师核查销售人员、管理人员与发行人客户、供应商及其主要人员之间是否存在关联关系或异常资金往来，说明核查措施、比例和结论，并对上述事项发表明确意见。
回复：
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一、发行人说明
（一）销售人员占比与同行业公司的对比情况及差异原因，2021年验证机费用较高的原因，验证机赠送给客户是否符合行业惯例，主要赠送的客户及赠送数量
1、销售人员占比与同行业公司的对比情况及差异原因
2021年末和2022年末，公司销售人员占比和同行业可比公司的对比情况：
单位：人
| 公司简称 | 披露口径 | 2022年末 | 2021年末 | ||
| 人数 | 占比 | 人数 | 占比 | ||
| 北方华创 | 销售人员 | 420 | 4.20% | 385 | 4.72% |
| 中微公司 | 销售人员 | 76 | 5.72% | 67 | 6.39% |
| 芯源微 | 销售及技术支持人员 | 158 | 17.95% | 104 | 16.35% |
| 华海清科 | 销售及技术支持人员 | 201 | 19.16% | 145 | 20.95% |
| 至纯科技 | 销售人员 | 149 | 9.15% | 95 | 6.46% |
| 盛剑环境 | 销售人员 | 24 | 1.89% | 14 | 1.50% |
| 京仪装备 | 销售及技术支持人员 | 142 | 33.10% | 94 | 31.86% |
注：招股说明书、年度报告等可比公司公开披露可知华海清科、芯源微和公司销售人员披露口径均为销售和技术支持人员。
考虑到统计口径的一致性，从销售及技术支持人员统计口径来看，2021年末、2022年末，公司的销售及技术支持人员占比分别为31.86%、33.10%，略高于华海清科和芯源微水平，主要原因为：（1）公司主要产品为半导体专用温控设备和工艺废气处理设备，华海清科主要产品为CMP设备，芯源微主要产品为涂胶显影设备、湿法设备，产品类型存在显著差异，相应的产品销售数量、单价、产品需要的销售及售后支持人员情况亦有明显差异。华海清科和芯源微半导体专用设备产品平均单价远高于公司，2021年和2022年，华海清科CMP设备平均单价分别为1,927.01万元/台和1.474.98万元/台，
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芯源微光刻工序涂胶显影设备平均单价分别为320.41万元/台和362.25万元/台；报告期内，公司机台销售数量远高于华海清科和芯源微，2021年、2022年公司半导体专用设备销量分别为1,547台、1,957台，华海清科设备销量分别为36台、97台，芯源微设备销量分别为227台、346台，公司单位销售人员对应的销售机台数量远高于前述公司；（2）报告期内，公司收入规模迅速增长，产品销量呈现上升趋势，设备装机、售后服务等需求相应增加，公司通过扩充销售及技术支持人员以满足日益增长的客户需求。
销售人员职责角度看，公司销售人员主要可划分为两大部分，一部分人员为销售活动提供内部支持，主要负责市场调查、制定销售策略、开拓新的区域市场及潜在新客户、组织编写标书参与客户招投标、与客户进行商业谈判并完成销售订单的签署、维护客户关系、追踪客户回款和订单执行情况等；另一部分主要在客户现场提供服务，在客户现场驻场并向客户推介产品并与客户对接产品需求、配合客户进行产品验证、在客户现场装机、跟踪产品验收等工作，或者在客户现场为公司已销售的产品提供维修等售后服务等。
报告期内，随着公司技术及产品的迭代升级，市场竞争力的增加，半导体专用设备销售数量快速攀升，客户数量亦有所增加。随着公司销售渠道的扩展，公司的销售体系逐渐完善，销售人员数量由2019年末的56人增长至2022年末的142人。公司销售人员规模具有合理性，主要原因在于：（1）公司销售规模较大，且保持连续增长趋势，为满足大规模设备装机要求，同时提升公司服务水平，提供快速响应的技术支持，公司在主要客户所在地建立本土化的销售服务团队，长期驻扎客户现场。2022年度公司实现销售收入的客户数量超过60家，公司销售半导体专用设备1,957台，单位销售人员负责约14台设备，远高于同行业可比公司（华海清科2022年度单位销售人员负责约0.48台设备，芯源微约2.19台设备）；（2）公司高度重视拓展客户资源，积极与诸多客户进行初步洽谈并积极推进产品验证流程，在新客户开拓、客户维护方面的人员投入相对较大。2022年度，公司拓展了长鑫集电（北
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京）存储技术有限公司、芯恩（青岛）集成电路有限公司、上海鼎泰匠芯科技有限公司等超过20家新客户。综上，从销售及技术支持人员统计口径来看，公司相关人员占比高于同行业可比公司华海清科和芯源微，主要系产品类型、机台销售数量差异导致，具有合理性。从销售人员职责看，公司销售人员规模增加与业务需求相匹配，具有合理性。
2、2021年验证机费用较高的原因，验证机赠送给客户是否符合行业惯例，主要赠送的客户及赠送数量
2021年验证机台主要赠送客户和赠送数量如下：
单位：台
| 序号 | 规格型号 | 数量 | 客户 |
| 1 | 半导体专用温控设备-T系列 | 3 | 长江存储 |
| 2 | 半导体专用温控设备-V系列 | 3 | 长江存储 |
| 3 | 工艺废气处理设备-等离子式 | 1 | 中芯国际 |
| 合计 | 7 |
公司验证机台主要是公司新开发系列的机台，如温控设备的V系列及T系列、工艺废气处理设备的等离子式处理系列，新产品作为验证机先发往客户现场进行验证。2021年度验证机费用较高，主要系当年公司新产品推出型号较多并向主要客户进行重点市场开拓，赠送长江存储6台和中芯国际1台，后续客户已陆续签订新订单。
报告期内，随着公司主要产品型号的升级迭代，公司向部分重点客户推广新型号产品并进行相应的验证流程，为了提高重点客户粘性并维护客户稳定合作关系，公司将验证设备赠送给相应客户，具有商业合理性。
根据公开披露信息，同行业上市公司拓荆科技股份有限公司（主营产品为薄膜沉积设备）、江苏微导纳米科技股份有限公司（主营产品为薄膜沉积
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设备）亦披露其存在类似情况，2018年拓荆科技股份有限公司向客户中芯国际赠送1台设备并将相关成本及增值税共计1,014.90万元计入当期销售费用，2020年江苏微导纳米科技股份有限公司将2台设备赠与客户，并将相应成本及增值税计入当期销售费用。综上，同行业公司存在向客户赠送设备的行为，公司将验证机赠与客户的情况具有商业合理性，亦符合行业惯例。
（二）管理人员的薪酬分布情况，2021年管理人员平均薪酬大幅上升的原因
报告期内，管理人员薪酬分布情况具体如下：
单位：人
| 月薪（元） | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 | 2019年度 | |||||
| 人数 | 占比 | 人数 | 占比 | 人数 | 占比 | 人数 | 占比 | ||
| 0-10,000 | 18 | 27.27% | 30 | 40.54% | 22 | 38.60% | 16 | 38.10% | |
| 10,000-20,000 | 23 | 34.85% | 21 | 28.38% | 14 | 24.56% | 8 | 19.05% | |
| 20,000以上 | 25 | 37.88% | 23 | 31.08% | 21 | 36.84% | 18 | 42.86% | |
| 合计 | 66 | 100.00% | 74 | 100.00% | 57 | 100.00% | 42 | 100.00% | |
注：为准确还原薪酬分布情况，管理人员人数按照每月管理人员人数（而非年末人数）计算得出。
由上表可知，报告期内公司管理人员月薪水平分布在0-10,000元区间人员占比有所下降、分布在10,000-20,000元区间人员占比有所上升，分布在20,000元以上区间人员占比保持相对稳定，薪酬结构不存在明显异常。
报告期各期，管理人员薪酬明细情况如下：
单位：万元
| 项目 | 2022年度 | 2021年度 | 2020年度 |
| 奖金 | 1,376.02 | 955.27 | 134.25 |
| 除奖金外薪酬 | 2,536.70 | 2,426.33 | 1,742.00 |
| 合计 | 3,912.72 | 3,381.60 | 1,876.25 |
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报告期各期，公司管理人员平均薪酬分别为35.40万元、52.02万元和55.50万元，2021年管理人员平均薪酬上升主要系2021年公司经营业绩大幅改善，公司根据业绩水平公司对管理人员发放奖金较高并相应提升了基本工资水平。2020年、2021年管理人员平均奖金额分别为2.53万元、14.70万元，剔除奖金后，管理人员平均薪酬为32.87万元、37.32万元，2021年增幅约14%，主要系基本工资水平提升以及期间人员数量波动导致，具有合理性。
二、中介机构核查
（一）发行人说明核查
1、核查程序
我们履行了如下主要核查程序：
（1）访谈了发行人管理层，了解了发行人销售费用中人工薪酬的归集口径、人数、薪酬变化原因、验证机赠送客户的合理性等；
（2）取得并复核了发行人员工花名册、工资表，核查了销售人员、管理人员数量的准确性和完整性，分析了管理人员薪酬分布和变化情况；
（3）查阅了报告期发行人产品销量以及发行人客户变动的情况，查阅了同行业可比公司公开披露信息，分析发行人销售人员数量较多与同行业可比公司存在差异的原因；
（4）取得并复核了解验证机赠送明细，查阅了同行业公司公开披露信息，分析发行人处理方式的合理性、是否符合行业惯例。
2、核查意见
经核查，我们认为：
（1）从销售及技术支持人员统计口径来看，发行人相关人员占比高于同行业可比公司华海清科和芯源微，主要系产品类型、机台销售数量差异导
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致，具有合理性；发行人已说明2021年验证机费用较高的原因、主要赠送的客户及赠送数量情况，同行业公司存在向客户赠送设备的行为，发行人将验证机赠与客户的情况具有商业合理性，亦符合行业惯例；
（2）发行人已说明管理人员的薪酬分布情况和2021年管理人员平均薪酬大幅上升的原因，平均薪酬上升具有合理性。
（二）请保荐机构和申报会计师核查销售人员、管理人员与发行人客户、供应商及其主要人员之间是否存在关联关系或异常资金往来，说明核查措施、比例和结论
1、核查情况
我们履行了如下主要核查程序：
（1）访谈了发行人主要客户，了解了发行人及其主要人员与客户及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来，报告期各期客户访谈比例分别为83.86%、79.60%和67.49%；访谈了发行人主要供应商，了解了发行人及其主要人员与客户及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来，报告期各期供应商访谈比例分别为81.26%、
74.06%和77.18%；
（2）取得了报告期客户、供应商明细，查询了客户、供应商工商信息、股东信息、董事、监事、高级管理人员名单等；
（3）获取发行人已开立银行结算账户清单，获取发行人报告期内银行流水，关注是否存在银行账户用途以及所发生的流水与发行人业务不匹配的情形，是否存在金额、日期相近的异常大额资金进出的情形，并抽查记账凭证、银行回单等原始单据；
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（4）取得并复核了发行人董事、监事、高级管理人员的调查表，核查发行人董事、监事、高级管理人员及其亲属和客户及其主要人员、供应商及其主要人员之间是否存在关联关系、其他密切关系；
（5）取得发行人董事、监事、高级管理人员、主要业务人员报告期内银行流水和相关人员出具的个人资金流水及关联关系、其他密切关系情况的说明与承诺，根据流水中交易对方、交易金额和交易账户情况逐笔核查和发行人客户及客户主要人员（包括但不限于股东、董事、监事、高级管理人员等）、发行人供应商及供应商主要人员（包括但不限于股东、董事、监事、高级管理人员等）之间是否存在异常资金往来，核查人员、流水完整性具体情况如下：
销售及售后支持人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数占比 | 核查标准 |
| 高层 | 1 | 1 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 8 | 8 | 100% | |
| 中层 | 9 | 9 | 100% | |
| 基层 | 124 | 12 | 10% | 按照薪酬水平高低核查人数10%以上 |
| 合计 | 142 | 30 | 21% | 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例达到51% |
注：高层指副董事长、总经理、副总经理等，中高层指部门总监等，中层指部门部长、副部长、经理等，基层指其他员工，下同。
管理人员具体核查情况如下：
| 类型 | 公司 人数 | 核查 人数 | 核查人数占比 | 核查标准 |
| 高层 | 5 | 5 | 100% | 100%核查 |
| 中高层 | 8 | 8 | 100% | |
| 中层、基层 | 59 | 8 | 14% | 按照薪酬水平高低核查人数10%以上 |
| 合计 | 72 | 21 | 29% | 核查人员薪酬占当年部门总薪酬比例达到67% |
流水完整性情况：
8-2-2-221
核查银行范围包括中国工商银行、中国农业银行、中国银行、中国建设银行、交通银行、中国邮政储蓄银行、招商银行、兴业银行、浦发银行、中信银行、平安银行、民生银行、光大银行、华夏银行、广发银行、北京/上海/武汉/芜湖市当地银行或农商行。我们取得核查人员的银行流水，以及未提供流水银行的个人无开立银行账户证明。部分中层和基层业务人员等出于个人隐私考虑，未提供名下银行流水，我们取得了相关人员出具的个人资金流水及关联关系、其他密切关系情况的说明与承诺，确认个人与公司客户、供应商及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或资金往来。
2、核查意见
经核查，我们认为：
报告期内，发行人销售及售后支持人员中主要人员与发行人客户及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来，与发行人供应商及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来；
报告期内，发行人管理人员中主要人员与发行人客户及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来，与发行人供应商及其主要人员之间不存在关联关系、其他密切关系或异常资金往来。
8-2-2-222
（本页无正文，仅为《关于北京京仪自动化装备技术股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市申请文件的第二轮审核问询函的专项回复》之签字盖章页。）
| 致同会计师事务所 （特殊普通合伙） | 中国注册会计师 中国注册会计师 | |
| 中国〃北京 | 二○二三年六月十二日 | |