募集资金年度存放与使用情况
鉴证报告沈阳芯源微电子设备股份有限公司
容诚专字[2023]110Z0012号
容诚会计师事务所(特殊普通合伙)
中国·北京
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| 序号 | 内 容 | 页码 |
| 1 | 募集资金年度存放与使用情况鉴证报告 | 1-2 |
| 2 | 募集资金年度存放与使用情况专项报告 | 3-17 |
募集资金存放与实际使用情况鉴证报告
容诚专字[2023]110Z0012号
沈阳芯源微电子设备股份有限公司全体股东：
我们审核了后附的沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”）董事会编制的2022年度《募集资金存放与实际使用情况的专项报告》。
一、 对报告使用者和使用目的的限定
本鉴证报告仅供芯源微年度报告披露之目的使用，不得用作任何其他目的。我们同意将本鉴证报告作为芯源微年度报告必备的文件，随其他文件一起报送并对外披露。
二、 董事会的责任
按照中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及上海证券交易所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》编制《募集资金存放与实际使用情况的专项报告》是芯源微董事会的责任，这种责任包括保证其内容真实、准确、完整，不存在虚假记录、误导性陈述或重大遗漏。
三、 注册会计师的责任
我们的责任是对芯源微董事会编制的上述报告独立地提出鉴证结论。
四、 工作概述
我们按照《中国注册会计师其他鉴证业务准则第3101号－历史财务信息审计或审阅以外的鉴证业务》的规定执行了鉴证业务。该准则要求我们计划和实施鉴证工
沈阳芯源微电子设备股份有限公司募集资金存放与实际使用情况的专项报告
根据上海证券交易所《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，将沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称本公司或公司）2022年度募集资金存放与使用情况报告如下：
一、 募集资金基本情况
（一）首次公开发行A股股票募集资金
根据本公司第一届董事会第六次会议和2019年第四次临时股东大会决议，并经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2019]2335号）同意注册，本公司于2019年12月10日向社会公开发行人民币普通股（A股）2100万股，每股面值1元，每股发行价为26.97元，应募集资金总额为人民币566,370,000.00元，根据有关规定扣除发行费用（不含增值税）60,625,896.22元（其中保荐承销费（不含增值税）48,246,650.94元已在募集资金中扣除）后，实际募集资金净额为505,744,103.78元，实际到账金额为518,123,349.06元。该募集资金已于2019年12月10日到账。上述资金到账情况经由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）会验字[2019]8294号《验资报告》验证。公司对募集资金采取了专户存储管理。
2022年度，本公司首次公开发行A股股票募集资金使用情况为：（1）对募集资金项目投入49,789,523.28元，其中：高端晶圆处理设备产业化项目49,176,566.17元，高端晶圆处理设备研发中心项目612,957.11元；（2）使用节余募集资金补充流动资金9,284,650.48元；（3）闲置募集资金暂时补充流动资金50,000,000.00元；（4）归还闲置募集资金暂时补充流动资金60,000,000.00元；2022年度公司累计使用募集资金109,074,173.76元，支付银行手续费（不含增值税）4,226.47元，募集资金专用账户利息收入为941,994.84元，募集资金专用账户2022年12月31日余额合计为4,303,337.01元。
（二）2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
根据本公司第一届董事会第二十六次会议和2021年第三次临时股东大会决议，并经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号）的核准，贵公司向中信证券青岛城投金控2号单一资产管理计划、银河资本-鑫鑫一号集合资产管理计划、JPMorganChaseBank,NationalAssociation、华泰资管-兴业银行-华泰资产价值精选资产管理产品、华泰优选三号股票型养老金产品-中国工商银行股份有限公司、华泰优逸五号混合型养老金产品-中国银行股份有限公司、周雪钦、易方达基金管理有限公司、上海虢实投资合伙企业（有限合伙）、财通基金管理有限公司、国泰君安证券股份有限公司共11家特定投资者发行人民币普通股股票8,045,699.00股，每股面值1元，发行价格为人民币124.29元/股，募集资金总额人民币999,999,928.71元，扣除不含税的发行费用人民币9,915,093.67元，公司实际募集资金净额为人民币990,084,835.04元。该募集资金已于2022年6月8日到位。上述资金到账情况经由容诚会计师事务所（特殊普通合伙）容诚验字[2022]110Z0008号《验资报告》验证。公司对募集资金采取了专户存储管理。
2022年度，本公司2021年度向特定对象发行A股股票募集资金使用情况为：（1）对募集资金项目投入228,937,980.68元，其中：上海临港研发及产业化项目88,843,641.77元，补充流动资金140,094,338.91元。2022年度公司累计使用募集资金228,937,980.68元，支付银行手续费（不含增值税）2,969.92元，募集资金专用账户利息收入为2,247,786.66元，使用暂时闲置募集资金购买理财产品所得投资收益9,877,238.54元，募集资金专用账户2022年12月31日余额合计为783,184,003.31元。
二、 募集资金管理情况
根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，公司于2019年4月24日召开2019年第三次临时股东大会，审议通过《关于制定<募集资金管理办法>的议案》。《募集资金管理办法》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，以在制度上保证募集资金的规范使用。
（一）首次公开发行A股股票募集资金
2019年12月11日，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行
股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和时任保荐机构国信证券股份有限公司（以下简称“国信证券”）签署《募集资金专户存储三方监管协议》，于2019年12月11日分别在中信银行沈阳和平支行（账号8112901012900643057）、中国建设银行沈阳城内支行（账号21050139000800001255）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110111）开设账户作为募集资金专项账户。
2021年9月8日，公司因2021年度向特定对象发行A股股票变更保荐机构，与原保荐机构国信证券以及相关募集资金存储银行签订的《募集资金专户存储三方监管协议》相应终止，国信证券未完成的持续督导工作由中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”）承接。鉴于公司保荐机构已发生更换，为进一步规范公司募集资金管理，保护投资者权益，根据中国证监会《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等法律、法规的规定，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行及保荐机构中金公司签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》的履行不存在问题。截至2022年12月31日，公司均严格按照该《募集资金专户存储三方监管协议》的规定，存放和使用募集资金。
截至2022年12月31日，募集资金存储情况如下：
金额单位：人民币元
| 银行名称 | 银行帐号 | 余额 |
| 中信银行沈阳和平支行 | 8112901012900643057 | 已销户 |
| 中国建设银行沈阳城内支行 | 21050139000800001255 | 0.00 |
| 招商银行沈阳浑南西路支行 | 124904600110111 | 4,303,337.01 |
| 合 计 | 4,303,337.01 |
（二）2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
2022年6月16日，公司分别与平安银行股份有限公司沈阳分行、中信银行股份有限公司沈阳分行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和保荐机构中金公司签署
《募集资金专户存储三方监管协议》，于2022年6月7日分别在平安银行沈阳分行（账号15912666666677）、中信银行沈阳南站支行（账号8112901011100849786）、招商银行沈阳浑南西路支行（账号124904600110858）开设账户作为募集资金专项账户。2022年7月27日，公司与全资子公司上海芯源微企业发展有限公司、保荐机构中金公司以及全资子公司募集资金专项账户开户银行（招商银行上海自贸试验区临港新片区支行）签订了《募集资金专户存储四方监管协议》。于2022年6月7日在招商银行上海自贸试验区临港新片区支行（账号121942302510107）开设账户作为募集资金专项账户。
上述《募集资金专户存储三方监管协议》、《募集资金专户存储四方监管协议》与证券交易所制定的《监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》、《募集资金专户存储四方监管协议》的履行不存在问题。截至2022年12月31日，公司均严格按照该《募集资金专户存储三方监管协议》、《募集资金专户存储四方监管协议》的规定，存放和使用募集资金。
截至2022年12月31日，募集资金存储情况如下：
金额单位：人民币元
| 银行名称 | 银行帐号 | 余额 |
| 平安银行沈阳分行 | 15912666666677 | 375,901,456.06 |
| 中信银行沈阳南站支行 | 8112901011100849786 | 233,534,453.66 |
| 招商银行沈阳浑南西路支行 | 124904600110858 | 162,149,762.82 |
| 招商银行上海自贸区临港新片区支行 | 121942302510107 | 11,598,330.77 |
| 合 计 | 783,184,003.31 |
三、 2022年度募集资金的实际使用情况
（一）募集资金使用情况
1. 首次公开发行A股股票募集资金
截至2022年12月31日，具体使用情况详见附表1：首次公开发行募集资金使用情况对照表。
2. 2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
截至2022年12月31日，具体使用情况详见附表2：向特定对象发行募集资金使用情况对照表。
（二）募投项目先期投入及置换情况
1. 首次公开发行A股股票募集资金
在首次公开发行A股股票募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入14,034,042.00元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计投入 389,400.00元，使用自筹资金支付发行费用人民币2,597,169.81元。
公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金 17,020,611.81元置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）鉴证并出具容诚专字[2020]110Z0064号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。
截至 2020年12月31日，上述自筹资金17,020,611.81元已用募集资金置换完毕。
2. 2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
在2021年度向特定对象发行A股股票募集资金到位前，公司使用自筹资金对“上海临港研发及产业化”募集资金项目累计投入31,738,839.36元。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31,738,839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募集资金置换预先投入自筹资金情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）鉴证并出具容诚专字[2022]110Z0153号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。
截至 2022年12月31日，上述自筹资金31,738,839.36元已用募集资金置换完毕。
（三）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
1. 首次公开发行A股股票募集资金
截至2022年12月31日，公司使用首次公开发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00元，无投资相关产品的情况。
2. 2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
公司于2022年6月16日召开第二届董事会第三次会议和第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70,000万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。
截至2022年12月31日，公司使用2021年度向特定对象发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00元，无投资相关产品的情况。
（四）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
1. 首次公开发行A股股票募集资金
公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2020年5月25日，公司召开2019年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。
公司于2021年6月11日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2021年6月28日，公司召开2021年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永
久补充流动资金。公司使用部分超募资金永久补充流动资金仅在与主营业务相关的生产经营中使用；在超募资金永久补充流动资金后的12个月内，不进行高风险投资或对外提供财务资助。公司最12个月内累计使用超募资金永久补充流动资金的金额不超过超募资金总额的30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金使用的有关规定。截至2022年12月31日，公司累计使用首次公开发行A股股票超募资金永久性补充流动资金7,660.00万元。
2. 2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
不适用。
（五）使用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
1. 首次公开发行A股股票募集资金
公司于2020年7月2日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币8,000万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至2021年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币8,000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2021年7月2日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币15,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在规定期限内实际使用了人民币6,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2022年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币6,000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司
使用不超过人民币5,800.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币5,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。
截至2022年12月31日，公司使用首次公开发行A股股票闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币5,000.00万元。
2. 2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
截至2022年12月31日，公司暂未使用2021年度向特定对象发行A股股票闲置募集资金暂时补充流动资金。
（六）募集资金使用的其他情况
1. 首次公开发行A股股票募集资金
公司于2020年4月24日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项目”实施地点由“沈阳市浑南区新岛街6号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至沈本大街，北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。
公司于2021年3月19日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事会第十三次会议，审议通过了《关于公司募投项目延期的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年3月31日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年6月30日。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。
2. 2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
附表1：
首次公开发行募集资金使用情况对照表
单位：万元
募集资金总额
募集资金总额50,574.41
50,574.41
本年度投入募集资金总额
本年度投入募集资金总额
4,978.95
4,978.95变更用途的募集资金总额
变更用途的募集资金总额不适用
不适用
已累计投入募集资金总额
已累计投入募集资金总额
38,731.60
38,731.60变更用途的募集资金总额比例
变更用途的募集资金总额比例不适用
不适用
承诺投资项目
承诺投资项目
是否已变更项目(含部分变更)
是否已变更项目(含部分变更)募集资金承诺投资总额
募集资金承诺投资总额调整后投资总额
调整后投资总额截至期末承诺
投入金额(1)
截至期末承诺
投入金额(1)本年度投入
金额
本年度投入
金额截至期末累计投入金额
(2)
截至期末累计投入金额
(2)截至期末累计投入金额与承诺投入金
额的差额(3)＝
(2)-(1)
截至期末累计投入金额与承诺投入金
额的差额(3)＝
(2)-(1)
截至期末投入进度(%)(4)＝
(2)/(1)
截至期末投入进度(%)(4)＝
(2)/(1)
项目达到预定可
使用状态日期
项目达到预定可
使用状态日期本年度实现
的效益
本年度实现
的效益是否达到预计效益
是否达到预计效益项目可行性是否发生重大变
化
项目可行性是否发生重大变
化高端晶圆处理设备产业化项
目
高端晶圆处理设备产业化项
目否
否23,860.73
23,860.7323,860.73
23,860.7323,860.73
23,860.734,917.66
4,917.6624,813.36
24,813.36
952.63
952.63
103.99（注1）
103.99（注1）
2022年6月30日
2022年6月30日1,185.02
1,185.02是
是否
否高端晶圆处理设备研发中心
项目
高端晶圆处理设备研发中心
项目否
否13,918.24
13,918.2413,918.24
13,918.2413,918.24
13,918.24
61.30
61.30
13,918.24
13,918.24
0.00
0.00
100.00
100.00
2022年3月31日
2022年3月31日注2
注2不适用
不适用否
否承诺投资项目
合计
承诺投资项目
合计
—
—37,778.97
37,778.9737,778.97
37,778.9737,778.97
37,778.974,978.95
4,978.9538,731.60
38,731.60
952.63
952.63
—
——
—
—
——
—未达到计划进度原因(分具体项目)
未达到计划进度原因(分具体项目)
不适用
| 不适用 | 不适用 |
| 项目可行性发生重大变化的情况说明 |
募集资金投资项目实施地点变更情况
募集资金投资项目实施地点变更情况 公司于2020年4月24日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项目”实施地点由“沈阳市浑南区新岛街6号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至沈本大街，北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。
| 公司于2020年4月24日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项目”实施地点由“沈阳市浑南区新岛街6号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至沈本大街，北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。 | 不适用 | 在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募集资金项目累计投入14,034,042.00元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金项目累计投入389,400.00元，使用自筹资金支付发行费用人民币2,597,169.81元。 公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金17,020,611.81元置换预先投入自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。公司使用募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2020]110Z0064号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。 截至2020年12月31日，上述自筹资金17,020,611.81元已用募集资金置换完毕。 |
| 募集资金投资项目实施方式调整情况 | 募集资金投资项目先期投入及置换情况 |
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况公司于2020年7月2日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币8,000万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至2021年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币8,000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。公司于2021年7月2日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关
于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币15,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在规定期限内实际使用了人民币6,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2022年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币6,000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。
公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使
用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5,800.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币5,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。
截至2022年12月31日，公司使用首次公开发行A股股票闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币
5,000.00万元。
| 公司于2020年7月2日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币8,000万元用于暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。截至2021年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币8,000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。 公司于2021年7月2日召开第一届董事会第二十七次会议和第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司在确保不影响募集资金投资项目实施及募集资金使用的情况下，将不超过人民币15,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，使用期限自公司董事会审议通过之日起不超过12个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低公司财务成本。公司在规定期限内实际使用了人民币6,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。截至2022年6月30日，公司已将上述暂时补充流动资金的人民币6,000万元闲置募集资金全部归还至募集资金专用账户。 公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用不超过人民币5,800.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金，单次补充流动资金时间不得超过12个月，以满足公司后续发展的实际需求。公司在规定期限内实际使用了人民币5,000.00万元闲置募集资金暂时补充流动资金。 截至2022年12月31日，公司使用首次公开发行A股股票闲置募集资金暂时补充流动资金余额为人民币5,000.00万元。 | 截至2022年12月31日，公司使用闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00元，无投资相关产品的情况。。 | 公司于2020年4月24日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2020年5月25日，公司召开2019年年度股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。 公司于2021年6月11日召开第一届董事会第二十六次会议和第一届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，2021年6月28日，公司召开2021年第三次临时股东大会审议通过了前述议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币3,830.00万元用于永久补充流动资金。 截至2022年12月31日，公司累计使用首次公开发行A股股票超募资金永久性补充流动资金7,660.00万元。 | |
| 对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 | 用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 |
募集资金结余的金额及形成原因
募集资金结余的金额及形成原因“高端晶圆处理设备产业化项目”和“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，节余的募集资金共928.47万元，募集资金节余的主要原因如下：
1、节余的募集资金为公司在没有影响募集资金投资项目建设进度的情况下，利用闲置募集资金进行现金管
理产生的投资收益导致。
2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目质量
的前提下，加强项目建设各个环节成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出。
| “高端晶圆处理设备产业化项目”和“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，节余的募集资金共928.47万元，募集资金节余的主要原因如下： 1、节余的募集资金为公司在没有影响募集资金投资项目建设进度的情况下，利用闲置募集资金进行现金管 理产生的投资收益导致。 2、在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，本着合理、节约、有效的原则，在保证项目质量 的前提下，加强项目建设各个环节成本费用的控制、监督和管理，合理降低项目总支出。 | 公司于2021年3月19日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事会第十三次会议，审议通过了《关于募投项目延期的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年3月31日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定可使用状态时间调整至2022年6月30日。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。 |
| 募集资金其他使用情况 |
注 1：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募集项目所致。注 2：“高端晶圆处理设备研发中心项目”结项，在公司原有研发资源的基础上，通过配置先进的研究设备、实验设备和测试检验设备，引进一批专业技术人才，建立了与公司发展战略相匹配的研发平台，极大地提升了公司的技术创新能力。
附表2：
向特定对象发行募集资金使用情况对照表
单位：万元
募集资金总额
募集资金总额99,999.99
99,999.99
本年度投入募集资金总额
本年度投入募集资金总额
22,893.80
22,893.80变更用途的募集资金总额
变更用途的募集资金总额不适用
不适用
已累计投入募集资金总额
已累计投入募集资金总额
22,893.80
22,893.80变更用途的募集资金总额比例
变更用途的募集资金总额比例不适用
不适用承诺投资项目
承诺投资项目
是否已变更项目(含部分变更)
是否已变更项目(含部分变更)募集资金承诺投资总额
募集资金承诺投资总额调整后投资
总额
调整后投资
总额截至期末承诺
投入金额(1)
截至期末承诺
投入金额(1)本年度投入
金额
本年度投入
金额截至期末累计投入金额
(2)
截至期末累计投入金额
(2)截至期末累计投入金额与承诺投入金
额的差额(3)＝
(2)-(1)
截至期末累计投入金额与承诺投入金
额的差额(3)＝
(2)-(1)
截至期末投入进度(%)(4)＝
(2)/(1)
截至期末投入进度(%)(4)＝
(2)/(1)
项目达到预定可
使用状态日期
项目达到预定可
使用状态日期本年度实现
的效益
本年度实现
的效益是否达到预计效益
是否达到预计效益项目可行性是否发生重大变
化
项目可行性是否发生重大变
化上海临港研发及产业化项目
上海临港研发及产业化项目否
否47,000.00
47,000.0047,000.00
47,000.0047,000.00
47,000.008,884.36
8,884.368,884.36
8,884.36-38,115.64
-38,115.64
18.90
18.90
2024年12月8日
2024年12月8日不适用
不适用不适用
不适用否
否高端晶圆处理设备产业化项
目（二期）
高端晶圆处理设备产业化项
目（二期）否
否23,000.00
23,000.0023,000.00
23,000.0023,000.00
23,000.00
0.00
0.00
0.00
0.00
-23,000.00
-23,000.00
0.00
0.00
2024年12月8日
2024年12月8日不适用
不适用不适用
不适用否
否补充流动资金
补充流动资金否
否29,999.99
29,999.9929,999.99
29,999.9929,999.99
29,999.9914,009.43
14,009.4314,009.43
14,009.43-15,990.56
-15,990.56
46.70
46.70
—
—不适用
不适用不适用
不适用否
否承诺投资项目
合计
承诺投资项目
合计
—
—99,999.99
99,999.9999,999.99
99,999.9999,999.99
99,999.9922,893.79
22,893.7922,893.79
22,893.79-77,106.20
-77,106.20—
——
—
—
——
—未达到计划进度原因(分具体项目)
未达到计划进度原因(分具体项目)
不适用
| 不适用 | 不适用 | 不适用 | 不适用 |
| 项目可行性发生重大变化的情况说明 | 募集资金投资项目实施地点变更情况 | 募集资金投资项目实施方式调整情况 |
募集资金投资项目先期投入及置换情况
募集资金投资项目先期投入及置换情况在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“上海临港研发及产业化项目”募集资金项目累计投入31,738,839.36元。公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使
用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31,738,839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。公司使用募集资金置换以自筹资金预先投入金额已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2022]110Z0153号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。
截至2022年12月31日，上述自筹资金31,738,839.36元已用募集资金置换完毕。
| 在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“上海临港研发及产业化项目”募集资金项目累计投入 31,738,839.36元。 公司于2022年8月25日召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目自筹资金的议案》，同意使用募集资金31,738,839.36元置换已预先投入募集资金投资项目的自筹资金。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。公司使用募集资金置换以自筹资金预先投入金额已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2022]110Z0153号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。 截至2022年12月31日，上述自筹资金31,738,839.36元已用募集资金置换完毕。 | 截至2022年12月31日，公司暂未使用2021年度向特定对象发行A股股票闲置募集资金暂时补充流动资金。 | 公司于2022年6月16日召开第二届董事会第三次会议和第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70,000万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。 截至2022年12月31日，公司使用2021年度向特定对象发行股票闲置募集资金进行现金管理的余额为0.00元，无投资相关产品的情况。 | 不适用 | 不适用 | 不适用 | |
| 用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 | 对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 | 用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 | 募集资金结余的金额及形成原因 | 募集资金其他使用情况 |