中国国际金融股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司增加2022年度日常关联交易额度的核查意见
根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》等有关法律、法规的规定，中国国际金融股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”“公司”）的持续督导机构，对公司增加2022年度日常关联交易额度的事项进行了认真、审慎的核查，具体核查情况及核查意见如下：
一、日常关联交易基本情况
（一）日常关联交易履行的审议程序
公司于2022年10月13日召开第二届董事会第六次会议、第二届监事会第六次会议，审议通过了《关于增加2022年度日常关联交易额度的议案》，本次增加2022年度日常关联交易额度800.00万元。出席本次会议的非关联董事及全体监事一致同意该议案，审议程序符合相关法律法规的规定。本次增加日常关联交易额度事项无需提交公司股东大会审议。
公司独立董事对上述议案进行了事前认可并发表了明确同意的独立意见。独立董事认为：公司与关联方已经发生的关联交易及预计将要发生的关联交易均为公司正常经营业务所需，属正常商业行为，遵守了自愿、等价、有偿的原则，定价公平合理，所发生的关联交易符合公司的利益，不存在损害公司和其他股东利益的情况。本次董事会审议此次关联交易事项的决策程序，符合有关法律法规和公司章程的规定。
公司于2022年10月13日召开了第二届董事会审计委员会第三次会议，审议通过了《关于增加2022年度日常关联交易额度的议案》。
（二）本次调整后日常关联交易的金额和类别
公司前次2022年年度日常关联交易额度预计为2,000.00万元，本次日常关联交易预计新增800.00万元，合计额度为2,800.00万元。具体情况如下：
单位：万元
| 关联交易类别 | 关联人 | 本次/前次预计金额 | 占同类业务比例（%） | 本年年初至披露日与关联人累计已发生的交易金额 | 上年实际发生金额 | 占同类业务比例（％） | 本次预计金额与上年实际发生金额差异较大的原因 |
| 向关联人购买原材料及劳务 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 800.00 | 0.54% | 42.60 | 42.60 | 0.04% | 根据实际采购需求实施 |
| 沈阳富创精密设备股份有限公司 | 1,000.00 | 0.67% | - | 91.36 | 0.10% | 根据实际采购需求实施 | |
| 上海广川科技有限公司 | 1,000.00 | 0.67% | 367.69 | 215.51 | 0.22% | 根据实际采购需求实施 | |
| 合计 | 2,800.00 | 1.88% | 410.29 | 349.46 | 0.36% | / |
注1：本次预计的新增日常关联交易800.00万元是对自本次董事会审议通过之日起至2022年度股东大会召开之日止期间将要发生的日常关联交易的预计。
注2：部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上有差异，该差异系四舍五入产生。
（三）前次关联交易的预计和执行情况
公司于2022年3月9日召开第一届董事会第三十二次会议、第一届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于预计公司2022年度日常关联交易的议案》，预计日常关联交易金额合计为2,000.00万元人民币。截至披露日，前次预计公司2022年度关联交易执行情况：
单位：万元
| 关联交易类别 | 关联人 | 前次预计金额 | 前次实际发生金额 | 预计金额与实际发生金额差异较大的原因 |
| 向关联人购买原材料及劳务 | 沈阳富创精密设备股份有限公司 | 1,000.00 | - | 根据实际采购需求实施 |
| 上海广川科技有限公司 | 1,000.00 | 367.69 | 根据实际采购需求实施 | |
| 合计 | 2,000.00 | 367.69 | / | |
二、关联人基本情况和关联关系
（一）关联人的基本情况与上市公司的关联关系
1、中国科学院沈阳自动化研究所
| 企业名称 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 性质 | 事业单位 |
| 法定代表人 | 史泽林 |
| 开办资金 | 11,170万元人民币 |
| 成立日期 | 1958年11月 |
| 住所 | 辽宁省沈阳市沈河区南塔街114号 |
| 宗旨和业务范围 | 开展自动化技术研究，促进科技发展。先进制造模式与系统管理技术研究开发；智能机器与系统研究开发；工业自动化技术研究；系统工程与成套装备研究；模式识别与图象处理技术研究开发；工业和水下机器人研制、特种机器人研制相关检测、认证和培训；相关学历教育、技术服务与学术交流；《信息与控制》和《机器人》出版 |
与公司关联关系：
| 关联方名称 | 与公司关系 |
| 中国科学院沈阳自动化研究所 | 直接持有公司5%以上股份的股东 |
2、沈阳富创精密设备股份有限公司
| 企业名称 | 沈阳富创精密设备股份有限公司 |
| 性质 | 其他股份有限公司 |
| 法定代表人 | 郑广文 |
| 注册资本 | 15,679万元人民币 |
| 成立日期 | 2008年6月24日 |
| 住所 | 辽宁省沈阳市浑南区飞云路18甲-1号 |
| 经营范围 | 许可项目：货物进出口，技术进出口，进出口代理（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）一般项目：机械零件、零部件加工，机械零件、零部件销售，半导体器件专用设备制造，金属表面处理及热处理加工，金属切割及焊接设备制造，金属加工机械制造，增材制造，3D打印服务，技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） |
| 主要股东或实际控 | 郑广文 |
制人
与公司关联关系：
| 关联方名称 | 与公司关系 |
| 沈阳富创精密设备股份有限公司 | 董事郑广文、赵庆党担任董事的公司 |
3、上海广川科技有限公司
| 企业名称 | 上海广川科技有限公司 |
| 性质 | 有限责任公司（外商投资企业与内资合资） |
| 法定代表人 | 郑广文 |
| 注册资本 | 5,000万元人民币 |
| 成立日期 | 2019年4月3日 |
| 住所 | 上海市宝山区山连路799号1幢1-3层 |
| 经营范围 | 一般项目：半导体机器人、半导体制造设备及其他自动化设备及零部件的研发、销售、维修；从事货物及技术的进出口业务；在机器人、半导体专业技术领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务；从事半导体机器人、半导体制造设备及其他自动化设备、零件的研发和生产。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） |
| 主要股东或实际控制人 | 安川通商（上海）实业有限公司35%；沈阳富创精密设备股份有限公司35%；上海优煦机器人科技合伙企业（有限合伙）30% |
与公司关联关系：
| 关联方名称 | 与公司关系 |
| 上海广川科技有限公司 | 董事郑广文担任董事的公司 |
（二）履约能力分析
上述关联方依法持续经营，过往发生的交易能正常实施并结算，具备良好的履约能力。公司将就上述交易与相关关联方签署合同或协议并严格按照约定执行，履约具有法律保障。
三、日常关联交易主要内容
（一）关联交易主要内容
公司的关联交易主要为向关联人购买原材料及劳务。公司与上述关联人之间的交易，遵循客观公正、平等自愿、互惠互利的原则，关联交易价格主要由交易双方参考市场价格协商确定，并根据市场价格变化对关联交易价格作出相应调整。
（二）关联交易协议签署情况
为维护双方利益，公司与上述关联方将根据业务开展情况签订对应合同或协议。
四、日常关联交易目的和对上市公司的影响
上述关联交易为公司正常生产经营所需发生的交易，均为公司与关联方之间的经常性、持续性关联交易，是公司与关联方间正常、合法的经济行为，有利于公司正常经营，符合公司及全体股东利益。公司与关联方的关联交易价格的制定遵循公平、自愿原则，以市场价格为依据，由双方协商确定交易价格，未损害公司和中小股东的利益。上述日常关联交易不会对公司生产经营产生重大影响，其交易行为未对公司主要业务的独立性造成影响，公司不会因此对关联方形成较大的依赖。
五、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：
上述关于增加2022年度日常关联交易额度事项已经公司第二届董事会第六次会议、第二届监事会第六次会议审议通过，关联董事予以回避表决，董事会、监事会在召集、召开及决议的程序上符合有关法律、法规及《公司章程》的规定。独立董事已就该议案进行了事前认可并发表了明确同意的独立意见。本次关联交易事项无需经过股东大会审议。
公司上述预计日常关联交易事项均为公司开展日常经营活动所需，未损害上市公司和非关联股东的利益，不会对上市公司独立性产生影响，上市公司亦不会因此类交易而对关联方产生依赖。
综上所述，保荐机构对公司增加2022年度日常关联交易额度事项无异议。
（以下无正文）