中国国际金融股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司2022年半年度持续督导跟踪报告沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯源微”）于2019年12月16日首次公开发行股票并在科创板上市。公司聘请了国信证券股份有限公司（以下简称“国信证券”）担任公司首次公开发行股票并在科创板上市的保荐机构，国信证券对公司的持续督导期原定至2022年12月31日止。
2021年9月8日，公司因2021年度向特定对象发行A股股票聘请中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”）担任保荐机构。根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》和《科创板上市公司持续监管办法（试行）》等相关法律、法规和规范性文件的规定，中金公司承担公司持续督导工作，并出具本持续督导跟踪报告。
一、持续督导工作情况
| 序号 | 工作内容 | 实施情况 |
| 1 | 建立健全并有效执行持续督导工作制度，并针对具体的持续督导工作计划制定相应的工作计划 | 保荐机构已建立健全并有效执行了持续督导制度，并制定了相应的工作计划 |
| 2 | 根据中国证监会相关规定，在持续督导工作开始前，与上市公司签署持续督导协议，明确双方在持续督导期间的权利义务，并报上海证券交易所备案 | 保荐机构已与芯源微签订保荐协议，该协议明确了双方在持续督导期间的权利和义务 |
| 3 | 持续督导期间，按照有关规定对上市公司违法违规事项公开发表声明的，应于披露前向上海证券交易所报告，并经上海证券交易所审核后在指定媒体上公告 | 2022年上半年，芯源微未发生按有关规定必须保荐机构公开发表声明的违法违规情况 |
| 4 | 持续督导期间上市公司或相关当事人出现违法违规、违背承诺等事项的，应自发现或应当自发现之日起五个工作日内，向上海证券交易所报告，报告内容包括上市公司或相关当事人出现违法违规、违背承诺等事项的具体情况，保荐人采取的督导措施等 | 2022年上半年，芯源微未发生违法违规或违背承诺等事项 |
序号
| 序号 | 工作内容 | 实施情况 |
| 5 | 通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽职调查等方式开展持续督导工作 | 保荐机构通过日常沟通、定期或不定期回访等方式，了解芯源微经营情况，对芯源微开展持续督导工作 |
| 6 | 督导上市公司及其董事、监事、高级管理人员遵守法律、法规、部门规章和上海证券交易所发布的业务规则及其他规范性文件，并切实履行其所做出的各项承诺 | 2022年上半年，保荐机构督导芯源微及其董事、监事、高级管理人员遵守法律、法规、部门规章和上海证券交易所发布的业务规则及其他规范性文件，切实履行其所做出的各项承诺 |
| 7 | 督导上市公司建立健全并有效执行公司治理制度，包括但不限于股东大会、董事会、监事会议事规则以及董事、监事和高级管理人员的行为规范等 | 保荐机构督促芯源微依照相关规定健全完善公司治理制度，并严格执行公司治理制度 |
| 8 | 督导上市公司建立健全并有效执行内控制度，包括但不限于财务管理制度、会计核算制度和内部审计制度，以及募集资金使用、关联交易、对外担保、对外投资、衍生品交易、对子公司的控制等重大经营决策的程序与规则等 | 保荐机构对芯源微的内控制度的设计、实施和有效性进行了核查，截至本持续督导跟踪报告出具之日，芯源微的内控制度符合相关法规要求并得到了有效执行，能够保证公司的规范运行 |
| 9 | 督导上市公司建立健全并有效执行信息披露制度，审阅信息披露文件及其他相关文件，并有充分理由确信上市公司向上海证券交易所提交的文件不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏 | 保荐机构督促芯源微严格执行信息披露制度，审阅信息披露文件及其他相关文件 |
| 10 | 对上市公司的信息披露文件及向中国证监会、上海证券交易所提交的其他文件进行事前审阅，对存在问题的信息披露文件及时督促公司予以更正或补充，公司不予更正或补充的，应及时向上海证券交易所报告；对上市公司的信息披露文件未进行事前审阅的，应在上市公司履行信息披露义务后五个交易日内，完成对有关文件的审阅工作，对存在问题的信息披露文件应及时督促上市公司更正或补充，上市公司不予更正或补充的，应及时向上海证券交易所报告 | 保荐机构对芯源微的信息披露文件进行了审阅，不存在应及时向上海证券交易所报告的情况 |
| 11 | 关注上市公司或其控股股东、实际控制人、董事、监事、高级管理人员受到中国证监会行政处罚、上海证券交易所纪律处分或者被上海证券交易所出 | 芯源微无控股股东、实际控制人，2022年上半年，芯源微董事、监事、高级 |
序号
| 序号 | 工作内容 | 实施情况 |
| 具监管关注函的情况，并督促其完善内部控制制度，采取措施予以纠正 | 管理人员未发生该等事项 | |
| 12 | 持续关注上市公司及控股股东、实际控制人等履行承诺的情况，上市公司及控股股东、实际控制人等未履行承诺事项的，及时向上海证券交易所报告 | 芯源微无控股股东、实际控制人，2022年上半年，芯源微不存在未履行承诺的情况 |
| 13 | 关注公共传媒关于上市公司的报道，及时针对市场传闻进行核查。经核查后发现上市公司存在应披露未披露的重大事项或与披露的信息与事实不符的，及时督促上市公司如实披露或予以澄清；上市公司不予披露或澄清的，应及时向上海证券交易所报告 | 2022年上半年，经保荐机构核查，芯源微不存在应及时向上海证券交易所报告的情况 |
| 14 | 发现以下情形之一的，督促上市公司做出说明并限期改正，同时向上海证券交易所报告：（一）涉嫌违反《上市规则》等相关业务规则；（二）证券服务机构及其签名人员出具的专业意见可能存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏等违法违规情形或其他不当情形；（三）公司出现《保荐办法》第七十一条、第七十二条规定的情形；（四）公司不配合持续督导工作；（五）上海证券交易所或保荐人认为需要报告的其他情形 | 2022年上半年，芯源微未发生该等情形 |
| 15 | 制定对上市公司的现场检查工作计划，明确现场检查工作要求，确保现场检查工作质量。上市公司出现以下情形之一的，保荐机构、保荐代表人应当自知道或者应当知道之日15日内进行专项现场核查：（一）存在重大财务造假嫌疑；（二）控股股东、实际控制人、董事、监事或者高级管理人员涉嫌侵占上市公司利益；（三）可能存在重大违规担保；（四）资金往来或者现金流存在重大异常；（五）上海证券交易所或者保荐机构认为应当进行现场核查的其他事项 | 2022年上半年，芯源微不存在需要专项现场检查的情形 |
二、保荐机构和保荐代表人发现的问题及整改情况
无。
三、重大风险事项
公司目前面临的风险因素主要如下：
（一）经营风险
1. 下游客户扩厂不及预期或产能过剩的风险
半导体设备行业受下游半导体市场及终端消费市场需求波动的影响较大，如
果未来终端消费市场需求尤其是增量需求下滑或由于快速扩张导致的产能过剩，半导体制造厂商可能会削减资本性支出规模，将会对包括公司在内的半导体设备行业企业的经营业绩造成较大不利影响。
2. 研发投入可能大幅增长的风险
随着公司对新产品、新技术研发的持续投入以及可能承担重大科研项目，未来公司研发投入可能会出现阶段性的大幅增长，这将对公司的经营业绩造成较大冲击。
3. 供应商供货不稳定风险
半导体设备属于高精密的自动化装备，研发和生产均需使用高精度元器件，对产品机械结构的精度和材质要求较高，而我国与此相关的产业配套环境依然不够成熟，相关核心关键零部件仍然部分有赖于进口，虽然公司与供应商建立了长期稳定的供货关系，但未来下游半导体制造业对半导体设备需求不排除会出现爆发式增长，进而对公司产品生产造成一定的压力，而公司上游核心供应商短期供货能力不足可能会在一定程度上约束公司的生产能力，进而对公司的经营产生不利影响。
4. 新产品商业化推广不及预期的风险
如果公司新产品（包括前道涂胶显影设备等）商业化推广不及预期，也会对公司业绩产生较大不利影响。
在上述各项影响因素综合作用下，不排除未来公司经营业绩出现大幅波动的风险。
（二）行业风险
1. 市场竞争加剧的风险
作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶显影设备成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在集成电路制造后道先进封装和LED芯片制造等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现国产替代，伴随着半导体产业景气度不断升温，市场竞争也逐渐加剧，如果未来有更多的半导体设备制造企业生产同类型设备，可能会影响公司产品的稀缺性，导致公司未来客户流失、市场地位和经营业绩下滑，从而对公司持续经营能力产生不利影响。
2. 国际贸易摩擦加剧的风险
随着国际贸易摩擦的加剧，不排除相关国家贸易政策变动影响公司上游供应商的供货稳定性。
（三）宏观环境风险
半导体设备行业受下游半导体市场及终端消费市场需求波动的影响较大，其发展呈现一定的周期性，如果未来宏观经济发展乏力，终端消费市场的增量需求大幅下滑，半导体制造厂商将会减少半导体设备的采购，行业将面临一定的波动风险。
全球新冠肺炎疫情仍然比较严重，也可能导致供货不稳定、原材料价格上涨，对公司经营业绩造成不利影响。
（四）其他重大风险
1. 税收优惠风险
2022年上半年，公司享受的税收优惠政策包括软件产品增值税即征即退、研发费用加计扣除、高新技术企业所得税优惠等。如果国家有关税收优惠的法律、法规、政策等发生重大调整，或者由于公司未来不能持续取得国家高新技术企业资格等原因而无法享受相关税收优惠，将对公司的经营业绩造成不利影响。
2. 政府补助政策风险
2022年上半年，公司计入其他收益的政府补助金额为2,030.77万元，占当期净利润的比例为29.26%。如果未来政府部门对公司所处产业的政策支持力度有所减弱，公司取得的政府补助金额将会有所减少，进而对公司的经营业绩产生不利影响。
四、重大违规事项
2022年上半年，公司不存在重大违规事项。
五、主要财务指标的变动原因及合理性
2022年上半年，公司主要财务数据及指标如下所示：
单位：万元
| 主要会计数据 | 2022年1-6月 | 2021年1-6月 | 本期较上年 同期增减（%） |
| 营业收入 | 50,425.73 | 35,090.80 | 43.70 |
主要会计数据
| 主要会计数据 | 2022年1-6月 | 2021年1-6月 | 本期较上年 同期增减（%） |
| 归属于上市公司股东的净利润 | 6,940.67 | 3,506.99 | 97.91 |
| 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润 | 6,578.28 | 2,957.71 | 122.41 |
| 经营活动产生的现金流量净额 | 11,157.24 | -13,917.85 | 不适用 |
| 主要会计数据 | 2022年6月末 | 2021年末 | 本期末较上年 末增减（%） |
| 归属于上市公司股东的净资产 | 196,256.75 | 89,724.81 | 118.73 |
| 总资产 | 345,652.33 | 196,091.41 | 76.27 |
| 主要财务指标 | 2022年1-6月 | 2021年1-6月 | 本期较上年 同期增减（%） |
| 基本每股收益（元/股） | 0.82 | 0.42 | 95.24 |
| 稀释每股收益（元/股） | 0.82 | 0.42 | 95.24 |
| 扣除非经常性损益后的基本每股收益（元／股） | 0.78 | 0.35 | 122.86 |
| 加权平均净资产收益率（%） | 7.43 | 4.30 | 增加3.13个百分点 |
| 扣除非经常性损益后的加权平均净资产收益率（%） | 7.04 | 3.63 | 增加3.41个百分点 |
| 研发投入占营业收入的比例（%） | 8.47 | 14.08 | 减少5.61个百分点 |
公司2022年上半年主要财务数据及财务指标的变动原因如下：
1. 营业收入同比增长43.70%，主要是半导体行业景气度持续向好，同时公司产品竞争力不断增强，新签订单同比大幅增长，收入规模持续增长。
2. 归属于上市公司股东的净利润同比增长97.91%，归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润同比增长122.41%，主要原因是公司销售收入增长。
3. 经营活动产生的现金流量净额同比增长25,075.10万元，主要原因是公司新签合同额增长，同时公司进一步加强回款管理，销售回款增加。
4. 归属于上市公司股东的净资产同比增长118.73%，主要原因是公司向特定对象发行股票，股本及资本公积增加及公司净利润增长。
5. 总资产同比增长76.27%，主要原因是公司向特定对象发行股票，募集资金到账导致流动资产增加。
6. 基本每股收益、稀释每股收益同比增长95.24%，扣除非经常性损益后的
基本每股收益同比增长122.86%，主要原因是归属于上市公司股东的净利润增长。
六、核心竞争力的变化情况
（一）优秀的研发技术团队与核心管理团队
公司建有较为完善的人才培养体系，通过承担国家重大专项及地方重大科研任务、开展专题技术培训等方式培养了半导体设备的设计制造、工艺制程、软件开发与应用等多种学科人才。公司重视技术人才队伍的建设，积极引进了一批具有丰富的半导体设备行业经验的高端人才，形成了稳定的核心技术人才团队，能紧密跟踪国际先进技术发展趋势，具备较强的持续创新能力。公司核心管理团队人员稳定，具有丰富的管理经验，对行业的发展趋势和竞争格局有深入的了解，且均在公司服务多年，为公司后续的稳健经营、良性发展打下了基础，是公司快速稳定发展的重要因素。中层骨干干部年龄结构合理，梯队建设良好，在市场、生产、研发等各重要岗位都具有兼具经验和事业热情的专业领军人物。
（二）丰富的技术储备
公司高度重视新技术、新产品和新工艺的研发工作，研发人员占总员工比例超过35%。2022年上半年，公司研发支出4,268.65万元，占营业收入的8.47%。通过多年的技术积累以及承担国家02重大专项，公司已经成功掌握包括光刻工艺胶膜均匀涂敷技术、不规则晶圆表面喷涂技术、精细化显影技术、内部微环境精确控制技术、光刻胶涂覆缺陷及成本控制技术、在线式工艺缺陷检测技术、晶圆正反面颗粒清洗技术、自动刷压控制技术、化学药品精确供给及回收技术等在内的多种半导体设备产品核心技术，并拥有多项自主知识产权。
（三）优质的客户资源
公司以沈阳为销售总部，在上海建立了全资子公司，并在苏州、昆山、武汉、中国台湾等地设有办事处，销售网络覆盖长三角、珠三角及中国台湾地区等产业重点区域，建立了快速响应的销售和技术服务团队。2021年公司的全资子公司“上海芯源微企业发展有限公司”在上海自由贸易试验区临港新片区注册成立。上海已成为全球集成电路产业投资最具吸引力的地区之一，公司上海子公司的建设，将实现公司三“靠近”的初衷——“靠近客户”“靠近人才” “靠近供应链”，是公司国际化发展的重要里程碑。临港目前已聚集了超过150家集成电路
产业相关企业，各环节企业协同合作、产业集聚的效应正在凸显。
（四）较为突出的行业地位
公司是国家集成电路产业技术创新联盟及集成电路封测产业链技术创新战略联盟理事单位，并先后主持制定了喷胶机、涂胶机两项行业标准，其中喷胶机行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》（SJ/T11576-2016）已正式颁布实施，涂胶机行业标准《旋转式涂覆设备通用规范》项目已经通过工信部审批，待工信部统一发布。成立至今，公司先后获得“全国第一批专精特新‘小巨人’”“国家级知识产权优势企业”“国家高技术产业化示范工程”“2018年中国半导体设备五强企业”“国内先进封装领域最佳设备供应商”“辽宁五一劳动奖状”“第六届全国专业技术人才先进集体”等多项殊荣，公司产品先后获得“国家战略性创新产品”“国家重点新产品”“辽宁省科学技术进步一等奖”等多项荣誉，充分体现了公司的技术水平和管理能力，奠定了公司在细分行业内的突出地位。
（五）高效的质量管控与服务保障能力
公司自成立以来一直专注于半导体专用设备的研发、生产和销售，以高效的质量管控、全面优质的客户服务以及快速灵活的售后响应赢得市场。公司坚持“质量为上”的经营理念，建立了完善的质量控制制度，实行严格的质量控制手段，以保证产品质量的稳定性和一致性。目前公司应用于集成电路制造后道先进封装领域的喷胶机、涂胶/显影机和清洗机等产品已通过SEMIS2国际安规认证，为公司进入国际半导体设备供应商体系奠定了良好的基础。同时公司坚持以用户需求为中心，高度重视客户服务能力建设，已形成对客户需求的快速反应机制，以保证及时、迅速、有效地解决客户在产品后续使用过程中遇到的相关问题。此外，公司研发人员会定期进行客户拜访以收集产品需求，并根据客户及市场需求进行产品的升级或更新换代，以保持产品的持续竞争力。
（六）完善的供应链
半导体设备属于高精密的自动化装备，研发和生产均需使用大量的高精度元器件，对产品机械结构的精度和材质要求也很高。经过多年的沉淀，公司与国内外供应商建立了较为稳定的合作关系，培育与建设成了较为完善的原材料供应链，有利于保证公司产品原料来源的稳定性及可靠性。
综上所述，2022年上半年度，公司核心竞争力未发生不利变化。
七、研发支出变化及研发进展
（一）研发投入情况表
2022年上半年，公司研发投入总金额4,268.65万元，较上年同期下降13.59%；2022年上半年研发投入占营业收入的比例为8.47%，较上年同期减少5.61个百分点。公司研发投入金额及占比下降，主要是受研发阶段性波动影响，部分研发项目处于设计阶段，研发材料采购领用存在滞后效应。
（二）研发进展
截至2022年6月30日，公司共获得专利授权237项，其中发明专利167项（中国大陆地区发明专149项，中国台湾地区发明专利16项，美国发明专利2项），实用新型专利41项，外观设计专利29项；拥有软件著作权56项。
2022年上半年及截至2022年上半年末，公司专利情况具体如下
| 专利类型 | 本期新增 | 累计数量 | ||
| 申请数（项） | 获得数（项） | 申请数（项） | 获得数（项） | |
| 发明专利 | 17 | 5 | 378 | 167 |
| 实用新型专利 | 5 | 8 | 90 | 41 |
| 外观设计专利 | 2 | 7 | 29 | 29 |
| 软件著作权 | 3 | 2 | 58 | 56 |
| 合计 | 27 | 22 | 555 | 293 |
八、新增业务进展是否与前期信息披露一致
不适用。
九、募集资金的使用情况及是否合规
（一）募集资金基本情况
1. 2019年首次公开发行股票募集资金
经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335号）同意注册，公司向社会公开发行人民币普通股（A股）21,000,000股，
每股面值为人民币1元，每股发行价为人民币26.97元，募集资金总额为566,370,000.00元，扣除发行费用60,625,896.22元（不含增值税）后，实际募集资金净额为505,744,103.78元。以上募集资金已于2019年12月10日到位，募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字[2019]8294号《验资报告》。公司已对募集资金进行了专户存储，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
2. 2021年向特定对象发行A股股票募集资金
根据中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号），公司于2022年6月向特定对象发行人民币普通股股票8,045,699.00股，每股面值1元，发行价格为人民币124.29元/股，募集资金总额为人民币999,999,928.71元，扣除不含税的发行费用人民币9,915,093.67元，实际募集资金净额为人民币990,084,835.04元。前述募集资金到位情况经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“容诚会计师”）验证，并出具了《验资报告》（容诚验字[2022]110Z0008号）。募集资金到位后，公司已对募集资金进行了专户存储，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
（二）募集资金使用及结余情况
截至2022年6月30日，公司募集资金使用和节余情况如下：
1. 2019年首次公开发行股票募集资金
单位：人民币元
项目
| 项目 | 金额 |
| 募集资金净额 | 505,744,103.78 |
| 减：截至2022年6月30日直接对募集资金项目投入 | 387,316,021.56 |
| 其中：高端晶圆处理设备产业化项目 | 248,133,621.56 |
| 高端晶圆处理设备研发中心项目 | 139,182,400.00 |
| 减：截至2022年6月30日使用闲置资金永久补充流动资金 | 76,600,000.00 |
| 减：截至2022年6月30日使用闲置资金暂时补充流动资金 | 140,000,000.00 |
| 减：截至2022年6月30日节余募集资金补流 | 5,048,478.82 |
| 加：截至2022年6月30日募集资金理财收益 | 11,579,663.95 |
| 加：截至2022年6月30日募集资金利息收入扣除手续费净额 | 9,989,888.19 |
| 加：截至2022年6月30日归还闲置资金暂时补充流动资金 | 140,000,000.00 |
| 截至2022年6月30日募集资金余额 | 58,349,155.54 |
2. 2021年度向特定对象发行A股股票募集资金
单位：人民币元
| 项目 | 金额 |
| 募集资金净额 | 990,084,835.04 |
| 减：截至2022年6月30日补充流动资金项目投入 | 130,000,000.00 |
| 减：截至2022年6月30日已支付的发行费用 | 84,905.62 |
| 减：截至2022年6月30日用于现金管理的暂时闲置募集资金 | 600,000,000.00 |
| 加：截至2022年6月30日募集资金利息收入扣除手续费净额 | 405,538.66 |
| 截至2022年6月30日募集资金余额 | 260,405,468.08 |
（三）募集资金管理情况
1. 2019年首次公开发行股票募集资金
公司根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，于2019年4月24日召开2019年第三次临时股东大会，审议通过了《关于制定<募集资金管理办法>的议案》。《募集资金管理办法》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。2019年12月11日，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和时任保荐机构国信证券签署《募集资金专户存储三方监管协议》。公司于2019年12月11日在中信银行沈阳和平支行开
设募集资金专项账户（账号8112901012900643057），于2019年12月11日在中国建设银行沈阳城内支行开设募集资金专项账户（账号21050139000800001255），于2019年12月11日在招商银行沈阳浑南西路支行开设募集资金专项账户（账号124904600110111）。2021年9月8日，公司因2021年年度向特定对象发行A股股票变更保荐机构，与原保荐机构国信证券以及相关募集资金存储银行签订的《募集资金专户存储三方监管协议》相应终止，国信证券未完成的持续督导工作由中金公司承接。鉴于公司保荐机构已发生更换，为进一步规范公司募集资金管理，保护投资者权益，根据中国证监会《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等法律、法规的规定，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行及保荐机构中金公司签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》的履行不存在问题。截至2022年6月30日，募集资金专项账户余额情况如下：
单位：人民币元
| 银行名称 | 银行帐号 | 余额 |
| 中信银行沈阳和平支行 | 8112901012900643057 | 0.00 |
| 中国建设银行沈阳城内支行 | 21050139000800001255 | 4,204,140.72 |
| 招商银行沈阳浑南西路支行 | 124904600110111 | 54,145,014.82 |
| 合计 | 58,349,155.54 | |
2. 2021年向特定对象发行A股股票募集资金
根据有关法律法规及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》要求，公司对本次发行的募集资金采取了专户存储制度，公司于2022年6月16日分别在平安银行股份有限公司沈阳分行、中信银行股份有限公司沈阳分行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行开设账户作为募集资金专项账户，账号为15912666666677、8112901011100849786、
124904600110858。公司承诺该专户仅用于公司上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目（二期）、补充流动资金的存储和使用，不得存放非募集资金或者用作其他用途。本公司及保荐人中金公司与开户行分别签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。
上述《募集资金专户存储三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《募集资金专户存储三方监管协议》的履行不存在问题。截至2022年6月30日，募集资金专项账户余额情况如下：
单位：人民币元
| 银行名称 | 银行帐号 | 余额 |
| 平安银行沈阳分行 | 15912666666677 | 200,000,000.00 |
| 中信银行沈阳分行 | 81129010111008497865 | 178,955.38 |
| 招商银行沈阳浑南西路支行 | 124904600110858 | 60,226,512.70 |
| 合计 | 260,405,468.08 | |
公司2022年1-6月募集资金存放与使用情况符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作（2022年）》等法规和文件的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，及时履行了相关信息披露义务，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形。
十、控股股东、实际控制人、董事、监事和高级管理人员的持股、质押、冻结及减持情况
公司股权结构较为分散，无控股股东和实际控制人。截至2022年6月30日，公司董事、监事和高级管理人员直接持有的公司股份情况如下：
单位：股
| 姓名 | 职务 | 2021年末持股数量 | 2022年6月末持股数量 | 股份增减变动 | 持股变动原因 |
| 宗润福 | 董事长、总裁 | 2,650,000 | 2,671,000 | 21,000 | 股权激励归属 |
| 李风莉 | 高级管理人员 | 1,400,000 | 1,415,000 | 15,000 | 股权激励归属 |
姓名
| 姓名 | 职务 | 2021年末持股数量 | 2022年6月末持股数量 | 股份增减变动 | 持股变动原因 |
| 陈兴隆 | 高级管理人员、董事 | 80,000 | 95,000 | 15,000 | 股权激励归属 |
| 顾永田 | 高级管理人员 | 100,000 | 115,000 | 15,000 | 股权激励归属 |
| 汪明波 | 高级管理人员 | 30,000 | 45,000 | 15,000 | 股权激励归属 |
| 崔晓微 | 高级管理人员 | 127,600 | 136,600 | 9,000 | 股权激励归属 |
| 张新超 | 高级管理人员 | 0 | 3,000 | 3,000 | 股权激励归属 |
2022年上半年，公司董事、监事和高级管理人员所持有的公司股份均不存在质押、冻结的情形；公司董事、监事和高级管理人员均不存在减持情形。
十一、上海证券交易所或保荐机构认为应当发表意见的其他事项
截至本持续督导跟踪报告出具之日，公司不存在保荐机构认为应当发表意见的其他事项。
（以下无正文）