中微公司：2021年年度报告

公司代码：688012 公司简称：中微公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司

2021年年度报告

中微公司董事长尹志尧致辞

尊敬的各位股东、伙伴们、朋友们，大家好！我谨代表中微公司董事会、公司管理层和全体员工，向各位股东和社会各界对中微公司的大力支持表示衷心的感谢！ 数码产业是发展快、商机多的产业，它和传统工业已经成为国民经济的两大支柱。集成电路是数码产业的基础，而半导体微观加工设备又是集成电路和泛半导器件产业的基石。没有能加工微米及纳米级微观器件的光刻机，等离子体刻蚀机，薄膜沉积等设备，就没有集成电路和微器件工业。中微致力于开发和提供微观加工的高端关键设备近18年，已成为国内高端微观加工设备的领军企业之一，国际半导体设备产业认可的新星。

2021年新冠肺炎疫情等持续影响全球经济，半导体产业的战略重要性不断凸显。受通讯、汽车电子以及消费电子等产业强劲需求的推动，一方面半导体设备市场需求不断增大，另一方面芯片供应短缺传导至供应链各个环节，叠加国际政治、经济环境变化，形成错综复杂的局面。过去的一年里公司上下一心，迎难而上，持续创新增效，精益营运，兼顾短中长期的经营目标，坚持合作共赢，和客户及合作伙伴密切协作，在复杂的形势中紧抓机遇，放眼未来，经营质、量齐头并进，取得了自公司成立以来最好的经营成绩。公司2021年在市场拓展、新品研发和财务表现等方面均进展不俗。其中，产品在关键客户市场的接受度和销售额稳步提升，高端工艺研发进展顺利，新签订单金额同比增长90.5%达41.3亿元，产品付运腔体数由2020年的295腔增长66.4%达491腔，营业收入同比增长36.7%达31.08亿元，归母净利润同比增长105.5%达10.11亿元。2021年公司综合优势继续得到强化和提升，各经营指标的增长性在行业中跻身领先企业之一。

中微公司致力于打造具有国际竞争力的产品并进行多元化产品线布局。公司的各

类等离子体刻蚀设备和薄膜设备已有超过2300个反应腔在中国大陆、亚洲和欧洲等70多条集成电路和微器件生产线实现大规模量产。公司CCP等离子体刻蚀设备产品持续保持竞争优势，在国内外一线客户的逻辑和存储芯片制造生产线上，包括先进的5纳米芯片生产线和下一代的试生产线上，持续提升市场占有率，在部分关键客户市场占有率已进入前三位甚至前二位。公司ICP刻蚀设备在2021年也在客户端取得突破性进展，已通过诸多客户的工艺认证并获得重复订单。公司2021年ICP刻蚀机付运超过130腔，同比增长超过230%。

公司在2021年6月正式发布了用于高性能Mini LED量产的MOCVD设备PrismoUniMax?，半年内即已收到来自国内多家领先客户的批量订单合计超过100腔，并且不断收到更多的订单。公司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备，启动了应用于制造Micro LED、功率器件等生产的MOCVD设备的开发，将进一步稳固、提升公司在MOCVD产品上的领先市场地位。

中微公司继续瞄准世界科技前沿，持续稳步推进既定的三维发展战略，既深耕集成电路关键设备领域，积极拓展泛半导体关键设备领域，又不断利用公司的核心竞争力，探索在新兴科技领域的市场机会。在确保等离子体刻蚀设备及MOCVD设备等核心业务高速稳定成长之外，中微公司在集成电路的薄膜设备领域正在开发LPCVD设备（低压化学气相沉积设备）和EPI设备（外延生长设备），并已取得了良好进展。此外公司正在筹划开发ALD设备（原子层沉积设备）和ALE设备（原子层刻蚀设备）等关键设备。公司同时认真考察、参与符合企业发展战略的投资机会，积极谨慎布局产业链上下游部分重点领域的投资,致力于获得战略协同效应并兼顾良好的经济效益。在聚焦主业的同时，公司在外延发展方面继续积极探索。下属子公司的中微汇链、中微惠创、芯汇康在新业务拓展领域取得了进展，得到了市场认可和用户的积极评价。

2021年公司成功完成再融资发行，募集资金约82亿元，这是继2019年科创板上市后的又一有力支撑企业高速发展的里程碑式事件。公司的现金储备约100亿元，这给公司的研发、营运、投资和基本建设项目提供了资金保证。公司不断提升研发投入的强度和效率，有力地保障了公司在科技创新、高水平研发队伍建设、科学合规营运、国内外业务拓展、领先的客户服务支持等方面的质量，不断提升企业的综合竞争力，积累后续高速发展所需的产品、技术和营运能力等方面的重要储备。

公司高度重视打造立足本土和国际开放的营运能力，践行多元化人才队伍的建设，

不断提升针对多元客户的支持服务能力和技术合作水平，在客户满意度上迭创佳绩。国内除上海总部外，公司还在南昌、厦门、合肥、杭州、广州、大连、青岛等地为客户就近提供专业技术支持服务。内地以外，公司在中国台湾地区、新加坡、韩国、日本等地设有分支机构为客户提供就近及时的专业技术服务，并于2021年新开设美国分支机构支持新业务。

2021年，公司获得了多项殊荣，行业认可度不断提升。在第二十二届中国专利奖的评选中，中微公司再次获得“中国专利金奖”。公司秉承“质量和持续改进根植于中微公司的每一个方面，及每个人每分钟的工作中”的质量方针，建立了中微公司“三全、三重保险、三个满意”的质量管理模式，在全国领先企业参与的第四届中国质量奖的评选中成功胜出，荣获“中国质量奖提名奖”。

中微公司致力于为客户和市场提供性能优越、高生产效率和高性价比产品，促进技术创新、引领行业发展的同时，高度重视在环境、社会及管治（ESG）等领域的建设，公司正在把ESG作为公司持续发展大政方针，给产业和社会，给国家和全球在经济和社会可持续发展上贡献更大的力量。

公司在2021年总结自成立以来登高望远、聚焦发展的成功经验，全面梳理公司核心价值观和企业文化，总结了四个十大，即“产品开发的十大原则”、“战略销售的十大准则”、“营运管理的十大章法”和“精神文化的十大作风”。通过总结并宣导“四个十大”，落实科学管理和营运体系，倡导先进的企业文化，不断提升企业经营质量，提高员工的向心力和积极性，打造能孕育、保持创造力和发展力的中微大平台。同时，公司通过文化宣导和输出，和希望和中微公司共同做大做强的海内外合作伙伴一起努力实现技术进步和并推动产业的快速发展。

在过去的十年中，中微一直保持了年销售持续超过30%的高速增长，为给今后的十年到十五年的高速增长打下坚实的基础，公司在2021年连续启动了三个建设项目。在江西省南昌市高新区约14万平方米的研发生产基地已全面封顶，上海市临港新片区约18万平方米的研发生产基地和约10万平方米的总部大楼也在紧锣密鼓的建设。在两年之内，中微公司将会有十几倍大的厂房全面建成，为今后的大发展发展夯实基础。

中微公司已经初步发展为有较强竞争力的集成电路和微观器件制造装备制造的

领先企业之一。百尺竿头更进一步，我们已经取得的成就和公司的长远目标及行业和资本市场的期望还有很大的距离。我们深知任重道远，必将紧紧围绕公司在集成电路和其它半导体设备上的核心竞争力规划公司的未来发展，心无旁骛地做大做强主业，同时也会与时俱进，积极探索介入其它符合公司核心竞争力的发展机会，在总体上扩大在半导体和泛半导体领域的版图，通过内部孵化发展和外延并购等方式实现协同发展，让业绩增长更有持续性，抵御行业周期波动的能力更强，综合经营水平更高，规模和效益潜力的底垫更厚，在技术进步、规范治理、业务发展、业绩增长等方面保持良好势头，并不断向国际先进水平看齐，在充分把握国内市场机会的同时，坚持进行理性的国际市场布局，打造具有国际竞争力的平台型企业集团。

“攀登勇者，志在巅峰”。我们坚信，随着科技、新基建的不断投入和半导体集成电路行业在我国及世界经济中重要性的不断提高，中微公司的未来发展将具有越来越广阔的空间。中微公司已经拥有较好的国内外市场认可度、较强的技术和品牌优势和进取的产品发展规划、深厚的梯队人才优势、厚实稳健的财务基础，在董事会、管理层和全体员工的不懈努力下，在股东和社会各界的大力支持下，公司一定能抓住机遇，继续高速、稳定、安全发展，为股东和社会创造更大的价值。我们热诚欢迎广大投资者和社会各界继续鼓励、鞭策中微公司，和我们一同打造优秀的标杆型上市公司！

中微公司董事长、首席执行官：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）

2022年3月30日

重要提示

一、 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、

完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

二、 公司上市时未盈利且尚未实现盈利

□是 √否

三、 重大风险提示

报告期内，不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“五、风险因素”部分内容。

四、 公司全体董事出席董事会会议。

五、 普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报

告。

六、 公司负责人尹志尧、主管会计工作负责人陈伟文及会计机构负责人（会计主管人员）陈伟文

声明：保证年度报告中财务报告的真实、准确、完整。

七、 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

考虑到公司目前处于快速发展期，研发投入等资金需求较大，为更好地维护全体股东的长远利益，公司2021年度不分配利润，资本公积不转增。以上利润分配预案已经公司第二届董事会第五次会议审议通过，该预案尚需公司2021年年度股东大会审议通过。

八、 是否存在公司治理特殊安排等重要事项

□适用 √不适用

九、 前瞻性陈述的风险声明

√适用 □不适用

本年度报告中涉及的未来计划、发展战略等前瞻性陈述不构成公司对投资者的实质承诺，投资者及相关人士均应当对此保持足够的风险认识，并且应当理解计划、预测与承诺之间的差异，敬请投资者注意投资风险。

十、 是否存在被控股股东及其关联方非经营性占用资金情况

否

十一、 是否存在违反规定决策程序对外提供担保的情况

否

十二、 是否存在半数以上董事无法保证公司所披露年度报告的真实性、准确性和完整性否

十三、 其他

□适用 √不适用

目录

第一节 释义 ...... 9

第二节 公司简介和主要财务指标 ...... 12

第三节 管理层讨论与分析 ...... 16

第四节 公司治理 ...... 55

第五节 环境、社会和管治 ...... 80

第六节 重要事项 ...... 87

第七节 股份变动及股东情况 ...... 109

第八节 优先股相关情况 ...... 121

第九节 公司债券相关情况 ...... 121

第十节 财务报告 ...... 122

备查文件目录	载有公司负责人、主管会计工作负责人、会计机构负责人（会计主管人员）签名并盖章的财务报表。
	载有会计师事务所盖章、注册会计师签名并盖章的审计报告原件。

第一节 释义

一、 释义

在本报告书中，除非文义另有所指，下列词语具有如下含义：

常用词语释义
报告期	指	2021年1月1日至2021年12月31日
公司、本公司、中微公司	指	中微半导体设备（上海）股份有限公司
股东大会	指	中微半导体设备（上海）股份有限公司股东大会
董事会	指	中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
监事会	指	中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
中国证监会、证监会	指	中国证券监督管理委员会
上交所	指	上海证券交易所
元、万元、亿元	指	人民币元、人民币万元、人民币亿元
中微开曼	指	Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.
中微亚洲	指	Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. Asia
中微国际	指	Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte. Ltd.，中微公司在新加坡设立的子公司
中微国际台湾分公司	指	新加坡商中微半导体设备股份有限公司台湾分公司，中微国际在中国台湾设立的分支机构
中微北美	指	AMEC North America, Inc.
中微日本	指	AMEC Japan Co., Inc.,中微国际在日本设立的分支机构
中微韩国	指	Advanced Micro-Fabrication Equipment Korea Ltd.，中微国际在韩国设立的分支机构
中微惠创	指	中微惠创科技（上海）有限公司
中微厦门	指	中微半导体设备（厦门）有限公司
中微南昌	指	南昌中微半导体设备有限公司
中微汇链	指	中微汇链科技（上海）有限公司
上海创投	指	上海创业投资有限公司
上海科创集团	指	上海科技创业投资（集团）有限公司
巽鑫投资	指	巽鑫（上海）投资有限公司
置都投资	指	置都（上海）投资中心（有限合伙）
上海自贸区基金	指	上海自贸试验区智芯投资中心（有限合伙）
悦橙投资	指	嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）
橙色海岸	指	嘉兴橙色海岸投资合伙企业（有限合伙）
君邦投资	指	嘉兴君邦投资管理合伙企业（有限合伙）
南昌智微	指	南昌智微企业管理合伙企业（有限合伙）
国开创新	指	国开创新资本投资有限责任公司
Primrose	指	Primrose Capital Limited
Bootes	指	Bootes Pte. Ltd.
Futago	指	Futago Pte. Ltd.
Grenade	指	Grenade Pte. Ltd.
美国高通	指	QUALCOMM Incorporated
创橙投资	指	嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）
和谐锦弘	指	义乌和谐锦弘股权投资合伙企业（有限合伙）
兴橙投资	指	共青城兴橙投资合伙企业（有限合伙）

君鹏投资	指	嘉兴君鹏投资合伙企业（有限合伙）
茂流投资	指	合肥茂流投资中心合伙企业（有限合伙）
励微投资	指	上海励微投资管理合伙企业（有限合伙）
芃徽投资	指	上海芃徽投资管理合伙企业（有限合伙）
浦东新兴	指	上海浦东新兴产业投资有限公司
协鑫创展	指	协鑫创展控股有限公司
亮橙投资	指	嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合伙）
沈阳拓荆	指	沈阳拓荆科技有限公司
上海创徒	指	上海创徒光电技术服务有限公司
上海芯元基	指	上海芯元基半导体科技有限公司
睿励仪器	指	睿励科学仪器（上海）有限公司
Solayer	指	SOLAYER GmbH
洪朴科技	指	上海洪朴信息科技有限公司
聚源芯星	指	青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）
博日科技	指	杭州博日科技股份有限公司
山东天岳	指	山东天岳先进科技股份有限公司
理想万里晖	指	上海理想万里晖薄膜设备有限公司
中欣晶圆	指	杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
昂坤视觉	指	昂坤视觉（北京）科技有限公司
德龙激光	指	苏州德龙激光股份有限公司
泛林半导体	指	Lam Research Corp.
东京电子	指	Tokyo Electron Ltd.
应用材料	指	Applied Materials, Inc.
维易科	指	Veeco Instruments Inc.
WSTS	指	World Semiconductor Trade Statistic，世界半导体贸易统计，一家半导体行业数据统计公司，成员包括全球主要的半导体制造企业
CCP	指	Capacitively Coupled Plasma，电容性耦合的等离子体源
CMOS	指	Complementary Metal Oxide Semiconductor，互补金属氧化物半导体，指制造大规模集成电路芯片用的一种器件结构
CVD	指	Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积
DRAM	指	Dynamic Random Access Memory，动态随机存取存储器
ETCH、刻蚀	指	用化学或物理方法有选择地在硅片表面去除不需要的材料的过程，是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，是半导体制造工艺的关键步骤
GaN、氮化镓	指	Gallium Nitride，氮和镓的化合物，一种第三代半导体，主要应用为半导体照明和显示、电力电子器件、激光器和探测器等领域
Gartner	指	IT领域领先的研究与顾问公司，研究范围覆盖从最上游的硬件设计、制造到最下游终端应用的IT产业全环节
IC、集成电路	指	Integrated Circuit，指通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻器、电容器等无源原件按一定的电路互联并集成在半导体晶片上，封装在一个外壳内，实现特定功能的电路或系统
IC Insights	指	知名的半导体行业研究机构
ICP	指	Inductive Coupled Plasma，电感性耦合的等离子体源
IHS Markit	指	IHS Markit Ltd.（NASDAQ:INFO）创立于1959年，总部位于英国伦敦，是一家全球商业资讯服务的多元化供应商，在全球范围内为推动经济发展的各个行业和市场提供关键信息、分析和解决方案
LED	指	Light-Emitting Diode，发光二极管
LED外延片	指	LED外延片是指在一块加热至适当温度的衬底基片（主要有蓝宝

		石、SiC、Si等）上所生长出的特定单晶薄膜
MEMS	指	Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统
Mini LED	指	介于传统LED与Micro LED之间的次毫米发光二极管，意指晶粒尺寸约在100微米的LED
Micro LED	指	LED微缩化和矩阵化技术，将LED背光源进行薄膜化、微小化、阵列化，可以让LED单元小于50微米，与OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管）一样能够实现每个像素单独定址，单独驱动发光
MOCVD	指	Metal-organic Chemical Vapor Deposition，金属有机化合物化学气相沉积，MOCVD设备是LED外延片生产过程中的关键设备
SEMI	指	国际半导体设备材料产业协会
PVD	指	Physical Vapor Deposition，物理气相沉积
ALD	指	Atomic layer deposition，原子层沉积，是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法
LPCVD	指	Low Pressure Chemical Vapor Deposition，低压化学气相沉积
EPI	指	Epitaxy，在衬底上生长出的半导体薄膜
ALE	指	Atomic Layer Etching，原子层刻蚀，一种先进的刻蚀技术,可以针对较浅的微结构进行出色的深度控制
RAM	指	Random Access Memory，随机存储器，是一种半导体存储器
TSV、硅通孔	指	Through Silicon Via，一项高密度封装技术，在三维集成电路中堆叠芯片实现互连的一种新的技术解决方案
VLSI Research	指	集成电路和泛半导体领域领先的研究顾问公司，针对半导体产业链提供技术、商业和经济方面市场调研和经济分析的公司。每年对全球集成电路和泛半导体的制造和设备公司进行评比排序
VOC	指	Volatile Organic Compounds，挥发性有机化合物
分立器件、分立元件	指	单一封装的半导体组件，具备电子特性功能，常见的分立式半导体器件有二极管、三极管、光电器件等
封装	指	封装技术的定义为，在半导体开发的最后阶段，将一小块材料（如芯片）包裹在支撑外壳中，以防止物理损坏和腐蚀，并允许芯片连接到电路板的工艺技术
反应台	指	反应腔中用于承载、冷却、吸附晶圆的装置
光刻	指	利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术
晶圆、Wafer	指	用于制作芯片的圆形硅晶体半导体材料
摩尔定律	指	当价格不变时，集成电路上可容纳的元器件的数目，约每隔18-24个月便会增加一倍，性能也将提升一倍，由英特尔创始人之一的戈登·摩尔提出
前道、后道	指

半导体设备制造分为前道和后道工艺，前道主要是光刻、刻蚀、清洗、离子注入、化学机械平坦等；后道主要有打线、Bonder、FCB、BGA植球、检查、测试等

甚高频	指	Very high frequency，频带由30MHz-300MHz的无线电电波
先进封装	指	最新的封装技术，例如2.5D及3D芯片技术、晶圆级封装、倒装芯片封装和硅通孔技术等
线宽、关键尺寸	指	集成电路生产工艺可达到的最小沟道长度，是集成电路生产工艺先进水平的主要指标
Yole Développement	指	法国市场研究与战略咨询公司，专注于功率半导体与MEMS传感器等领域
《公司章程》	指	《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》

第二节 公司简介和主要财务指标

一、公司基本情况

公司的中文名称	中微半导体设备（上海）股份有限公司
公司的中文简称	中微公司
公司的外文名称	Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China
公司的外文名称缩写	AMEC
公司的法定代表人	GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）
公司注册地址	上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
公司注册地址的历史变更情况	201201
公司办公地址	上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
公司办公地址的邮政编码	201201
公司网址	http://www.amec-inc.com
电子信箱	[e-mail]

二、联系人和联系方式

	董事会秘书（信息披露境内代表）	证券事务代表
姓名	刘晓宇	胡潇
联系地址	上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号	上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
电话	021-61001199	021-61001199
传真	021-61002205	021-61002205
电子信箱	[e-mail]	[e-mail]

三、信息披露及备置地点

公司披露年度报告的媒体名称及网址	中国证券报、上海证券报、证券时报、证券日报
公司披露年度报告的证券交易所网址	www.sse.com.cn
公司年度报告备置地点	上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

四、公司股票/存托凭证简况

(一) 公司股票简况

□适用 □不适用

公司股票简况
股票种类	股票上市交易所及板块	股票简称	股票代码	变更前股票简称
A股	上海证券交易所科创板	中微公司	688012	不适用

(二) 公司存托凭证简况

□适用 √不适用

五、其他相关资料

公司聘请的会计师事务所（境

名称

普华永道中天会计师事务所（特殊普通合

内）		伙）
	办公地址	上海市黄浦区湖滨路202号领展企业广场2座普华永道中心11楼
	签字会计师姓名	林晓帆、胡玉琢
报告期内履行持续督导职责的保荐机构	名称	海通证券股份有限公司
	办公地址	上海市广东路689号
	签字的保荐代表人姓名	吴志君、孙剑峰
	持续督导的期间	2019年7月22日-2022年12月31日

六、近三年主要会计数据和财务指标

(一) 主要会计数据

单位：元 币种：人民币

主要会计数据	2021年	2020年	本期比上年同期增减(%)	2019年
营业收入	3,108,134,730.67	2,273,291,898.06	36.72	1,946,949,250.75
归属于上市公司股东的净利润	1,011,423,670.06	492,199,161.31	105.49	188,564,219.09
归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润	324,395,998.31	23,319,394.77	1,291.1	147,539,304.73
经营活动产生的现金流量净额	1,016,256,088.40	846,292,855.04	20.08	133,270,991.54
	2021年末	2020年末	本期末比上年同期末增减（%）	2019年末
归属于上市公司股东的净资产	13,940,019,843.26	4,369,057,694.76	219.06	3,751,076,960.24
总资产	16,732,989,003.95	5,800,876,895.94	188.46	4,774,054,304.04

(二) 主要财务指标

主要财务指标	2021年	2020年	本期比上年同期增减(%)	2019年
基本每股收益（元／股）	1.76	0.92	91.30	0.37
稀释每股收益（元／股）	1.76	0.92	91.30	0.37
扣除非经常性损益后的基本每股收益（元／股）	0.56	0.04	1,300.00	0.29
加权平均净资产收益率（%）	11.09	12.11	减少1.02个百分点	6.71
扣除非经常性损益后的加权平均净资产收益率（%）	3.56	0.57	增加2.99个百分点	5.25
研发投入占营业收入的比例（%）	23.42	28.14	减少4.72个百分点	21.81

报告期末公司前三年主要会计数据和财务指标的说明

√适用 □不适用

公司2021年营业收入为31.08亿元，较2020年增加约8.35亿元；2021年毛利为13.48亿元，较2020年增加约4.91亿元，同比增加57.38%，主要系：受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2021年刻蚀设备收入为20.04亿元，较2020年增长约55.44%，毛利率达到

44.32%；由于下游市场原因以及本年新签署的Mini LED MOCVD设备规模订单尚未确认收入，2021年MOCVD设备收入为5.03亿元，较2020年增长约1.53%，但MOCVD 设备的毛利率达到33.77%，较2020年的18.65%有大幅度提升。公司2021年新签订单金额为41.3亿元，较2020年增加约19.6亿元，同比增加约90.5%。

2021年归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为3.24亿元，较上年同期增长1291.10%，主要系：（1）公司营业收入和毛利增长；（2）因实施股权激励计划，公司2021年产生股份支付费用2.15亿元，较2020年的1.24亿元增加约0.91亿元（属于经常性损益）。

2021年归属于上市公司股东的净利润为10.11亿元，较上年同期增长105.49%，主要系：

（1）扣除非经常性损益后的净利润增长约3.01亿元；（2）公司2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）3亿元而间接持有中芯国际股票，因中芯国际股价变动以及公司减持部分中芯国际股票，公司2021年收益约0.39亿元，较2020年收益的2.62亿元减少约2.23亿元。此外，经评估师评估结果，公司投资的其他非上市公司股权（以公允价值计量且其变动计入当期损益）于2021年产生公允价值变动收益约3.70亿元，较2020年增加约3.70亿元。因上述两项因素合计影响，公司2021年较2020年增加税前利润约1.47亿元（属于非经常性损益）；

（3）公司2021年计入非经常性损益的政府补助较2020年增加约0.95亿元。

2021年经营活动产生的现金流量净额为10.16亿元，较上年同期增长20.08%，主要系公司收入和新签订单增长下，销售收款增加。

2021年末，归属于上市公司股东的净资产为139.40亿元，较上年末增长219.06%，主要系公司于2021年6月向特定对象发行股票收到募集资金净额约81.25亿元，以及公司于2021年实现归属于母公司所有者的净利润10.11亿元。

七、境内外会计准则下会计数据差异

(一) 同时按照国际会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东

的净资产差异情况

□适用 √不适用

(二) 同时按照境外会计准则与按中国会计准则披露的财务报告中净利润和归属于上市公司股东的

净资产差异情况

□适用 √不适用

(三) 境内外会计准则差异的说明：

□适用 √不适用

八、2021年分季度主要财务数据

单位：元 币种：人民币

	第一季度 （1-3月份）	第二季度 （4-6月份）	第三季度 （7-9月份）	第四季度 （10-12月份）
营业收入	603,346,870.60	735,280,813.83	734,149,382.19	1,035,357,664.05
归属于上市公司股东的净利润	137,774,007.33	258,858,299.22	145,222,776.15	469,568,587.36
归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润	11,108,458.59	50,506,710.81	103,309,222.86	159,471,606.05
经营活动产生的现金流量净额	-77,394,097.18	42,171,646.61	439,489,810.26	611,988,728.71

季度数据与已披露定期报告数据差异说明

□适用 √不适用

九、非经常性损益项目和金额

√适用 □不适用

单位:元 币种:人民币

非经常性损益项目	2021年金额	附注（如适用）	2020年金额	2019年金额
非流动资产处置损益	129,648.15		-42,372.67	-2,234,720.02
计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相关，符合国家政策规定、按照一定标准定额或定量持续享受的政府补助除外	347,993,160.92		253,376,660.22	26,937,464.91
除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，持有交易性金融资产、衍生金融资产、交易性金融负债、衍生金融负债产生的公允价值变动损益，以及处置交易性金融资产、衍生金融资产、交易性金融负债、衍生金融负债和其他债权投资取得的投资收益	460,750,950.30		301,827,578.76	21,855,862.900
除上述各项之外的其他营业外收入和支出	-462,988.38		-2,126,544.01	463,356.89
减：所得税影响额	121,370,950.97		84,155,468.79	5,961,900.32
少数股东权益影响额（税后）	12,148.27		86.97	35,150.00
合计	687,027,671.75		468,879,766.54	41,024,914.36

将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益项目的情况说明

□适用 √不适用

十、采用公允价值计量的项目

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目名称	期初余额	期末余额	当期变动	对当期利润的影响金额
交易性金融资产	1,505,200,119.62	2,510,610,074.74	1,005,409,955.12	-78,976,402.69
其他非流动金融资产	235,055,000.00	815,041,400.00	579,986,400.00	369,986,400.00
合计	1,740,255,119.62	3,325,651,474.74	1,585,396,355.12	291,009,997.31

十一、非企业会计准则业绩指标说明

√适用 □不适用

单位：万元 币种：人民币

项目名称	2021年	2020年	本期比上年同期增减（%）
剔除股份支付费用影响后，归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润	53,922.67	14,690.99	267.05

第三节 管理层讨论与分析

一、经营情况讨论与分析

报告期内，新冠肺炎疫情等持续影响全球经济，半导体产业的战略重要性不断凸显。受通讯、汽车电子以及消费电子等产业强劲需求的推动，一方面半导体设备市场需求不断增大，另一方面芯片供应短缺传导至供应链各个环节，叠加国际政治、经济环境变化，形成错综复杂的局面。与此同时，中国集成电路及LED设备市场保持相对较高程度的投资规模，但不同客户投资进度出现结构分化的差异。除海外原有供应商外，国内也有更多企业进入或更大力度投入到设备领域，海内外竞争进一步加剧。公司继续瞄准世界科技前沿，持续践行三维发展战略，深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会，推进公司实现高速、稳定、安全发展。公司坚持以市场和客户需求为导向，积极应对复杂形势，继续加大研发投入和业务开拓力度，推动以研发创新为驱动的高质量增长策略，抓住重点客户扩产投资机会，推进订制化精细化生产经营，公司在刻蚀设备、MOCVD设备等设备产品研发、市场布局、新业务投资拓展等诸多方面取得了较大的突破和进展，产品不断获得海内外客户的认可，为公司持续健康发展提供了有力支撑。

公司同时兼顾外延性发展，在聚焦公司核心业务集成电路设备的同时积极探索布局包括健康领域在内的新业绩增长点，子公司中微惠创、中微汇链、芯汇康及公司参与投资的标的公司在各自细分领域取得了卓有成效的进展。公司鼓励创新，组织开展优秀专利奖项的评选活动，着重奖励在产品创新方面取得杰出成效的员工。公司的发明专利“等离子体处理装置及调节基片边缘制程速率的方法”荣获第二十二届“中国专利金奖”，此次是中微公司第二次获得中国专利金奖。在全国领先企业大量参与的第四届中国质量奖的评选中，公司荣膺“中国质量奖提名奖”。此外，为扩充资产规模、增强公司实力以持续做大做强主业，公司在报告期内完成了向特定对象发行股票，本次向特定对象发行股票数量为80,229,335股，发行价格为102.29元/股，本次发行的募集资金总额为8,206,658,677.15元，扣除发行费用后的募集资金净额为人民币8,118,162,441.14元。2021年7月3日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《2020年度向特定对象发行股票发行结果暨股本变动公告》（公告编号：2021-035）。本次募集资金投资项目中的产业化建设项目正在顺利推进中，其中中微临港产业化基地项目已经完成结构封顶；南昌中微半导体设备有限公司生产基地项目已完成厂内主要道路施工，各主要单体建筑均已封顶；中微临港总部和研发基地项目正在进行施工前临设搭建、机械进场组装等准备工作。报告期内公司持续提升综合竞争力，在技术进步、业务发展、业绩增长、规范治理等方面不断向国际先进水平的方向努力，实现公司高速、稳定、安全发展。

报告期内重点任务完成情况

报告期内，公司在研发创新、知识产权体系建设、生产经营、外延式生长等方面取得了积极成果：

1、产品研发及客户拓展方面

公司坚持自主创新，产品布局及技术研发面向世界科技前沿。报告期内，公司继续保持较高的研发投入，与国内外一流客户保持紧密合作，相关设备产品研发进展顺利、客户端验证情况良好。2021年公司研发投入为7.28亿元，占收入比例为23.4%，相较去年同期增长13.8%。

公司持续打造领先设备公司市场形象，积极参与有影响力的市场活动，不断强化公司技术和品牌优势。报告期内，公司发挥产品技术及销售服务竞争优势，持续深化同海内外客户的业务合作，以更好的市场形象和更专业的服务为客户提供产品解决方案。在持续改善量产机台的运行时间和生产效率的同时，研发团队和客户紧密合作，进行更多的关键制程的工艺开发和验证，进一步提高产品的技术先进性和市场竞争力，以拓宽机台的生产能力并赢得更多的制程量产机会。

公司主要产品的进展情况如下：

（1）CCP刻蚀设备

报告期内，公司CCP刻蚀设备产品保持竞争优势，Primo AD-RIE?、Primo SSC AD-RIE?、Primo HD-RIE?等产品批量应用于国内外一线客户的集成电路加工制造生产线，并持续

提升市场占有率，在部分客户市场占有率已进入前三位。公司2021年共生产付运CCP刻蚀设备298腔，产量同比增长40%。此外，在先进逻辑电路方面，公司持续升级硬件性能，成功取得5纳米及以下逻辑电路产线的重复订单。在存储电路方面，公司的刻蚀设备在64层及128层3DNAND的生产线得到广泛应用。随着3D NAND芯片制造厂产能的迅速爬升，该等产品的重复订单稳步增长。同时，公司积极布局动态存储器的应用，并开始工艺开发及验证。公司积极与主流客户合作，定义下一代CCP刻蚀机的主要功能及技术指标，正开发更先进的CCP刻蚀机产品。2021年6月15日，公司推出首台用于8英寸晶圆加工的CCP刻蚀设备，丰富了公司现有的刻蚀设备产品线。该刻蚀设备基于已被业界广泛认可的12英寸CCP刻蚀设备的成熟工艺与特性，Primo AD-RIE 200

?在技术创新和生产效率方面都有了进一步提升，能够满足不同客户8英寸晶圆的加工需求。为提高生产效率，Primo AD-RIE 200

?刻蚀设备可灵活配置多达三个双反应台反应腔（即六个反应台）。此外，Primo AD-RIE 200

?

提供了可升级至12英寸刻蚀设备系统的灵活解决方案，可以满足客户生产线未来可能扩产的需求。该设备在国内客户生产线运转，同时，公司正在与更多客户合作进行工艺开发。

（图：Primo AD-RIE系列刻蚀机）

（2）ICP刻蚀设备

报告期内，公司ICP刻蚀设备已经逐步趋于成熟。Primo nanova? ICP刻蚀产品已经在超过15家客户的生产线上进行100多个ICP刻蚀工艺的验证，部分工艺的刻蚀性能和量产指标已经满足客户的要求并投入量产，且持续扩展到更多刻蚀应用的验证。截止到2022年12月底，

Primo Nanova?已经顺利交付超过180台反应腔，且在客户端完成验证的应用数量也在持续增加。公司2021年共生产付运ICP刻蚀设备134腔，产量同比增长235%。

（图：Primo nanova

?

刻蚀机）在持续提升Primo nanova

?刻蚀设备的市场份额的同时，2021年3月，公司研发并推出了的具有高输出率特点的双反应台ICP刻蚀设备Primo Twin-Star?刻蚀设备，该产品沿用了中微公司国际领先的双反应台设计理念，并采用了Primo nanova?刻蚀设备的大部分硬件特征，使得机台在具有良好刻蚀性能的同时，提升客户单位资金投入的产能。Primo Twin-Star?刻蚀产品的推出，丰富了ICP刻蚀设备种类，增强ICP刻蚀产品的整体竞争力。该ICP刻蚀设备已经在国内领先的客户生产线上完成认证，并收到更多国内客户的订单。同样应用ICP技术的8英寸和12英寸深硅刻蚀设备Primo TSV200E

?

、Primo TSV300E

?在先进系统封装、2.5维封装和微机电系统芯片生产线等成熟刻蚀市场继续获得重复订单的同时，也开始在3D芯片等新兴市场的刻蚀工艺上得到验证。

（图：Primo TSV

?

刻蚀机）根据客户的技术发展需求，公司有序推进进行下一代ICP刻蚀产品的技术研发，以满足5纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM和128层以上的3D NAND存储芯片等产品的ICP刻蚀需求，并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。

（图：Primo Twin-Star

?

刻蚀机）

（3）MOCVD设备

报告期内，公司蓝光照明Prismo A7

?

以及深紫外LED外延片Prismo HiT3

?产品持续服务客户；公司在2021年6月正式发布用于高性能Mini LED量产的MOCVD设备Prismo UniMax

?。该设备专为高产量而设计，具备高波长均匀性、高良率等优点，此外，该设备可同时加工164片4英寸或72片6英寸外延片，已收到来自国内多家领先客户的批量订单合计超过100腔。公司正在与更多客户合作进行设备评估，扩大市场推广。Prismo UniMax? 设备拓展了公司的MOCVD设备产品线，为全球LED芯片制造商提供极具竞争力的Mini LED量产解决方案。同时，公司也正在开发针对Micro LED应用的专用MOCVD设备。公司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备市场，开发GaN功率器件量产应用的MOCVD设备，目前已交付国内外领先客户进行生产验证。此外，公司启动了应用于碳化硅功率器件外延生产设备的开发，将进一步丰富公司的产品线。

（图：Prismo UniMax

?MOCVD设备）

（4）薄膜沉积设备研发

报告期内，公司的钨填充CVD设备获得了阶段性进展。应用于金属互联的CVD钨制程设备能力已能够满足客户工艺验证的需求，产品正与关键客户对接验证。基于金属钨CVD设备，公司正进一步开发CVD和ALD设备，实现更高深宽比和更小的关键尺寸结构的填充，以满足高端逻辑器件和先进存储芯片的需求。

公司报告期内组建EPI设备研发团队，通过基础研究和采纳关键客户的技术反馈，已经形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案。目前公司EPI设备已进入样机的设计，制造和调试阶段，以满足客户先进制程中锗硅外延生长工艺的电性和可靠性需求。

（5）VOC净化设备

子公司中微惠创利用分子筛的吸附原理的化学反应器，开发制造了工业用大型VOC净化设备。设备可根据客户的要求灵活配置不同处理规模的系统，提供给客户可靠、稳定、安全和节能的VOC净化解决方案。报告期内，中微惠创与德国DAS环境专家有限公司签订战略合作协议，双方在半导体行业尾气处理设备领域展开紧密的合作，共同推动环保科技行业的发展。

（图：VOC净化设备）

（6）分布式生态工业互联网平台

子公司中微汇链创新地将区块链技术与web3.0理念相融合，通过云+链方式打造去中心化分布式工业互联网平台We-Linkin，目前场景应用数量已超30个，可订阅微服务超300个，协助重点行业和区域产业优化资源配置、促进产业要素的价值实现与流通，充分发挥产业集群效应，为重点行业和区域产业建立资源汇聚、数据互连、流程互通、自主治理的生态协同体系，引领企业从传统单体竞争走向生态共赢。

中微汇链为上海市工业互联网协会以及中国物流与采购联合会区块链分会的首批理事单位、上海区块链技术协会会员单位，并已取得境内区块链信息服务备案编号；2021年获得《2021年

产业区块链创新奖优秀案例奖》《2021年工业区块链案例集优秀案例》等奖项；通过中国信息通信研究院星火·链网骨干节点供应商遴选评审，并被授予星火·链网骨干节点建设技术供应商资格；参与《食品追溯区块链平台应用能力》团体标准的起草工作。

报告期内，公司研发方向和产品符合市场趋势和需求，与产业发展深度融合。各产品的研发成果均取得行业主流客户的认可，客户验证情况良好，巩固了公司产品的竞争优势。此外公司正在筹划开发ALD设备（原子层沉积设备）和ALE设备（原子层刻蚀设备）等先进关键设备。

2、向特定对象发行股票

报告期内，公司于2021年6月向特定对象发行股票，本次向特定对象发行股票数量为80,229,335股，发行价格为102.29元/股，本次发行的募集资金总额为8,206,658,677.15元，扣除发行费用后的募集资金净额为人民币8,118,162,441.14元。公司本次定向发行进一步大大增强公司的资金实力，为公司后续发展奠定坚实的资金基础。随着募集资金到位，公司不断提升公司研发投入水平和产品科技创新水平，在技术进步、业务拓展等方面持续提升公司综合竞争力。

3、供应保障方面

公司在需求预测、库存管理和供应商管理三方面建立了动态协调机制，使生产所需的零部件原材料能够高效流转。公司也在持续开发关键零部件的供应商，也非常重视零部件的国产化工作。受到全球供应链紧张的影响，公司少量零部件交期较以往有所延长，但通过公司同供应商的通力协作，公司报告期内产品按计划交付。

4、营运管理方面

公司在营运管理中采用关键指标管理，尤其在生产管理、材料管理、客户技术支持和设备运行表现方面设定了一系列的关键考核指标，覆盖了质量、效率、成本和安全等众多方面。公司定期跟踪各项指标的执行情况，并根据统计结果和客户反馈，制定出关键指标的改进要求。报告期内，公司营运效率持续提高，设备交付按时率保持在较高水准、物料成本控制等指标达到预期水平。

5、知识产权保障方面

公司高度重视科技创新和知识产权保护工作。报告期内，公司新增专利申请216项，包括发明专利183项，实用新型专利30项，外观设计专利3项。公司鼓励创新，组织开展优秀专利奖项的评选活动，着重奖励在产品创新方面取得杰出成效的员工。公司的发明专利“等离子体处理装置及调节基片边缘制程速率的方法”荣获第二十二届“中国专利金奖”，此次是中微公司第二次获得中国专利金奖。

6、人才建设方面

人才是企业发展的根本动力，公司高度重视人才的吸引和发展。报告期内，公司进一步拓宽人才吸引渠道，从国内外吸引了行业经验丰富的管理及技术人才，并从知名院校中挑选了一批优秀的毕业生，公司2021年新入职员工238人。公司注重激发组织和员工活力，组织开展多项深

入的专题培训、学习交流。公司持续优化人才绩效评估体系及人才晋升机制，使得优势资源更进一步的向高绩效员工倾斜。公司于2021年8月17日，完成向540名激励对象2020年限制性股票激励计划的首次归属，及完成向6名激励对象2020年股票增值权激励计划的首次归属。公司持续优化人才梯队，为业务可持续发展提供人才保障。

7、外延式发展方面

公司不断践行外延式发展策略，公司下属的中微汇链、中微惠创、芯汇康在新业务拓展领域取得了良好的进展，得到了市场和用户的高度评价。公司同时积极探索在相关领域的投资机会，公司的参股投资的沈阳拓荆、山东天岳、德龙激光等项目营运表现良好，其中山东天岳已在科创板挂牌上市，沈阳拓荆、德龙激光已获得科创板上市注册批复。报告期内，公司完成对睿励仪器的增资，进一步巩固产业链协同效应，完善公司业务布局。

8、内部治理方面

公司建立了较为完善的公司内控制度和公司治理结构，报告期内持续完善公司治理机制，强化风险管理和内部控制，严格贯彻执行相关制度，切实保障公司和股东的合法权益，为企业持续健康发展提供坚实基础。

9、信息披露及防范内幕交易方面

公司严格遵守法律法规和监管机构规定，严格执行公司信息披露管理制度，真实、准确、完整、及时、公平地履行信息披露义务，通过上市公司公告、投资者交流会、业绩说明会、上证e互动、电话、邮件等诸多渠道，与投资者保持密切沟通，保持公司营运透明。报告期内，公司荣获“第十一届天马奖‘最佳董事会’”、“科创板价值50强”、“2021最具价值科创板上市公司”、“2021年度科创版硬科技领军企业”等多个奖项。

公司高度重视内幕交易防范，做好内幕信息知情人登记管理和防范内幕交易工作。对公司董事、监事、高级管理人员及相关员工定期作出禁止内幕交易的警示及教育，敦促董事、监事、高级管理人员及相关知情人员严格履行保密义务并严格遵守买卖股票规定。

二、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况及研发情况说明

(一) 主要业务、主要产品或服务情况

报告期内，公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售。公司瞄准世界科技前沿，基于在半导体设备制造产业多年积累的专业技术，涉足半导体集成电路制造、先进封装、LED外延片生产、功率器件、MEMS制造以及其他微观工艺的高端设备领域。

公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。公司MOCVD设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列的氮化镓基LED设备制造商。

公司主要为集成电路、LED外延片、功率器件、MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀设备、MOCVD设备及其他设备，其中主要产品的具体情况如下：

1、刻蚀设备

产品类别	图示	应用领域
电容性等离子体刻蚀设备		主要应用于集成电路制造中氧化硅、氮化硅及低介电系数膜层等电介质材料的刻蚀
电感性等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备		主要应用于在集成电路制造中单晶硅、多晶硅以及多种介质等材料的刻蚀
		主要应用于CMOS图像传感器、MEMS芯片、2.5D芯片、3D芯片等通孔及沟槽的刻蚀

2、MOCVD设备

产品类别	图示	应用领域
MOCVD设备		蓝绿光及紫外LED外延片和功率器件的生产

3、其他设备

产品类别	图示	应用领域
VOC设备		平板显示生产线等工业用的空气净化

报告期内，公司主营业务未发生变化。

(二) 主要经营模式

1、盈利模式

公司主要从事半导体设备的研发、生产和销售，通过向下游集成电路、LED外延片、先进封装、MEMS等半导体产品的制造公司销售刻蚀设备和MOCVD设备、提供配件及服务实现收入和利润。报告期内，公司主营业务收入来源于半导体设备产品的销售，其他收入来源于设备相关配件销售及设备支持服务等。

2、研发模式

公司主要采取自主研发的模式。根据公司产品成熟度，公司的研发流程主要包括概念与可行性阶段、Alpha阶段、Beta阶段、量产阶段。

公司按照刻蚀设备、MOCVD设备等不同研发对象和项目产品，组成了相对独立的研发团队。不同产品研发团队拥有各自独立的机械设计、工艺开发、产品管理和技术支持团队，而在电气工程、平台工程、软件工程等方面则采用共享的方式进行研发支持。通过这种矩阵管理的方法，实现了人才、营运等资源在不同的产品及技术服务之间灵活分配，实现共享经验知识，优化资源使用效率，使公司能够快速响应不断变化的研发要求，进行持续的技术创新。

3、采购模式

为保证公司产品的质量和性能，公司制定了严格的供应商选择和审核制度。达到经营资质、研发和设计能力、技术水平、质量管控能力、生产能力、产品价格、交货周期及付款周期等众多标准要求的供应商，才可以被考虑纳入公司合格供应商名录，并定期审核。目前，公司已经与全球众多供应商建立了长期、稳定的合作关系。

4、生产模式

公司主要采用以销定产的生产模式，实行订单式生产为主，结合少量库存式生产为辅的生产方式。订单式生产是指公司在与客户签订订单后，根据订单情况进行定制化设计及生产制造，以应对客户的差异化需求。库存式生产是指公司对设备通用组件或成批量出货设备常用组件根据内部需求及生产计划进行预生产，主要为快速响应交期及平衡产能。

5、营销及销售模式

公司采取直销为主的销售模式，因欧洲市场的客户较为分散，公司在该区域通过代理商模式进行销售。公司设有全球业务部负责公司所有产品的销售管理，下设中国大陆、中国台湾、韩国、日本、新加坡、美国等国家或地区的区域销售和支持部门。

(三) 所处行业情况

1. 行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛

半导体设备行业是一个全球化程度较高的行业，受国际经济波动、半导体市场、终端消费市场需求影响，其发展呈现一定的周期性波动。当宏观经济和终端消费市场需求变化较大时，客户会调整其资本性支出规模和对设备的采购计划，从而对公司的营业收入和盈利产生影响。

全球集成电路和以LED为代表的光电子器件的销售额合计占所有半导体产品销售额的90%以上，是半导体产品最重要的组成部分。2020年至2024年，全球半导体设备采购支出预计将保持增长态势。根据Gartner的预测，刻蚀设备市场规模将由2020年约123亿美元增长至2024年约152亿美元。根据Yole的预测，氮化镓基MOCVD设备市场规模将由2020年1.9亿美元增长至2025年约2.5亿美元，功率器件外延设备市场将由2020年约2亿美元增长至2025年约3.1亿美元。公司所处的细分行业为半导体设备行业中的刻蚀设备行业和LED设备行业中的MOCVD设备行业。

1、刻蚀设备

集成电路设备包括晶圆制造设备、封装设备和测试设备等，晶圆制造设备的市场规模约占集成电路设备整体市场规模的约80%。

晶圆制造设备可以分为刻蚀、薄膜沉积、光刻、检测、离子掺杂等品类，其中刻蚀设备、薄膜沉积、光刻设备设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。根据Gartner统计，2021年全球刻蚀设备、薄膜沉积和光刻设备分别占晶圆制造设备价值量约21.59%、19.19%和

18.52%。

随着集成电路芯片制造工艺的进步，线宽关键尺寸不断缩小、芯片结构3D化，晶圆制造向7纳米、5纳米以及更先进的工艺发展。由于目前先进工艺芯片加工使用的光刻机受到波长限制，14纳米及以下的逻辑器件微观结构的加工多通过等离子体刻蚀和薄膜沉积的工艺组合——多重模板工艺来实现，使得刻蚀等相关设备的加工步骤增多。

2、MOCVD设备

LED产业链由衬底加工、LED外延片生产、芯片制造和器件封装组成。该产业链中主要涉及的设备包括：衬底加工需要的单晶炉、多线切割机；制造外延片需要的MOCVD设备；制造芯片需要的光刻、刻蚀、清洗、检测设备；封装需要的贴片机、固晶机、焊线台和灌胶机等。

LED外延片的制备是LED外延片生产的重要步骤，与集成电路在多种核心设备间循环的制造工艺不同，LED外延片主要通过MOCVD单种设备实现。MOCVD设备采购金额一般占LED生产线设备总投入的一半以上，是LED外延片制造中最重要的设备。

目前MOCVD设备主要用于氮化镓基及砷化镓基半导体材料外延生长，其中氮化镓基LEDMOCVD主要用于生产氮化镓基LED和功率器件的外延片。

除用于制造通用照明和背光显示的蓝光LED，MOCVD设备还可制造应用于高端显示的Mini LED和Micro LED、用于杀菌消毒和空气净化的紫外LED、应用于电力电子的功率器件，随着这些新兴领域的应用拓展及逐步推广，氮化镓基MOCVD设备的市场规模有望进一步扩大。

过去几年，LED客户扩产的主要方向为蓝绿光外延片，应用领域也主要在照明市场。在Mini LED背光及直接显示市场需求的推动下，近两年高端显示类的LED外延片需求量增加明显。基于Micro LED的高端显示应用也开始小规模试生产，预计在未来几年将会有更多的市场

需求。根据TrendForce集邦咨询报道，随着Mini LED背光显示渗透率的提升，以及Mini LED直接显示逐渐进入商显等市场，Mini/Micro LED新型显示带来的LED外延片需求量将快速增长。

2. 公司所处的行业地位分析及其变化情况

目前半导体设备市场主要由欧美、日本等国家的企业所占据。近年来我国半导体设备行业整体水平不断提高。

在刻蚀设备方面，全球刻蚀设备市场呈现垄断格局，泛林半导体、东京电子、应用材料占据主要市场份额；公司刻蚀设备已应用于全球先进的7纳米和5纳米集成电路加工制造生产线。虽然公司在主要客户的市场占有率稳步提升，但目前在销售规模上与全球巨头尚有差距。

在MOCVD设备领域，公司用于氮化镓基LED外延生产的MOCVD设备已在行业领先客户生产线上大规模投入量产，自2017年起已经成为氮化镓基LED市场份额最大的MOCVD设备供应商，并持续保持在行业内的领先地位。

3. 报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势

随着芯片制程的不断提升，在每一代芯片新技术上，晶体管体积都在不断缩小，同时芯片性能不断提升，先进的芯片中已有超过100亿个晶体管。随着工艺的提升，先进芯片从平面MOSFET结构过渡到FinFET（三维鳍式场效应晶体管）晶体管架构。随着晶体管结构的复杂度不断提升，各种半导体设备技术的创新和突破起到决定性作用，对于刻蚀和薄膜沉积技术提出了更高的要求。

FinFET技术路线图（来源：三星电子）

1、等离子体刻蚀技术

刻蚀可以分为湿法刻蚀和干法刻蚀。湿法刻蚀各向异性较差，侧壁容易产生横向刻蚀造成刻蚀偏差，通常用于工艺尺寸较大的应用，或用于干法刻蚀后清洗残留物等。干法刻蚀是目前主流的刻蚀技术，其中以等离子体干法刻蚀为主导。

等离子体刻蚀设备是一种大型真空的全自动的加工设备，一般由多个真空等离子体反应腔和主机传递系统构成。等离子体刻蚀设备的分类与刻蚀工艺密切相关，其原理是利用等离子体放电产生的带化学活性的粒子，在离子的轰击下，与表面的材料发生化学反应，产生可挥发的气体，从而在表面的材料上加工出微观结构。根据产生等离子体方法的不同，干法刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀和电感性等离子体刻蚀；根据被刻蚀材料类型的不同，干法刻蚀主要是刻蚀介质材料、硅材料和金属材料。电容性等离子体刻蚀主要是以高能离子在较硬的介质材料上，刻蚀高深宽比的深孔、沟槽等微观结构；而电感性等离子体刻蚀主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的或较薄的材料。这两种刻蚀设备涵盖了主要的刻蚀应用。

电容性等离子体刻蚀反应腔		电感性等离子体刻蚀反应腔
c

2、刻蚀技术水平发展状况及未来发展趋势

随着国际上先进芯片制程从14纳米到10纳米阶段向7纳米、5纳米及更先进工艺的方向发展，当前光刻机受光波长的限制，需要结合刻蚀和薄膜设备，采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸，使得刻蚀技术及相关设备的重要性进一步提升。下图展示10纳米多重模板工艺原理，涉及多次刻蚀：

10纳米多重模板工艺原理，涉及更多次刻蚀

芯片线宽的缩小及多重模板工艺等新制造工艺的采用，对刻蚀技术的精确度和重复性要求更高。刻蚀技术需要在刻蚀速率、各向异性、刻蚀偏差、选择比、深宽比、均匀性、残留物、等离子体引起的敏感器件损伤、颗粒沾污等指标上满足更高的要求，刻蚀设备随之更新进步，例如：

刻蚀设备的静电吸盘从原来的4个分区扩展到超过20个分区，以实现更高要求的均匀性；更好的腔体温度控制提高生产重复性。

集成电路2D存储器件的线宽已接近物理极限，NAND闪存已进入3D时代。目前64层3DNAND闪存已进入大生产，96层和128层闪存已处于批量生产阶段。3D NAND制造工艺中，增加集成度的主要方法不再是缩小单层上线宽而是增加堆叠的层数。刻蚀要在氧化硅和氮化硅的叠层结构上，加工40：1到60：1甚至更高的极深孔或极深的沟槽。3D NAND层数的增加要求刻蚀技术实现更高的深宽比。

2D NAND及3D NAND示意图

3、MOCVD设备行业在新技术方面近年来的发展情况与未来发展趋势

制造照明用蓝光LED外延片的MOCVD技术已达到较为成熟的阶段，MOCVD设备企业目前主要在提高大规模外延生产所需的性能、降低生产成本、具备大尺寸衬底外延能力等方面进行技术开发，以满足下游应用市场的需求。

公司应用于Mini LED新型显示应用的MOCVD设备已进入批量生产阶段，产品得到超过100腔的订单，已经批量应用在领先客户生产线。

公司应用于Micro LED高端显示的MOCVD设备和应用于碳化硅功率器件的外延设备还处于研发阶段，后续主要将在提升产出波长均匀性，减少外延片颗粒度，提高芯片良率等方面进行技术突破，从而推进产品的不断进步，提升设备的自动化性能以及大尺寸外延片加工能力。

4、LPCVD设备在中前端金属化工艺中的发展状况与未来发展趋势

国际国内先进逻辑器件工艺节点从14nm、7nm向5nm及更先进工艺方向发展，器件互联电阻逐渐增大成为影响器件速度的关键因素。在90nm到28nm的传统工艺节点中，降低接触孔电阻的关键是降低钨膜的电阻率。但是在14nm及更先进工艺节点，金属阻挡层、金属形核层对接触孔阻值的影响越来越明显，如何减少或者消除阻挡层和形核层的电阻是降低接触孔电阻的关键。钴、钼、钌等金属的应用以及无阻挡层的工艺也在更先进工艺节点上开发和应用。先进逻辑器件还需要均匀性和稳定性更好的金属栅的填充技术，以提高器件的性能和稳定性。

随着3D NAND堆叠层数增加，阶梯接触孔的深宽比会达到40：1到60：1以上，这对氮化钛阻挡层的生长和极高深宽比的钨填充都提出了更高的要求，堆叠层数的提高还需要更具挑战性的WL线路填充，包括更高的深宽比和更长的横向填充。

5、所属行业在新产业、新业态、新模式方面近年来的发展情况与未来发展趋势

半导体在技术上的不断突破所带来的应用迭代，改变了许多传统行业亦催生出众多应用，如互联网、智能手机、人工智能、5G等新兴产业。半导体的制造离不开半导体设备，半导体设备行业的持续发展间接地促进了各类新产业的诞生。

集成电路应用领域中，以物联网为代表的新兴产业，在可预见的未来内发展趋势明朗。人工智能、大数据、可穿戴设备、自动驾驶汽车、智能机器人等应用的发展将释放出大量芯片制造的需求，进一步推动上游半导体设备行业的稳步增长。

光电子LED产业中，以LED新型显示为代表的新兴产业，逐渐成为显示行业追逐的热点。当前新兴的小间距LED显示在物理拼缝、显示效果、功耗、使用寿命方面均有优越表现，未来随着Mini LED和Micro LED技术的进一步发展和完善，LED新型显示产业有望成为继LED照明产业后MOCVD应用产业发展最迅速的版块之一。

在化合物半导体功率器件领域，随着新基建、“碳达峰、碳中和”的政策与规划密集推出，化合物半导体在清洁能源、新能源汽车及充电桩、功率器件快充、大数据中心等应用市场的需求已经开始呈现出快速增长趋势。

(四) 核心技术与研发进展

1. 核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况

公司特别重视核心技术的创新。在开发、设计和制造刻蚀设备和MOCVD等设备的过程中，始终强调创新和差异化并保持高强度的研发投入。通过核心技术的创新，公司的产品已达到国际先进水平。

1、刻蚀设备技术

在逻辑集成电路制造环节，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到5纳米等先进的芯片生产线上；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求，已开发出5纳米及更先进刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。公司目前正在配合客户需求，开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖5纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。

在3D NAND芯片制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层和128层的量产，同时公司根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖128层及以上关键刻蚀应用以及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。

此外，公司的电感性等离子刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，根据客户的技术发展需求，正在进行下一代产品的技术研发，以满足5纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产品的ICP刻蚀需求，并进行高产出的ICP刻蚀设备的研发。

2、MOCVD设备技术

公司的MOCVD设备Prismo D-Blue

?

、Prismo A7

?能分别实现单腔14片4英寸和单腔34片4英寸外延片加工能力。公司的Prismo A7

?设备已在全球氮化镓基LED MOCVD市场中占据领先地位。公司研发了用于制造深紫外光LED的高温MOCVD设备Prismo HiT3

?，已在行业领先客户端用于深紫外LED的生产验证并获得重复订单；用于Mini LED生产的MOCVD设备Prismo UniMax

?

，已在领先客户端开始进行规模生产，并取得超过100台的客户订单；制造硅基氮化镓功率器件用MOCVD设备已在客户芯片生产线上验证；此外，制造Micro LED应用的新型MOCVD设备以及用于碳化硅功率器件应用的外延设备等也正在开发中。

3、LPCVD设备技术

公司所开发的钨沉积设备具有优秀的阶梯覆盖率和填充能力，能够满足先进逻辑器件接触孔填充应用，以及64层和128层3D NAND中的多个关键应用。公司还在持续研发新的填充工艺方案，以满足更高深宽比接触孔及沟道电极的需求。

国家科学技术奖项获奖情况

□适用 √不适用

国家级专精特新“小巨人”企业、制造业“单项冠军”认定情况

□适用 √不适用

2. 报告期内获得的研发成果

具体内容见下表报告期内获得的知识产权列表

	本年新增		累计数量
	申请数（个）	获得数（个）	申请数（个）	获得数（个）
发明专利	183	67	1,741	993
实用新型专利	30	63	251	170
外观设计专利	3	4	20	16
软件著作权	9	9	14	14
其他	0	0	4	0
合计	225	143	2,030	1,193

3. 研发投入情况表

单位：元

	本年度	上年度	变化幅度（%）
费用化研发投入	595,314,191.66	562,580,385.67	5.82
资本化研发投入	132,483,790.21	77,206,285.08	71.60
研发投入合计	727,797,981.87	639,786,670.75	13.76
研发投入总额占营业收入比例（%）	23.42	28.14	减少4.72个百分点
研发投入资本化的比重（%）	18.20	12.07	增加6.13个百分点

于2021年度，公司研究开发支出共计727,797,981.87元，政府补助抵减研发费用197,727,048.35元，研究开发支出净额为530,070,933.52元，其中：计入研发费用397,587,143.31元，开发支出资本化132,483,790.21元(于2020年度，本集团研究开发支出共计639,786,670.75元，政府补助抵减研发费用231,858,983.60元，研究开发支出净额为407,927,687.15元，其中：计入研发费用330,721,402.07元，开发支出资本化77,206,285.08元)。研发投入总额较上年发生重大变化的原因

□适用 √不适用

研发投入资本化的比重大幅变动的原因及其合理性说明

√适用 □不适用

公司依据企业会计准则的规定，在研发项目满足特定条件后将相关研发投入予以资本化。本期研发投入资本化的比重较上年同期增加6.13个百分点，这主要系2020年对新研发项目投入较多，由于新研发项目尚未达到可资本化条件，大部分仍处于费用化阶段，而2021年随着研发项目的进度，公司将满足资本化条件的研发投入予以资本化处理。

4. 在研项目情况

√适用 □不适用

单位：亿元

序号	项目名称	预计总投资规模	本期投入金额	累计投入金额	进展或阶段性成果	拟达到目标	技术水平	具体应用前景
1	用于存储器刻蚀的CCP刻蚀设备（128P)	3.60	0.17	1.08	应用拓展阶段	设计开发超低频和超大功率的射频等离子系统及对应的静电吸盘、多区控温性能的上电极、温度可调节的边缘环系统等，满足超高深宽比的刻蚀需求。	追赶国际先进水平	3D NAND，≥128层
2	先进逻辑电路的CCP刻蚀设备	2.38	0.22	1.04	开发阶段	实现等离子体密度分布的可调节，满足均匀性、减少金属污染和颗粒物的要求 。	国际先进水平	7纳米以下逻辑电路刻蚀

3	用于Mini LED大规模生产的高输出量MOCVD设备	1.31	0.36	0.91	开发阶段	研发MOCVD设备，满足Mini LED生产对于外延设备的要求。	国际先进水平	Mini LED背光显示屏、大屏幕电视、平板电脑显示、笔记本电脑显示等
4	用于Micro-LED应用的新型MOCVD设备	1.73	0.27	0.48	研究阶段	研发MOCVD设备，满足Micro LED生产对于外延设备的要求。	国际先进水平	手表，AR/VR，电视等用显示屏
5	用于硅基GaN功率器件生产的MOCVD设备	1.56	0.17	0.38	开发阶段	研发用于8”硅基氮化镓功率器件大规模生产的MOCVD设备及外延生长工艺。	国际先进水平	氮化镓功率元件，电力电子领域
6	用于5-3纳米逻辑芯片制造的ICP刻蚀机	0.47	0.14	0.44	研究阶段	研制成功5纳米的刻蚀设备并完成在先进逻辑芯片生产厂家的评估，并实现销售。完成3纳米刻蚀机Alpha原型机的设计、制造、测试及初步的工艺开发和评估。	国际先进水平	逻辑芯片制造
7	7-5nm ICP刻蚀机项目	2.01	0.16	0.62	开发阶段	本项目针对7-5纳米节点FinFET结构的逻辑芯片制造中对电感式耦合ICP刻蚀工艺的要求，在14纳米ICP刻蚀机基础上，将在腔体结构设计、硅片周围及极边缘温度控制、射频和匹配系统、零部件新材料开发和表面处理等方面进行技术升级开发，研制出7-5纳米ICP刻蚀机样机并制造工程机在客户端验证。	国际先进水平	先进逻辑和DRAM芯片制造
8	用于存储器芯片制造的ICP刻蚀机	0.73	0.18	0.49	开发阶段	面向300mm 3D NAND Flash工艺大生产线需求， 开发用于TSC-ET关键工艺刻蚀设备。	国际先进水平	存储芯片
9	锗硅选择性外延设备研发及产业化	4.50	0.09	0.09	研究阶段	研发12“外延设备，满足逻辑、存储等电路关键工艺要求。	国际先进水平	所有先进的逻辑，存储，射频，传感器等集成电路。覆盖手机，电脑，汽车等广泛领域
10	接触孔用WCVD设备的研发及产业化	2.46	0.18	0.18	研究阶段	开发LPCVD设备，用于逻辑金属接触孔和存储器互联工艺，满足大规模半导体生产厂商对WCVD设备的需求	国际先进水平	半导体大规模生产中逻辑器件钨金属接触孔，存储器的金属接触孔、沟槽，高深宽比接触孔以及金属栅的钨原子层填充，以及其他器件钨金属互联应用
合计	/	20.75	1.94	5.71	/	/	/	/

情况说明无。

5. 研发人员情况

单位:万元 币种:人民币

基本情况
	本期数	上期数
公司研发人员的数量（人）	415	346
研发人员数量占公司总人数的比例（%）	39.60	38.70
研发人员薪酬合计	25,746.80	18,965.68
研发人员平均薪酬	62.04	54.81

研发人员学历结构
学历结构类别	学历结构人数
博士研究生	77
硕士研究生	127
本科	177
专科	20
高中及以下	14
研发人员年龄结构
年龄结构类别	年龄结构人数
30岁以下（不含30岁）	113
30-40岁（含30岁，不含40岁）	214
40-50岁（含40岁，不含50岁）	62
50-60岁（含50岁，不含60岁）	22
60岁及以上	4

研发人员构成发生重大变化的原因及对公司未来发展的影响

□适用 √不适用

6. 其他说明

□适用 √不适用

三、报告期内核心竞争力分析

(一) 核心竞争力分析

√适用 □不适用

公司主要从事半导体及泛半导体设备的研发、生产和销售，为全球半导体制造商及其相关的高科技新兴产业公司提供加工设备和工艺技术解决方案，助力他们提升技术水平、提高生产效率、降低生产成本。公司围绕这一目标，不断加强管理和研发能力，形成了优秀的技术和管理团队持续研发创新并推出有技术和市场竞争力的产品。

（一）突出的创始人及技术团队保证公司在高端半导体设备研发和运营的竞争优势

中微公司的创始团队及技术人员拥有国际领先半导体设备公司的从业经验，是国内具有国际化优势的半导体设备研发和运营团队之一。

中微公司的创始人、董事长及总经理尹志尧博士在半导体芯片和设备产业有超过30年的行业经验，是国际等离子体刻蚀技术发展和产业化的重要推动者之一。中微公司的其他联合创始人、核心技术人员和重要的技术、工程人员，包括杜志游博士、倪图强博士、麦仕义博士、杨伟先生、李天笑先生、郭世平博士、苏兴才博士和刘身健博士等各专业领域的专家，其中很多是在国际半导体设备产业耕耘数十年，为行业发展做出杰出贡献的资深技术和管理专家。他们在参与创立或后续加入中微公司后，不断创造新的技术、工艺和设计，为公司产品和技术发展做出了不可替代的贡献。

中微公司以合作共赢的团队精神和全员持股的激励制度，吸引了来自世界各地具有丰富经验的半导体设备专家，形成了成熟的研发和工程技术团队。截至报告期末，公司共有研发人员415

名，占员工总数的39.6%，涵盖了等离子体物理、射频及微波学、结构化学、微观分子动力学、光谱及能谱学、真空机械传输等相关学科的专业人员。凭借研发团队多年的努力以及持续不断的研发投入，公司成功研发了具有市场竞争力的半导体刻蚀设备及MOCVD设备，并实现了大规模产业化，积累了丰富的研发和产业化密切结合的经验和雄厚的技术、专利储备。

公司成功打造了一支具有创造力和竞争力的技术和研发团队，有力地保障了公司产品和服务不断创新改进。

（二）持续高水平的研发投入，提前布局产业发展

持续较高水平的研发投入是公司保持核心竞争力的关键。半导体制造对设备的可靠性、稳定性和一致性提出了极高的要求，半导体设备行业技术门槛较高，行业新进入者需要经过较长时间的技术积累才能进入该领域。

公司面向世界先进技术前沿，以国际先进的研发理念为依托，专注于高端微观加工设备的自主研发和创新。公司始终保持大额的研发投入和较高的研发投入占比，报告期内研发投入达到

7.28亿元，占营业收入的比重为23.42%。公司具有一支技术精湛、勇于创新的国际化人才研发队伍，形成了良好的企业创新文化，为公司持续创新和研发提供保障力量。

公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验，这一优势保证了公司产品和服务的不断进步。公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至2021年12月31日，公司已申请2,012项专利，其中发明专利1,741项；已获授权专利1,179项，其中发明专利993项。

在逻辑集成电路制造环节，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求持续进行设备开发和工艺优化。在3D NAND芯片制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层和128层的量产，电感性等离子体刻蚀设备技术已应用于64层的量产，同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺；公司也根据逻辑器件客户的需求，正在开发更先进刻蚀应用的设备。公司的MOCVD设备Prismo A7

?、Prismo UniMax

?

能分别实现单腔单腔34片4英寸和41片4英寸外延片加工能力。公司的PrismoA7与Prismo UniMax

?

设备技术实力突出，已在全球氮化镓基LED MOCVD市场中占据领先地位。公司和诸多一流的LED外延片厂商公司紧密合作，实现了产业深度融合。公司开发的12英寸低压薄膜沉积设备可以用于先进逻辑电路接触孔填充工艺，以及64层和128层3D NAND的多个工艺的制程要求，同时公司还致力于更先进逻辑电路的接触孔填充设备和更多层数的存储器件接触孔和金属互联填充设备的开发和工艺验证。公司高端设备产品和技术处于世界先进水平，产品研发提前布局，符合行业发展趋势。

（三）持续优化营销和服务网络，打造客户认证及服务优势

经过多年的努力，公司凭借在刻蚀设备及MOCVD设备领域的技术和服务优势，产品已成功进入了海内外半导体制造企业，形成了较强的客户资源优势。

半导体设备制造商的售后服务尤为关键，关系到设备能否在客户生产线上正常、稳定地运行。随着半导体制造环节向亚洲转移，相较于国际竞争对手，公司在地域上更接近主流客户，能提供快捷的技术支持和客户维护。公司良好的产品性能表现以及专业售后服务能力已在业内树立了良好的品牌形象。

（四）持续拓展泛半导体设备产品，扩大产品覆盖优势

公司的设备产品覆盖集成电路、MEMS、LED、平板显示等不同的下游半导体应用市场，具有不同的周期性，多产品覆盖能够一定程度平抑各细分市场波动对公司业绩带来的影响。

（五）建立全球化采购体系，持续提升公司生产交付的服务水平

公司对于零部件供应商的选择十分慎重，对供应商的工艺经验、技术水平、商业信用进行严格考核，并对零部件进行严格测试。公司建立了全球化的采购体系，与全球约400家供应商建立了稳定的合作关系。同时，公司注重零部件的本土化，在国内培育了众多的本土零部件供应企业，有力地保障了公司产品零部件供应和服务水平的持续提升。

（六）充分发挥员工积极性，推动高效和谐的企业文化

公司高度重视企业管理文化建设，经过多年的实践发展，形成了以“产品开发的十大原则”“战略销售的十大准则”“营运管理的十大章法”“精神文化的十大作风”为核心的企业管理文化。秉承“攀登勇者，志在巅峰”企业精神，不断攀登新的发展高峰。

公司在成立初期就为设备的产业化确立了十项设计和开发的基本原则：（1）为达到工艺加工的最高要求和产品的最好性能而设计；（2）为实现工艺过程的重复性和稳定性而设计；（3）为确保设备的可靠性和耐用性而设计；（4）为保障设备的高输出量和高效率而设计；（5）为设备安全性和减少环境污染而设计；（6）为设备容易加工和容易制造而设计；（7）为设备容易维修和容易服务而设计；（8）为设备模板化、容易更新和改进而设计；（9）为设备最大程度的标准化和统一化而设计；（10）为设备运行低成本、低能耗、低损耗和高利润而设计。遵循这十项原则，公司在最初开发和设计的阶段就充分考虑设备在生产线上可能出现的问题和解决方案，使得公司开发的产品能较快地实现产业化，成为操作简单、性能可靠、好用耐用的设备。

公司业务发展战略和销售十大准则：（1）三维市场和产品发展策略；（2）有机成长和外延扩展策略；（3）策略客户导向与市场引领的策略；（4）立足中国和全球布局的策略；（5）自立自强和合纵连横策略；（6）新产品导入策略；（7）关键客户管理策略；（8）谈判策略与技巧；（9）客户组织内全方位的布局管理；（10）客户服务策略。

公司运营管理的十大章法：（1）目标管理制度 (MBO)；（2）关键指标管理制度 (KPI)；

（3）民主集中制的决策机制；（4）全员持股的股权和期权激励制度；（5）跨部门合作的矩阵管理制度；（6）严格且智能的生产和供应链管理制度；（7）系统且严格的质量、环境和职业健康安全管理制度（QEHS）；（8）严格的法务和知识产权管理制度；（9）季度审查总结会制度(QCR)；（10）科创企业的财务管理。

公司精神文化的十大作风：（1）自强自立，主动积极；（2）志存高远，进取不息；（3）诚信务实，说到做到；（4）大胆建言，勇于创新；（5）严守机密，纪律严明；（6）看人长处，认己不足；（7）换位思考，善于倾听；（8）厚德载物，乐于助人；（9）智慧决策，全力执行；（10）大局为重，合作共赢。

(二) 报告期内发生的导致公司核心竞争力受到严重影响的事件、影响分析及应对措施

□适用 √不适用

四、风险因素

(一) 尚未盈利的风险

□适用 √不适用

(二) 业绩大幅下滑或亏损的风险

□适用 √不适用

(三) 核心竞争力风险

√适用 □不适用

核心竞争力是企业在激烈市场竞争中赖以生存的差异化优势资源。目前，公司的核心竞争力主要体现在与产品有关的技术优势及产品服务解决方案上。如果公司未来难以保持在市场中的技术领先优势，没有开发其他具有竞争力的产品，不能提供满足客户需求的定制化服务等，公司的核心竞争力将受到影响。

(四) 经营风险

√适用 □不适用

1、下游客户资本性支出波动较大及行业周期性特点带来的风险

近年来，设备市场周期性波动态势给公司带来相应的经营风险。在行业景气度提升过程中，产业往往加大资本性支出，快速提升对相关设备的需求；在行业景气度下降过程中，产业则可能削减资本支出，进而对设备的需求产生不利影响。

公司的销售和盈利情况也会受到上述影响发生相应波动，造成相应的经营风险。

2、下游客户扩产不及预期的风险

近年来，晶圆厂和LED外延片制造商审慎地进行扩产。不能排除下游个别晶圆厂和LED外延片制造商的后续投资不及预期，对相关设备的采购需求减弱，这将影响公司的订单量，进而对公司的业绩产生不利影响。

3、客户集中度较高的风险

经过多年的努力，公司产品已经成功进入了海内外知名芯片制造企业的供应链体系，公司客户结构得到不断优化，但客户集中度仍然较高。虽然公司与主要客户的合作关系较为稳固，且随着公司加大市场推广，公司的客户及产品结构日趋多元化，但客户集中度较高可能给公司的经营

带来一定风险。如果主要客户的生产经营发生重大问题或财务状况出现恶化，将会对公司的产品销售和应收账款的及时回收等产生不利影响。

4、全体员工持股带来的公司治理风险

作为科技创新型企业，公司秉承扁平化的全员激励原则，对不同层级员工均给予股权激励。员工持股计划涉及公司全体员工的个人利益，在员工持股计划限售期届满后，如何实现员工保持相当的激励水平，对公司的管理能力提出了一定的挑战。如果未来公司未能有效地管理员工持股计划，未能使员工持股计划持续作为员工整体薪酬的重要组成部分，将可能导致公司人员流失等治理风险。

在实施过程中，公司根据企业会计准则相关规定确认股份支付费用，上市后相关股份支付费用计入经常性损益，该等费用将对归属期内各年度扣非后净利润构成一定影响。由此，发行人实施员工持股计划可能面临股份支付费用影响短期经营业绩的风险。

5、政府补助与税收优惠政策变动的风险

公司自成立以来先后承担了多项国家和地方重大科研项目，2021年公司计入当期损益的政府补助金额为3.90亿元。如果公司未来不能持续获得政府补助或政府补助显著降低，将会对公司经营业绩产生不利影响。

公司为高新技术企业，报告期内公司享受高新技术企业15%所得税的优惠税率，如果国家上述税收优惠政策发生变化，或者公司未能持续获得高新技术企业资质认定，则可能面临因税收优惠减少或取消而降低盈利的风险。

(五) 财务风险

□适用 √不适用

(六) 行业风险

√适用 □不适用

1、行业政策变化风险

国家出台了一系列鼓励政策以推动我国集成电路、LED及其装备制造业的发展，增强信息产业创新能力和国际竞争力。若未来国家相关产业政策支持力度减弱，将对公司发展产生一定影响。

2、国际贸易摩擦加剧风险

近年来，国际贸易摩擦不断。中美贸易摩擦在众多国际贸易摩擦中备受关注。报告期内，公司不存在向美国地区销售产品的情况。公司采购来自美国的原材料总额占公司采购总额的比例较低。根据美国商业出口管制政策，公司采购自美国的原材料中存在极小部分需办理相应的许可证原材料。对于前述原材料，公司已取得了相关许可。美国国防部网站2021年1月14日将中微开曼加入中国涉军企业名单。公司一直坚持合法合规经营，并严格遵守各经营地的包括出口管制在

内相关法律法规，公司产品和服务从未涉及任何军事用途。上述情况对公司生产经营没有实质影响。2021年6月9日，公司获悉中微开曼从美国国防部中国涉军企业名单中删除。

公司始终严格遵守中国和他国法律，一直保持与相关国家政府部门的及时沟通。公司拥有部分海外业务，存在一定的国际贸易摩擦风险。

3、上游供应链产能紧张的风险

近年来，受疫情影响，随着全球经济和日常生活的加速数字化转型，半导体行业保持高景气周期，半导体器件供应链持续紧张。公司科学管理供应厂商，对关键零部件供应商采取多厂商策略保障零部件及时供应。受部分上游零部件供应商交付延迟影响，公司设备产品交期有所延长，若未来上游供应链产能紧张形势延续，将对公司设备交期产生不利影响。

(七) 宏观环境风险

√适用 □不适用

半导体及LED设备行业受下游市场及终端消费市场需求波动的影响，其发展往往呈现一定的周期性，如果未来宏观经济疲软，终端消费市场的需求尤其是增量需求下滑，客户将会减少设备的采购，行业将面临一定的波动风险。

(八) 存托凭证相关风险

□适用 √不适用

(九) 其他重大风险

√适用 □不适用

1、知识产权风险

半导体设备行业是典型的技术密集型行业，为了保持技术优势和竞争力，防止技术外泄风险，已掌握先进技术的半导体设备企业通常会通过申请专利等方式设置较高的进入壁垒。公司一贯重视自主知识产权的研发，建立了科学的研发体系及知识产权保护体系，但仍不能排除与竞争对手产生知识产权纠纷，亦不能排除公司的知识产权被侵权，此类知识产权争端将对公司的正常经营活动产生不利影响。

公司在全球范围内销售产品，在多个国家或地区注册知识产权，但不同国别、不同的法律体系对知识产权的权利范围的解释和认定存在差异，若引发争议甚至诉讼将影响业务经营。

此外，产业链上下游供应商与客户的经营也可能受知识产权争议、诉讼等因素影响，进而间接影响公司正常的生产经营。

2、人才资源风险

关键技术人员是公司生存和发展的关键，也是公司获得持续竞争优势的基础。公司已经通过全员持股方式，有效提高关键人员和研发团队的忠诚度和凝聚力。但随着行业对专业人才的需求与日俱增，人才竞争不断加剧。若公司不能提供优质的发展平台、有竞争力的薪酬待遇及良好的

研发条件，存在关键人员流失的风险，进而可能对公司研发项目的实施和进程等方面造成一定的影响。

公司拥有大量技术和管理资深专家，集聚并培养了一大批行业内顶尖的技术人才。但如果未能持续引进、培养、激励顶尖技术人才，公司将面临专业技术人才不足的风险，进而可能导致在技术突破、产品创新方面有所落后。此外，创始人团队对公司日常生产经营及技术研发具有重要作用，公司十分注重保障创始人团队的稳定性，创始人团队在可预期的未来发生变动的可能性较低，但如公司创始人团队出现重大变动，将可能对公司的在研项目进程、客户关系维护、日常经营管理等方面造成一定的影响。

3、投资及并购风险

针对契合中微公司的中长期发展战略、有发展潜力的标的公司或部门，中微公司计划通过股权投资、并购等方式进行布局，以拓展公司业务领域，培育新的利润增长点，进一步提升公司防范市场波动风险并提升公司盈利能力。在进行投资和并购项目实施过程中，将面临投资风险及并购风险。

（1）投资风险

基于产业支持政策、市场环境和发展趋势，公司经过充分的可行性研究作出项目投资决策。公司投资项目标的企业在后续发展过程中，可能面临产业政策变化、市场环境变化、产品技术水平不达预期等诸多不确定因素，可能导致其实际经营表现不达预期，进而导致投资项目的实际效益与预期结果存在较大差异。

（2）并购风险

公司强调稳健发展，坚持实施内生性增长与外延式并购相结合的发展策略。虽然公司未来并购时将继续秉承审慎原则，相应制定整合计划，防范并购风险，但若出现宏观经济波动、市场竞争加剧、被并购公司业绩低于预期或协同效应未出现等情形，将对公司的经营业绩产生不利影响。

4、疫情风险

受新冠疫情影响，全球经济面临较大下行压力，国内行业的健康发展也受到一定影响；疫情爆发对行业上下游的影响仍在持续，市场对公司所处行业上下游的影响也传递至公司，对公司的经营造成一定影响。

五、报告期内主要经营情况

2021年度，公司实现营业收入31.08亿元，同比增长36.72%，实现归属于上市公司股东净利润10.11亿元，同比增长105.49%。

(一) 主营业务分析

1. 利润表及现金流量表相关科目变动分析表

单位：元 币种：人民币

科目

本期数

上年同期数

变动比例

			（%）
营业收入	3,108,134,730.67	2,273,291,898.06	36.72
营业成本	1,760,588,922.07	1,417,050,103.40	24.24
销售费用	296,053,005.80	236,663,836.29	25.09
管理费用	202,612,097.80	153,003,346.20	32.42
财务费用	-70,864,091.22	-7,424,808.14	不适用
研发费用	397,587,143.31	330,721,402.07	20.22
经营活动产生的现金流量净额	1,016,256,088.40	846,292,855.04	20.08
投资活动产生的现金流量净额	-6,230,057,056.37	-536,849,649.16	不适用
筹资活动产生的现金流量净额	8, 285,651,405.34	543,400.60	1, 524,677.74

营业收入变动原因说明：受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2021年刻蚀设备收入为20.04亿元，较2020年增长约55.44%，毛利率达到44.32%；由于下游市场原因以及本年新签署的Mini LED MOCVD设备规模订单尚未确认收入，2021年MOCVD设备收入为5.03亿元，较2020年增长约1.53%，但MOCVD设备的毛利率达到33.77%，较2020年的18.65%有大幅度提升。营业成本变动原因说明：随公司业务规模的扩大而增长，与公司营业收入规模相匹配。销售费用变动原因说明：主要系本期职工薪酬增加约2,277万元，以及股份支付费用增加约2,403万。管理费用变动原因说明：主要系本期职工薪酬增加约3,382万元, 以及股份支付费用增加约1,924万元。财务费用变动原因说明：主要系本期利息收入增加6,680万元。研发费用变动原因说明：主要系本期职工薪酬增加约6,358万元。经营活动产生的现金流量净额变动原因说明：主要系本期销售商品、提供劳务收到的现金较上年同期增加。投资活动产生的现金流量净额变动原因说明：主要系本期净购买银行理财产品较上年同期增加。筹资活动产生的现金流量净额变动原因说明：主要系本期完成再融资及员工行权事项。

本期公司业务类型、利润构成或利润来源发生重大变动的详细说明

□适用 √不适用

2. 收入和成本分析

√适用 □不适用

受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，2021年刻蚀设备收入为20.04亿元，较2020年增长约55.44%，毛利率达到44.32%；由于下游市场原因以及本年新签署的Mini LEDMOCVD设备规模订单尚未确认收入，2021年MOCVD设备收入为5.03亿元，较2020年增长约1.53%，但MOCVD设备的毛利率达到33.77%，较2020年的18.65%有大幅度提升。

(1). 主营业务分行业、分产品、分地区、分销售模式情况

单位:元 币种:人民币

主营业务分行业情况
分行业	营业收入	营业成本	毛利率（%）	营业收入比上年增减（%）	营业成本比上年增减（%）	毛利率比上年增减（%）
半导体	3,108,134,730.67	1,760,588,922.07	43.36	36.73	24.25	增加

设备收入						5.69个百分点
主营业务分产品情况
分产品	营业收入	营业成本	毛利率（%）	营业收入比上年增减（%）	营业成本比上年增减（%）	毛利率比上年增减（%）
专用设备	2,507,218,351.50	1,449,189,502.14	42.20	39.39	28.53	增加4.88个百分点
备品备件	555,629,278.93	294,933,019.19	46.92	25.79	7.07	增加9.28个百分点
设备维护	45,287,100.24	16,466,400.74	63.64	38.53	17.38	增加6.55个百分点
主营业务分地区情况
分地区	营业收入	营业成本	毛利率（%）	营业收入比上年增减（%）	营业成本比上年增减（%）	毛利率比上年增减（%）
大陆地区	2,664,101,374.12	1,524,614,902.19	42.77	47.21	30.45	增加7.35个百分点
台湾地区	376,387,876.92	203,752,517.98	45.87	-6.79	-6.96	增加0.10个百分点
其他国家和地区	67,645,479.63	32,221,501.90	52.37	13.25	9.82	增加1.49个百分点
主营业务分销售模式情况
销售模式	营业收入	营业成本	毛利率（%）	营业收入比上年增减（%）	营业成本比上年增减（%）	毛利率比上年增减（%）
直销	3,108,134,730.67	1,760,588,922.07	43.36	36.73	24.25	增加5.69个百分点

主营业务分行业、分产品、分地区、分销售模式情况的说明报告期内，公司半导体设备收入实现增长36.73%，同时毛利率较上年增加5.69个百分点，其中专用设备实现收入25.07亿元，同比增长39.39%，公司整体盈利水平持续提高。从地区来看，公司主要收入来源为大陆地区。报告期内，大陆地区营业收入增长显著，达

47.21%，台湾地区营业收入略有下降，降幅6.79%。

(2). 产销量情况分析表

√适用 □不适用

主要产品	单位	生产量	销售量	库存量	生产量比上年增减（%）	销售量比上年增减（%）	库存量比上年增减（%）
专用设备	腔	491	349	257	66.44	43.03	82.27

产销量情况说明无。

(3). 重大采购合同、重大销售合同的履行情况

□适用 √不适用

(4). 成本分析表

单位：元

分行业情况
分行业	成本构成项目	本期金额	本期占总成本比例(%)	上年同期金额	上年同期占总成本比例(%)	本期金额较上年同期变动比例(%)	情况 说明
半导体设备	直接材料	1,592,179,767.18	90.43	1,269,268,336.26	89.58	25.44
	直接人工	22,961,256.43	1.30	19,793,666.73	1.40	16.00
	制造费用	145,447,898.46	8.26	127,896,433.05	9.03	13.72
	合计	1,760,588,922.07	100.00	1,416,958,436.04	100.00	24.25
分产品情况
分产品	成本构成项目	本期金额	本期占总成本比例(%)	上年同期金额	上年同期占总成本比例(%)	本期金额较上年同期变动比例(%)	情况 说明
半导体设备	直接材料	1,281,160,717.91	88.38	979,778,576.47	86.90	30.76	营业收入增长下营业成本增加
	直接人工	22,961,256.43	1.58	19,793,666.73	1.76	16.00
	制造费用	145,447,898.46	10.03	127,896,433.05	11.34	13.72
	合计	1,449,569,872.80	100.00	1,127,468,676.25	100.00	28.57
备品备件		294,572,368.82	100.00	275,461,001.49	100.00	6.94
服务成本		16,446,680.45	100.00	14,028,758.30	100.00	17.24

成本分析其他情况说明无。

(5). 报告期主要子公司股权变动导致合并范围变化

□适用 √不适用

(6). 公司报告期内业务、产品或服务发生重大变化或调整有关情况

□适用 √不适用

(7). 主要销售客户及主要供应商情况

A.公司主要销售客户情况

前五名客户销售额165,701.58万元，占年度销售总额53.31%；其中前五名客户销售额中关联方销售额28,230.46万元，占年度销售总额9.08%。

公司前五名客户

√适用 □不适用

单位：万元 币种：人民币

序号	客户名称	销售额	占年度销售总额比例（%）	是否与上市公司存在关联关系
1	客户一	66,677.77	21.45	否
2	客户二	28,230.46	9.08	是
3	客户三	25,189.73	8.10	否
4	客户四	23,176.55	7.46	否
5	客户五	22,427.07	7.22	否
合计	/	165,701.58	53.31	/

报告期内向单个客户的销售比例超过总额的50%、前5名客户中存在新增客户的或严重依赖于少数客户的情形

□适用 √不适用

B.公司主要供应商情况前五名供应商采购额72,507.02万元，占年度采购总额30.75%；其中前五名供应商采购额中关联方采购额0万元，占年度采购总额0%。

公司前五名供应商

√适用 □不适用

单位：万元 币种：人民币

序号	供应商名称	采购额	占年度采购总额比例（%）	是否与上市公司存在关联关系
1	供应商一	21,826.49	9.26	否
2	供应商二	15,664.14	6.64	否
3	供应商三	12,790.33	5.42	否
4	供应商四	11,221.74	4.76	否
5	供应商五	11,004.32	4.67	否
合计	/	72,507.02	30.75	/

报告期内向单个供应商的采购比例超过总额的50%、前5名供应商中存在新增供应商的或严重依赖于少数供应商的情形

□适用 √不适用

3. 费用

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

科目	本期金额	上年同期额	变动比例(%)	情况说明
销售费用	296,053,005.80	236,663,836.29	25.09	主要系本期职工薪酬增加约2,277万元，以及股份支付费用增加约2,403万
管理费用	202,612,097.80	153,003,346.20	32.42	主要系本期职工薪酬增加约3,382万元,

				以及股份支付费用增加约1,924万元
研发费用	397,587,143.31	330,721,402.07	20.22	主要系本期职工薪酬增加约6,358万元
财务费用	-70,864,091.22	-7,424,808.14	854.42	主要系本期利息收入增加6,680万元
所得税费用	121,545,287.08	20,390,283.60	496.09	主要系本期税前利润增加导致本期所得税费用增加

4. 现金流

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

科目	本期金额	上年同期额	变动比例(%)	情况说明
经营活动产生的现金流量净额	1,016,256,088.40	846,292,855.04	20.08	主要系本期销售商品、提供劳务收到的现金较上年同期增加
投资活动产生的现金流量净额	-6,230,057,056.37	-536,849,649.16	不适用	主要系本期净购买银行理财产品较上年同期增加
筹资活动产生的现金流量净额	8,285,651,405.34	543,400.60	1,524,677.74	主要系本期完成再融资及员工行权事项

(二) 非主营业务导致利润重大变化的说明

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

科目	金额（元）	形成原因说明	是否具有可持续性
公允价值变动损益	293,698,146.49	公司2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）3亿元而间接持有中芯国际股票，因中芯国际集成电路制造有限公司股价变动以及公司减持部分中芯国际股票合计造成公允价值变动损益-0.90亿元。 经评估师事务所评估，其他非流动金融资产（非上市公司股权投资）本期产生公允价值变动损益约3.70亿元。 理财产品利息收入0.11亿元。	否

其他收益

192,406,762.57

收到的政府补贴。

是

(三) 资产、负债情况分析

√适用 □不适用

1. 资产及负债状况

单位：元

项目名称	本期期末数	本期期末数占总资产的比例（%）	上期期末数	上期期末数占总资产的比例（%）	本期期末金额较上期期末变动比例（%）	情况说明
货币资金	8,658,859,679.52	51.75	1,131,669,784.82	19.51	665.14	本期收到再融资募集资金净额81.25亿元
应收票据	95,891,359.00	0.57	105,477,921.32	1.82	-9.09
应收账款	508,609,562.73	3.04	278,869,785.15	4.81	82.38	本期销售增长下应收账款余额增加
合同资产	26,860,386.00	0.16	-	-	不适用	根据新收入准则，公司确认合同资产
其他应收款	17,538,132.60	0.10	32,808,408.70	0.57	-46.54	保证金及押金余额较上年末减少
预付款项	20,849,717.51	0.12	9,102,717.62	0.16	129.05	采购增长下预付款增加
存货	1,762,247,518.36	10.53	1,063,864,875.83	18.34	65.65	本期订单大幅增加，存货相应增加
交易性金融资产	2,510,610,074.74	15.00	1,505,200,119.62	25.95	66.80	资金规模扩大，购买的理财产品增加
其他流动资产	129,246,716.82	0.77	70,641,210.02	1.22	82.96	待抵扣进项税及预缴所得税增加
固定资产	218,364,577.95	1.30	182,946,651.32	3.15	19.36
在建工程	407,283,807.25	2.43	13,944,386.94	0.24	2,820.77	本期新建临港和南昌厂房
无形资产	572,857,173.17	3.42	289,266,460.84	4.99	98.04	本期新增临港土地使用权1.9亿元
开发支出	252,125,305.11	1.51	271,208,056.35	4.68	-7.04
使用权资产	15,186,008.38	0.09	-	0.00	不适用	根据新租赁准则，公司确

						认租赁相关的使用权资产
长期待摊费用	505,327.26	0.00	2,734,115.91	0.05	-81.52
长期股权投资	554,503,905.01	3.31	424,269,937.29	7.31	30.70	本期新增对睿励仪器的股权投资1.05亿元
投资性房地产	7,033,922.21	0.04	7,447,415.65	0.13	-5.55
长期应收款	21,807,924.96	0.13	32,208,048.56	0.56	-32.29	本期末应收产品销售款减少
其他非流动金融资产	815,041,400.00	4.87	235,055,000.00	4.05	246.74	本期新增非上市公司股权投资本金2.1亿元，以及根据评估师事务所的评估结果，已投资的非上市公司股权本期产生公允价值变动损益约3.7亿元
其他非流动资产	133,796,500.21	0.80	144,162,000.00	2.49	-7.19
递延所得税资产	3,770,005.16	0.02	-	0.00	不适用
应付账款	734,629,687.54	4.39	422,217,875.80	7.28	73.99	主要系采购增加
合同负债	1,372,363,466.36	8.20	592,139,816.14	10.21	131.76	本期订单大幅增加，预收账款相应增加
应付职工薪酬	132,341,500.04	0.79	106,560,316.11	1.84	24.19
应交税费	20,340,583.65	0.12	18,933,391.30	0.33	7.43
其他应付款	247,226,956.93	1.48	29,998,179.58	0.52	724.14	主要系应付建设款和固定资产采购款增加
一年内到期的非流动负债	12,235,901.05	0.07	-	0.00	不适用	根据新租赁准则，公司确认租赁相关的租赁负债

其他流动负债	52,026,564.18	0.31	62,781,288.38	1.08	-17.13
预计负债	10,033,714.45	0.06	16,067,280.23	0.28	-37.55	主要系一年内到期的预计负债转入其他流动负债
递延收益	145,884,091.62	0.87	173,156,162.00	2.98	-15.75
长期应付职工薪酬	3,206,858.15	0.02	3,385,625.20	0.06	-5.28
租赁负债	4,441,995.63	0.03	-	0.00	不适用	根据新租赁准则，公司确认租赁相关的租赁负债
递延所得税负债	56,957,438.58	0.34	6,329,976.78	0.11	799.80	主要系本期因公允价值变动损益产生的暂时性差异确认递延所得税负债
其他非流动负债	1,100,000.00	0.01	-	0.00	不适用

其他说明无。

2. 境外资产情况

√适用 □不适用

(1) 资产规模

其中：境外资产4.23（单位：亿元 币种：人民币），占总资产的比例为2.53%。

(2) 境外资产占比较高的相关说明

□适用 √不适用

3. 截至报告期末主要资产受限情况

□适用 √不适用

4. 其他说明

□适用 √不适用

(四) 行业经营性信息分析

√适用 □不适用

请参阅本报告“第三节、公司业务概要中‘一、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况及研发情况说明’”中相关内容。

五、投资状况分析

对外股权投资总体分析

√适用 □不适用

报告期投资额（万元）	上年同期投资额（万元）	变动幅度
31,000.00	79,233.86	-60.9%

本报告期末，公司对外股权投资余额为173,521.10万元。

1. 重大的股权投资

√适用 □不适用

-对睿励仪器增资公司于2021年一季度完成了对睿励仪器1亿元的增资事项。睿励仪器成立于2005年6月27日，致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产，是国内少数几家进入国际领先的12英寸生产线的高端装备企业之一，并且是国内唯一进入某韩国领先芯片生产企业的国产集成电路设备企业。睿励仪器主营的产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备，以及硅片厚度及翘曲测量设备等。睿励仪器自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000 系列产品，已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线并在进行了14纳米工艺验证，在3D存储芯片产线支持64层3D NAND芯片的生产，并正在验证96层3D NAND芯片的测量性能。公司投资睿励仪器以使本公司能够布局集成电路工艺检测设备领域，有利于拓展公司业务范围，符合公司战略规划。公司在完成该1亿元的投资后，累计持有睿励仪器20.45%的股份，并委派尹志尧出任睿励仪器的董事长。

2. 重大的非股权投资

□适用 √不适用

3. 以公允价值计量的金融资产

√适用 □不适用

单位：元

项目	性质	期末余额	初始投资金额	本期公允价值变动损益
交易性金融资产-银行理财产品	银行理财产品	2,144,944,418.88	2,130,000,000.00	14,944,418.88
交易性金融资产-交易性权益工具投资	股权投资	365,665,655.86	300,000,000.00	-90,449,698.29
其他非流动金融资产	非交易性权益工具投资	815,041,400.00	445,055,000.00	369,986,400.00

4. 报告期内重大资产重组整合的具体进展情况

□适用 √不适用

(五) 重大资产和股权出售

□适用 √不适用

(六) 主要控股参股公司分析

√适用 □不适用

公司名称	主营业务	注册资本	持股比例	总资产（万元）	净资产（万元）	营业收入（万元）	净利润（万元）
中微国际	主要负责公司海外的销售	126,738,810新加坡元	100%	47,034.46	5,532.78	42,937.55	-788.10
中微南昌	MOCVD设备的研发、设计、生产、销售	2,500万元	100%	193,581.63	28,776.28	62,940.49	16,991.93
中微厦门	MOCVD设备和刻蚀设备的销售	2,000万元	100%	19,532.67	3,367.24	17,997.12	-217.33
中微临港	半导体设备的研发、设计、生产、销售	100,000万元	100%	89,065.72	63,932.24	24,520.77	-4,096.17

(七) 公司控制的结构化主体情况

□适用 √不适用

六、公司关于公司未来发展的讨论与分析

(一) 行业格局和趋势

√适用 □不适用

数码产业的发展正在改变人类的生产和生活方式。集成电路芯片和各种半导体微观器件是信息产业的基础和核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。半导体制造设备是半导体产业进步的核心工具，是实现集成电路性能提升的关键，是半导体技术迭代的基石，发展集成电路及装备产业对我国的经济结构调整升级具有重要的战略意义。从历史上看，推全球半导体产业成长迅猛。根据WSTS的数据统计，2021年全球半导体销售达到5559亿美元，同比增长26.2%。中国仍然是最大的半导体市场，2021年的销售额总额为1925亿美元，同比增长27.1%，创历史新高。伴随着新应用推动市场需求的持续旺盛，半导体设备行业将受益于半导体产业的发展。5G、物联网、大数据、人工智能以及汽车电子等新技术和新产品的应用，将带来庞大的半导体市场需求。半导体设备位于半导体产业链的上游，其市场规模随着下游半导体技术发展和市场需求而波动，根据SEMI的统计，2021年全球半导体设备市场规模创新高达到1130亿美元，并在2022年保持增长。目前国内半导体设备市场主要由欧美、日本等国家的企业所占据。近年来我国设备行业技术水平不断提高，国产设备在产品性价比、售后服务、贴近客户等方面的优势逐渐显现。作为全球最大的半导体消费市场，市场需求带动全球产能中心逐步向中国大陆转移，持续的产能转移带动了市场规模和技术水平的提高，也为设备行业的发展提供了机遇。

(二) 公司发展战略

√适用 □不适用

公司目前开发的产品以半导体前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积等关键设备为主，并逐步开发先进封装、MEMS、蓝绿光及紫外LED、Mini LED、Micro LED等泛半导体设备产品。未来，在强化内生成长的同时，公司考虑通过并购等外延式成长途径扩大产品和市场覆盖，并将继续探索核心技术在国计民生中创新性的应用。

公司所处的半导体设备产业具有广阔的成长空间。公司正在研发的设备可应用于先进封装、MEMS、Mini LED和Micro LED等处于市场潜力巨大的新兴领域。公司将继续通过自主研发进一步提高公司产品的竞争力，为客户提供品质一流、性能创新的产品和优良快捷的服务，努力提高市场份额。公司将紧紧抓住半导体产业发展的机遇，不断提升技术水平和市场竞争力，引领国内半导体设备和技术的发展。

公司已形成三个维度扩展未来公司业务的布局规划：深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会。在集成电路设备领域，公司考虑扩大在刻蚀设备领域的竞争优势，延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域；公司计划扩展在泛半导体领域设备的应用，布局显示、MEMS、功率器件、太阳能领域的关键设备；公司拟探索其他新兴领域的机会，利用独特的设备及工艺技术，考虑从设备制造向器件大规模生产的机会，以及探索更多集成电路及泛半导体设备生产线相关环保设备及医疗健康智能设备等领域的市场机会。公司将围绕自身核心竞争力，通过自主创新、有机生长，结合适当的投资、兼并策略，不断推动企业健康发展。

(三) 经营计划

√适用 □不适用

公司将紧紧围绕整体发展战略，以技术创新为核心发展动力，以市场为导向，不断提高经营管理水平，通过技术突破、新产品研制开发、人才培养、市场开拓、兼并收购、内控建设等多方面工作，加强公司领先优势，加快战略项目拓展，巩固并提升市场占有率。

1、产品研发方面

公司将不断完善研发管理机制和创新激励机制，对在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出突出贡献的技术研发人员给予奖励，激发技术研发人员的工作热情。公司将持续加大研发投入力度，搭建更好的研发实验环境，为技术突破和产品创新提供重要的基础和保障。

设备的研发方面，公司在持续改善现有设备的性能的同时，将根据先进逻辑芯片和高密度存储DRAM和3D NAND芯片的不同刻蚀需求，细分产品，开发不同的硬件特征，提高产品针对不同应用的刻蚀性能，满足不同客户的需求。与此同时，公司会根据客户的研发需求，定义下一代产品的技术指标和技术路线，开发能满足客户需求的新产品。在薄膜沉积设备研发方面，公司将进一步开发LPCVD、EPI和ALD产品，提升高端关键制程的覆盖率，完善工艺整合方案，满足客户在的新的技术节点上对薄膜沉积设备的需求。

针对第三代半导体设备市场，公司将根据高端显示应用对于外延设备的新需求，重点开发Micro LED应用专用MOCVD设备，同时针对化合物半导体功率器件市场应用的快速发展，公司正在开发硅基氮化镓及碳化硅功率器件专用的外延设备，不断丰富公司设备的产品线，强化公司在第三代半导体设备市场的竞争优势。

2、人力资源方面

公司将根据业务发展需求，制定短期、中期和长期相结合的人力资源规划及具体实施办法，建立、健全公司科学化、规范化的人力资源管理系统，持续引进国内外高端专业人才，并通过系统性培训等措施持续提升员工专业能力。

公司重视提升员工半导体行业技术专业技能及管理技能，成立了中微学院，由总经理领衔，各部门负责人作为系主任，促进培养组织需要的技能，提升组织及人员竞争力，建立学习型组织

文化氛围；为员工搭建线上学习平台，记录学员线上课程学习、考试竞赛、试题练习和培训交流等情况，全程跟踪管理；组建内训师队伍，定期进行授课表彰及工作总结，在传承知识技能的同时助力员工的职业拓展及专业能力提升。公司提供覆盖各层级的技术和管理双通道培训课程，为新员工快速了解公司文化，提供线上+线下互动的入职培训；为应届生从学生转换成职场人士，开展应届生“启航计划”项目；帮助新晋升管理者进行从个人贡献者到团队领导者的角色转换，组织了“新经理成长营”等领导力项目；为新产品团队提供“敏捷项目管理”培训等。

3、市场拓展方面

公司将持续收集半导体制造行业市场与技术动态信息，密切关注客户需求。公司在满足现有客户设备需求的同时，深度挖掘现有客户的其他需求；积极拓展国内外其他知名客户，不断支持公司扩大业务规模。同时，公司将不断寻求新的业务增长契机。

4、投资并购及合作开发方面

在高度竞争的产业形势下，公司考虑在有机成长的同时，通过投资、并购国内外高端的半导体设备及关键零部件厂商或与海内知名设备厂商进合作开发，使公司能够覆盖更多的产品品类、占领更多细分市场，为公司的长期可持续成长奠定基础。公司会重点考虑布局等离子体刻蚀、薄膜沉积设备和测量设备等领域的设备公司、泛半导体领域设备公司，以及产业链上下游有协同效应的公司。

5、内控建设方面

随着公司发展规模的不断扩张，公司将持续加强内控建设，提高公司经营管理水平和风险防范意识，促进公司高速、稳定、健康发展。

6、ESG

公司在为客户和市场提供高科技产品和服务的同时，追求在环境、社会和管治等领域成为国际领先企业，立足中微七个ESG要素的管理，在产品技术创新、绿色生产运营、培养和推动供应链发展、员工权益保障、支持社会发展、遵守商业规范等方面采取积极有效措施，推动经济和社会可持续发展，让人类的生活因中微而更加美好。

(四) 其他

□适用 √不适用

七、公司因不适用准则规定或国家秘密、商业秘密等特殊原因，未按准则披露的情况和原因说明

□适用 √不适用

第四节 公司治理

一、 公司治理相关情况说明

√适用 □不适用

公司已根据《公司法》《证券法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《公司章程》的规定制定了股东大会、董事会及监事会的议事规则等相关内部治理制度，确定了股东大会、董事会、监事会和管理层的运行机制并合法、有效运作。公司董事会下设战略委员会、审计委员会、提名委员会、薪酬与考核委员会，为公司重大事项的决策提供咨询及建议，以保证董事会议事决策的专业化和高效化。

公司治理与法律、行政法规和中国证监会关于上市公司治理的规定是否存在重大差异；如有重大差异，应当说明原因

□适用 √不适用

二、 公司就其与控股股东在业务、人员、资产、机构、财务等方面存在的不能保证独立性、不能

保持自主经营能力的情况说明

□适用 √不适用

控股股东、实际控制人及其控制的其他单位从事与公司相同或者相近业务的情况，以及同业竞争或者同业竞争情况发生较大变化对公司的影响、已采取的解决措施、解决进展以及后续解决计划

□适用 √不适用

控股股东、实际控制人及其控制的其他单位从事对公司构成重大不利影响的同业竞争情况

□适用 √不适用

三、 股东大会情况简介

会议届次	召开日期	决议刊登的指定网站的查询索引	决议刊登的披露日期	会议决议
2021年第一次临时股东大会	2021年1月15日	上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）	2021年1月16日	各项议案均审议通过，不存在否决议案的情况。
2020年年度股东大会	2021年4月27日	上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）	2021年4月28日	各项议案均审议通过，不存在否决议案的情况。
2021年第二次临时股东大会	2021年5月18日	上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）	2021年5月19日	各项议案均审议通过，不存在否决议案的情况。
2021年第三次临时股东大会	2021年7月29日	上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）	2021年7月30日	各项议案均审议通过，不存在否决议案的情况。
2021年第三次临时股东大会	2021年12月9日	上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）	2021年12月10日	各项议案均审议通过，不存在否决议案的情况。

表决权恢复的优先股股东请求召开临时股东大会

□适用 √不适用

股东大会情况说明

□适用 √不适用

四、 表决权差异安排在报告期内的实施和变化情况

□适用 √不适用

五、 红筹架构公司治理情况

□适用 √不适用

六、 董事、监事和高级管理人员的情况

(一) 现任及报告期内离任董事、监事、高级管理人员和核心技术人员持股变动及报酬情况

√适用 □不适用

单位：股

姓名	职务(注)	性别	年龄	任期起始日期	任期终止日期	年初持股数	年末持股数	年度内股份增减变动量	增减变动原因	报告期内从公司获得的税前报酬总额（万元）	是否在公司关联方获取报酬
尹志尧	董事长、总经理、核心技术人员	男	78	2018年12月21日	2024年12月8日	6,200,266	6,200,266	/	/	669.68	否
杜志游	董事、副总经理、核心技术人员	男	63	2018年12月21日	2024年12月8日	2,331,436	2,331,436	/	/	482.20	否
王耀	董事	男	62	2021年12月9日	2024年12月8日	0	0	/	/	0.00	否
朱民	董事	男	49	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	0.00	是
杨征帆	董事	男	41	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	0.00	否
黄庆	董事	男	60	2020年4月28日	2024年12月8日	0	0	/	/	0.00	否
张亮	董事	男	40	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	0.00	否
陈大同	独立董事	男	67	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	40.00	否
陈世敏	独立董事	男	64	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	40.00	否

孔伟	独立董事	男	51	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	40.00	否
张卫	独立董事	男	54	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	40.00	否
沈伟国	董事（已离职）	男	61	2018年12月21日	2021年10月25日	0	0	/	/	0.00	是
邹非	监事会主席	女	37	2021年5月18日	2024年12月8日	0	0	/	/	0.00	否
黄晨	监事	男	31	2021年7月29日	2024年12月8日	0	0	/	/	0.00	否
王志军	职工代表监事	男	44	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	84.96	否
余峰	监事会主席（已离职）	男	35	2018年12月21日	2021年5月18日	0	0	/	/	0.00	否
俞信华	监事（已离职）	男	48	2018年12月21日	2021年7月29日	0	0	/	/	0.00	否
朱新萍	副总经理	男	57	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	426.37	否
倪图强	副总经理、核心技术人员	男	60	2018年12月21日	2024年12月8日	1,274,358	1,274,358	/	/	377.99	否
陈伟文	财务负责人、副总经理	男	55	2018年12月21日	2024年12月8日	1,162,842	1,162,842	/	/	363.33	否
刘晓宇	董事会秘书、副总经理	男	42	2018年12月21日	2024年12月8日	0	0	/	/	304.76	否
麦仕义	核心技术人员	男	75	2012年1月1日	2023年1月31日	2,341,106	2,345,606	4,500	限制性股票归属	119.64	否
杨伟	核心技术	男	56	2011年1	2023年12	1,116,033	1,127,533	11,500	限制性股	268.77	否

	人员			月1日	月31日				票归属
李天笑	核心技术人员	男	64	2013年1月1日	2023年12月31日	2,076,657	2,085,657	9,000	限制性股票归属	256.54	否
合计	/	/	/	/	/	16,502,698	16,527,698	25,000	/	3,514.24	/

姓名	主要工作经历
尹志尧	尹志尧博士，1944年生，美国国籍，中国科学技术大学学士，加州大学洛杉矶分校博士。1984年至1986年，就职于英特尔中心技术开发部，担任工艺工程师；1986年至1991年，就职于泛林半导体，历任研发部资深工程师、研发部资深经理；1991年至2004年，就职于应用材料，历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官；2004年至今，担任中微公司董事长及总经理。
杜志游	杜志游博士，1959年生，美国国籍，上海交通大学学士，美国麻省理工学院硕士、博士。1990年至1999年，历任Praxair Inc. 高级工程师、经理、董事总经理等；1999年至2001年，担任应用材料全球供应管理经理；2001年至2004年，担任梅特勒-托利多上海子公司总经理；2004年至今，历任中微公司副总裁、资深副总裁、首席运营官。现任中微公司董事及副总经理。
王耀	王耀先生，1964年10月出生，硕士研究生，现任上海科技创业投资（集团）有限公司战新项目部总经理。王耀先生曾任上海中西药业股份有限公司事业部经理，市场部经理；上海中西新生力生物工程有限公司副总经理；2002年5月起先后担任上海创业投资有限公司项目经理、重大项目部副经理、资产经营部经理；上海科技创业投资（集团）有限公司综合业务部总经理；上海集成电路产业投资基金管理有限公司总经理等职。现任中微公司董事。
朱民	朱民先生，1973年生，中国国籍，无境外永久居留权，华东政法大学学士，华东师范大学硕士。1995年至1999年，担任上海金桥（集团）有限公司法律顾问、团委书记；1999年至2003年，历任上海市经营者资质评价中心信息部副部长、部长；2003年至2007年，历任上海市国资委企业改革处主任科员、上海市国资委办公室主任科员；2007年至2010年，担任上海市国资委办公室副主任、援藏任西藏日喀则地区国资委副主任；2010年至2014年，历任上海市国资委办公室副主任、上海市国资委直属单位管理办公室主任、直属单位党委副书记；2014年至今，担任上海科技创业投资（集团）有限公司副总经理。现任中微公司董事。
杨征帆	杨征帆先生，1981年生，中国国籍，无境外永久居留权，浙江大学学士，英国布里斯托大学硕士。2004年至2007年，就职于清华同方威视技术股份有限公司；2007年至2011年，就职于中国人民银行沈阳分行；2011年至2014年，就职于开元（北京）城市发展基金有限公司；2014年至今，就职于华芯投资管理有限责任公司，任投资一部高级经理、资深经理、投资三部副总经理。现任中微公司董事。
黄庆	黄庆先生，1962年生，美国国籍，曾在中国四川大学就读物理学专业，后于美国加州大学伯克利分校获得物理学学士学位和电气工程硕士、博士学位。于1990年1月至1997年6月担任美国IBM公司技术开发工程师，1997年7月至1997年12月担任美国Chromatic Research公司工程师，1997年12月至2003年5月担任美国Silicon Access公司研发部门主管、亚洲商务副总经理，2004年5月至2005年4月担任美国Silicon Federation投资公司高级顾问，2005年5月至今，担任华登投资咨询（北京）有限公司董事总经理。现任中微公司董事。

张亮	张亮先生，1982年生，中国国籍，无境外永久居留权，山东大学硕士。2004年至2014年，历任济南泉城不锈钢有限公司采购部经理，总经理;2015年起，担任上海兴橙投资管理有限公司总经理，济南国开兴橙投资管理有限公司执行董事兼总经理，上海宝鼎投资股份有限公司董事长以及广州湾区智能传感器产业集团有限公司董事，矽磐微电子（重庆）有限公司董事，东方晶源微电子科技（北京）有限公司董事，昂坤视觉（北京）科技有限公司董事等职务。现任中微公司董事。
陈大同	陈大同博士，1955年生，中国国籍，无境外永久居留权，清华大学学士、硕士、博士。1993年至1995年，担任美国国家半导体高级工程师；1999年至2000年，作为共同创始人创办OminiVision，并担任技术副总裁；2001年至2008年，作为共同创始人创办展讯通信，并担任首席技术官；2005年至2009年，担任北极光创投投资合伙人；2009年至今，担任华山资本创始合伙人、董事总经理；2014年至今，担任清芯华创投委会主席；2018年至今，担任元禾华创投委会主席。现任中微公司独立董事。
陈世敏	陈世敏博士，1958年生，美国国籍，上海财经大学学士、硕士，美国佐治亚大学博士。1985年至1986年，担任上海财经大学教师；1991年至1998年，担任宾州克莱瑞恩大学（Clarion University of Pennsylvania）会计学副教授、教授；1998年至2002年，担任香港岭南大学会计学副教授；2002年至2004年，担任路易斯安那大学拉法叶分校（The University of Louisiana at Lafayette）会计学副教授；2004年至2005年，担任香港岭南大学会计学副教授；2005年至2008年，历任香港理工大学会计学副教授，会计金融学院副主任；2008年至今，历任中欧国际工商学院会计学教授，副教务长及工商管理硕士主任，案例中心主任。现任中微公司独立董事。
孔伟	孔伟先生，1971年生，中国国籍，无境外永久居留权，甘肃政法学院学士。1993年至1997年，担任甘肃省经济律师事务所律师；1997年至1998年，担任史密夫律师行律师助理；1998年至1999年，担任外立综合法律事务所律师助理；1999年至2001年，担任上海市瑛明律师事务所律师；2001年至今，担任中伦律师事务所合伙人。现任中微公司独立董事。
张卫	张卫博士，1968年生，中国国籍，无境外永久居留权，西安交通大学学士、硕士、博士。1995年至2000年，历任复旦大学电子工程系副教授、教授；2001年至2002年，赴德国开姆尼茨工业大学（TU-Chemnitz）微系统系，为德国洪堡学者；2002年至2013年，担任复旦大学微电子学系教授；2007年至2013年，担任复旦大学微电子学系系主任、教授；2013年至2017年，担任复旦大学微电子学院副院长；2017年至今，担任复旦大学微电子学院执行院长。现任中微公司独立董事。
沈伟国（已离职）	沈伟国博士，1961年生，中国国籍，无境外永久居留权，上海交通大学学士、上海财经大学硕士、美国杜兰大学硕士、西安交通大学博士。2002年至2004年，担任张江（集团）有限公司副总经理、党委委员；2004年至2010年，担任上海金桥（集团）有限公司副总经理、党委委员；2010年至2014年，担任上海科技创业投资公司总经理、党委委员；2014年至2015年，担任上海科创集团党委书记、副总经理；2015年至今，担任上海科创集团党委书记、总经理。
邹非	邹非女士，1985年出生，中国国籍，无境外永久居留权。本科学历，毕业于北京大学经济学院金融系。2008年至2013年，任中国国际金融有限公司投资银行部高级经理；2013年至2015年，任国开投资发展基金管理（北京）有限责任公司经理；2015年至2021年，历任国开金融有限责任公司风险管理部高级经理、风险与法律合规部副总经理、投资管理部副总经理；2021年至今，任华芯投资管理有限责任公司风险管理部副总经理、中微公司监事会主席。
黄晨	黄晨先生，1991年生，中国国籍，东亚发展研究专业硕士、工商管理专业硕士。2014年至2015年任上海浦东融资担保有限公司战略部助理，2015年至2016年任上海浦东融资担保有限公司风控经理，2016年至2020年历任上海浦东科创集团有限公司战略规划与信息部经理、投资二部投资经理、投资二部总经理助理、投资一部总经理助理，2020年至今，任上海浦东科创集团有限公司投资一部副总经

	理。2020年至今任盛美半导体董事。2018年至今，担任翱捷科技股份有限公司董事。2019年至今，担任上海理想万里晖薄膜设备有限公司董事。2021年至今，担任睿励科学仪器（上海）有限公司董事。现任中微公司监事。
王志军	王志军先生，1978年生，中国国籍，无境外永久居留权，东南大学学士，同济大学工商管理硕士。2002年至2006年，担任上海华虹NEC电子有限公司设备工程师；2006年至今，就职于中微公司，现任中微公司制造部总监、职工代表监事。
余峰（已离职）	余峰博士，1987年生，中国香港籍，北京大学学士、硕士、博士。2013年至2014年，担任国开金融有限责任公司风险管理部高级经理，期间借调国家开发银行评审管理局评五处；2014年至今，历任华芯投资管理有限责任公司风险管理部高级经理、部门副总经理、部门总经理。
俞信华（已离职）	俞信华先生，1974年生，中国国籍，无境外永久居留权，浙江大学学士，长江商学院工商管理硕士。1997年至2003年，担任上海西门子移动通讯有限公司市场经理；2003年至2004年，担任西门子中国有限公司市场部经理；2005年至2006年，担任国际数据（中国）投资有限公司项目经理；2006年至2011年，担任IDG资本投资顾问（北京）有限公司副总裁；2012年，担任IDG资本投资顾问（北京）有限公司合伙人；2012年至今，担任爱奇投资顾问（上海）有限公司副总裁。
朱新萍	朱新萍先生，1965年生，中国台湾籍，台湾国立成功大学学士。1992年至1996年，担任华邦电子股份有限公司刻蚀工艺高级工程师；1997年至1999年，担任台湾世大集成电路公司刻蚀工艺部经理；1999年至2005年，担任台湾应用材料公司高级产品经理；2005年至今，历任中微公司大中华地区总经理、公司副总裁兼刻蚀产品及业务群总经理、副总裁、集团副总裁，现任中微公司副总经理。
倪图强	倪图强博士，1962年生，美国国籍，中国科学技术大学学士、硕士，美国德州大学博士、博士后。1995年至2004年，担任泛林半导体技术总监；2004年8月至今，历任中微公司执行总监、副总裁，现任中微公司副总经理。
陈伟文	陈伟文先生，1967年生，中国香港籍，厦门大学学士、美国阿拉巴马大学硕士。1996年至1999年，担任普华永道会计师事务所审计师；1999年至2000年，担任可口可乐公司总部财务分析师；2000年至2005年，担任霍尼韦尔国际总部资深内审员及中国区飞机引擎分部财务总监；2006年至2007年，担任耶路全球中国国际运输财务总监；2007年至2008年，担任海王星辰连锁药店集团财务总监兼副总经理；2009年至2010年，担任盛大科技财务总监；2010年至2012年，担任阿特斯太阳能集团副总经理兼财务总监；2012年至今，担任中微公司副总经理兼财务负责人。
刘晓宇	刘晓宇先生，1980年生，中国国籍，无境外永久居留权，浙江大学学士、复旦大学-BI挪威商学院工商管理硕士。2001年至2005年，担任中芯国际集成电路制造（上海）有限公司战略市场部分析师；2005年至今，历任中微公司市场部经理、市场部资深经理、市场部总监、公共关系部资深总监、董事会办公室执行总监。现任中微公司董事会秘书、副总经理。
麦仕义	麦仕义博士，1947年生，美国国籍，台湾大学学士、美国马里兰大学博士。1985年至1989年，担任英特尔资深工程师；1989年至2003年，担任应用材料资深总监；2004年1月至2004年6月，担任英特尔项目经理；2004年8月至2020年3月，任中微公司副总裁。现任中微公司核心技术人员。
杨伟	杨伟先生，1966年生，美国国籍，西安交通大学学士、硕士。1993年至1995年，担任智群科技股份有限公司项目经理；1995年至2004年，担任应用材料软件部资深总监；2004年至今，担任中微公司核心技术人员。
李天笑	李天笑先生，1958年生，美国国籍，复旦大学学士、美国韦恩大学硕士、美国纽约大学硕士。1990年至1995年，担任美国索尼资深电气工程师；1995年至2004年，担任应用材料亚太项目经理；2004年9月至今，担任中微公司核心技术人员。

其它情况说明

□适用 √不适用

(二) 现任及报告期内离任董事、监事和高级管理人员的任职情况

1. 在股东单位任职情况

√适用 □不适用

任职人员姓名	股东单位名称	在股东单位担任的职务	任期起始日期	任期终止日期
沈伟国（已离任）	上海创业投资有限公司	执行董事、总经理	2015年9月	2021年10月
余峰（已离任）	巽鑫（上海）投资有限公司	监事	2014年12月	2021年5月
在股东单位任职情况的说明

2. 在其他单位任职情况

√适用 □不适用

任职人员姓名	其他单位名称	在其他单位担任的职务	任期起始日期	任期终止日期
尹志尧	PDF Solutions, Inc.	独立董事	2018年5月	2021年6月
尹志尧	普迪飞半导体技术（上海）有限公司	独立董事	2015年6月	/
尹志尧	澜起科技股份有限公司	独立董事	2019年3月	/
尹志尧	沈阳拓荆科技有限公司	董事	2021年1月	/
尹志尧	睿励科学仪器（上海）有限公司	董事长	2021年2月	/
杜志游	上海洪朴信息科技有限公司	董事	2019年12月	/
杜志游	杭州中欣晶圆半导体股份有限公司	董事	2021年1月	/
杜志游	上海创徒光电技术服务有限公司	董事	2017年9月	/
杜志游	上海芯元基半导体科技有限公司	董事	2018年9月	/
杜志游	Solayer GmbH	监事	2021年3月	/
陈大同	北京清石华山资本投资咨询有限公司	创始合伙人、董事总经理	2010年1月	/
陈大同	元禾璞华（苏州）投资管理有限公司	董事	2018年1月	/
陈大同	北京清源华信投资管理有限公司	监事	2014年5月	/
陈大同	北京豪威科技有限公司	董事	2015年7月	2021年9月
陈大同	中际旭创股份有限公司	独立董事	2017年9月	/
陈大同	北京清芯华创投资管理有限公司	董事	2014年1月	/
陈大同	深圳市江波龙电子股份有限公司	董事	2018年7月	/
陈大同	安集微电子科技（上海）股份有限公司	董事	2017年6月	/
陈大同	WestSummit Capital Partners Ltd.	董事	2012年1月	/
陈大同	WestSummit Global Technology GP,Ltd	董事	2013年10月	/
陈大同	CCHS WSGP, LTD.	董事	2013年10月	/
陈大同	WSSLP-GP1 LTD.	董事	2013年10月	/

陈大同	WestSummit Capital Management Ltd.	董事	2009年9月	/
陈大同	Oriental Wall Limited	董事	2013年4月	/
陈大同	Power Zone Holdings Limited	董事	2011年3月	/
陈大同	Jovial Victory Limited	董事	2014年1月	/
陈大同	Insight Power Investments Limited	董事	2011年3月	/
陈大同	Light Spread Investment Limited	董事	2011年8月	/
陈大同	北京智能建筑科技有限公司	董事	2020年2月	/
陈大同	灿芯半导体（上海）有限公司	董事	2020年8月	/
陈大同	旋智电子科技（上海）有限公司	董事	2021年8月	/
陈大同	广州慧智微电子股份有限公司	董事	2021年2月	2021年9月
陈大同	苏州贝克微电子有限公司	董事	2021年1月	/
陈大同	珠海市英思集成电路设计有限公司	董事	2021年5月	/
陈大同	深圳市中科蓝讯科技股份有限公司	董事	2019年10月	/
陈大同	江苏疌泉元禾璞华股权投资合伙企业（有限合伙）	董事	2018年5月	/
陈大同	北京君正集成电路股份有限公司	监事	2020年7月	/
陈大同	苏州同越企业管理有限公司	执行董事	2019年8月	/
陈大同	元禾璞华同芯（苏州）投资管理有限公司	董事	2020年11月	/
陈大同	西安艾迪爱激光影像股份有限公司	董事	2019年5月	/
陈大同	上海登临科技有限公司	董事	2020年9月	/
陈大同	苏州鲁信新材料科技有限公司	董事	2020年1月	/
陈大同	广州安凯微电子股份有限公司	董事	2018年10月	/
陈大同	北京君正集成电路股份有限公司	监事	2020年7月	/
黄庆	华芯（上海）创业投资管理有限公司	董事	2011年3月	/
黄庆	义乌华芯晨枫投资管理有限公司	法定代表人、执行董事	2017年12月	/
黄庆	苏州华慧投资管理有限公司	监事	2010年3月	/
黄庆	苏州工业园区华芯原创投资管理有限公司	法定代表人总经理	2016年4月	/
黄庆	青岛华芯宜原投资管理有限公司	法定代表人总经理	2016年7月	/
黄庆	华芯原创（青岛）投资管理有限公司	法定代表人董事、总经理	2016年9月	/
黄庆	青岛华芯博原创业投资管理中心（有限合伙）	执行事务合伙人代表	2016年6月	/
黄庆	青岛华芯创原创业投资中心（有限合伙）	执行事务合伙人代表	2016年6月	/

黄庆	青岛天安华登投资中心（有限合伙）	执行事务合伙人代表	2016年11月	/
黄庆	合肥华登科技投资管理有限公司	法定代表人执行董事	2017年3月	/
黄庆	合肥华登集成电路产业投资基金合伙企业（有限合伙）	执行事务合伙人代表	2017年3月	/
黄庆	合肥华芯太浩集成电路科技有限公司	法定代表人执行董事、总经理	2017年6月	/
黄庆	青岛华集投资管理有限公司	法定代表人执行董事、总经理	2019年9月	/
黄庆	青岛锚点科技投资发展有限公司	法定代表人、执行董事、总经理	2020年5月	/
黄庆	思瑞浦微电子科技（苏州）股份有限公司	董事	2015年12月	/
黄庆	GalaxyCore Inc	董事	2006年9月	/
黄庆	洛奇商贸（杭州）有限公司	董事	2016年3月	/
黄庆	芋头科技（杭州）有限公司	董事	2015年9月	/
黄庆	江苏中科君芯科技有限公司	董事	2014年6月	2021年3月
黄庆	Kolo Medical Ltd	董事	2013年8月	/
黄庆	Rokid Corporation Ltd	董事	2015年9月	/
黄庆	天津奈思膳品科技有限公司	董事	2015年11月	2022年1月
黄庆	上海箩箕技术有限公司	董事	2015年9月	/
黄庆	加特兰微电子科技（上海）有限公司	董事	2016年3月	/
黄庆	台湾义明科技股份有限公司	董事	2016年3月	/
黄庆	杭州灵伴科技有限公司	董事	2017年11月	/
黄庆	PerceptIn	董事	2016年5月	/
黄庆	南京英锐创电子科技有限公司	董事	2019年5月	2019年8月
黄庆	合肥悦芯半导体科技有限公司	董事	2018年5月	/
黄庆	Mems Drive, Inc	董事	2016年9月	/
黄庆	Innophase Inc.	董事	2015年12月	/
黄庆	BOLB Inc.	董事	2017年1月	/
黄庆	沛喆科技股份有限公司	董事	2016年3月	/
黄庆	慷智集成电路（上海）有限公司	董事	2017年10月	/
黄庆	南京魔迪多维数码科技有限公司	董事	2017年6月	/
黄庆	翱捷科技（上海）有限公司	监事	2015年11月	2020年8月
黄庆	广东大普通信技术有限公司	董事	2018年12月	/
黄庆	爱科微半导体（上海）有限公司	董事	2019年4月	/
黄庆	博思发科技（深圳）有限公司	董事	2019年1月	/
黄庆	南京芯驰半导体科技有限公司	董事	2018年9月	/

黄庆	Atmosic Technologies, Inc	董事	2018年8月	2021年12月
黄庆	杭州宏景智驾科技有限公司	董事	2018年10月	2021年5月
黄庆	合肥芯碁微电子装备股份有限公司	董事	2019年10月	/
黄庆	京西重工（上海）有限公司	监事	2019年11月	/
黄庆	青岛华芯焦点投资管理有限公司	执行董事兼经理	2020年2月	/
黄庆	华芯原创（青岛）投资管理有限公司上海华登商务咨询分公司	负责人	2018年8月	/
黄庆	上海矽睿科技有限公司	董事	2020年9月	/
沈伟国	上海华力微电子有限公司	副董事长	2016年12月	/
沈伟国	上海集成电路产业投资基金股份有限公司	董事长	2016年12月	2021年10月
沈伟国	上海集成电路产业投资基金管理有限公司	董事长	2016年12月	2021年10月
沈伟国	上海科技创业投资股份有限公司	董事长	2011年4月	2022年1月
沈伟国	上海科技创业投资（集团）有限公司	执行董事、总经理	2015年9月	2021年10月
沈伟国	上海科技创业投资有限公司	执行董事、总经理	2015年9月	2021年10月
沈伟国	上海集成电路产业投资基金（二期）有限公司	董事长	2020年5月	2021年10月
沈伟国	紫光展锐（上海）科技有限公司	董事	2020年6月	2022年1月
朱民	上海科技创业投资（集团）有限公司	副总经理	2014年10月	/
朱民	上海产业知识产权运营投资管理有限公司	董事长	2017年3月	/
朱民	上海战新投资管理有限公司	执行董事	2016年5月	/
朱民	上海联升创业投资有限公司	董事	2018年1月	/
朱民	上海盛今创业投资有限公司	董事	2018年7月	/
朱民	上海微电子装备（集团）股份有限公司	董事	2017年1月	/
朱民	上海集成电路研发中心有限公司	董事	2017年12月	/
朱民	上海正赛联创业投资有限公司	董事	2018年7月	/
朱民	上海合作交流燕窝国际交易中心有限公司	董事	2017年6月	/
朱民	上海联升承业创业投资有限公司	董事	2018年7月	/
朱民	国投创业投资管理有限公司	监事	2017年6月	/
朱民	上海诚毅新能源创业投资有限公司	董事	2018年4月	/
朱民	上海浦江科技投资有限公司	董事长	2020年12月	/
朱民	上海生物芯片有限公司	董事长	2020年12月	/

朱民	上海汇金融资担保有限公司	董事	2020年11月	/
朱民	上海汇科创业投资有限公司	执行董事	2020年11月	/
朱民	上海芯超生物科技有限公司	董事长	2020年10月	/
朱民	上海科技创业投资股份有限公司	监事	2020年10月	/
朱民	上海八六三软件孵化器有限公司	董事长	2020年7月	/
朱民	上海明浦科技发展有限公司	执行董事	2020年7月	/
朱民	上海盛盎投资管理有限公司	董事	2020年7月	2021年9月
朱民	上海簇睿低碳能源技术有限公司	董事	2020年7月	/
朱民	上海超导科技股份有限公司	董事	2020年1月	/
朱民	上海智能制造功能平台有限公司	董事	2021年10月	/
朱民	上海智能新能源汽车科创功能平台有限公司	董事	2021年9月	/
朱民	上海海兴科创私募基金管理有限公司	董事	2021年11月	/
王耀	上海产业知识产权运营投资管理有限公司	董事	2018年7月	/
王耀	上海集成电路研发中心有限公司	监事	2019年3月	/
王耀	上海上发院发电成套设备工程有限公司	董事	2018年12月	/
王耀	上海硅知识产权交易中心有限公司	董事长	2019年8月	/
王耀	上海前瞻创新研究院有限公司	董事	2019年1月	/
王耀	上海超碳石墨烯产业技术有限公司	董事	2021年11月	/
王耀	上海工业控制安全创新科技有限公司	董事	2020年6月	/
王耀	上海糖码承创生物医药科技有限公司	董事	2021年11月	/
张亮	上海岳橙科技有限公司	法定代表人、执行董事、总经理	2018年9月	/
张亮	济南国开兴橙投资管理有限公司	法定代表人、执行董事、总经理	2017年9月	/
张亮	广州兴橙私募证券投资管理有限公司	监事	2020年2月	/
张亮	中芯集成电路制造（绍兴）股份有限公司	监事	2019年11月	2021年6月
张亮	宝鼎集成电路科技（海南）有限公司	法定代表人、执行董事、总经理	2021年4月	/
张亮	广州湾区智能传感器产业集团有限公司	董事	2021年10月	/
张亮	上海矽睿科技股份有限公司	监事	2021年6月	/

张亮	矽磐微电子（重庆）有限公司	董事	2021年8月	/
张亮	东方晶源微电子科技（北京）有限公司	董事	2020年9月	/
张亮	广州增芯科技有限公司	监事	2021年4月	/
张亮	昂坤视觉（北京）科技有限公司	董事	2020年5月	/
张亮	上海宝鼎投资股份有限公司	董事长	2020年12月	/
张亮	井冈山鼎橙投资合伙企业（有限合伙）	执行事务合伙人	2020年9月	/
张亮	共青城志同道合股权投资合伙企业（有限合伙）	执行事务合伙人	2021年3月	/
张亮	井冈山欣橙股权投资合伙企业（有限合伙）	执行事务合伙人	2021年9月	/
张亮	共青城欣语投资合伙企业（有限合伙）	执行事务合伙人	2020年8月	/
张亮	株洲超越摩尔创业投资合伙企业（有限合伙）	执行事务合伙人	2020年10月	2021年5月
刘晓宇	上海理想万里晖薄膜设备有限公司	监事	2020年9月	/
杨征帆	上海半导体装备材料产业投资管理有限公司	投资决策委员会委员	2018年9月	/
杨征帆	华芯投资管理有限责任公司	投资三部副总经理	2014年12月	/
杨征帆	湖北鑫铧股权投资管理有限公司	董事	2017年7月	/
杨征帆	拓荆科技股份有限公司	董事	2015年9月	/
杨征帆	杭州长川科技股份有限公司	董事	2015年10月	/
杨征帆	江苏鑫华半导体材料科技有限公司	董事	2017年8月	/
杨征帆	浙江中巨芯材电子科技有限公司	董事	2017年12月	/
杨征帆	北方华创科技集团股份有限公司	董事	2016年8月	/
杨征帆	江苏雅克科技股份有限公司	董事	2017年9月	/
杨征帆	烟台德邦科技有限公司	董事	2017年4月	/
杨征帆	上海硅产业集团股份有限公司	董事	2017年8月	/
杨征帆	ACM Research, Inc.	董事	2017年12月	/
杨征帆	睿励科学仪器（上海）有限公司	董事	2019年12月	/
杨征帆	上海精测半导体技术有限公司	董事	2019年11月	/
杨征帆	上海万业企业股份有限公司	董事	2021年6月	/
陈世敏	中欧国际工商学院	教授	2017年7月	/
陈世敏	安信信托股份有限公司	独立董事	2018年11月	/
陈世敏	东方明珠新媒体股份有限公司	独立董事	2015年6月	2021年5月
陈世敏	珠海华发实业股份有限公司	独立董事	2013年7月	2021年5月
陈世敏	银城国际控股有限公司	独立董事	2019年2月	/
陈世敏	赛晶电力电子集团有限公司	独立董事	2010年8月	/

陈世敏	联储证券有限责任公司	独立董事	2015年7月	/
陈世敏	中国邮政储蓄银行股份有限公司	监事	2019年12月	/
陈世敏	广发银行股份有限公司	独立董事	2021年1月	/
孔伟	北京市中伦（上海）律师事务所	合伙人	2001年8月	/
孔伟	光大保德信基金管理有限公司	独立董事	2019年5月	/
余峰	华芯投资管理有限责任公司	风险管理部总经理	2015年12月	/
余峰	福建省安芯投资管理有限责任公司	监事	2016年2月	/
余峰	赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司	监事	2016年12月	/
余峰	盛科网络（苏州）有限公司	监事	2018年9月	/
余峰	北京世纪金光半导体有限公司	监事	2017年6月	/
余峰	上海芯铄投资管理有限公司	监事	2017年8月	/
余峰	芯原微电子（上海）股份有限公司	监事	2018年12月	/
余峰	中芯南方集成电路制造有限公司	监事	2018年3月	/
余峰	北京紫光展锐科技有限公司	监事	2017年11月	/
余峰	上海硅产业集团股份有限公司	监事	2015年11月	/
余峰	北京芯动能投资管理有限公司	监事	2015年9月	/
余峰	杭州长川科技股份有限公司	监事	2015年6月	/
余峰	上海万业企业股份有限公司	监事	2018年8月	/
余峰	华虹半导体（无锡）有限公司	监事	2020年8月	/
余峰	睿力集成电路有限公司	监事	2020年8月	/
余峰	拓荆科技股份有限公司	监事	2020年8月	/
俞信华	爱奇投资顾问（上海）有限公司	董事、总经理	2019年8月	/
俞信华	义乌佳鑫新能源有限公司	执行董事、总经理	2016年12月	/
俞信华	华灿光电股份有限公司	董事长	2017年10月	/
俞信华	光华（天津）投资管理有限公司	执行董事、经理	2018年9月	/
俞信华	华灿光电（苏州）有限公司	执行董事	2017年8月	/
俞信华	西藏祺达创业投资管理有限公司	执行董事、经理	2018年9月	/
俞信华	时空电动汽车股份有限公司	董事	2018年9月	/
俞信华	云南蓝晶科技有限公司s	董事	2016年4月	/
俞信华	北京昆兰新能源技术有限公司	副董事长	2011年3月	/
俞信华	广州市远能物流自动化设备科技有限公司	董事	2015年8月	/
俞信华	上海秀派电子科技股份有限公司	董事	2015年3月	/
俞信华	北京海博思创科技股份有限公司	董事	2017年6月	/
俞信华	西安瑞联新材料股份有限公司	董事	2016年12月	/

俞信华	浙江朗诗德健康饮水设备股份有限公司	董事	2017年1月	/
俞信华	欣旺达电子股份有限公司	董事	2018年6月	/
俞信华	Newnagy Holdings, Inc.	董事	2015年6月	/
俞信华	Total Force Limited	董事	2018年4月	/
俞信华	海南汉草生物科技有限公司	监事	2015年4月	/
俞信华	上海爱旭新能源股份有限公司	董事	2019年12月	/
俞信华	西安奕斯伟材料科技有限公司	董事	2019年3月	/
俞信华	北京奕斯伟计算技术有限公司	董事	2019年9月	/
俞信华	北京奕斯伟封测技术有限公司	董事	2019年11月	/
俞信华	北京奕斯伟系统技术有限公司	董事	2019年11月	/
俞信华	天津环汇精创管理咨询有限公司	执行董事、经理	2020年3月	/
俞信华	Square Limited	董事	2020年10月	/
朱新萍	Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.	董事	2018年12月	/
朱新萍	Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. Asia	董事	2018年12月	/
陈伟文	沈阳拓荆科技有限公司	监事	2017年9月	2021年1月
黄晨	上海浦东科创集团有限公司	投资一部副总经理	2020年5月	/
黄晨	睿励科学仪器（上海）有限公司	董事	2021年3月	/
黄晨	翱捷科技股份有限公司	董事	2019年3月	/
黄晨	盛美半导体设备（上海）股份有限公司	董事	2020年3月	/
黄晨	上海理想万里晖薄膜设备有限公司	董事	2019年12月	/
邹非	杭州长川科技股份有限公司	监事	2021年5月	/
邹非	北京紫光展锐科技有限公司	监事	2021年5月	/
邹非	厦门市三安集成电路有限公司	监事	2021年6月	/
邹非	三安光电股份有限公司	监事	2021年8月	/
邹非	沈阳拓荆科技有限公司	监事	2021年5月	/
邹非	睿力集成电路有限公司	监事	2021年5月	/
邹非	华虹半导体（无锡）有限公司	监事	2021年4月	/
邹非	上海万业企业股份有限公司	监事	2021年6月	/
邹非	芯原微电子（上海）股份有限公司	监事	2021年7月	/
邹非	北京世纪金光半导体有限公司	监事	2021年4月	/
邹非	巽鑫（上海）投资有限公司	监事	2021年5月	/
邹非	塞莱克斯微系统科技（北京）有限公司	监事	2021年7月	/
邹非	盛科网络（苏州）有限公司	监事	2021年5月	/
邹非	福建省安芯投资管理有限责任公司	监事	2021年7月	/
邹非	深圳市中兴微电子技术有限公司	监事	2021年4月	/

邹非	上海硅产业集团股份有限公司	监事	2021年6月	/
邹非	中芯南方集成电路制造有限公司	监事会主席	2021年4月	/
张卫	国家集成电路创新中心	总经理	2018年2月	/
张卫	上海微电子装备有限公司	独立董事	2020年6月	/
张卫	上海硅产业集团	独立董事	2019年5月	/
在其他单位任职情况的说明

(三) 董事、监事、高级管理人员和核心技术人员报酬情况

√适用 □不适用

单位：万元 币种：人民币

董事、监事、高级管理人员报酬的决策程序	根据《公司章程》、《薪酬与考核委员会管理办法》等相关规定，董事、监事和高级管理人员薪酬经董事会薪酬与考核委员会审核。
董事、监事、高级管理人员报酬确定依据	根据个人年度经营计划、岗位职责和管理目标等综合情况核定考核指标。
董事、监事和高级管理人员报酬的实际支付情况	董事、监事和高级管理人员报酬的实际支付情况与年报披露的数据相符。
报告期末全体董事、监事和高级管理人员实际获得的报酬合计	2,869.29
报告期末核心技术人员实际获得的报酬合计	2,174.82

(四) 公司董事、监事、高级管理人员和核心技术人员变动情况

√适用 □不适用

姓名	担任的职务	变动情形	变动原因
余峰	监事	离任	工作变动
俞信华	监事	离任	工作变动
沈伟国	董事、战略委员会委员	离任	工作变动
邹非	监事	选举	股东大会选举
黄晨	监事	选举	股东大会选举
王耀	董事、战略委员会委员	选举	股东大会选举

(五) 近三年受证券监管机构处罚的情况说明

□适用 √不适用

(六) 其他

□适用 √不适用

七、 报告期内召开的董事会有关情况

会议届次	召开日期	会议决议
一届十八次董事会	2021年3月30日	审议通过2020年年报及相关报告、2021年董事薪酬方案、日常关联交易预计等议案
一届十九次董事会	2021年4月27日	审议通过一季报、续聘审计机构、闲置募集资金管

		理等议案
一届二十次董事会	2021年6月11日	审议通过公司再融资相关议案
一届二十一次董事会	2021年7月9日	审议通过第一期员工股权激励归属及作废、再融资募集资金调整、参股公司借款等议案
一届二十二次董事会	2021年8月24日	审议通过半年报、再融资募集资金置换等议案
一届二十三次董事会	2021年9月29日	审议通过参与基金设立等议案
一届二十四次董事会	2021年10月27日	审议通过三季报、制度修订、董事换届等议案
二届一次董事会	2021年12月9日	审议通过选举董事长、专业委员会、高级管理人员等议案
二届二次董事会	2021年12月28日	审议通过参股公司增资等议案

八、 董事履行职责情况

(一) 董事参加董事会和股东大会的情况

董事 姓名	是否独立董事	参加董事会情况						参加股东大会情况
		本年应参加董事会次数	亲自出席次数	以通讯方式参加次数	委托出席次数	缺席 次数	是否连续两次未亲自参加会议	出席股东大会的次数
尹志尧	否	9	9	0	0	0	否	5
杜志游	否	9	9	0	0	0	否	5
朱民	否	9	9	9	0	0	否	5
杨征帆	否	9	9	9	0	0	否	5
王耀	否	9	9	9	0	0	否	5
张亮	否	9	9	9	0	0	否	5
黄庆	否	9	9	9	0	0	否	5
陈大同	是	9	9	9	0	0	否	5
陈世敏	是	9	9	9	0	0	否	5
孔伟	是	9	9	9	0	0	否	5
张卫	是	9	9	9	0	0	否	5

连续两次未亲自出席董事会会议的说明

□适用 √不适用

年内召开董事会会议次数	9
其中：现场会议次数	-
通讯方式召开会议次数	-
现场结合通讯方式召开会议次数	9

(二) 董事对公司有关事项提出异议的情况

□适用 √不适用

(三) 其他

□适用 √不适用

九、 董事会下设专门委员会情况

√适用 □不适用

(1).董事会下设专门委员会成员情况

专门委员会类别	成员姓名
审计委员会	陈世敏、杨征帆、孔伟
提名委员会	陈大同、尹志尧、陈世敏
薪酬与考核委员会	陈大同、尹志尧、孔伟、朱民、张卫
战略委员会	尹志尧、王耀、杜志游、杨征帆、张亮、张卫

(2).报告期内审计委员会召开5次会议

召开日期	会议内容	重要意见和建议	其他履行职责情况
2021年3月30日	审议2020年年报及关联交易等议案	议案全部经审议通过	无
2021年4月27日	审议一季报及续聘审计机构等议案	议案全部经审议通过	无
2021年8月24日	审议半年报等议案	议案全部经审议通过	无
2021年10月27日	审议三季报等议案	议案全部经审议通过	无
2021年12月27日	审议参股公司增资等议案	议案全部经审议通过	无

(3).报告期内提名委员会召开1次会议

召开日期	会议内容	重要意见和建议	其他履行职责情况
2021年10 月26日	第二届董事提名	议案全部审议通过	无

(4).报告期内薪酬与考核委员会召开2次会议

召开日期	会议内容	重要意见和建议	其他履行职责情况
2021年3月30日	审议董事、高管薪酬等议案	议案全部经审议通过	无
2021年7月9日	审议员工股权激励归属、作废等议案	议案全部经审议通过	无

(5).报告期内战略委员会召开1次会议

召开日期	会议内容	重要意见和建议	其他履行职责情况
2021年11月15日	审议公司业务规划、投资项目等议案	议案全部经审议通过	无

(6).存在异议事项的具体情况

□适用 √不适用

十、 监事会发现公司存在风险的说明

□适用 √不适用

十一、 报告期末母公司和主要子公司的员工情况

(一) 员工情况

母公司在职员工的数量	250
主要子公司在职员工的数量	798
在职员工的数量合计	1,048
母公司及主要子公司需承担费用的离退休职工人数	0
专业构成
专业构成类别	专业构成人数
生产人员	195
销售人员	67
技术人员	191

财务人员	21
行政人员	159
研发人员	415
合计	1,048
教育程度
教育程度类别	数量（人）
博士	89
硕士	249
大学本科	496
大专及以下	214
合计	1,048

(二) 薪酬政策

√适用 □不适用

公司为保障员工的合法权益，激励员工的积极性和主动性，制定并落实《员工薪酬管理制度》《限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法》，为员工塑造全面的薪酬管理及职级晋升体系。《员工薪酬福利管理办法》规定了公司员工薪酬的体系构成、职级及薪酬调整流程、审批程序等。公司高级管理人员的薪酬由董事会拟定审批、监督执行，其余人员在《员工薪酬福利管理办法》的制度框架内，针对不同岗位的差异，分别制定各自薪资标准和职级晋升办法。《限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法》，按照收益与贡献匹配的原则，对员工进行限制性股票激励，形成良好均衡的价值分配体系。公司所有员工的薪酬采取月薪制，中国籍员工的月薪主要由基本工资、岗位津贴、加班工资和年终奖金等构成，外籍员工的月薪主要由基本工资、加班工资、福利补贴和年终奖等构成。公司根据员工的工作量、工作强度、工作业绩等指标，按年度进行考核并发放绩效奖金，以增强员工的工作积极性，提高整体用工效率。

(三) 培训计划

√适用 □不适用

公司着重提升员工的半导体行业技术专业技能及管理技能，帮助员工全面成长。在专业技术方面，为员工开设丰富多样的内训课程及外训课程。在个人管理发展方面，开设线上培训课程。同时，为提升公司管理人员的管理能力，公司与外部管理咨询机构合作，为管理人员开设经理成长营等管理课程项目。

(四) 劳务外包情况

√适用 □不适用

劳务外包的工时总数	163,166
劳务外包支付的报酬总额	921.21万元

十二、 利润分配或资本公积金转增预案

(一) 现金分红政策的制定、执行或调整情况

√适用 □不适用

公司已根据中国证监会《关于进一步落实上市公司现金分红有关事项的通知》以及上海证券交易所《上市公司现金分红指引》制定了公司的分红政策。

《公司章程》第一百八十、第一百八十二、第一百八十三、第一百八十四、第一百八十五条规定了现金分红政策以及公司利润分配方案的决策程序，现有现金分红政策充分保护了中小投资者的合法权益，报告期对公司章程的修改未涉及现金分红政策相关内容。

(二) 现金分红政策的专项说明

√适用 □不适用

是否符合公司章程的规定或股东大会决议的要求	√是 □否
分红标准和比例是否明确和清晰	√是 □否
相关的决策程序和机制是否完备	√是 □否
独立董事是否履职尽责并发挥了应有的作用	√是 □否
中小股东是否有充分表达意见和诉求的机会，其合法权益是否得到了充分保护	√是 □否

(三) 报告期内盈利且母公司可供股东分配利润为正，但未提出现金利润分配方案预案的，公司应

当详细披露原因以及未分配利润的用途和使用计划

√适用 □不适用

报告期内盈利且母公司可供股东分配利润为正，但未提出现金利润分配方案预案的原因	未分配利润的用途和使用计划
充分考虑到公司目前处于快速发展，研发大力投入期，资金需求较大，为更好地维护全体股东的长远利益，公司2021年度不分配利润，资本公积不转增。	公司2021年度的未分配利润将累积滚存至下一年度，以满足公司生产经营和项目投资对营运资金的需求。公司将继续严格按照相关法律法规和《公司章程》等规定，综合考虑与利润分配相关的各种因素，从有利于公司发展和投资者回报的角度出发，履行公司的利润分配政策。

十三、 公司股权激励计划、员工持股计划或其他员工激励措施的情况及其影响

(一) 股权激励总体情况

√适用 □不适用

1.报告期内股权激励计划方案

单位:元 币种:人民币

计划名称	激励方式	标的股票数量	标的股票数量占比(%)	激励对象人数	激励对象人数占比(%)	授予标的股票价格
2020年限制性股票激励计划	第二类限制性股票	7,739,890	1.26	888	84.73	150
2020年股票增值权激励计划	其他	546,800	0.09	6	0.57	150

注：激励对象人数为当期股权激励首次授予与预留授予人数的合计数。

2.报告期内股权激励实施进展

□适用 √不适用

3.报告期内因股权激励确认的股份支付费用

单位:元 币种:人民币

本期确认股份支付费用合计

214,830,717.26

(二) 相关激励事项已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的

√适用 □不适用

事项概述	查询索引
2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的归属条件已经成就。本次符合归属条件的640名激励对象的归属资格合法有效，可归属的限制性股票数量为152.1436万股。	详见2021年7月10日在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》和上海交易所网站（www.sse.com.cn）上刊登的公告《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的公告》。
2020年股票增值权激励计划首次授予股票增值权第一个行权期的行权条件已经成就。本次符合行权条件的6名激励对象的归属资格合法有效，可行权的股票数量为13.67万份。	详见2021年7月10日在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》和上海交易所网站（www.sse.com.cn）上刊登的公告《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的公告》。
2021年7月9日召开第一届董事会第二十一次会议和第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》。	详见2021年7月10日在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》和上海交易所网站（www.sse.com.cn）上刊登的公告《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于作废处理部分限制性股票的公告》。
公司于2021年8月17日完成了2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的股份登记工作，本次归属的激励对象人数为540人，本次归属股票的上市流通数量：1,152,908股，本次归属股票的上市流通日为2021年8月24日。	详见2021年8月19日在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》和上海交易所网站（www.sse.com.cn）上刊登的公告《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属结果暨股份上市的公告》。
公司于2021年8月17日完成了2020年股票增值权激励计划首次授予部分第一个归属期的行权，本次归属的激励对象人数为6人，本次增值权激励计划行权不涉及实际股份。	详见2021年8月19日在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》和上海交易所网站（www.sse.com.cn）上刊登的公告《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于2020年股票增值权激励计划首次授予部分第一个归属期归属结果公告》。
2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期的归属条件已经成就。本次符合归属条件的162名激励对象的归属资格合法有效，可归属的限制性股票数量为21.0304万股。	详见2021年12月10日在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》和上海交易所网站（www.sse.com.cn）上刊登的公告《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020 年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的公告》。
2021年12月9日，公司召开第二届董事会第一次会议、第二届监事会第一次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》。	详见2021年12月10日在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》和上海交易所网站（www.sse.com.cn）上刊登的公告《中

微半导体设备（上海）股份有限公司关于作废处理部分限制性股票的公告》。

其他说明

□适用 √不适用

员工持股计划情况

□适用 √不适用

其他激励措施

□适用 √不适用

(三) 董事、高级管理人员和核心技术人员报告期内被授予的股权激励情况

1.股票期权

□适用 √不适用

2.第一类限制性股票

□适用 √不适用

3.第二类限制性股票

√适用 □不适用

单位:股

姓名	职务	年初已获授予限制性股票数量	报告期新授予限制性股票数量	限制性股票的授予价格（元）	报告期内可归属数量	报告期内已归属数量	期末已获授予限制性股票数量	报告期末市价（元）
麦仕义	核心技术人员	18,000	0	150	18,000	4,500	13,500	126.6
杨伟	核心技术人员	46,000	0	150	46,000	11,500	34,500	126.6
李天笑	核心技术人员	36,000	0	150	36,000	9,000	27,000	126.6
合计	/	100,000	0	/	100,000	25,000	75,000	/

4.股票增值权

姓名	职务	年初已获授予股票增值权数量	报告期新授予股票增值权数量	股票增值权的授予价格（元）	报告期内可归属数量	报告期内已归属数量	期末已获授予股票增值权数量	报告期末市价（元）
尹志尧	董事长、总经理	150,800	0	150	150,800	37,700	113,100	126.6
杜志游	董事、副总经理	109,900	0	150	109,900	27,500	82,400	126.6
朱新萍	副总经理	88,800	0	150	88,800	22,200	66,600	126.6
陈伟文	财务负责人、	70,000	0	150	70,000	17,500	52,500	126.6

	副总经理
倪图强	副总经理	70,000	0	150	70,000	17,500	52,500	126.6
刘晓宇	董事会秘书、副总经理	57,300	0	150	57,300	14,300	43,000	126.6
合计	/	546,800	0	/	546,800	136,700	410,100	/

(四) 报告期内对高级管理人员的考评机制，以及激励机制的建立、实施情况

√适用 □不适用

公司制定了高级管理人员的业绩考核体系与业绩考核指标，由薪酬与考核委员会负责落实。公司制定了较为完善的考评机制，根据年度经营责任考核相关管理办法，通过多种立体指标体系来进行考核奖惩，调动高级管理人员的工作积极性和能动性，有效提升公司治理水平。

十四、 报告期内的内部控制制度建设及实施情况

√适用 □不适用

内容详见公司于 2022年3月31日在上交所网站披露的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2021年度内部控制评价报告》

报告期内部控制存在重大缺陷情况的说明

□适用 √不适用

十五、 报告期内对子公司的管理控制情况

√适用 □不适用

公司所属子公司一直坚持稳健经营的原则，严格按照《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》等法规和条例以及公司章程，规范经营行为，加强内部管理。公司已建立《子公司管理制度》，通过经营管理、人事和薪酬管理、财务管理、重大事项报告和审议、审计和监督等多方面，对子公司进行管理和约束，以此保护公司和各投资人的合法权益，确保各子公司规范、有序、健康发展。

十六、 内部控制审计报告的相关情况说明

√适用 □不适用

内容详见公司于2022年3月31日在上交所网站披露的《中微半导体设备（上海）股份有限公司内部控制审计报告》是否披露内部控制审计报告：是内部控制审计报告意见类型：标准的无保留意见

十七、 上市公司治理专项行动自查问题整改情况

不适用

十八、 其他

□适用 √不适用

第五节 环境、社会和管治

一、 董事会有关ESG情况的声明

中微公司已经建立了涵盖“决策层-管理层-执行层”三个层级的环境、社会和管治（“ESG”）的治理架构。中微公司董事会将从“强化ESG事宜监督”“ 明确ESG战略方针”及“ESG目标进展检讨”三个方面落实ESG事项具体工作、完善具体计划、明确未来发展目标，为社会创造一个更美好的生活环境。

二、 环境信息情况

(一) 是否属于环境保护部门公布的重点排污单位

□是 √否

(二) 报告期内因环境问题受到行政处罚的情况

无

(三) 资源能耗及排放物信息

√适用 □不适用

公司生产所用能源投入主要为电力、燃气、水，主要污染物排放量较少，不属于重污染行业。根据环境保护部颁布的《环境保护综合名录》（2017年版），公司产品不属于“高污染、高环境风险”产品名录。公司生产过程中产生的污染物主要是废水、废气、固体废弃物等，公司在生产中已采取相应的污染防治措施，确保污染物经过环保设施处理后达标排放。

根据生态环境部颁布的《环境保护综合名录（2021年版）》，公司产品不属于“高污染、高环境风险”产品名录。公司在研发和生产过程中使用的主要能源包括电力、燃气、水等。公司生产过程以零配件组装为主，只产生少量的固体废物，研发过程只涉及少量的工艺测试气体，所产生的废气、废水经过环保设施处理后达标排放，少量危险废物和一般工业固废交有资质的第三方合规处置。

1.温室气体排放情况

√适用 □不适用

温室气体排放总量（范畴一和范畴二）合计16732.16吨。

2.能源资源消耗情况

√适用 □不适用

公司消耗的能源以电力、燃气、水为主，其中2021年天然气使用50799m?，电力使用约

2766.7万kW·h，自来水消耗量68650吨。

3.废弃物与污染物排放情况

√适用 □不适用

2021年中微公司产生的一般工业固废122吨，危险废物10.67吨，均已委托有处置资质的第三方进行合规处置。

2021年中微公司各类污染物排放浓度和总量满足排污许可证相关要求，并已在全国排污许可证管理信息平台向属地生态环境部门提交了2021年度执行报告。

公司环保管理制度等情况

√适用 □不适用

中微公司依托ISO环境管理体系，制定了各类与环保相关的体系文件进行内部的环境管理，并严格遵守国家和地区与环保相关的法律法规，同时定期开展相关法律法规的学习和研讨，不断完善和优化环境管理制度。

(四) 在报告期内为减少其碳排放所采取的措施及效果

√适用 □不适用

中微公司在自身运营活动中深入贯彻可持续发展理念，在上海的研发制造基地陆续实施多项节能、节水的工程项目，取得了显著成效，部分工程描述如下。节能项目：

项目名称	工程描述
冷却塔免费制冷技改项目	原洁净室空调冷源全年采用冷冻机制冷的方式，改造后，当冬季当室外气温低于15℃时，停用冷水机组，采用冷却塔+板式换热器免费制冷，节约能源。
新风系统节能技改项目	原洁净室MAU采用蒸汽加湿模式，需要消耗大量电能；改造后采用湿膜加湿，不需要采用电加热器，节约电能。
冷热泵节能技改项目	原风冷热泵运行时间较长，能效大幅降低。通过节能改造，采用风冷模块机组替换原有风冷热泵，提高制热效率约25%，同时降低运行风险。
厂区照明灯具节能改造项目	采用高效LED灯管替代原有普通日光灯管。

节水项目：

项目名称	工程描述
Local Scrubber 节水技改项目	原有Scrubber冷却水采用自来水冷却直排方式，改造后采用循环冷却水系统+定期排水，达到节水目的。

(五) 碳减排方面的新技术、新产品、新服务情况

√适用 □不适用

刻蚀设备：中微十分注重能效的提高，不断优化产品射频回路的设计，降低射频在传递路上的能量损失。在硅通孔刻蚀（TSV）的产品开发中，公司致力于从源头减少温室气体的排放，通过优化硅通孔刻蚀用的博世工艺中的气体注入腔体方式的设计，将气柜与设备集成在一起，并利用快速反应的气体流量计，实现反应气体在腔体内的快速切换，而非常开气体切换到排气端口，从而降低了单位晶圆硅通孔刻蚀的工艺气体的用量。

MOCVD设备：在全社会节能减排和绿色环保的大背景下，LED成为照明主流光源已是行业共识，LED产业是实现全社会节能降耗的重要支撑。在LED产业中，LED外延片的制备是关键生产步骤，而LED外延片的生产主要是通过MOCVD设备实现。中微公司MOCVD设备是用

于制备化合物半导体材料的关键设备，这些材料所构成的器件被广泛应用于制造通用照明和背光显示的蓝光LED、高端显示的Mini LED和Micro LED、用于杀菌消毒和空气净化的紫外LED、电力电子的功率器件等高效节能的终端设备，通过这些产品的广泛使用为全社会节能降耗贡献中微力量。

环保设备：子公司中微惠创立足于行业发展需求，开发了工业用大型VOC净化设备、Local Scrubber有毒有害气体处理设备等环保设备，被广泛应用于国内集成电路、面板显示等行业生产制造过程中产生的废气，以改善洁净室的工作环境，满足政府部门对高新技术行业严格的气体排放标准，助力行业健康高质量发展。更多内容请参见公司于2022年3月31日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年度环境、社会及管治报告》。

(六) 有利于保护生态、防治污染、履行环境责任的相关信息

√适用 □不适用

1、中微公司在日常运营中，严格按照国家和地区相关环境保护法律法规、政策、标准、规范等要求，结合公司相关环境管理文件，进行日常管理。如通过变更管理等手段，及时发现研发过程中与环境相关的因素，从源头落实污染防治措施，减少或消除污染物的排放。

2、对技改和新建项目，充分落实项目的环境影响评价、节能评估等程序要求，保护地区生态环境，有效的进行污染防治，履行应尽的节能减排主体责任。

3、中微公司已抓紧组织编制内部“碳达峰”实施方案，并不断提高自身节能减排的能力，力争早日实现“碳中和”。

4、环境保护目标的实现离不开中微全体员工的努力，中微公司通过内外部宣传、员工培训等方式，不断强化员工的环保意识，形成全员节能减排的氛围，履行社会责任。

更多内容请参见公司于2022年3月31日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年度环境、社会及管治报告》。

三、 社会责任工作情况

(一)主营业务社会贡献与行业关键指标

公司生产的刻蚀设备是制造各种电子设备微观器件的关键设备，为信息化产业的发展奠定了基础；MOCVD设备是用于制备化合物半导体材料的关键设备，这些材料所构成的器件被广泛应用于LED固态照明、显示、功率器件等主流高效节能终端产品，为全社会节能降耗贡献中微力量。这些设备制造的集成电路和微观器件带动了数码时代的发展，从而在根本上改变了人们的生产方式和生活方式。我们希望通过公司的努力，为改善人类生产生活方式，提升人们的生活质量做出积极贡献。具体请参见公司于2022年3月31日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年度环境、社会及管治报告》。

(二)从事公益慈善活动的类型及贡献

类型	数量	情况说明
对外捐赠
其中：资金（万元）	275.84	1、援建南昌前坊小学项目，改造修缮工程于2021年6月正式竣工，费用支出共计165万元人民币。 2、关爱浦东特困老人项目，走访慰问了共计77位特困老人，支出共计80.84万元人民币。 3、与中国科学技术大学开展学科共建，开展“中微半导体集成电路英才班”项目，2021年首笔捐助支出共计30万元人民币。

1. 从事公益慈善活动的具体情况

√适用 □不适用

报告期内，公司从事的公益活动包括“援建南昌前坊小学”、“关爱浦东特困老人公益项目”、“与中科大开展学科共建”、“牛津剑桥博士团访问”“关爱浦东特困老人公益项目”等相关活动，具体请参见公司于详见公司于2022年3月31日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年度环境、社会及管治报告》。

2. 巩固拓展脱贫攻坚成果、乡村振兴等工作具体情况

√适用 □不适用

报告期内，公司从事的脱贫攻坚包括“南昌前坊小学”、“关爱浦东特困老人公益项目”，具体请参见公司于详见公司于2022年3月31日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年度环境、社会及管治报告》。

(三)股东和债权人权益保护情况

报告期内，公司按照《公司法》《证券法》《上市公司股东大会规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律法规要求，建立了较为完善的公司内控制度和公司治理结构，持续强化法律法规政策落实、风险管理和内部控制，严格贯彻执行相关制度，切实保障股东和债权人的各项合法权益。

公司严格履行信息披露义务，通过公告、投资者交流会、业绩说明会等多渠道， 做到信息披露的真实、准确、及时、完整，使得股东和债权人平等的获取信息。

(四)职工权益保护情况

公司制定了包括招聘、培训、考核、奖惩等在内的用工制度和人事管理制度，依法与员工签订劳动合同，为员工提供基本养老保险、医疗保险、公积金等福利。公司关注员工的发展，提供宿舍、接送班车、工作餐、健康体检、节日福利等各项福利。公司建立人才梯队培养机制，采用企业内训、外聘内训和委外培训相结合的方式，开展多维度、多层次的培训项目，让员工与企业共同进步，共同成长。为吸引和保留核心骨干人才，公司不断探索员工激励机制，促进公司长远发展。

员工持股情况

员工持股人数（人）	644
员工持股人数占公司员工总数比例（%）	61.45
员工持股数量（万股）	9,882.2938
员工持股数量占总股本比例（%）	16.04

*注：员工持股包括离职员工持股

(五)供应商、客户和消费者权益保护情况

公司建立了供应商评价管理体系，与主要零部件供应商保持良好的合作关系。公司保障供应商的合法权益，保证采购款项的按计划支付，保持与供应商沟通的及时性、有效性，不断深化交流合作。坚持以客户为中心，树立客户至上的服务理念，努力提高产品质量与服务质量，为客户提供设备和技术解决方案。

(六)产品安全保障情况

公司本着安全第一、全员参与的原则，将安全生产目标落实到各部门及个人的年度绩效考核中，形成全员参与的安全、环保、健康管理体系。公司积极开展各项安全培训，包括全员的岗前三级安全教育、针对特殊性岗位的安全培训课程、外来承包商人员安全培训和告知等，提升员工安全意识。公司通过了ISO45001职业健康安全管理体系、ISO14001环境管理体系和安全生产标准化二级认证。公司通过隐患排查、日常巡检、各项综合检查等方式，对公司运营中存在的隐患进行排查并及时改善。公司通过实施安全管理措施，降低运营风险，保障员工的身体健康和安全，为公司的正常运营和发展打下坚实的基础。

(七)在承担社会责任方面的其他情况

√适用 □不适用

公司积极加强与政府、行业协会、监管机构以及媒体的沟通与联系，建立畅通的沟通渠道，并主动接受监管和检查，持续提升公司社会责任履行的透明度，在推进公司经营发展的同时，注重企业的社会价值实现，构建和谐、友善的公共关系。

四、 其他公司治理情况

(一) 党建情况

√适用 □不适用

公司设立党支部，目前支部有56名党员，上级党委为中共上海金桥经济技术开发区综合委员会。2021年内，在党支部全体党员共同努力下，各项工作有序开展，有效进一步加强了基层党建工作。

公司党支部组织党员加强理论与实践学习，努力把思想政治工作和公司发展建设工作紧密结合起来，强化各党员的责任感、使命感及紧迫感，更好地为公司、社会、国家作出应有的贡献。

(二) 投资者关系及保护

类型	次数	相关情况
召开业绩说明会	3	为加强与投资者的沟通，公司召开了2020年年度业绩说明会、2021半年度业绩说明会和2021三季报业绩说明会，就公司定期报告业绩与经营情况与投资者进行了交流。
借助新媒体开展投资者关系管理活动	0	不适用
官网设置投资者关系专栏	√是 □否	具体情况请见公司官网：https://www.amec-inc.com/index.html

开展投资者关系管理及保护的具体情况

√适用 □不适用

公司严格遵守法律法规和监管机构规定，严格执行公司信息披露管理制度，真实、准确、完整、及时、公平地履行信息披露义务，通过上市公司公告、投资者交流会、业绩说明会、上证e互动、电话、邮件等诸多渠道与投资者保持密切沟通，保持公司营运透明度。

其他方式与投资者沟通交流情况说明

□适用 √不适用

(三) 信息披露透明度

√适用 □不适用

公司严格按照《证券法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司信息披露管理办法》等法律法规、规范性文件以及《公司章程》《信息披露管理制度》《信息披露暂缓与豁免事务管理制度》等内部制度，真实、准确、完整、及时、公平地披露有关信息，保障投资者的知情权。公司设置董事会秘书作为信息披露境内代表，投资者可以通过信息披露报纸《上海证券报》《中国证券报》《证券时报》和《证券日报》、上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）等途径便捷获取信息。

(四) 知识产权及信息安全保护

√适用 □不适用

1、知识产权保护

中微作为一家半导体设备领域的跨国高科技创新公司，知识产权的保护、管理和运用在激励和保护创新、公司运营和保驾公司发展壮大的过程中扮演了非常关键和重要的角色。除了做好自我知识产权保护之外，公司秉承“遵循诚信原则及商业道德，尊重包括客户、供应商和竞争对手在内的任何第三方的知识产权”的原则，做好相关利益方的知识产权保护，致力于构建公平、规范的良性商业竞争环境。公司鼓励员工积极申请包括专利、商标、著作权等在内的各种知识产权。为了激励员工积极地发明创新和提高申请的知识产权质量，公司分别在专利的申请阶段和授

权阶段均给予专利发明人奖励；公司每年还进行“中微优秀专利奖”评选，并对获奖专利的发明人给予奖励。2021年，公司共申请专利216件、著作权9件、商标5件；截至2021年12月末，公司有效的授权专利1,179件、著作权14件、商标131件。报告期内，在第二十二届中国专利奖的评选中，中微公司再次获评“中国专利金奖”。

2、信息安全保护

中微公司高度重视客户信息的安全保护和商业秘密保护，针对不同客户的机密信息和商业秘密采取隔离管理、分级管理和权限管理。公司要求员工接触客户的机密信息和商业秘密，应当基于“实际工作需要和必须知晓”的原则（“最小化接触原则”）。公司制定了《中微半导体设备信息安全指导原则》《中微半导体设备信息安全策略》等制度文件，从数据的采集、传输、存储、处理、交换、归档、销毁等阶段对数据的重要性程度进行了规定，并形成了针对可接受信息、VPN访问、密码管理、防病毒、电子邮件、远程访问、无线通讯、路由器和交换机安全等信息安全保护重点领域的保护策略，确保在与客户合作交流、产品研发、产品生产制造和服务交付过程中不会泄露客户关键信息。2021年，公司作为工信部工业互联网企业网络安全分级管理试点，参与并通过了以《工业互联网数据安全保护要求》为参考标准的现场考核工作，推进了作为工业互联网企业的数据安全的标准化工作。

(五) 机构投资者参与公司治理情况

√适用 □不适用

1、机构股东概况

公司股权结构比较分散，无控股股东和实际控制人，机构股东类型包括公墓基金、私募基金、证券、保险机构、QFII等，机构投资者类型多元。

2、机构投资者参与公司治理的制度基础

公司依据《公司法》《证券法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引1号——规范运作》等相关法律、法规和规范性文件要求，制定《公司章程》，建立了由股东大会、董事会、监事会和高级管理人员组成的公司治理架构，形成了权力机构、决策机构、监督机构和管理层之间权责明确、运作规范的相互协调和相互制衡机制。

3、机构投资者参与公司治理的方式和途径

基于公司当前的治理体系，机构股东可根据入股时间及持股比例等具体情况，通过以下多种途径参与公司治理，包括但不限于：（1）推荐董事、监事人选， 参与董事会、监事会日常运作，参与或监督公司日常经营事项；（2）行使表决权、质询权、建议权、临时提案权等相关股东权利，参与重大事项决策。

(六) 其他公司治理情况

□适用 √不适用

第六节 重要事项

一、承诺事项履行情况

(一) 公司实际控制人、股东、关联方、收购人以及公司等承诺相关方在报告期内或持续到报告期内的承诺事项

√适用 □不适用

承诺背景	承诺 类型	承诺方	承诺 内容	承诺时间及期限	是否有履行期限	是否及时严格履行	如未能及时履行应说明未完成履行的具体原因	如未能及时履行应说明下一步计划
与首次公开发行相关的承诺	股份限售	上海创投	1、自发行人股票上市之日起36个月内，不转让或者委托他人管理本企业或本企业的一致行动人（如有）直接或间接持有的首发前股份，也不提议由发行人回购该部分股份；发行人上市后6个月内若发行人股票连续20个交易日的收盘价低于发行人本次发行上市时的股票发行价，或者上市后6个月期末收盘价低于发行人股票发行价，本企业及本企业的一致行动人持有发行人股份的锁定期自动延长6个月。2、上述限售期满后2年内，如本企业拟进行减持的，本企业将按照相关法律、法规、部门规章、规范性文件的规定减持不超过本企业所持有的30%的发行人股份，减持方式包括但不仅限于集中竞价交易、大宗交易、盘后固定价格交易、协议转让等，减持价格不低于发行价格（发行价格指发行人首次公开发行股票的发行价格，如果因发行人上市后派发现金红利、送股、转增股本等原因进行除权、除息的，则按照上交所的有关规定除权、除息处理），并符合监管规则的规定以及本企业已作出的各项承诺。	自二零一九年七月二十二日起三十六个月内；以及锁定期满后两年	是	是	不适用	不适用

股份限售	巽鑫投资	自发行人股票上市之日起36个月内，不转让或者委托他人管理本企业或本企业的一致行动人（如有）直接或间接持有的首发前股份，也不提议由发行人回购该部分股份。上述限售期满后2年内，如本企业及本企业的一致行动人拟进行减持的，本企业及本企业的一致行动人将按照相关法律、行政法规、部门规章、规范性文件、中国证监会及上交所相关规则的规定，累计减持不超过本企业及本企业的一致行动人合计持有的发行人股份的100%（若监管规则对减持比例及上限另有规定的，从其规定），减持方式包括但不仅限于集中竞价交易、大宗交易、盘后固定价格交易、协议转让等，减持价格将根据当时的二级市场价格确定，并符合监管规则的规定以及本企业已作出的各项承诺。	自二零一九年七月二十二日起三十六个月内；以及锁定期满后两年	是	是	不适用	不适用
股份限售	南昌智微、中微亚洲、Bootes、Grenade、励微投资、芃徽投资	自发行人股票上市之日起36个月内，本企业不会以任何方式转让买卖、委托管理本企业或本企业的一致行动人直接或间接持有的首发前股份，也不提议由公司回购该等股份。除非经发行人事先书面同意，本企业及本企业的一致行动人不会就首发前股份设置担保或以其他方式对首发前股份进行处置。上述限售期满后2年内，如本企业及本企业的一致行动人拟进行减持的，本企业及本企业的一致行动人将按照相关法律、行政法规、部门规章、规范性文件、中国证监会及上交所相关规则（以下统称“监管规则”）的规定，累计减持不超过本企业及本企业的一致行动人合计持有的发行人股份的100%（若监管规则对减持比例及上限另有规定的，从其规定），减持方式包括但不仅限于集中竞价交易、大宗交易、盘后固定价格交易、协议转让等，减持价格将根据当时的二级市场价格确定，并符合监管规则的规定以及本企业已作出的各项承诺。	自二零一九年七月二十二日起三十六个月内；以及锁定期满后两年	是	是	不适用	不适用
股份限售	Futago	自发行人股票上市之日起12个月内，不转让本企业及本企业的一致行动人（如有）所持有的发行人本次发行上市前已发行的股份。上述限售期满后2年内，如本企业及本企业的一致行动人拟进行减持的，本企业及本企业的一致行动人将按照相关法律、行政法规、部门规章、规范性文件、中国证监会及上交所相关规则（以下统称“监管规则”）的规定，累计减持不超过本企业及本企业的一致行动人合计持有的发行人股份的100%（若监管规则对减持比例及上限另有规定	自二零一九年七月二十二日起十二个月内；以及锁定期满后两年	是	是	不适用	不适用

		的，从其规定），减持方式包括但不仅限于集中竞价交易、大宗交易、盘后固定价格交易、协议转让等，减持价格将根据当时的二级市场价格确定，并符合监管规则的规定以及本企业已作出的各项承诺。
股份限售	置都投资、悦橙投资、创橙投资、亮橙投资、橙色海岸	自发行人股票上市之日起12个月内，不转让或委托他人管理本企业及本企业的一致行动人（如有，下同）直接或间接持有的发行人本次发行上市前已发行的股份，也不提议由发行人回购该部分股份。上述限售期满后2年内，如本企业及本企业的一致行动人拟进行减持的，本企业及本企业的一致行动人将按照相关法律、行政法规、部门规章、规范性文件、中国证监会及上交所相关规则（以下统称“监管规则”）的规定，累计减持不超过本企业及本企业的一致行动人合计持有的发行人股份的100%（若监管规则对减持比例及上限另有规定的，从其规定），减持方式包括但不仅限于集中竞价交易、大宗交易、盘后固定价格交易、协议转让等，减持价格将根据当时的二级市场价格确定，并符合监管规则的规定以及本企业已作出的各项承诺。	自二零一九年七月二十二日起十二个月内；以及锁定期满后两年	是	是	不适用	不适用
股份限售	尹志尧、杜志游、倪图强	自发行人股票上市之日起36个月内，本人不会以任何方式转让买卖、委托管理本人及本人的一致行动人直接或间接持有的首发前股份，也不提议由公司回购该等股份，除非经发行人事先书面同意，本人及本人的一致行动人不会就首发前股份设置担保；在本人担任发行人董事或高级管理人员期间，每年直接或间接转让的发行人股份不超过本人直接及间接持有的发行人股份总数的25%。若本人不再担任发行人董事或高级管理人员，则自不再担任上述职位之日起半年内，本人将不转让本人直接或间接持有的发行人股份。自本人直接或间接持有的首发前股份限售期满之日起4年内，每年转让的首发前股份不得超过上市时直接或间接持有发行人首发前股份总数的25%，减持比例将累积使用。	自二零一九年七月二十二日起三十六个月内；本人担任中微公司董事或高级管理人员期间；本人不再担任中微公司董事或高级管理人员职位之日起半年内；以及锁定期满后四年	是	是	不适用	不适用
股份限售	朱新萍、陈伟文、刘晓宇、王志军	自发行人股票发行上市之日起36个月内，本人不会以任何方式转让买卖、委托管理本人及本人的一致行动人直接或间接持有的首发前股份，也不提议由公司回购该等股份，除非经发行人事先书面同意，本人及本人的一致行动人不会就首发前股份设置担保；在本人担任发行人董事、监事或高级管理人员期间，每年直接或间接转让的发行人股份不超过本人直接及间接持有的发行人股份总数的25%。若本人不	自二零一九年七月二十二日起三十六个月内；本人担任中微公司董事、监事或高级管理人员期	是	是	不适用	不适用

		再担任发行人董事、监事或高级管理人员，则自不再担任上述职位之日起半年内，本人将不转让本人直接或间接持有的发行人股份。	间；本人不再担任中微公司董事、监事或高级管理人员职位之日起半年内
股份限售	麦仕义、杨伟、李天笑、吴乾英	自发行人股票发行上市之日起36个月内，本人不会以任何方式转让买卖、委托管理本人及本人的一致行动人直接或间接持有的首发前股份，也不提议由公司回购该等股份，除非经发行人事先书面同意，本人及本人的一致行动人不会就首发前股份设置担保。离职后6个月内不得转让直接或间接持有的首发前股份；自本人直接或间接持有的首发前股份限售期满之日起4年内，每年转让的首发前股份不得超过上市时直接或间接持有发行人首发前股份总数的25%，减持比例将累积使用。	自二零一九年七月二十二日起三十六个月内；离职后六个月内；以及锁定期满后四年	是	是	不适用	不适用
其他	公司、董事、高级管理人员	公司上市后36个月内股票连续20个交易日的收盘价低于发行人最近一期末经审计每股净资产时，公司将采取稳定股价措施，具体如下：“一、稳定发行人股票价格的措施（一）发行人回购股票发行人在单次用于回购股份的资金不超过人民币10,000万元，在证券交易所以市场价格实施连续回购，连续12个月累计回购的股份不超过发行人总股本的3%。（二）董事、高级管理人员增持1、发行人董事、高级管理人员在证券交易所以市场价格增持股份。发行人董事、高级管理人员用于增持发行人股份的货币资金不少于该等董事、高级管理人员上年度自发行人领取现金薪酬总和的20%，不超过上年度自发行人领取现金薪酬总和的50%。2、发行人董事、高级管理人员增持发行人股份，自首次增持之日起算的未来6个月内，累计增持比例不超过发行人已发行股份的1%。3、发行人董事、高级管理人员增持的股份，在增持完成后2年内不得出售。对于发行人未来新聘任的董事、高级管理人员，也须履行以上规定。（三）其他法律、法规以及中国证监会、证券交易所规定允许的措施。二、若发行人股票连续20个交易日的收盘价低于发行人最近一期末经审计每股净资产，发行人应立即启动股价稳定预案。发行人应在有关股价稳定措施启动条件成就后5个交易日内召开董事会讨论稳定股价方案，并提交股东大	自二零一九年七月二十二日起三十六个月内	是	是	不适用	不适用

		会审议通过后实施并公告。三、发行人董事、高级管理人员承诺将按照股东大会审议通过的稳定股价方案实施稳定股价措施。四、终止股价稳定方案的条件（一）发行人股票连续三个交易日的收盘价均高于发行人最近一期经审计的每股净资产（最近一期审计基准日后，因利润分配、资本公积转增股本、增发、配股等情况导致发行人净资产或股份总数出现变化的，每股净资产相应进行调整）；（二）继续实施股价稳定方案将导致发行人股权分布不符合上市条件。
其他	公司	一、发行人不存在不符合发行上市条件而以欺骗手段骗取发行注册的情形。二、若因发行人本次发行上市的招股说明书有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，导致对判断发行人是否符合法律规定的发行条件构成重大、实质影响的，发行人将在中国证监会或人民法院等有权部门作出发行人存在上述违法事实的最终认定或生效判决后五个工作日内启动股份购回程序，根据《科创板上市公司持续监管办法（试行）》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律、法规及《中微半导体（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）规定召开董事会、拟定股份回购的具体方案并按法定程序召集、召开临时股东大会进行审议，并报相关主管部门批准或备案；发行人将依法回购本次公开发行的全部新股，回购价格将按照发行价（若发行人股票在此期间发生派息、送股、资本公积金转赠股本等除权除息事项的，发行价应相应调整）加算银行同期存款利息确定，并根据相关法律、法规及《公司章程》等规定的程序实施。在实施上述股份回购时，如相关法律、法规及《公司章程》等另有规定的，从其规定。	长期有效	否	是	不适用	不适用
其他	上海创投	一、发行人不存在不符合发行上市条件而以欺骗手段骗取发行注册的情形。二、若因发行人本次发行上市的招股说明书有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，导致对判断发行人是否符合法律规定的发行条件构成重大、实质影响的，本企业将督促发行人在中国证监会或人民法院等有权部门作出发行人存在上述违法事实的最终认定或生效判决后五个工作日内启动股份购回程序，根据《科创板上市公司持续监管办法（试行）》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律、法规及《中微半导体（上海）股份有限公司章程》（以下简称	长期有效	否	是	不适用	不适用

		“《公司章程》”）规定召开董事会、拟定股份回购的具体方案并按法定程序召集、召开临时股东大会进行审议，并报相关主管部门批准或备案；督促发行人依法回购本次公开发行的全部新股，回购价格将按照发行价（若发行人股票在此期间发生派息、送股、资本公积金转赠股本等除权除息事项的，发行价应相应调整）加算银行同期存款利息确定，并根据相关法律、法规及《公司章程》等规定的程序实施。同时，本企业将根据上述股份回购措施的规定，依法购回发行人上市后本企业减持的原限售股份，回购价格为市场价格或经证券监督管理部门认可的其他价格。在实施上述股份回购时，如相关法律、法规及《公司章程》等另有规定的，从其规定。
其他	董事、监事及高级管理人员	一、发行人不存在不符合发行上市条件而以欺骗手段骗取发行注册的情形。二、若因发行人本次发行上市的招股说明书有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，导致对判断发行人是否符合法律规定的发行条件构成重大、实质影响的，如经中国证监会或人民法院等有权部门作出发行人构成欺诈发行或重大信息披露违法的最终认定或生效判决且本人对该等违法负有个人责任的，本人将在该等认定或判决作出后五个工作日内按照《科创板上市公司持续监管办法（试行）》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》的规定及中国证监会等有权部门的决定采取补救措施，承担相应的法律责任。	长期有效	否	是	不适用	不适用
其他	公司	1、积极实施募集资金投资项目，进一步加强研发投入，尽快获得预期投资回报；2、大力拓展现有业务，开拓新市场和新领域；3、加强募集资金管理；4、加强经营管理和内部控制，降低发行人运营成本，提升经营效率；5、优化投资回报机制。	长期有效	否	是	不适用	不适用
分红	公司	一、利润分配顺序公司分配当年税后利润时，应当提取利润的10%列入公司法定公积金。公司法定公积金累计额为公司注册资本的50%以上的，可以不再提取。公司的法定公积金不足以弥补以前年度亏损的，在依照前款规定提取法定公积金之前，应当先用当年利润弥补亏损。二、利润分配具体政策1、利润分配的方式：公司利润分配可采取现金、股票、现金与股票相结合或者法律、法规允许的其他方式，利润分配不得超过累计可分配利润的范围，不得损害公司持续经营能力。在有条件的情况下，公司可以进行中期利润分配。公司在选	自二零一九年七月二十二日上市后三年	是	是	不适用	不适用

		东的合法权益是否得到充分维护等。如涉及利润分配政策进行调整或变更的，还要详细说明调整或变更的条件和程序是否合规和透明等。六、其他事项公司股东存在违规占用公司资金情况的，公司应当扣减该股东所分配的现金红利，以偿还其占用的资金。
其他	公司、全体董事、监事、高级管理人员	若因发行人本次发行上市的招股说明书有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，致使投资者在证券交易中遭受损失的，发行人将在中国证监会等有权部门对违法事实作出最终认定后依法赔偿投资者损失。	长期有效	否	是	不适用	不适用
其他	上海创投	公司的招股说明书及其他信息披露资料有虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，致使投资者在证券发行和交易中遭受损失的，将依法赔偿投资者损失。	长期有效	否	是	不适用	不适用
其他	公司及全体股东、全体董事、监事、高级管理人员、核心技术人员	（一）如发行人/本企业/本人非因不可抗力原因导致未能履行公开承诺事项的，需提出新的承诺（相关承诺需按法律、法规、公司章程的规定履行相关审批程序）并接受如下约束措施，直至新的承诺履行完毕或相应补救措施实施完毕：1、发行人/本企业/本人将在股东大会及中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）指定报刊上公开说明未履行承诺的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉；2、及时、充分披露相关承诺未能履行、确已无法履行或无法按期履行的具体原因；3、对该等未履行承诺的行为负有个人责任的董事、监事、高级管理人员、核心技术人员调减或停发薪酬或津贴；4、不得转让发行人的股份。因继承、被强制执行、上市公司重组、为履行保护投资者利益承诺等必须转股的情形除外；5、向投资者提出补充承诺或替代承诺，以尽可能保护投资者的权益；并同意将上述补充承诺或替代承诺提交股东大会审议；6、如违反相关承诺给投资者造成损失的，将依法赔偿投资者的损失。如该等已违反的承诺仍可继续履行，发行人/本企业/本人将继续履行该等承诺。（二）如发行人/本企业/本人因不可抗力原因导致未能履行公开承诺事项的，需提出新的承诺（相关承诺需按法律、法规、公司章程的规定履行相关审批程序）并接受如下约束措施，直至新的承诺履行完毕或相应补救措施实施完毕：1、在股东大会及中国证监会指定的披露媒体上公开说明未	长期有效	否	是	不适用	不适用

			履行的具体原因并向股东和社会公众投资者道歉；2、尽快研究将投资者利益损失降低到最小的处理方案，尽可能地保护投资者利益。
与再融资相关的承诺	其他	公司全体董事、高级管理人员	（1）承诺不无偿或以不公平条件向其他单位或者个人输送利益，也不采用其他方式损害公司利益。（2）承诺对个人的职务消费行为进行约束。（3）承诺不动用公司资产从事与其履行职责无关的投资、消费活动。（4）承诺由董事会或薪酬委员会制定的薪酬制度与公司填补回报措施的执行情况相挂钩。（5）承诺拟公布的公司股权激励（如有）的行权条件与公司填补回报措施的执行情况相挂钩。（6）本承诺出具日后至公司本次向特定对象发行A股股票实施完毕前，若中国证监会作出关于填补回报措施及其承诺的其他新监管规定的，且上述承诺不能满足中国证监会该等规定时，本人承诺届时将按照中国证监会的最新规定出具补充承诺。（7）承诺切实履行公司制定的有关填补回报措施以及对此作出的任何有关填补回报措施的承诺，若本人违反该等承诺并给公司或者投资者造成损失的，本人愿意依法承担对公司或者投资者的补偿责任。	长期有效	否	是	不适用	不适用
	其他	公司全体董事、监事、高级管理人员、上海创投、	公司2020年度向特定对象发行A股股票募集说明书内容真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，按照诚信原则履行承诺，并承担相应的法律责任。	长期有效	否	是	不适用	不适用

(二) 公司资产或项目存在盈利预测，且报告期仍处在盈利预测期间，公司就资产或项目是否达到原盈利预测及其原因作出说明

□已达到 □未达到 √不适用

(三) 业绩承诺的完成情况及其对商誉减值测试的影响

□适用 √不适用

二、报告期内控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况

√适用 □不适用

单位：万元 币种：人民币

股东或关联方名称

关联关系

占用时间

发生原因

期初余额

报告期新增占用金额

报告期偿还总金额

期末余额

截至年报披露日余额

预计偿还方式

预计偿还金额

预计偿还时间

SOLAYER GmbH

其他关联方

2021年7月

关联方借款用于其资金周转

-

1,313.56

-

1,313.56

1,321.68

资金归还

1,343.34

2022年11月30日

合计

/

/

/

-

1,313.56

-

1,313.56

1,321.68

/

1,343.34

/

期末合计值占最近一期经审计净资产的比例

0.09%

控股股东及其他关联方非经营性占用资金的决策程序

公司于2021年7月9日召开了第一届董事会第二十一次会议，审议通过《关于向参股公司提供借款的议案》，同意公司向Solayer提供180万欧元的借款，用于补充经营资金所需。该借款最晚还款期限为 2022 年11月30日，年化利率为 2.5%。

当期新增控股股东及其他关联方非经营性资金占用情况的原因、责任人追究及董事会拟定采取措施的情况说明

不适用

未能按计划清偿非经营性资金占用的原因、责任追究情况及董事会拟定采取的措施说明

不适用

注册会计师对资金占用的专项审核意见（如有）

详见公司披露的《中微半导体设备(上海)股份有限公司-2021年度控股股东及其他关联方占用资金情况专项报告》

年度报告披露的控股股东及其他关联方非经营性占用资金情况与专项审核意见不一致的原因说明（如有）

不适用

三、违规担保情况

□适用 √不适用

四、公司董事会对会计师事务所“非标准意见审计报告”的说明

□适用 √不适用

五、公司对会计政策、会计估计变更或重大会计差错更正原因和影响的分析说明

（一）公司对会计政策、会计估计变更原因及影响的分析说明

□适用 √不适用

（二）公司对重大会计差错更正原因及影响的分析说明

□适用 √不适用

（三）与前任会计师事务所进行的沟通情况

□适用 √不适用

（四）其他说明

□适用 √不适用

六、聘任、解聘会计师事务所情况

单位：元 币种：人民币

	现聘任
境内会计师事务所名称	普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）
境内会计师事务所报酬	3,200,000
境内会计师事务所审计年限	17

	名称	报酬
内部控制审计会计师事务所	普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）	350,000
财务顾问	-
保荐人	海通证券股份有限公司

聘任、解聘会计师事务所的情况说明

√适用 □不适用

2021年5月18日，公司召开2021年第二次临时股东大会，同意继续聘任普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2021年度审计机构。

审计期间改聘会计师事务所的情况说明

□适用 √不适用

七、面临退市风险的情况

(一)导致退市风险警示的原因

□适用 √不适用

(二)公司拟采取的应对措施

□适用 √不适用

(三)面临终止上市的情况和原因

□适用 √不适用

八、破产重整相关事项

□适用 √不适用

九、重大诉讼、仲裁事项

□本年度公司有重大诉讼、仲裁事项 √本年度公司无重大诉讼、仲裁事项

十、上市公司及其董事、监事、高级管理人员、控股股东、实际控制人涉嫌违法违规、受到处罚

及整改情况

□适用 √不适用

十一、报告期内公司及其控股股东、实际控制人诚信状况的说明

□适用 √不适用

十二、重大关联交易

(一) 与日常经营相关的关联交易

1、 已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

√适用 □不适用

事项概述	查询索引
公司于2021年3月30日召开第一届董事会第十八次会议，审议通过《关于预计2021年年度日常关联交易的议案》。	详见在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》和上海交易所网站（www.sse.com.cn）上刊登的公告《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于预计2021年年度日常关联交易的公告》。

2、 已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用 √不适用

3、 临时公告未披露的事项

□适用 √不适用

(二) 资产或股权收购、出售发生的关联交易

1、 已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用 √不适用

2、 已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用 √不适用

3、 临时公告未披露的事项

□适用 √不适用

4、 涉及业绩约定的，应当披露报告期内的业绩实现情况

□适用 √不适用

(三) 共同对外投资的重大关联交易

1、 已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用 √不适用

2、 已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用 √不适用

3、 临时公告未披露的事项

□适用 √不适用

(四) 关联债权债务往来

1、 已在临时公告披露且后续实施无进展或变化的事项

□适用 √不适用

2、 已在临时公告披露，但有后续实施的进展或变化的事项

□适用 √不适用

3、 临时公告未披露的事项

□适用 √不适用

(五) 公司与存在关联关系的财务公司、公司控股财务公司与关联方之间的金融业务

□适用 □不适用

1. 存款业务

□适用 √不适用

2. 贷款业务

□适用 √不适用

3. 授信业务或其他金融业务

□适用 √不适用

4. 其他说明

□适用 √不适用

(六) 其他

√适用 □不适用

事项概述	查询索引
2021年12月27日，公司召开第二届董事会第二次会议，审议通过《关于对参股公司增资暨关联交易的议案》，以公司自有资金现金方式向理想万里晖投资10,000万元人民币，交易价格在评估结果329,900万元的基础上溢价9.12%，认购理想万里晖新增注册资本424.0028万元人民币，公司持股比例由3.6929%增加至4.7735%。	详见2021年12月29日在《中国证券报》《上海证券报》《证券日报》《证券时报》和上海交易所网站（www.sse.com.cn）上刊登的公告《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于对上海理想万里晖薄膜设备有限公司增资暨关联交易的公告》。

十三、重大合同及其履行情况

(一) 托管、承包、租赁事项

1、 托管情况

□适用 √不适用

2、 承包情况

□适用 √不适用

3、 租赁情况

□适用 √不适用

(二) 担保情况

□适用 √不适用

(三) 委托他人进行现金资产管理的情况

1. 委托理财情况

(1) 委托理财总体情况

√适用 □不适用

单位：万元 币种：人民币

类型	资金来源	发生额	未到期余额	逾期未收回金额
银行理财产品	闲置募集资金	644,000.00	194,000.00	-
银行理财产品	自有资金	80,900.00	19,000.00	-

其他情况

□适用 √不适用

(2) 单项委托理财情况

√适用 □不适用

单位：万元 币种：人民币

受托人

委托理财类型

委托理财金额

委托理财起始日期

委托理财终止日期

资金 来源

资金 投向

报酬确定 方式

年化 收益率

预期收益 (如有)

实际 收益或损失

实际收回情况

是否经过法定程序

未来是否有委托理财计划

减值准备计提金额(如有)

上海银行

银行理财产品

30,000.00

2021/07/22

2022/01/19

闲置募集资金

/

/

3.30%

490.93

未到期

是

是

上海银行

银行理财产品

8,000.00

2021/09/23

2022/03/23

闲置募集资金

/

/

3.20%

126.95

未到期

是

是

兴业银行

银行理财产品

8,000.00

2021/10/21

2022/01/20

闲置募集资金

/

/

3.12%

62.23

未到期

是

是

中信银行

银行理财产品

20,000.00

2021/10/21

2022/01/17

闲置募集资金

/

/

3.05%

147.07

未到期

是

是

光大银行

银行理财产品

10,000.00

2021/10/19

2022/01/19

闲置募集资金

/

/

3.15%

79.40

未到期

是

是

建设银行

银行理财产品

20,000.00

2021/10/13

2022/01/13

闲置募集资金

/

/

3.15%

158.79

未到期

是

是

建设银行

银行理财产品

50,000.00

2021/11/03

2022/02/03

闲置募集资金

/

/

3.15%

396.99

未到期

是

是

中国银行

银行理财产品

40,000.00

2021/11/01

2022/04/01

闲置募集资金

/

/

3.28%

542.77

未到期

是

是

浦发银行

银行理财产品

8,000.00

2021/11/05

2022/02/07

闲置募集资金

/

/

3.15%

64.90

未到期

是

是

浦发银行

银行理财产品

14,000.00

2021/12/28

2022/03/28

自有资金

/

/

3.20%

110.47

未到期

是

是

其他情况

□适用 √不适用

(3) 委托理财减值准备

□适用 √不适用

2. 委托贷款情况

(1) 委托贷款总体情况

□适用 √不适用

其他情况

□适用 √不适用

(2) 单项委托贷款情况

□适用 √不适用

其他情况

□适用 √不适用

(3) 委托贷款减值准备

□适用 √不适用

3. 其他情况

□适用 √不适用

(四) 其他重大合同

□适用 √不适用

十四、募集资金使用进展说明

√适用 □不适用

(一) 募集资金整体使用情况

√适用 □不适用

单位：元

募集资金来源	募集资金总额	扣除发行费用后募集资金净额	募集资金承诺投资总额	调整后募集资金承诺投资总额 (1)	截至报告期末累计投入募集资金总额（2）	截至报告期末累计投入进度（%）(3)＝(2)/(1)	本年度投入金额（4）	本年度投入金额占比（%）（5）=(4)/(1)
2019年首次公开发行股票募集资金	1,551,635,358.24	1,445,702,792.76	1,000,000,000.00	1,000,000,000.00	999,834,753	99.98	330,003,799	33.00
2020年度向特定对象发行A股股票募集资金	8,206,658,677.15	8,118,162,441.14	10,000,000,000.00	8,118,162,441.14	651,774,608	8.03	651,774,608	8.03

(二) 募投项目明细

√适用 □不适用

单位：元

项目名称

是否涉及变更投向

募集资金来源

项目募集资金承诺投资总额

调整后募集资金投资总额 (1)

截至报告期末累计投入募集资金总额（2）

截至报告期末累计投入进度（%） (3)＝(2)/(1)

项目达到预定可使用状态日期

是否已结项

投入进度是否符合计划的进度

投入进度未达计划的具体原因

本项目已实现的效益或者研发成果

项目可行性是否发生重大变化，如是，请说明具体情况

节余的金额及形成原 因

高端半导体设备扩产升级项目

否

2019年首次公开发行股票募集资金

400,000,000.00

400,000,000.00

399,910,276

99.98

不适用

是

是

不适用

不适用

不适用

不适用

技术研发中心建设升级项目

否

2019年首次公开发行股票募集资金

400,000,000.00

400,000,000.00

399,924,477

99.98

不适用

是

是

不适用

不适用

不适用

不适用

补充流动资金

否

2019年首次公开发行股票募集资金

200,000,000.00

200,000,000.00

200,000,000

100

不适用

是

是

不适用

不适用

不适用

不适用

中微产业化基地建设项目

否

2020年度向特定对象发行A股股票募集资金

3,170,000,000.00

3,170,000,000.00

382,866,277

12.08

不适用

否

是

不适用

不适用

不适用

不适用

中微临港总部和研发中心项目

否

2020年度向特定对象发行A股股票募集资金

3,750,000,000.00

3,750,000,000.00

268,908,331

7.17

不适用

否

是

不适用

不适用

不适用

不适用

科技储备资金

否

2020年度向特定对象发行A股股票募集资金

3,080,000,000.00

1,198,162,441.14

-

-

不适用

否

是

不适用

不适用

不适用

不适用

(三) 报告期内募投变更情况

□适用 √不适用

(四) 报告期内募集资金使用的其他情况

1、 募集资金投资项目先期投入及置换情况

√适用 □不适用

2021 年8月24日，公司第一届董事会第二十二次会议和第一届监事会第十六次会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用本次发行募集资金置换预先投入的自筹资金合计人民币33,326.67万元，其中预先投入到募投项目的自筹资金为33,105.98万元，预先支付发行费用的自筹资金为220.69万元。上述置换符合监管要求。

2、 用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

□适用 √不适用

3、 对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

√适用 □不适用

1）2019年首次公开发行股票募集资金

公司于2021年4月27日召开第一届董事会第十九次会议及第一届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过70,000万元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自第一届董事会第十九次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。

2）2020年度向特定对象发行A股股票募集资金

公司于2021年7月9日召开第一届董事会第二十一次会议及第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自第一届董事会第二十一次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。

具体产品情况详见本节“十三、重大合同及其履行情况”之“(三) 委托他人进行现金资产管理的情况”。

4、 用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

□适用 √不适用

5、 其他

□适用 √不适用

十五、其他对投资者作出价值判断和投资决策有重大影响的重大事项的说明

□适用 √不适用

第七节 股份变动及股东情况

一、 股本变动情况

(一) 股份变动情况表

1、 股份变动情况表

单位：股

	本次变动前		本次变动增减（＋，－）					本次变动后
	数量	比例(%)	发行新股	送股	公积金转股	其他	小计	数量	比例(%)
一、有限售条件股份	289,459,702	54.12	80,229,335			-2,068,252	78,161,083	367,620,785	59.65
1、国家持股
2、国有法人持股	198,475,982	37.11	25,906,735				25,906,735	224,382,717	36.41
3、其他内资持股	26,164,585	4.89	41,740,728			-2,068,252	39,672,476	65,837,061	10.68
其中：境内非国有法人持股	26,164,585	4.89	41,740,728			-2,068,252	39,672,476	65,837,061	10.68
境内自然人持股
4、外资持股	64,819,135	12.12	12,581,872				12,581,872	77,401,007	12.56
其中：境外法人持股	47,383,863	8.86	12,581,872				12,581,872	59,965,735	9.73
境外自然人持股	17,435,272	3.26						17,435,272	2.83
二、无限售条件流通股份	245,402,535	45.88				3,221,160	3,221,160	248,623,695	40.35
1、人民币普通股	245,402,535	45.88				3,221,160	3,221,160	248,623,695	40.35
2、境内上市的外资股
3、境外上市的外资股

4、其他
三、股份总数	534,862,237	100.00	80,229,335			1,152,908	81,382,243	616,244,480	100.00

2、 股份变动情况说明

√适用 □不适用

公司于2021年7月3日，在上海证券交易所（www.sse.com.cn）披露了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行股票发行结果暨股本变动公告》（公告编号：

2021-035），本次发行对象为20家，本次发行新增80,229,335股股份已于2021年6月30日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份登记手续，本次发行对象认购的股票自发行结束之日起6个月内不得转让，本次登记完成后，公司股份总数由534,862,237股变为615,091,572股。

公司于2021年8月17日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕2020年限制性股票激励计划股份登记手续。公司新增股份1,152,908股，公司股份总数由615,091,572股变为616,244,480股。

3、 股份变动对最近一年和最近一期每股收益、每股净资产等财务指标的影响（如有）

√适用 □不适用

报告期内，公司向特定对象发行股票80,229,335股。上述股本变动使公司2021年度的基本每股收益以及每股净资产等指标被摊薄，具体变动情况详见“第二节 公司简介和主要财务指标”之“六、近三年主要会计数据和财务指标”之“（二）主要财务指标”。

4、 公司认为必要或证券监管机构要求披露的其他内容

□适用 √不适用

(二) 限售股份变动情况

√适用 □不适用

单位: 股

股东名称	年初限售股数	本年解除限售股数	本年增加限售股数	年末限售股数	限售原因	解除限售日期
国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司	0	24,440,316	24,440,316	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
工银瑞信基金管理有限公司	0	9,082,020	9,082,020	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
GIC Private Limited	0	7,615,602	7,615,602	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
国泰君安证券股份有限公司	0	5,386,645	5,386,645	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04

中国国际金融股份有限公司	0	3,969,107	3,969,107	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
高毅晓峰2号致信基金	0	3,799,586	3,799,586	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
法国巴黎银行-自有资金	0	2,639,553	2,639,553	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
南方基金管理股份有限公司	0	2,395,151	2,395,151	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
河南资产管理有限公司	0	2,365,822	2,365,822	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
UBS AG	0	2,326,717	2,326,717	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
国泰基金管理有限公司	0	2,043,210	2,043,210	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
济南江山投资合伙企业（有限合伙）	0	1,955,225	1,955,225	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
诺德基金管理有限公司	0	1,945,448	1,945,448	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
高毅-晓峰1号睿远证券投资基金	0	1,466,419	1,466,419	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
新华人寿保险股份有限公司-新华人寿保险股	0	1,466,419	1,466,419	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04

份有限公司稳得盈两全保险（分红型）
新华人寿保险股份有限公司-传统-普通保险产品-018L-CT001沪	0	1,466,419	1,466,419	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
新华人寿保险股份有限公司-分红-团体分红-018L-FH002沪	0	1,466,419	1,466,419	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
北京时间投资管理有限公司-时间方舟1号私募证券投资基金	0	1,466,419	1,466,419	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
广发基金管理有限公司	0	1,466,419	1,466,419	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
上海浦东新兴产业投资有限公司	0	1,466,419	1,466,419	0	认购公司向特定对象发行的股票自发行结束之日起6个月内不得转让	2022-01-04
合计	0	80,229,335	80,229,335	0	/	/

二、 证券发行与上市情况

(一) 截至报告期内证券发行情况

√适用 □不适用

单位：股 币种：人民币

股票及其衍生 证券的种类	发行日期	发行价格（或利率）	发行数量	上市日期	获准上市交易数量	交易终止日期
普通股股票类
人民币普通股	2021-6-30	102.29	80,229,335	2021-6-30	80,229,335	/

截至报告期内证券发行情况的说明（存续期内利率不同的债券，请分别说明）：

√适用 □不适用

经中国证券监督管理委员会出具的《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2021]645号）核准，公司向特定对象发行人民币普通股（A股）80,229,335股，每股发行价为人民币102.29元。上述股份于2021年6月30日在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份登记手续。

(二) 公司股份总数及股东结构变动及公司资产和负债结构的变动情况

√适用 □不适用

报告期内，公司向特定对象发行人民币普通股（A 股） 80,229,335 股，2020年限制性股票激励计划股份归属和作废，公司总股本从534,862,237股增至616,244,480股。

报告期初，公司资产总额580,087.69万元，负债总额143,156.99万元，资产负债率为24.68%。报告期期末，公司资产总额1,673,298.90 万元，负债总额580,087.69 万元，资产负债率为16.69%。

三、 股东和实际控制人情况

(一) 股东总数

截至报告期末普通股股东总数(户)	53,532
年度报告披露日前上一月末的普通股股东总数(户)	57,591
截至报告期末表决权恢复的优先股股东总数（户）	/
年度报告披露日前上一月末表决权恢复的优先股股东总数（户）	/
截至报告期末持有特别表决权股份的股东总数（户）	/
年度报告披露日前上一月末持有特别表决权股份的股东总数（户）	/

存托凭证持有人数量

□适用 √不适用

(二) 截至报告期末前十名股东、前十名流通股东（或无限售条件股东）持股情况表

单位:股

前十名股东持股情况
股东名称 （全称）	报告期内增减	期末持股数量	比例(%)	持有有限售条件股份数量	包含转融通借出股份的限售股份数量	质押、标记或冻结情况		股东 性质
						股份 状态	数量

上海创业投资有限公司	0	96,383,533		15.64	96,383,533	96,383,533		无	0		国有法人
巽鑫（上海）投资有限公司	0	93,337,887		15.15	93,337,887	93,337,887		无	0		国有法人
嘉兴智微企业管理合伙企业（有限合伙）	0	30,644,454		4.97	30,644,454	30,644,454		无	0		境内非国有法人
Advanced Micro－Fabrication Equipment Inc. Asia	0	24,821,537		4.03	24,821,537	24,821,537		无	0		境外法人
华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司	24,440,316	24,440,316		3.97	0	0		无	0		国有法人
中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金	734,441	15,453,182		2.51	0	0		无	0		其他
香港中央结算有限公司	13,477,394	13,477,394		2.19	0	0		无	0		其他
GRENADE PTE. LTD.	0	11,442,746		1.86	11,442,746	11,442,746		无	0		境外法人
BOOTES PTE. LTD.	0	11,119,580		1.80	11,119,580	11,119,580		无	0		境外法人
GIC PRIVATE LIMITED	5,044,343	9,499,674		1.54	0	0		无	0		境外法人
前十名无限售条件股东持股情况
股东名称			持有无限售条件流通股的数量				股份种类及数量
							种类			数量
华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司			24,440,316				人民币普通股			24,440,316
中国工商银行股份有限公司－诺安成长股票型证券投资基金			15,453,182				人民币普通股			15,453,182
香港中央结算有限公司			13,477,394				人民币普通股			13,477,394
GIC PRIVATE LIMITED			9,499,674				人民币普通股			9,499,674
国开创新资本投资有限责任公司			8,799,459				人民币普通股			8,799,459
嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）			7,821,958				人民币普通股			7,821,958
交通银行股份有限公司－万家行业优选混合型证券投资基金（LOF）			6,000,000				人民币普通股			6,000,000
嘉兴创橙投资合伙企业（有限合伙）			5,969,221				人民币普通股			5,969,221
国泰君安证券股份有限公司			5,747,084				人民币普通股			5,747,084

上海浦东新兴产业投资有限公司	4,355,887	人民币普通股	4,355,887
前十名股东中回购专户情况说明	无
上述股东委托表决权、受托表决权、放弃表决权的说明	无
上述股东关联关系或一致行动的说明	悦橙投资、创橙投资的管理机构为上海兴橙投资管理有限公司，视为一致行动人。除此之外，未知上述股东是否存在关联关系或一致行动关系。
表决权恢复的优先股股东及持股数量的说明	无

前十名有限售条件股东持股数量及限售条件

√适用 □不适用

单位：股

序号	有限售条件股东名称	持有的有限售条件股份数量	有限售条件股份可上市交易情况		限售条件
			可上市交易时间	新增可上市交易股份数量
1	上海创业投资有限公司	96,383,533	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售
2	巽鑫（上海）投资有限公司	93,337,887	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售
3	嘉兴智微企业管理合伙企业（有限合伙）	30,644,454	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售
4	Advanced Micro－Fabrication Equipment Inc. Asia	24,821,537	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售
5	GRENADE PTE. LTD.	11,442,746	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售
6	BOOTES PTE. LTD.	11,119,580	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售
7	YIN GERALD ZHEYAO	6,200,266	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售

8	MAK STEVE SZE-YEE	2,341,106	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售
9	DU ZHIYOU	2,331,436	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售
10	LEE STEVEN TIANXIAO	2,076,657	2022/7/22	0	上市之日起36个月内限售
上述股东关联关系或一致行动的说明		无

截至报告期末公司前十名境内存托凭证持有人情况表

□适用 √不适用

前十名有限售条件存托凭证持有人持有数量及限售条件

□适用 √不适用

(三) 截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

□适用 √不适用

(四) 战略投资者或一般法人因配售新股/存托凭证成为前十名股东

√适用 □不适用

战略投资者或一般法人的名称	约定持股起始日期	约定持股终止日期
华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司	2021-6-30	/
战略投资者或一般法人参与配售新股约定持股期限的说明	华芯投资管理有限责任公司－国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司所持股票限售期为6个月，已于2022年1月4日上市流通。

(五) 首次公开发行战略配售情况

1. 高级管理人员与核心员工设立专项资产管理计划参与首次公开发行战略配售持有情况

□适用 √不适用

2. 保荐机构相关子公司参与首次公开发行战略配售持股情况

√适用 □不适用

单位:股

股东名称	与保荐机构的关系	获配的股票/存托凭证数量	可上市交易时间	报告期内增减变动数量	包含转融通借出股份/存托凭证的期末持有数量
海通创新证券投资有限公司	海通创新证券投资有限公司为海通证券股份有限公司的全资子公司	2,068,252	2021-07-22	2,068,252	0

四、 控股股东及实际控制人情况

(一) 控股股东情况

1 法人

□适用 √不适用

2 自然人

□适用 √不适用

3 公司不存在控股股东情况的特别说明

√适用 □不适用

中微公司第一大股东上海创投的持股比例为15.64%，第二大股东巽鑫投资的持股比例为

15.15%，两者持股比例接近。根据公司目前的实际经营管理情况，公司重要决策均属于各方共同参与决策，公司无实际控制人。

4 报告期内控股股东变更情况的说明

□适用 √不适用

5 公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图

□适用 √不适用

(二) 实际控制人情况

1 法人

□适用 √不适用

2 自然人

□适用 √不适用

3 公司不存在实际控制人情况的特别说明

√适用 □不适用

中微公司第一大股东上海创投的持股比例为15.64%，第二大股东巽鑫投资的持股比例为

15.15%，两者持股比例接近。根据公司目前的实际经营管理情况，公司重要决策均属于各方共同参与决策，公司无实际控制人。

4 报告期内公司控制权发生变更的情况说明

□适用 √不适用

5 公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图

□适用 √不适用

6 实际控制人通过信托或其他资产管理方式控制公司

□适用 √不适用

(三) 控股股东及实际控制人其他情况介绍

□适用 √不适用

五、 公司控股股东或第一大股东及其一致行动人累计质押股份数量占其所持公司股份数量比例达到 80%以上

□适用 √不适用

六、 其他持股在百分之十以上的法人股东

√适用 □不适用

单位：万元 币种：人民币

法人股东名称	单位负责人或法定代表人	成立日期	组织机构 代码	注册资本	主要经营业务或管理活动等情况
上海创业投资有限公司	傅红岩	1999-08-06	91310000631558334A	113,000	创业投资、投资管理、资产管理
巽鑫（上海）投资有限公司	吴丰硕	2014-12-15	91310000324628267T	849,546.618	实业投资，投资管理，投资咨询和财务咨询

情况说明

无

七、 股份/存托凭证限制减持情况说明

□适用 √不适用

八、 股份回购在报告期的具体实施情况

□适用 √不适用

第八节 优先股相关情况

□适用 √不适用

第九节 公司债券相关情况

一、企业债券、公司债券和非金融企业债务融资工具

□适用 √不适用

二、可转换公司债券情况

□适用 √不适用

第十节 财务报告

一、 审计报告

√适用 □不适用

中微半导体设备(上海)股份有限公司全体股东：

一、 审计意见

(一)我们审计的内容

我们审计了中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)的财务报表，包括2021年12月31日的合并及公司资产负债表，2021年度的合并及公司利润表、合并及公司现金流量表、合并及公司股东权益变动表以及财务报表附注。

(二)我们的意见

我们认为，后附的财务报表在所有重大方面按照企业会计准则的规定编制，公允反映了中微公司2021年12月31日的合并及公司财务状况以及2021年度的合并及公司经营成果和现金流量。

二、 形成审计意见的基础

我们按照中国注册会计师审计准则的规定执行了审计工作。审计报告的“注册会计师对财务报表审计的责任”部分进一步阐述了我们在这些准则下的责任。我们相信，我们获取的审计证据是充分、适当的，为发表审计意见提供了基础。

按照中国注册会计师职业道德守则，我们独立于中微公司，并履行了职业道德方面的其他责任。

三、 关键审计事项

关键审计事项是我们根据职业判断，认为对本期财务报表审计最为重要的事项。这些事项的应对以对财务报表整体进行审计并形成审计意见为背景，我们不对这些事项单独发表意见。我们在审计中识别出的关键审计事项汇总如下：

(一) 专用设备销售收入确认

(二) 开发支出资本化

关键审计事项

我们在审计中如何应对关键审计事项

(一) 专用设备销售收入确认 参见财务报表附注五(38)“收入”、附注五(43)(b)(ii)“ 客户确认专用设备产品的时点”及附注七(61)“营业收入和营业成本”。 中微公司2021年度合并营业收入约为人民币31.08亿元，其中人民币25.07亿元为专用设备销售收入，约占当年营业收入的80.66%。 中微公司生产专用设备并销售给各地客户。中微公司将专用设备运至约定交货地点，进行安装、调试及验收。根据不同专用设备产品的类型及合同安排，经客户确认后于当期确认销售收入。 由于中微公司专用设备销售收入占营业收入的绝大部分，其金额重大。我们对中微公司的专用设备销售收入确认进行了大量的审计工作，因此，我们将其确定为关键审计事项。

我们对中微公司专用设备销售收入确认实施的审计程序包括： 我们了解、评估和测试了与销售收入相关的内部控制。 我们检查了中微公司主要客户的销售合同及订单，包括检查了中微公司与客户的主要合作条款，评估了中微公司收入确认的相关会计政策。 我们采用抽样的方法，执行了如下程序，以测试产品销售收入的确认： ? 检查相关收入确认的支持性文件，如销售合同、销售订单、销售货运单、客户安装、调试验收接受单据等； ? 基于交易金额、性质和客户特点的考虑，向特定客户函证交易金额及应收账款的余额； ? 针对资产负债表日前后的产品销售收入进行测试，将收入确认记录与货运单据及客户安装、调试验收接受单据等支持性文件进行核对，评估相关产品销售收入是否确认在适用的会计期间。 ? 此外，我们实施了包括对主要客户进行背景调查、同行业毛利分析，以及其他和专用设备销售收入确认相关的审计程序。 基于我们所执行的审计工作，中微公司专用设备销售收入的确认符合其收入确认的会计政策。

(二) 开发支出资本化 参见财务报表附五(29)“无形资产”、附注七(27)“开发支出”。 截至2021年12月31日，中微公司资本化开发支出余额约为2.52亿元，当年发生资本化开发支出金额约为1.32亿元。 中微公司管理层对于试制样机初步完成研制至大规模生产之前所发生的相关成本作为开发阶段支出。对于开发阶段支出，当同时满足如下所列的所有开发支出资本化条件时才予以资本化： ? 生产工艺的开发已经技术团队进行充分论证； ? 管理层已批准生产工艺开发的预算； ? 前期市场调研的研究分析说明生产工艺所生产的产品具有市场推广能力； ? 有足够的技术和资金支持，以进行生产工艺的开发活动及后续的大规模生产；以及 ? 生产工艺开发的支出能够可靠地归集。 由于开发支出资本化涉及重大会计判断且金额重大，我们将开发支出资本化确定为关键审计事项。

我们对中微公司开发支出资本化实施的审计程序包括： 我们了解、评估和测试了中微公司开发支出有关的内部控制。 我们采用抽样的方法： ? 检查了研发项目立项文件、试制样机初步研制完成相关测试报告及管理层评审记录等文件，核查了资本化项目是否已进入开发阶段； ? 检查了(1)开发项目立项文件及其他技术团队项目论证文件；(2)管理层批准的项目开发预算； ? 我们通过收集相关市场信息，评估管理层的开发项目预期经济利益的分析； ? 结合中微公司目前资金及技术储备，评估管理层对于开发项目及后续生产提供的资金以及技术资源支持计划的合理性； ? 检查了研发成本支出的支持性文件，核对发生的研发支出的成本费用归集范围是否恰当，研发支出的发生是否真实，是否与相关研发活动切实相关。 基于所实施的审计程序，我们取得的审计证据可以支持管理层对开发支出资本化所做出的会计判断。

四、 其他信息

中微公司管理层对其他信息负责。其他信息包括中微公司2021年年度报告中涵盖的信息，但不包括财务报表和我们的审计报告。

我们对财务报表发表的审计意见不涵盖其他信息，我们也不对其他信息发表任何形式的鉴证结论。

结合我们对财务报表的审计，我们的责任是阅读其他信息，在此过程中，考虑其他信息是否与财务报表或我们在审计过程中了解到的情况存在重大不一致或者似乎存在重大错报。基于我们已经执行的工作，如果我们确定其他信息存在重大错报，我们应当报告该事实。在这方面，我们无任何事项需要报告。

五、管理层和治理层对财务报表的责任

中微公司管理层负责按照企业会计准则的规定编制财务报表，使其实现公允反映，并设计、执行和维护必要的内部控制，以使财务报表不存在由于舞弊或错误导致的重大错报。

在编制财务报表时，管理层负责评估中微公司的持续经营能力，披露与持续经营相关的事项(如适用)，并运用持续经营假设，除非管理层计划清算中微公司、终止运营或别无其他现实的选择。

治理层负责监督中微公司的财务报告过程。

六、注册会计师对财务报表审计的责任

我们的目标是对财务报表整体是否不存在由于舞弊或错误导致的重大错报获取合理保证，并出具包含审计意见的审计报告。合理保证是高水平的保证，但并不能保证按照审计准则执行的审计在某一重大错报存在时总能发现。错报可能由于舞弊或错误导致，如果合理预期错报单独或汇总起来可能影响财务报表使用者依据财务报表作出的经济决策，则通常认为错报是重大的。

在按照审计准则执行审计工作的过程中，我们运用职业判断，并保持职业怀疑。同时，我们也执行以下工作：

(一) 识别和评估由于舞弊或错误导致的财务报表重大错报风险；设计和实施审计程序以应对这些风险，并获取充分、适当的审计证据，作为发表审计意见的基础。由于舞弊可能涉及串通、伪造、故意遗漏、虚假陈述或凌驾于内部控制之上，未能发现由于舞弊导致的重大错报的风险高于未能发现由于错误导致的重大错报的风险。

(二) 了解与审计相关的内部控制，以设计恰当的审计程序。

(三) 评价管理层选用会计政策的恰当性和作出会计估计及相关披露的合理性。

(四) 对管理层使用持续经营假设的恰当性得出结论。同时，根据获取的审计证据，就可能导致对中微公司持续经营能力产生重大疑虑的事项或情况是否存在重大不确定性得出结论。如果我们得出结论认为存在重大不确定性，审计准则要求我们在审计报告中提请报表使用者注意财务报表中的相关披露；如果披露不充分，我们应当发表非无保留意见。我们的结论基于截至审计报告日可获得的信息。然而，未来的事项或情况可能导致中微公司不能持续经营。

(五) 评价财务报表的总体列报(包括披露)、结构和内容，并评价财务报表是否公允反映相关交易和事项。

(六) 就中微公司中实体或业务活动的财务信息获取充分、适当的审计证据，以对合并财务报表发表审计意见。我们负责指导、监督和执行集团审计，并对审计意见承担全部责任。

我们与治理层就计划的审计范围、时间安排和重大审计发现等事项进行沟通，包括沟通我们在审计中识别出的值得关注的内部控制缺陷。

我们还就已遵守与独立性相关的职业道德要求向治理层提供声明，并与治理层沟通可能被合理认为影响我们独立性的所有关系和其他事项，以及相关的防范措施(如适用)。

从与治理层沟通过的事项中，我们确定哪些事项对本期财务报表审计最为重要，因而构成关键审计事项。我们在审计报告中描述这些事项，除非法律法规禁止公开披露这些事项，或在极少数情形下，如果合理预期在审计报告中沟通某事项造成的负面后果超过在公众利益方面产生的益处，我们确定不应在审计报告中沟通该事项。

普华永道中天 会计师事务所(特殊普通合伙) 中国?上海市

注册会计师: 林晓帆(项目合伙人) 注册会计师: 胡玉琢

2022年3月30日

二、 财务报表

合并资产负债表2021年12月31日编制单位: 中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位:元 币种:人民币

项目	附注	2021年12月31日	2020年12月31日
流动资产：
货币资金	七(1)	8,658,859,679.52	1,131,669,784.82
结算备付金
拆出资金
交易性金融资产	七(2)	2,510,610,074.74	1,505,200,119.62
衍生金融资产
应收票据	七(4)	95,891,359.00	105,477,921.32
应收账款	七(5)	508,609,562.73	278,869,785.15
应收款项融资
预付款项	七(7)	20,849,717.51	9,102,717.62
应收保费
应收分保账款
应收分保合同准备金
其他应收款	七(8)	17,538,132.60	32,808,408.70
其中：应收利息		198,733.16	17,892.41
应收股利
买入返售金融资产
存货	七(9)	1,762,247,518.36	1,063,864,875.83
合同资产	七(10)	26,860,386.00	-
持有待售资产
一年内到期的非流动资产
其他流动资产	七(13)	129,246,716.82	70,641,210.02
流动资产合计		13,730,713,147.28	4,197,634,823.08
非流动资产：
发放贷款和垫款
债权投资
其他债权投资
长期应收款	七(16)	21,807,924.96	32,208,048.56
长期股权投资	七(17)	554,503,905.01	424,269,937.29
其他权益工具投资
其他非流动金融资产	七(19)	815,041,400.00	235,055,000.00
投资性房地产	七(20)	7,033,922.21	7,447,415.65
固定资产	七(21)	218,364,577.95	182,946,651.32
在建工程	七(22)	407,283,807.25	13,944,386.94
生产性生物资产
油气资产
使用权资产	七(25)	15,186,008.38	—

无形资产	七(26)	572,857,173.17	289,266,460.84
开发支出	七(27)	252,125,305.11	271,208,056.35
商誉
长期待摊费用	七(29)	505,327.26	2,734,115.91
递延所得税资产	七(30)	3,770,005.16	-
其他非流动资产	七(31)	133,796,500.21	144,162,000.00
非流动资产合计		3,002,275,856.67	1,603,242,072.86
资产总计		16,732,989,003.95	5,800,876,895.94
流动负债：
短期借款
向中央银行借款
拆入资金
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款	七(36)	734,629,687.54	422,217,875.80
预收款项
合同负债	七(38)	1,372,363,466.36	592,139,816.14
卖出回购金融资产款
吸收存款及同业存放
代理买卖证券款
代理承销证券款
应付职工薪酬	七(39)	132,341,500.04	106,560,316.11
应交税费	七(40)	20,340,583.65	18,933,391.30
其他应付款	七(41)	247,226,956.93	29,998,179.58
其中：应付利息
应付股利
应付手续费及佣金
应付分保账款
持有待售负债
一年内到期的非流动负债	七(43)	12,235,901.05	-
其他流动负债	七(44)	52,026,564.18	62,781,288.38
流动负债合计		2,571,164,659.75	1,232,630,867.31
非流动负债：
保险合同准备金
长期借款
应付债券
其中：优先股
永续债
租赁负债	七(47)	4,441,995.63	—
长期应付款
长期应付职工薪酬	七(49)	3,206,858.15	3,385,625.20
预计负债	七(50)	10,033,714.45	16,067,280.23
递延收益	七(51)	145,884,091.62	173,156,162.00
递延所得税负债	七(30)	56,957,438.58	6,329,976.78
其他非流动负债	七(52)	1,100,000.00	-
非流动负债合计		221,624,098.43	198,939,044.21

负债合计		2,792,788,758.18	1,431,569,911.52
所有者权益（或股东权益）：
实收资本（或股本）	七(53)	616,244,480.00	534,862,237.00
其他权益工具
其中：优先股
永续债
资本公积	七(55)	12,287,823,424.00	3,819,339,882.51
减：库存股
其他综合收益	七(57)	(12,315,232.42)	(21,987,926.37)
专项储备
盈余公积	七(59)	158,653,032.36	69,631,992.01
一般风险准备
未分配利润	七(60)	889,614,139.32	(32,788,490.39)
归属于母公司所有者权益（或股东权益）合计		13,940,019,843.26	4,369,057,694.76
少数股东权益		180,402.51	249,289.66
所有者权益（或股东权益）合计		13,940,200,245.77	4,369,306,984.42
负债和所有者权益（或股东权益）总计		16,732,989,003.95	5,800,876,895.94

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

母公司资产负债表2021年12月31日编制单位:中微半导体设备（上海）股份有限公司

单位:元 币种:人民币

项目	附注	2021年12月31日	2020年12月31日
流动资产：
货币资金		7,436,952,552.16	964,659,736.16
交易性金融资产		2,460,309,252.82	1,445,200,119.62
衍生金融资产
应收票据
应收账款	十七(1)	729,947,144.25	409,482,811.02
应收款项融资
预付款项		9,972,808.37	6,899,490.72
其他应收款	十七(2)	621,736,479.71	6,279,653.00
其中：应收利息
应收股利
存货		1,314,990,421.41	950,886,971.84
合同资产
持有待售资产
一年内到期的非流动资产
其他流动资产		27,617,655.18	41,460,058.52
流动资产合计		12,601,526,313.90	3,824,868,840.88

非流动资产：
债权投资
其他债权投资
长期应收款		4,548,405.24	4,536,488.24
长期股权投资	十七(3)	1,507,431,229.37	763,146,972.07
其他权益工具投资
其他非流动金融资产		775,041,400.00	235,055,000.00
投资性房地产
固定资产		211,289,747.57	177,424,743.45
在建工程		6,859,936.79	4,734,684.69
生产性生物资产
油气资产
使用权资产		7,150,136.13	—
无形资产		385,730,005.96	289,185,330.67
开发支出		253,808,054.36	271,208,056.35
商誉
长期待摊费用
递延所得税资产
其他非流动资产		-	5,000,000.00
非流动资产合计		3,151,858,915.42	1,750,291,275.47
资产总计		15,753,385,229.32	5,575,160,116.35
流动负债：
短期借款
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款		526,368,175.57	405,478,403.03
预收款项
合同负债		752,731,082.07	400,756,163.11
应付职工薪酬		23,691,996.13	80,936,842.93
应交税费		4,199,714.57	7,266,212.34
其他应付款		373,620,969.58	82,660,006.51
其中：应付利息
应付股利
持有待售负债
一年内到期的非流动负债		6,105,523.67	-
其他流动负债		30,925,111.50	28,085,346.58
流动负债合计		1,717,642,573.09	1,005,182,974.50
非流动负债：
长期借款
应付债券
其中：优先股
永续债
租赁负债		2,665,425.61	—
长期应付款
长期应付职工薪酬		3,206,858.15	3,385,625.20
预计负债		-	837,310.04

递延收益		145,884,091.62	173,156,162.00
递延所得税负债		56,957,438.57	6,329,976.78
其他非流动负债
非流动负债合计		208,713,813.95	183,709,074.02
负债合计		1,926,356,387.04	1,188,892,048.52
所有者权益（或股东权益）：
实收资本（或股本）		616,244,480.00	534,862,237.00
其他权益工具
其中：优先股
永续债
资本公积		11,613,686,148.38	3,145,117,623.30
减：库存股
其他综合收益		299,407.37	(300,195.48)
专项储备
盈余公积		158,653,032.36	69,631,992.01
未分配利润		1,438,145,774.17	636,956,411.00
所有者权益（或股东权益）合计		13,827,028,842.28	4,386,268,067.83
负债和所有者权益（或股东权益）总计		15,753,385,229.32	5,575,160,116.35

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

合并利润表2021年1—12月

单位:元 币种:人民币

项目	附注	2021年度	2020年度
一、营业总收入	七(61)	3,108,134,730.67	2,273,291,898.06
其中：营业收入		3,108,134,730.67	2,273,291,898.06
利息收入
已赚保费
手续费及佣金收入
二、营业总成本		2,605,031,875.62	2,131,867,176.08
其中：营业成本	七(61)	1,760,588,922.07	1,417,050,103.40
利息支出
手续费及佣金支出
退保金
赔付支出净额
提取保险责任准备金净额
保单红利支出
分保费用
税金及附加	七(62)	19,054,797.86	1,853,296.26
销售费用	七(63)	296,053,005.80	236,663,836.29
管理费用	七(64)	202,612,097.80	153,003,346.20
研发费用	七(65)	397,587,143.31	330,721,402.07
财务费用	七(66)	-70,864,091.22	-7,424,808.14

其中：利息费用		650,255.76	260,774.82
利息收入		76,576,165.19	9,774,035.37
加：其他收益	七(67)	192,406,762.57	106,137,676.62
投资收益（损失以“－”号填列）	七(68)	143,141,726.16	27,014,730.35
其中：对联营企业和合营企业的投资收益		-23,911,077.65	-17,348,516.45
以摊余成本计量的金融资产终止确认收益
汇兑收益（损失以“－”号填列）
净敞口套期收益（损失以“-”号填列）
公允价值变动收益（损失以“－”号填列）	七(70)	293,698,146.49	257,464,331.96
信用减值损失（损失以“-”号填列）	七(71)	3,659,266.87	-189,697.64
资产减值损失（损失以“-”号填列）	七(72)	-2,860,330.51	-16,986,044.49
资产处置收益（损失以“－”号填列）	七(73)	129,648.15	-42,372.67
三、营业利润（亏损以“－”号填列）		1,133,278,074.78	514,823,346.11
加：营业外收入	七(74)	346,456.51	95,433.28
减：营业外支出	七(75)	809,444.89	2,221,977.29
四、利润总额（亏损总额以“－”号填列）		1,132,815,086.40	512,696,802.10
减：所得税费用	七(76)	121,545,287.08	20,390,283.60
五、净利润（净亏损以“－”号填列）		1,011,269,799.32	492,306,518.50
（一）按经营持续性分类
1.持续经营净利润（净亏损以“－”号填列）		1,011,269,799.32	492,306,518.50
2.终止经营净利润（净亏损以“－”号填列）
（二）按所有权归属分类
1.归属于母公司股东的净利润（净亏损以“-”号填列）		1,011,423,670.06	492,199,161.31
2.少数股东损益（净亏损以“-”号填列）		-153,870.74	107,357.19
六、其他综合收益的税后净额	七(57)	9,672,693.95	-4,665,504.05
（一）归属母公司所有者的其他综合收益的税后净额
1．不能重分类进损益的其他综合收益

（1）重新计量设定受益计划变动额
（2）权益法下不能转损益的其他综合收益
（3）其他权益工具投资公允价值变动
（4）企业自身信用风险公允价值变动
2．将重分类进损益的其他综合收益		9,672,693.95	-4,665,504.05
（1）权益法下可转损益的其他综合收益		599,602.85	-300,195.48
（2）其他债权投资公允价值变动
（3）金融资产重分类计入其他综合收益的金额
（4）其他债权投资信用减值准备
（5）现金流量套期储备
（6）外币财务报表折算差额		9,073,091.10	-4,365,308.57
（7）其他
（二）归属于少数股东的其他综合收益的税后净额		-	-
七、综合收益总额		1,020,942,493.27	487,641,014.45
（一）归属于母公司所有者的综合收益总额		1,021,096,364.01	487,533,657.26
（二）归属于少数股东的综合收益总额		-153,870.74	107,357.19
八、每股收益：
（一）基本每股收益(元/股)	十八、2	1.76	0.92
（二）稀释每股收益(元/股)	十八、2	1.76	0.92

本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0 元, 上期被合并方实现的净利润为： 0 元。公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

母公司利润表2021年1—12月

单位:元 币种:人民币

项目	附注	2021年度	2020年度
一、营业收入	十七(4)	2,642,423,748.96	1,987,682,271.30
减：营业成本	十七(4)	1,630,608,478.36	1,309,891,197.97
税金及附加		2,166,217.59	1,074,661.18
销售费用		126,108,587.58	88,863,770.14
管理费用		154,193,984.79	122,156,993.49

研发费用		351,833,673.26	302,716,185.48
财务费用		-66,012,131.53	-124,584.54
其中：利息费用		300,308.59	260,774.82
利息收入		71,883,536.37	7,471,302.76
加：其他收益		130,582,762.05	10,590,811.22
投资收益（损失以“－”号填列）	十七(5)	142,736,109.72	24,752,382.46
其中：对联营企业和合营企业的投资收益		-23,911,077.65	-17,348,516.45
以摊余成本计量的金融资产终止确认收益
净敞口套期收益（损失以“-”号填列）
公允价值变动收益（损失以“－”号填列）		293,397,324.57	257,965,222.36
信用减值损失（损失以“-”号填列）		1,077,630.05	-945,887.46
资产减值损失（损失以“-”号填列）		-22,570,028.87	-18,503,617.65
资产处置收益（损失以“－”号填列）		129,648.15	-42,372.67
二、营业利润（亏损以“－”号填列）		988,878,384.58	436,920,585.84
加：营业外收入		315,423.09	65,006.46
减：营业外支出		810,205.38	1,750,862.43
三、利润总额（亏损总额以“－”号填列）		988,383,602.29	435,234,729.87
减：所得税费用		98,173,198.77	6,589,006.18
四、净利润（净亏损以“－”号填列）		890,210,403.52	428,645,723.69
（一）持续经营净利润（净亏损以“－”号填列）
（二）终止经营净利润（净亏损以“－”号填列）
五、其他综合收益的税后净额		599,602.85	-300,195.48
（一）不能重分类进损益的其他综合收益
1.重新计量设定受益计划变动额
2.权益法下不能转损益的其他综合收益
3.其他权益工具投资公允价值变动
4.企业自身信用风险公允价值变动
（二）将重分类进损益的其他综合收益		599,602.85	-300,195.48

1.权益法下可转损益的其他综合收益		599,602.85	-300,195.48
2.其他债权投资公允价值变动
3.金融资产重分类计入其他综合收益的金额
4.其他债权投资信用减值准备
5.现金流量套期储备
6.外币财务报表折算差额
7.其他
六、综合收益总额		890,810,006.37	428,345,528.21
七、每股收益：
（一）基本每股收益(元/股)
（二）稀释每股收益(元/股)

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

合并现金流量表2021年1—12月

单位：元 币种：人民币

项目	附注	2021年度	2020年度
一、经营活动产生的现金流量：
销售商品、提供劳务收到的现金		3,814,257,586.34	2,428,017,644.20
客户存款和同业存放款项净增加额
向中央银行借款净增加额
向其他金融机构拆入资金净增加额
收到原保险合同保费取得的现金
收到再保业务现金净额
保户储金及投资款净增加额
收取利息、手续费及佣金的现金
拆入资金净增加额
回购业务资金净增加额
代理买卖证券收到的现金净额
收到的税费返还		-	45,307,152.14
收到其他与经营活动有关的现金	七、78(1)	479,986,241.59	463,271,926.96
经营活动现金流入小计		4,294,243,827.93	2,936,596,723.30

购买商品、接受劳务支付的现金		2,471,966,579.62	1,517,838,447.35
客户贷款及垫款净增加额
存放中央银行和同业款项净增加额
支付原保险合同赔付款项的现金
拆出资金净增加额
支付利息、手续费及佣金的现金
支付保单红利的现金
支付给职工及为职工支付的现金		502,688,450.65	370,889,290.30
支付的各项税费		201,902,228.12	120,286,655.88
支付其他与经营活动有关的现金	七、78(2)	101,430,481.14	81,289,474.73
经营活动现金流出小计		3,277,987,739.53	2,090,303,868.26
经营活动产生的现金流量净额	七、79	1,016,256,088.40	846,292,855.04
二、投资活动产生的现金流量：
收回投资收到的现金		8,807,714,262.58	4,319,949,951.88
取得投资收益收到的现金		178,215,139.19	44,884,419.89
处置固定资产、无形资产和其他长期资产收回的现金净额		649,993.51	-
处置子公司及其他营业单位收到的现金净额
收到其他与投资活动有关的现金	七、78(3)	28,728,000.00	12,070,000.00
投资活动现金流入小计		9,015,307,395.28	4,376,904,371.77
购建固定资产、无形资产和其他长期资产支付的现金		496,530,685.95	251,789,687.97
与满足资本化条件开发支出直接相关项目所支付的现金		114,444,907.42	74,675,786.06
投资支付的现金		14,620,601,394.28	4,587,288,546.90
质押贷款净增加额
取得子公司及其他营业单位支付的现金净额
支付其他与投资活动有关的现金	七、78(4)	13,787,464.00	-
投资活动现金流出小计		15,245,364,451.65	4,913,754,020.93
投资活动产生的现金流量净额		-6,230,057,056.37	-536,849,649.16
三、筹资活动产生的现金流量：
吸收投资收到的现金		8,297,545,146.98	-
其中：子公司吸收少数股东投资收到的现金
取得借款收到的现金		-	35,394,000.00
收到其他与筹资活动有关的现金	七、78(5)	1,100,000.00	-

筹资活动现金流入小计		8,298,645,146.98	35,394,000.00
偿还债务支付的现金		-	33,145,000.00
分配股利、利润或偿付利息支付的现金		-	260,774.82
其中：子公司支付给少数股东的股利、利润
支付其他与筹资活动有关的现金	七、78(6)	12,993,741.64	1,444,824.58
筹资活动现金流出小计		12,993,741.64	34,850,599.40
筹资活动产生的现金流量净额		8,285,651,405.34	543,400.60
四、汇率变动对现金及现金等价物的影响		-14,111,253.14	-25,179,900.09
五、现金及现金等价物净增加额		3,057,739,184.23	284,806,706.39
加：期初现金及现金等价物余额		1,113,426,614.20	828,619,907.81
六、期末现金及现金等价物余额		4,171,165,798.43	1,113,426,614.20

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

母公司现金流量表

2021年1—12月

单位:元 币种:人民币

项目	附注	2021年度	2020年度
一、经营活动产生的现金流量：
销售商品、提供劳务收到的现金		2,675,677,234.16	2,391,452,577.15
收到的税费返还		-	13,521,411.93
收到其他与经营活动有关的现金		387,670,708.21	394,562,721.65
经营活动现金流入小计		3,063,347,942.37	2,799,536,710.73
购买商品、接受劳务支付的现金		2,021,998,760.05	1,410,895,052.64
支付给职工及为职工支付的现金		209,111,575.20	266,256,407.42
支付的各项税费		78,718,452.19	55,659,105.41
支付其他与经营活动有关的现金		44,675,279.80	52,782,215.82
经营活动现金流出小计		2,354,504,067.24	1,785,592,781.29
经营活动产生的现金流量净额		708,843,875.13	1,013,943,929.44
二、投资活动产生的现金流量：
收回投资收到的现金		8,697,389,518.05	4,030,700,000.00
取得投资收益收到的现金		177,250,218.85	42,622,072.00
处置固定资产、无形资产和其他长期资产收回的现金净额		649,993.51	-

处置子公司及其他营业单位收到的现金净额
收到其他与投资活动有关的现金
投资活动现金流入小计		8,875,289,730.41	4,073,322,072.00
购建固定资产、无形资产和其他长期资产支付的现金		104,064,949.69	54,705,806.92
与满足资本化条件开发支出直接相关项目支付的现金		116,127,656.67	74,675,786.06
投资支付的现金		14,973,623,726.01	4,542,288,546.90
取得子公司及其他营业单位支付的现金净额
支付其他与投资活动有关的现金		600,000,000.00	-
投资活动现金流出小计		15,793,816,332.37	4,671,670,139.88
投资活动产生的现金流量净额		-6,918,526,601.96	-598,348,067.88
三、筹资活动产生的现金流量：
吸收投资收到的现金		8,297,545,146.98	-
取得借款收到的现金		-	35,394,000.00
收到其他与筹资活动有关的现金
筹资活动现金流入小计		8,297,545,146.98	35,394,000.00
偿还债务支付的现金		-	33,145,000.00
分配股利、利润或偿付利息支付的现金		-	260,774.82
支付其他与筹资活动有关的现金		6,762,622.16	1,444,824.58
筹资活动现金流出小计		6,762,622.16	34,850,599.40
筹资活动产生的现金流量净额		8,290,782,524.82	543,400.60
四、汇率变动对现金及现金等价物的影响		-10,889,905.24	-19,788,303.54
五、现金及现金等价物净增加额		2,070,209,892.75	396,350,958.62
加：期初现金及现金等价物余额		956,801,440.38	560,450,481.76
六、期末现金及现金等价物余额		3,027,011,333.13	956,801,440.38

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

合并所有者权益变动表

2021年1—12月

单位:元 币种:人民币

项目	2021年度
	归属于母公司所有者权益													少数股东权益	所有者权益合计
	实收资本(或股本)	其他权益工具			资本公积	减：库存股	其他综合收益	专项储备	盈余公积	一般风险准备	未分配利润	其他	小计
		优先股	永续债	其他
一、上年年末余额	534,862,237.00				3,819,339,882.51		(21,987,926.37)		69,631,992.01		(32,788,490.39)		4,369,057,694.76	249,289.66	4,369,306,984.42
加：会计政策变更	-				-		-		-		-			-	-
前期差错更正	-				-		-		-		-			-	-
同一控制下企业合并	-				-		-		-		-			-	-
其他	-				-		-		-		-			-	-
二、本年期初余额	534,862,237.00				3,819,339,882.51		(21,987,926.37)		69,631,992.01		(32,788,490.39)		4,369,057,694.76	249,289.66	4,369,306,984.42
三、本期增减变动金额（减少以“－”号填列）	81,382,243				8,468,483,541.49		9,672,693.95		89,021,040.35		922,402,629.71		9,570,962,148.50	-68,887.15	9,570,893,261.35
（一）综合收益总额	-						9,672,693.95				1,011,423,670.06		1,021,096,364.01	(153,870.74)	1,020,942,493.27
（二）所有者投入和减少资本	81,382,243				8,419,938,098.97								8,501,320,341.97	84,983.59	8,501,405,325.56
1．所有者投入的普通股	81,382,243.00				8,209,733,254.74								8,291,115,497.74		8,291,115,497.74
2．其他权益工具持有者投入资本
3．股份支付计入所有者权益的金额					210,204,844.23								210,204,844.23	84,983.59	210,289,827.82
4．其他

（三）利润分配	-				-		-		89,021,040.35		(89,021,040.35)				-
1．提取盈余公积									89,021,040.35		(89,021,040.35)				-
2．提取一般风险准备
3．对所有者（或股东）的分配
4．其他
（四）所有者权益内部结转	-				-		-		-		-			-	-
1．资本公积转增资本（或股本）
2．盈余公积转增资本（或股本）
3．盈余公积弥补亏损
4．设定受益计划变动额结转留存收益
5．其他综合收益结转留存收益
6．其他
（五）专项储备	-				-		-		-		-			-	-
1．本期提取
2．本期使用
（六）其他	-				48,545,442.52		-		-		-		48,545,442.52	-	48,545,442.52
四、本期期末余额	616,244,480.00				12,287,823,424.00		(12,315,232.42)		158,653,032.36		889,614,139.32		13,940,019,843.26	180,402.51	13,940,200,245.77

项目

2020年度

归属于母公司所有者权益

少数股东权益

所有者权益合计

实收资本 (或股本)

其他权益工具

资本公积

减：库存股

其他综合收益

专项

盈余公积

一般风险准备

未分配利润

其他

小计

		优先股	永续债	其他				储备
一、上年年末余额	534,862,237.00				3,688,892,805.25		(17,322,422.32)		26,767,419.64		(482,123,079.33)		3,751,076,960.24	136,145.29	3,751,213,105.53
加：会计政策变更	-				-		-		-		-			-	-
前期差错更正	-				-		-		-		-			-	-
同一控制下企业合并	-				-		-		-		-			-	-
其他	-				-		-		-		-			-	-
二、本年期初余额	534,862,237.00				3,688,892,805.25		(17,322,422.32)		26,767,419.64		(482,123,079.33)		3,751,076,960.24	136,145.29	3,751,213,105.53
三、本期增减变动金额（减少以“－”号填列）					130,447,077.26		(4,665,504.05)		42,864,572.37		449,334,588.94		617,980,734.52	113,144.37	618,093,878.89
（一）综合收益总额							(4,665,504.05)				492,199,161.31		487,533,657.26	107,357.19	487,641,014.45
（二）所有者投入和减少资本					118,022,315.69								118,022,315.69	5,787.18	118,028,102.87
1．所有者投入的普通股
2．其他权益工具持有者投入资本
3．股份支付计入所有者权益的金额					118,022,315.69								118,022,315.69	5,787.18	118,028,102.87
4．其他
（三）利润分配									42,864,572.37		(42,864,572.37)
1．提取盈余公积									42,864,572.37		(42,864,572.37)

2．提取一般风险准备
3．对所有者（或股东）的分配
4．其他
（四）所有者权益内部结转
1．资本公积转增资本（或股本）
2．盈余公积转增资本（或股本）
3．盈余公积弥补亏损
4．设定受益计划变动额结转留存收益
5．其他综合收益结转留存收益
6．其他
（五）专项储备
1．本期提取
2．本期使用
（六）其他	-				12,424,761.57		-		-		-		12,424,761.57	-	12,424,761.57
四、本期期末余额	534,862,237.00				3,819,339,882.51		(21,987,926.37)		69,631,992.01		(32,788,490.39)		4,369,057,694.76	249,289.66	4,369,306,984.42

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

母公司所有者权益变动表2021年1—12月

单位:元 币种:人民币

项目	2021年度
	实收资本 (或股本)	其他权益工具			资本公积	减：库存股	其他综合收益	专项储备	盈余公积	未分配利润	所有者权益合计
		优先股	永续债	其他
一、上年年末余额	534,862,237.00				3,145,117,623.30		(300,195.48)		69,631,992.01	636,956,411.00	4,386,268,067.83
加：会计政策变更	-				-		-		-	-	-
前期差错更正	-				-		-		-	-	-
其他	-				-		-		-	-	-
二、本年期初余额	534,862,237.00				3,145,117,623.30		(300,195.48)		69,631,992.01	636,956,411.00	4,386,268,067.83
三、本期增减变动金额（减少以“－”号填列）	81,382,243.00				8,468,568,525.08		599,602.85		89,021,040.35	801,189,363.17	9,440,760,774.45
（一）综合收益总额	-				-		599,602.85		-	890,210,403.52	890,810,006.37
（二）所有者投入和减少资本	81,382,243.00				8,420,023,082.56						8,501,405,325.56
1．所有者投入的普通股	81,382,243.00				8,209,733,254.74		-		-	-	8,291,115,497.74
2．其他权益工具持有者投入资本	-				-		-		-	-	-
3．股份支付计入所有者权益的金额	-				210,289,827.82		-		-	-	210,289,827.82
4．其他
（三）利润分配									89,021,040.35	(89,021,040.35)
1．提取盈余公积	-				-		-		89,021,040.35	（89,021,040.35）	-
2．对所有者（或股东）的分配	-				-		-		-	-	-
3．其他	-				-		-		-	-	-
（四）所有者权益内部结转
1．资本公积转增资本（或股本）
2．盈余公积转增资本（或股本）
3．盈余公积弥补亏损
4．设定受益计划变动额结转留存收益
5．其他综合收益结转留存收益
6．其他
（五）专项储备

1．本期提取
2．本期使用
（六）其他	-				48,545,442.52						48,545,442.52
四、本期期末余额	616,244,480.00				11,613,686,148.38		299,407.37		158,653,032.36	1,438,145,774.17	13,827,028,842.28

项目	2020年度
	实收资本 (或股本)	其他权益工具			资本公积	减：库存股	其他综合收益	专项储备	盈余公积	未分配利润	所有者权益合计
		优先股	永续债	其他
一、上年年末余额	534,862,237.00				3,014,664,758.86		-		26,767,419.64	251,175,259.68	3,827,469,675.18
加：会计政策变更	-				-		-		-	-	-
前期差错更正	-				-		-		-	-	-
其他	-				-		-		-	-	-
二、本年期初余额	534,862,237.00				3,014,664,758.86		-		26,767,419.64	251,175,259.68	3,827,469,675.18
三、本期增减变动金额（减少以“－”号填列）					130,452,864.44		(300,195.48)		42,864,572.37	385,781,151.32	558,798,392.65
（一）综合收益总额	-				-		(300,195.48)		-	428,645,723.69	428,345,528.21
（二）所有者投入和减少资本					118,028,102.87						118,028,102.87
1．所有者投入的普通股	-				-		-		-
2．其他权益工具持有者投入资本	-				-		-		-
3．股份支付计入所有者权益的金额	-				118,028,102.87		-		-		118,028,102.87
4．其他	-				-		-		-
（三）利润分配									42,864,572.37	(42,864,572.37)
1．提取盈余公积	-				-		-		42,864,572.37	(42,864,572.37)	-
2．对所有者（或股东）的分配	-				-		-		-	-	-
3．其他	-				-		-		-	-	-
（四）所有者权益内部结转
1．资本公积转增资本（或股本）	-				-		-		-	-	-
2．盈余公积转增资本（或股本）	-				-		-		-	-	-
3．盈余公积弥补亏损	-				-		-		-	-	-
4．设定受益计划变动额结转留存收益	-				-		-		-	-	-
5．其他综合收益结转留存收益	-				-		-		-	-	-
6．其他	-				-		-		-	-	-

（五）专项储备
1．本期提取	-				-		-		-	-	-
2．本期使用	-				-		-		-	-	-
（六）其他	-				12,424,761.57		-		-	-	12,424,761.57
四、本期期末余额	534,862,237.00				3,145,117,623.30		(300,195.48)		69,631,992.01	636,956,411.00	4,386,268,067.83

公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

三、 公司基本情况

1. 公司概况

√适用 □不适用

中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“本公司”) 的前身为中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称“原公司”)由Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. Asia(以下简称“中微亚洲”)于2004年5月31日在中华人民共和国上海市成立。

根据原公司全体股东于2018年12月20日签署的《中微半导体设备(上海)股份有限公司创立大会暨2018年第一次临时股东大会决议》，本公司整体改制变更为股份有限公司。于2018年12月21日取得新营业执照，统一社会信用代码为913101157626272806，证照编号为00000002201812210004。本次整体变更后，原公司各股东截止2018年7月31日在原公司中享有的全部股东权益按截至2018年7月31日的持股比例相应折为其持有的发起人股，各发起人持有的股比与其在原公司中持有的股比相同。

根据中国证券监督管理委员会证监许可[2019]1168 号文《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》的核准，本公司向境内投资者首次公开发行人民币普通股(A股)53,486,224股，并于 2019 年 7 月 22 日在上海证券交易所挂牌上市交易。

根据中国证券监督管理委员会证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备(上海) 股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》的核准，本公司向特定对象发行人民币普通股(A股)80,229,335股，并于2021年6月30日完成了股份登记工作。

2021 年 7 月 9 日，经本公司第一届董事会第二十一次会议审议，通过了《关于公司 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。根据议案，本公司向满足归属条件的540名激励对象发行人民币普通股(A股)1,152,908股，并于2021年8月17日完成了股份登记工作。于2021年12月31日，本公司的总股本为616,244,480元，每股面值 1 元(附注七(53))。

本公司及子公司(以下合称“本集团”)主要经营业务为研发、组装集成电路设备、泛半导体设备和其他微观加工设备及环保设备，包括配套设备和零配件，销售自产产品；提供技术咨询、技术服务。

本年度纳入合并范围的主要子公司详见附注五，本年度新纳入合并范围的子公司为中微科技投资管理(上海)有限公司、芯汇康医疗器械(上海)有限公司和无锡正海缘宇创业投资合伙企业(有限合伙)，详见附注九、1（1）。

本财务报表由本公司董事会于2022年3月30日批准报出。

2. 合并财务报表范围

√适用 □不适用

	子公司名称	子公司简称	持股比例
1	中微惠创科技(上海)有限公司	中微惠创	100%
2	中微半导体设备(厦门)有限公司	中微厦门	100%
3	南昌中微半导体设备有限公司	中微南昌	100%
4	中微汇链科技(上海)有限公司	中微汇链	95%
5	中微半导体(上海)有限公司	中微临港	100%
6	中微科技投资管理(上海)有限公司	中微科技	100%
7	芯汇康医疗器械(上海)有限公司	芯汇康医疗	100%
8	无锡正海缘宇创业投资合伙企业(有限合伙)	无锡缘宇	98%
9	Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte.	中微国际	100%

	Ltd.
10	AMEC Japan Co., Inc.	中微日本	100%
11	AMEC North America, Inc.	中微北美	100%
12	Advanced Micro-Fabrication Equipment Korea Ltd.	中微韩国	100%

四、 财务报表的编制基础

1. 编制基础

本公司财务报表以持续经营为编制基础。

2. 持续经营

√适用 □不适用

本公司财务报表以持续经营为编制基础。

五、 重要会计政策及会计估计

具体会计政策和会计估计提示：

√适用 □不适用

本集团根据生产经营特点确定具体会计政策和会计估计，主要体现在应收款项及合同资产的预期信用损失的计量(附注五(10))、存货的计价方法(附注五(15))、投资性房地产的计量模式(附注五(22))、固定资产折旧、无形资产摊销和使用权资产折旧(附注五(23)、(29)和(28))、开发支出资本化的判断标准(附注五(29))、收入的确认时点(附注五(38))、股份支付(附注五(36))等。

本集团在确定重要的会计政策时所运用的关键判断、重要会计估计及其关键假设详见附注五

(44)。

1. 遵循企业会计准则的声明

本公司2021年度财务报表符合企业会计准则的要求，真实、完整地反映了本公司2021年12月31日的合并及公司财务状况以及2021年度的合并及公司经营成果和现金流量等有关信息。

2. 会计期间

本公司会计年度自公历1月1日起至12月31日止。

3. 营业周期

□适用 √不适用

4. 记账本位币

本公司记账本位币为人民币。本公司及下属子公司根据其经营所处的主要经济环境确定其记账本位币。本财务报表以人民币列示。

5. 同一控制下和非同一控制下企业合并的会计处理方法

√适用 □不适用

(a) 同一控制下的企业合并

本集团支付的合并对价及取得的净资产均按账面价值计量，如被合并方是最终控制方以前年度从第三方收购来的，则以被合并方的资产、负债(包括最终控制方收购被合并方而形成的商誉)在最终控制方合并财务报表中的账面价值为基础。本集团取得的净资产账面价值与支付的合并对价账面价值的差额，调整资本公积(股本溢价)；资本公积(股本溢价)不足以冲减的，调整留存收

益。为进行企业合并发生的直接相关费用于发生时计入当期损益。为企业合并而发行权益性证券或债务性证券的交易费用，计入权益性证券或债务性证券的初始确认金额。

(b) 非同一控制下的企业合并

本集团发生的合并成本及在合并中取得的可辨认净资产按购买日的公允价值计量。合并成本大于合并中取得的被购买方于购买日可辨认净资产公允价值份额的差额，确认为商誉；合并成本小于合并中取得的被购买方可辨认净资产公允价值份额的差额，计入当期损益。为进行企业合并发生的直接相关费用于发生时计入当期损益。为企业合并而发行权益性证券或债务性证券的交易费用，计入权益性证券或债务性证券的初始确认金额。

6. 合并财务报表的编制方法

√适用 □不适用

编制合并财务报表时，合并范围包括本公司及全部子公司。

从取得子公司的实际控制权之日起，本集团开始将其纳入合并范围；从丧失实际控制权之日起停止纳入合并范围。对于同一控制下企业合并取得的子公司，自其与本公司同受最终控制方控制之日起纳入本公司合并范围，并将其在合并日前实现的净利润在合并利润表中单列项目反映。

在编制合并财务报表时，子公司与本公司采用的会计政策或会计期间不一致的，按照本公司的会计政策和会计期间对子公司财务报表进行必要的调整。对于非同一控制下企业合并取得的子公司，以购买日可辨认净资产公允价值为基础对其财务报表进行调整。

本集团内所有重大往来余额、交易及未实现利润在合并财务报表编制时予以抵销。子公司的股东权益、当期净损益及综合收益中不归属于本公司所拥有的部分分别作为少数股东权益、少数股东损益及归属于少数股东的综合收益总额在合并财务报表中股东权益、净利润及综合收益总额项下单独列示。子公司少数股东分担的当期亏损超过了少数股东在该子公司期初所有者权益中所享有的份额的，其余额冲减少数股东权益。本公司向子公司出售资产所发生的未实现内部交易损益，全额抵销归属于母公司股东的净利润；子公司向本公司出售资产所发生的未实现内部交易损益，按本公司对该子公司的分配比例在归属于母公司股东的净利润和少数股东损益之间分配抵销。子公司之间出售资产所发生的未实现内部交易损益，按照母公司对出售方子公司的分配比例在归属于母公司股东的净利润和少数股东损益之间分配抵销。

如果以本集团为会计主体与以本公司或子公司为会计主体对同一交易的认定不同时，从本集团的角度对该交易予以调整。

7. 合营安排分类及共同经营会计处理方法

□适用 √不适用

8. 现金及现金等价物的确定标准

现金及现金等价物是指库存现金，可随时用于支付的存款，以及持有的期限短、流动性强、易于转换为已知金额现金、价值变动风险很小的投资。

9. 外币业务和外币报表折算

√适用 □不适用

(a) 外币交易

外币交易按交易发生日的即期汇率将外币金额折算为记账本位币入账。

于资产负债表日，外币货币性项目采用资产负债表日的即期汇率折算为记账本位币。为购建符合借款费用资本化条件的资产而借入的外币专门借款产生的汇兑差额在资本化期间内予以资本化；其他汇兑差额直接计入当期损益。以历史成本计量的外币非货币性项目，于资产负债表日采用交易发生日的即期汇率折算。汇率变动对现金的影响额，在现金流量表中单独列示。

(b) 外币财务报表的折算

境外经营的资产负债表中的资产和负债项目，采用资产负债表日的即期汇率折算，股东权益中除未分配利润项目外，其他项目采用发生时的即期汇率折算。境外经营的利润表中的收入与费用项目，采用交易发生日的即期汇率折算。上述折算产生的外币报表折算差额，计入其他综合收益。境外经营的现金流量项目，采用现金流量发生日的即期汇率折算。汇率变动对现金的影响额，在现金流量表中单独列示。

10. 金融工具

√适用 □不适用

金融工具，是指形成一方的金融资产并形成其他方的金融负债或权益工具的合同。当本集团成为金融工具合同的一方时，确认相关的金融资产或金融负债。(a) 金融资产(b) 分类和计量

本集团根据管理金融资产的业务模式和金融资产的合同现金流量特征，将金融资产划分为：

(1) 以摊余成本计量的金融资产；(2) 以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产；

(3) 以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产。

金融资产在初始确认时以公允价值计量。对于以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产，相关交易费用直接计入当期损益；对于其他类别的金融资产，相关交易费用计入初始确认金额。因销售产品或提供劳务而产生的、未包含或不考虑重大融资成分的应收账款或应收票据，本集团按照预期有权收取的对价金额作为初始确认金额。

债务工具

本集团持有的债务工具是指从发行方角度分析符合金融负债定义的工具，分别采用以下三种方式进行计量：

以摊余成本计量：

本集团管理此类金融资产的业务模式为以收取合同现金流量为目标，且此类金融资产的合同现金流量特征与基本借贷安排相一致，即在特定日期产生的现金流量，仅为对本金和以未偿付本金金额为基础的利息的支付。本集团对于此类金融资产按照实际利率法确认利息收入。此类金融资产主要包括货币资金、应收票据、应收账款、合同资产、其他应收款、债权投资和长期应收款等。本集团将自资产负债表日起一年内(含一年)到期的债权投资和长期应收款，列示为一年内到期的非流动资产；取得时期限在一年内(含一年)的债权投资列示为其他流动资产。

以公允价值计量且其变动计入其他综合收益：

本集团管理此类金融资产的业务模式为既以收取合同现金流量为目标又以出售为目标，且此类金融资产的合同现金流量特征与基本借贷安排相一致。此类金融资产按照公允价值计量且其变动计入其他综合收益，但减值损失或利得、汇兑损益和按照实际利率法计算的利息收入计入当期损益。此类金融资产主要包括应收款项融资、其他债权投资等。本集团将自资产负债表日起一年内(含一年)到期的其他债权投资，列示为一年内到期的非流动资产；取得时期限在一年内(含一年)的其他债权投资列示为其他流动资产。

以公允价值计量且其变动计入当期损益：

本集团将持有的未划分为以摊余成本计量和以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的债务工具，以公允价值计量且其变动计入当期损益。在初始确认时，本集团为了消除或显著减少会计错配，将部分金融资产指定为以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产。自资产负债表日起超过一年到期且预期持有超过一年的，列示为其他非流动金融资产，其余列示为交易性金融资产。

权益工具

本集团将对其没有控制、共同控制和重大影响的权益工具投资按照公允价值计量且其变动计入当期损益，列示为交易性金融资产；自资产负债表日起预期持有超过一年的，列示为其他非流动金融资产。

此外，本集团将部分非交易性权益工具投资于初始确认时指定为以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的金融资产，列示为其他权益工具投资。该类金融资产的相关股利收入计入当期损益。

(c) 减值

本集团对于以摊余成本计量的金融资产、以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的债务工具投资、合同资产、应收租赁款、财务担保合同和贷款承诺等，以预期信用损失为基础确认损失准备。

本集团考虑有关过去事项、当前状况以及对未来经济状况的预测等合理且有依据的信息，以发生违约的风险为权重，计算合同应收的现金流量与预期能收到的现金流量之间差额的现值的概率加权金额，确认预期信用损失。

于每个资产负债表日，本集团对于处于不同阶段的金融工具的预期信用损失分别进行计量。金融工具自初始确认后信用风险未显著增加的，处于第一阶段，本集团按照未来12个月内的预期信用损失计量损失准备；金融工具自初始确认后信用风险已显著增加但尚未发生信用减值的，处于第二阶段，本集团按照该工具整个存续期的预期信用损失计量损失准备；金融工具自初始确认后已经发生信用减值的，处于第三阶段，本集团按照该工具整个存续期的预期信用损失计量损失准备。

对于在资产负债表日具有较低信用风险的金融工具，本集团假设其信用风险自初始确认后并未显著增加，认定为处于第一阶段的金融工具，按照未来12个月内的预期信用损失计量损失准备。

本集团对于处于第一阶段和第二阶段的金融工具，按照其未扣除减值准备的账面余额和实际利率计算利息收入。对于处于第三阶段的金融工具，按照其账面余额减已计提减值准备后的摊余成本和实际利率计算利息收入。

对于因销售商品、提供劳务等日常经营活动形成的应收票据、应收账款、应收款项融资和合同资产，无论是否存在重大融资成分，本集团均按照整个存续期的预期信用损失计量损失准备。

当单项金融资产无法以合理成本评估预期信用损失的信息时，本集团依据信用风险特征将应收款项划分为若干组合，在组合基础上计算预期信用损失，确定组合的依据和计提方法如下：

利息及银行承兑汇票	利息及银行承兑汇票
押金组合	备用押金、保证金等信用风险较低的应收款项
应收账款组合	应收账款
其他组合	除以上组合以外的应收款项

对于划分为组合的应收账款和因销售商品、提供劳务等日常经营活动形成的应收票据和应收款项融资，本集团参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预测，通过违约风险敞口和整个存续期预期信用损失率，计算预期信用损失。除此以外的应收票据、应收款项融资和划分为组合的其他应收款，本集团参考历史信用损失经验，结合当前状况以及对未来经济状况的预测，通过违约风险敞口和未来12个月内或整个存续期预期信用损失率，计算预期信用损失。

本集团将计提或转回的损失准备计入当期损益。对于持有的以公允价值计量且其变动计入其他综合收益的债务工具，本集团在将减值损失或利得计入当期损益的同时调整其他综合收益。

(d) 终止确认

资产满足下列条件之一的，予以终止确认：(1) 收取该金融资产现金流量的合同权利终止；

(2) 该金融资产已转移，且本集团将金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬转移给转入方；

(3) 该金融资产已转移，虽然本集团既没有转移也没有保留金融资产所有权上几乎所有的风险和报酬，但是放弃了对该金融资产控制。

其他权益工具投资终止确认时，其账面价值与收到的对价以及原直接计入其他综合收益的公允价值变动累计额之和的差额，计入留存收益；其余金融资产终止确认时，其账面价值与收到的对价以及原直接计入其他综合收益的公允价值变动累计额之和的差额，计入当期损益。

(e) 金融负债

金融负债于初始确认时分类为以摊余成本计量的金融负债和以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融负债。

本集团的金融负债主要为以摊余成本计量的金融负债，包括应付账款及其他应付款等。该类金融负债按其公允价值扣除交易费用后的金额进行初始计量，并采用实际利率法进行后续计量。期限在一年以下(含一年)的，列示为流动负债；期限在一年以上但自资产负债表日起一年内(含一年)到期的，列示为一年内到期的非流动负债；其余列示为非流动负债。

当金融负债的现时义务全部或部分已经解除时，本集团终止确认该金融负债或义务已解除的部分。终止确认部分的账面价值与支付的对价之间的差额，计入当期损益。

(f) 权益工具

权益工具，是指能证明拥有某一方在扣除所有负债后的资产中的剩余权益的合同。

(g) 金融工具的公允价值确定

存在活跃市场的金融工具，以活跃市场中的报价确定其公允价值。不存在活跃市场的金融工具，采用估值技术确定其公允价值。在估值时，本集团采用在当前情况下适用并且有足够可利用数据和其他信息支持的估值技术，选择与市场参与者在相关资产或负债的交易中所考虑的资产或负债特征相一致的输入值，并尽可能优先使用相关可观察输入值。在相关可观察输入值无法取得或取得不切实可行的情况下，使用不可观察输入值。

11. 应收票据

应收票据的预期信用损失的确定方法及会计处理方法

√适用 □不适用

详见第十节财务报告五、10。

12. 应收账款

应收账款的预期信用损失的确定方法及会计处理方法

√适用 □不适用

详见第十节财务报告五、10。

13. 应收款项融资

□适用 √不适用

14. 其他应收款

其他应收款预期信用损失的确定方法及会计处理方法

√适用 □不适用

详见第十节财务报告五、10。

15. 存货

√适用 □不适用

(a) 分类

存货包括原材料、在产品、发出商品和产成品，按成本与可变现净值孰低计量。

(b) 发出存货的计价方法

存货发出时的成本按加权平均法核算，产成品和在产品成本包括原材料、直接人工以及在正常生产能力下按系统的方法分配的制造费用。

(c) 存货可变现净值的确定依据及存货跌价准备的计提方法

存货跌价准备按存货成本高于其可变现净值的差额计提。可变现净值按日常活动中，以存货的估计售价减去至完工时估计将要发生的成本、估计的销售费用以及相关税费后的金额确定。

(d) 本集团的存货盘存制度采用永续盘存制。

16. 合同资产

(1). 合同资产的确认方法及标准

√适用 □不适用

详见第十节财务报告五、38。

(2). 合同资产预期信用损失的确定方法及会计处理方法

√适用 □不适用

详见第十节财务报告五、10。

17. 持有待售资产

□适用 √不适用

18. 债权投资

(1). 债权投资预期信用损失的确定方法及会计处理方法

□适用 √不适用

19. 其他债权投资

(1). 其他债权投资预期信用损失的确定方法及会计处理方法

□适用 √不适用

20. 长期应收款

(1). 长期应收款预期信用损失的确定方法及会计处理方法

√适用 □不适用

详见第十节财务报告五、20。

21. 长期股权投资

√适用 □不适用

长期股权投资包括：本公司对子公司的长期股权投资；本集团对联营企业的长期股权投资。

子公司为本公司能够对其实施控制的被投资单位。联营企业为本集团能够对其财务和经营决策具有重大影响的被投资单位。

对子公司的投资，在公司财务报表中按照成本法确定的金额列示，在编制合并财务报表时按权益法调整后进行合并；对联营企业投资采用权益法核算。

(a) 投资成本确定

同一控制下企业合并形成的长期股权投资，在合并日按照被合并方所有者权益在最终控制方合并财务报表中的账面价值的份额作为投资成本；非同一控制下企业合并形成的长期股权投资，按照合并成本作为长期股权投资的投资成本。

对于以企业合并以外的其他方式取得的长期股权投资，以支付现金取得的长期股权投资，按照实际支付的购买价款作为初始投资成本；以发行权益性证券取得的长期股权投资，按发行权益性证券的公允价值确认为初始投资成本。

(b) 后续计量及损益确认方法

采用成本法核算的长期股权投资，按照初始投资成本计量，被投资单位宣告分派的现金股利或利润，确认为投资收益计入当期损益。

采用权益法核算的长期股权投资，初始投资成本大于投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值份额的，以初始投资成本作为长期股权投资成本；初始投资成本小于投资时应享有被投资单位可辨认净资产公允价值份额的，其差额计入当期损益，并相应调增长期股权投资成本。

采用权益法核算的长期股权投资，本集团按应享有或应分担的被投资单位的净损益份额确认当期投资损益。确认被投资单位发生的净亏损，以长期股权投资的账面价值以及其他实质上构成对被投资单位净投资的长期权益减记至零为限，但本集团负有承担额外损失义务且符合或有事项准则所规定的预计负债确认条件的，继续确认投资损失并作为预计负债核算。被投资单位除净损

益、其他综合收益和利润分配以外所有者权益的其他变动，调整长期股权投资的账面价值并计入资本公积。被投资单位分派的利润或现金股利于宣告分派时按照本集团应分得的部分，相应减少长期股权投资的账面价值。本集团与被投资单位之间未实现的内部交易损益按照持股比例计算归属于本集团的部分，予以抵销，在此基础上确认投资损益。本集团与被投资单位发生的内部交易损失，其中属于资产减值损失的部分，相应的未实现损失不予抵销。

(c) 确定对被投资单位具有控制、共同控制、重大影响的依据控制是指拥有对被投资单位的权力，通过参与被投资单位的相关活动而享有可变回报，并且有能力运用对被投资单位的权力影响其回报金额。

共同控制是指按照相关约定对某项安排所共有的控制，并且该安排的相关活动必须经过本集团及分享控制权的其他参与方一致同意后才能决策。

重大影响是指对被投资单位的财务和经营政策有参与决策的权力，但并不能够控制或者与其他方一起共同控制这些政策的制定。

(d) 长期股权投资减值

对子公司、联营企业的长期股权投资，当其可收回金额低于其账面价值时，账面价值减记至可收回金额(附注七(17))。

22. 投资性房地产

(1). 如果采用成本计量模式的：

折旧或摊销方法

投资性房地产包括已出租的土地使用权和以出租为目的的建筑物以及正在建造或开发过程中将用于出租的建筑物，以成本进行初始计量。与投资性房地产有关的后续支出，在相关的经济利益很可能流入本集团且其成本能够可靠计量时，计入投资性房地产成本；否则，于发生时计入当期损益。

本集团对所有投资性房地产采用成本模式进行后续计量，按其预计使用寿命及净残值率对建筑物和土地使用权计提折旧或摊销。投资性房地产的预计使用寿命、净残值率及年折旧(摊销)率列示如下：

	预计使用寿命	预计净残值率	年折旧(摊销)率
房屋及建筑物	20	5%	4.75%

投资性房地产的用途改变为自用时，自改变之日起，将该投资性房地产转换为固定资产或无形资产。自用房地产的用途改变为赚取租金或资本增值时，自改变之日起，将固定资产或无形资产转换为投资性房地产。发生转换时，以转换前的账面价值作为转换后的入账价值。

对投资性房地产的预计使用寿命、预计净残值和折旧(摊销)方法于每年年度终了进行复核并作适当调整。

当投资性房地产被处置、或者永久退出使用且预计不能从其处置中取得经济利益时，终止确认该项投资性房地产。投资性房地产出售、转让、报废或毁损的处置收入扣除其账面价值和相关税费后计入当期损益。

当投资性房地产的可收回金额低于其账面价值时，账面价值减记至可收回金额(附注七

(20))。

23. 固定资产

(1). 确认条件

√适用 □不适用

固定资产包括房屋及建筑物、机器设备、计算机及电子设备、办公设备等以及运输工具。

固定资产在与其有关的经济利益很可能流入本集团、且其成本能够可靠计量时予以确认。购置或新建的固定资产按取得时的成本进行初始计量。

与固定资产有关的后续支出，在与其有关的经济利益很可能流入本集团且其成本能够可靠计量时，计入固定资产成本；对于被替换的部分，终止确认其账面价值；所有其他后续支出于发生时计入当期损益。

(2). 折旧方法

√适用 □不适用

类别	折旧方法	折旧年限（年）	残值率	年折旧率
房屋及建筑物	年限平均法	10-20年	5%	4.75%-9.50%
机器设备	年限平均法	3 - 7年	0%-5%	13.57%-33.33%
计算机及电子设备	年限平均法	3 - 10年	5%	9.50%-31.67%
办公设备	年限平均法	3年	0%	33.33%
运输工具	年限平均法	5年	5%	19.00%

固定资产折旧采用年限平均法并按其入账价值减去预计净残值后在预计使用寿命内计提。对计提了减值准备的固定资产，则在未来期间按扣除减值准备后的账面价值及依据尚可使用年限确定折旧额。

对固定资产的预计使用寿命、预计净残值和折旧方法于每年年度终了进行复核并作适当调整。

当固定资产的可收回金额低于其账面价值时，账面价值减记至可收回金额(附注七(21))。

当固定资产被处置、或者预期通过使用或处置不能产生经济利益时，终止确认该固定资产。固定资产出售、转让、报废或毁损的处置收入扣除其账面价值和相关税费后的金额计入当期损益。

(3). 融资租入固定资产的认定依据、计价和折旧方法

□适用 √不适用

24. 在建工程

√适用 □不适用

在建工程按实际发生的成本计量。实际成本包括建筑成本、安装成本、符合资本化条件的借款费用以及其他为使在建工程达到预定可使用状态所发生的必要支出。在建工程在达到预定可使用状态时，转入固定资产并自次月起开始计提折旧。当在建工程的可收回金额低于其账面价值时，账面价值减记至可收回金额(附注七(22))。

25. 借款费用

√适用 □不适用

本集团发生的可直接归属于需要经过相当长时间的购建活动才能达到预定可使用状态之资产的购建的借款费用，在资产支出及借款费用已经发生、为使资产达到预定可使用状态所必要的购建活动已经开始时，开始资本化并计入该资产的成本。当购建的资产达到预定可使用状态时停止资本化，其后发生的借款费用计入当期损益。如果资产的购建活动发生非正常中断，并且中断时间连续超过3个月，暂停借款费用的资本化，直至资产的购建活动重新开始。

对于为购建符合资本化条件的资产而借入的专门借款，以专门借款当期实际发生的利息费用减去尚未动用的借款资金存入银行取得的利息收入或进行暂时性投资取得的投资收益后的金额确定专门借款借款费用的资本化金额。

对于为购建符合资本化条件的资产而占用的一般借款，按照累计资产支出超过专门借款部分的资本支出加权平均数乘以所占用一般借款的加权平均实际利率计算确定一般借款借款费用的资本化金额。实际利率为将借款在预期存续期间或适用的更短期间内的未来现金流量折现为该借款初始确认金额所使用的利率。

26. 生物资产

□适用 √不适用

27. 油气资产

□适用 √不适用

28. 使用权资产

√适用 □不适用

详见第十节财务报告七、25。

29. 无形资产

(1). 计价方法、使用寿命、减值测试

√适用 □不适用

无形资产包括土地使用权、专有技术权、内部开发技术以及软件，以成本计量。

(a) 土地使用权

土地使用权按使用年限50年平均摊销。外购土地及建筑物的价款难以在土地使用权与建筑物之间合理分配的，全部作为固定资产。

(b) 专有技术权

专有技术按投资各方确认的价值入账，并按预计使用年限10年平均摊销。

(c) 内部开发技术

内部开发技术按开发阶段满足资本化条件发生的实际成本入账，并按预计使用年限7年平均摊销。

(d) 软件

购入的软件按照实际支付的价款作为实际成本，并按预计使用年限3年或者5年平均摊销。

(e) 定期复核使用寿命和摊销方法

对使用寿命有限的无形资产的预计使用寿命及摊销方法于每年年度终了进行复核并作适当调整。

(f)无形资产减值

当无形资产的可收回金额低于其账面价值时，账面价值减记至可收回金额(附注七(26))。

(2). 内部研究开发支出会计政策

√适用 □不适用

内部研究开发项目支出根据其性质以及研发活动最终形成无形资产是否具有较大不确定性，被分为研究阶段支出和开发阶段支出。

试制样机初步完成研制之前，为研究生产工艺而进行的有计划的调查、评价和选择阶段的支出为研究阶段的支出，于发生时计入当期损益；试制样机初步完成研制至大规模生产之前，针对生产工艺最终应用的相关设计、测试阶段的支出为开发阶段的支出，同时满足下列条件的，予以资本化：

? 生产工艺的开发已经技术团队进行充分论证；? 管理层已批准生产工艺开发的预算；? 前期市场调研的研究分析说明生产工艺所生产的产品具有市场推广能力；? 有足够的技术和资金支持，以进行生产工艺的开发活动及后续的大规模生产；以及? 生产工艺开发的支出能够可靠地归集。

不满足上述条件的开发阶段的支出，于发生时计入当期损益。以前期间已计入损益的开发支出不在以后期间重新确认为资产。已资本化的开发阶段的支出在资产负债表上列示为开发支出，自该项目达到预定用途之日起转为无形资产。

30. 长期资产减值

√适用 □不适用

固定资产、在建工程、使用权资产、使用寿命有限的无形资产、以成本模式计量的投资性房地产及对子公司、联营企业的长期股权投资等，于资产负债表日存在减值迹象的，进行减值测试；尚未达到可使用状态的无形资产，无论是否存在减值迹象，至少每年进行减值测试。减值测试结果表明资产的可收回金额低于其账面价值的，按其差额计提减值准备并计入资产减值损失。可收回金额为资产的公允价值减去处置费用后的净额与资产预计未来现金流量的现值两者之间的较高者。资产减值准备按单项资产为基础计算并确认，如果难以对单项资产的可收回金额进行估计的，以该资产所属的资产组确定资产组的可收回金额。资产组是能够独立产生现金流入的最小资产组合。

上述资产减值损失一经确认，以后期间不予转回价值得以恢复的部分。

31. 长期待摊费用

√适用 □不适用

长期待摊费用包括使用权资产改良及其他已经发生但应由本期和以后各期负担的、分摊期限在一年以上的各项费用，按预计受益期间分期平均摊销，并以实际支出减去累计摊销后的净额列示。

32. 合同负债

(1). 合同负债的确认方法

√适用 □不适用

详见第十节财务报告七、38。

33. 职工薪酬

(1). 短期薪酬的会计处理方法

√适用 □不适用

职工薪酬是本集团为获得职工提供的服务或解除劳动关系而给予的各种形式的报酬或补偿，包括短期薪酬、离职后福利、辞退福利和其他长期职工福利等。

短期薪酬

短期薪酬包括工资、奖金、津贴和补贴、职工福利费、医疗保险费、工伤保险费、生育保险费、住房公积金、工会和教育经费、短期带薪缺勤等。本集团在职工提供服务的会计期间，将实际发生的短期薪酬确认为负债，并计入当期损益或相关资产成本。其中，非货币性福利按照公允价值计量。

(2). 离职后福利的会计处理方法

√适用 □不适用

本集团将离职后福利计划分类为设定提存计划和设定受益计划。设定提存计划是本集团向独立的基金缴存固定费用后，不再承担进一步支付义务的离职后福利计划；设定受益计划是除设定提存计划以外的离职后福利计划。于报告期内，本集团的离职后福利主要是为员工缴纳的基本养老保险和失业保险，均属于设定提存计划。

基本养老保险

本集团职工参加了由当地劳动和社会保障部门组织实施的社会基本养老保险。本集团以当地规定的社会基本养老保险缴纳基数和比例，按月向当地社会基本养老保险经办机构缴纳养老保险费。职工退休后，当地劳动及社会保障部门有责任向已退休员工支付社会基本养老金。本集团在职工提供服务的会计期间，将根据上述社保规定计算应缴纳的金额确认为负债，并计入当期损益或相关资产成本。

(3). 辞退福利的会计处理方法

√适用 □不适用

本集团在职工劳动合同到期之前解除与职工的劳动关系、或者为鼓励职工自愿接受裁减而提出给予补偿，在本集团不能单方面撤回解除劳动关系计划或裁减建议时和确认与涉及支付辞退福利的重组相关的成本费用时两者孰早日，确认因解除与职工的劳动关系给予补偿而产生的负债，同时计入当期损益。

预期在资产负债表日起一年内需支付的辞退福利，列示为应付职工薪酬。

(4). 其他长期职工福利的会计处理方法

□适用 √不适用

34. 租赁负债

√适用 □不适用

详见第十节财务报告七、47。

35. 预计负债

√适用 □不适用

因产品质量保证等形成的现时义务，当履行该义务很可能导致经济利益的流出，且其金额能够可靠计量时，确认为预计负债。

预计负债按照履行相关现时义务所需支出的最佳估计数进行初始计量，并综合考虑与或有事项有关的风险、不确定性和货币时间价值等因素。货币时间价值影响重大的，通过对相关未来现金流出进行折现后确定最佳估计数；因随着时间推移所进行的折现还原而导致的预计负债账面价值的增加金额，确认为利息费用。

于资产负债表日，对预计负债的账面价值进行复核并作适当调整，以反映当前的最佳估计数。

预期在资产负债表日起一年内需支付的预计负债，列报为流动负债。

36. 股份支付

√适用 □不适用

股份支付分为以权益结算的股份支付和以现金结算的股份支付。以权益结算的股份支付，是指集团为获取服务以自身股份或其他权益工具为对价进行结算的交易。

以权益结算的股份支付换取职工提供服务的，以授予职工权益工具的公允价值计量。授予后立即可行权的，在授予日按照公允价值计入当期损益，相应增加资本公积；完成等待期内的服务或达到规定业绩条件才可行权的，在等待期内每个资产负债表日，本集团根据最新取得的可行权职工人数变动、是否达到规定业绩条件等后续信息对可行权权益工具数量作出最佳估计，并以此为基础，按照授予日的公允价值，将当期取得的服务计入当期损益。

对于最终未能达到可行权条件的股份支付，本集团不确认成本或费用，除非该可行权条件是市场条件或非可行权条件，此时无论是否满足市场条件或非可行权条件，只要满足所有可行权条件中的非市场条件，即视为可行权。

本集团修改股份支付计划条款时，如果修改增加了所授予权益工具的公允价值，本集团根据修改前后的权益工具在修改日公允价值之间的差额相应确认取得服务的增加。如果本集团按照有利于职工的方式修改可行权条件，本集团按照修改后的可行权条件核算；如果本集团以不利于职工的方式修改可行权条件，核算时不予以考虑，除非本集团取消了部分或全部已授予的权益工具。如果本集团取消了所授予的权益工具，则于取消日作为加速行权处理，将原本应在剩余等待期内确认的金额立即计入当期损益，同时确认资本公积。

如果本集团需要按事先约定的回购价格回购未解锁而失效或作废的限制性股票，本集团按照限制性股票的数量以及相应的回购价格确认负债及库存股。

以现金结算的股份支付，是指本集团因获取服务或商品、承担以股份或其他权益工具为基础计算确定交付现金或其他资产义务的交易。

以现金结算的股份支付，本集团按照企业承担的以股份或其他权益工具为基础计算确定的负债的公允价值计量。授予后立即可行权的以现金结算的股份支付，在授权日以承担负债的公允价值计入相关成本或费用，相应增加负债。完成等待期内的服务或达到规定业绩条件以后才可行权的以现金结算的股份支付，在等待期内的每个资产负债表日，以对可行权情况的最佳估计为基础，按照承担负债的公允价值金额，将当期取得的服务计入成本或费用和负债。在资产负债表日，后续信息表明当期承担债务的公允价值与以前估计不同的，进行调整；在可行权日，调整至实际可行权水平。本集团在相关负债结算前的每个资产负债表日以及结算日，对负债的公允价值重新计量、其变动计入当期损益。

37. 优先股、永续债等其他金融工具

□适用 √不适用

38. 收入

(1). 收入确认和计量所采用的会计政策

√适用 □不适用

本集团在客户取得相关商品或服务的控制权时，按预期有权收取的对价金额确认收入。

(a) 销售商品

本集团生产产品并销售予各地客户。

本集团将产品运至约定交货地点，进行安装、调试及验收。根据不同专用设备产品的类型及合同安排，经客户确认后，客户具有自行使用产品的权利并承担该产品可能发生价格波动或毁损的风险，本集团于控制权转移至客户时相应确认收入。

本集团将备品备件产品按照协议合同规定运至约定交货地点，经客户确认接收后，客户具有自行使用产品的权利并承担该产品可能发生价格波动或毁损的风险，本集团相应确认收入。

本集团给予客户的信用期根据客户的信用风险特征确定，与行业惯例一致，不存在重大融资成分。本集团已收或应收客户对价而应向客户转让商品的义务列示为合同负债。

(b) 提供劳务

本集团对外提供劳务，根据已完成劳务的进度在一段时间内确认收入，其中，已完成劳务的进度按照已发生的成本占预计总成本的比例确定。于资产负债表日，本集团对已完成劳务的进度进行重新估计，以使其能够反映履约情况的变化。

本集团按照已完成劳务的进度确认收入时，对于本集团已经取得无条件收款权的部分，确认为应收账款，其余部分确认为合同资产，并对应收账款和合同资产以预期信用损失为基础确认损失准备(第十节财务报告五、10)；如果本集团已收或应收的合同价款超过已完成的劳务，则将超过部分确认为合同负债。本集团对于同一合同项下的合同资产和合同负债以净额列示。

(2). 同类业务采用不同经营模式导致收入确认会计政策存在差异的情况

□适用 √不适用

39. 合同成本

□适用 √不适用

40. 政府补助

√适用 □不适用

政府补助为本集团从政府无偿取得的货币性资产或非货币性资产，包括税费返还、财政补贴等。

政府补助在本集团能够满足其所附的条件并且能够收到时，予以确认。政府补助为货币性资产的，按照收到或应收的金额计量。政府补助为非货币性资产的，按照公允价值计量；公允价值不能可靠取得的，按照名义金额计量。

与资产相关的政府补助，是指本集团取得的、用于购建或以其他方式形成长期资产的政府补助。与收益相关的政府补助，是指除与资产相关的政府补助之外的政府补助。

本集团将与资产相关的政府补助确认为递延收益，并在相关资产的使用寿命内按照合理、系统的方法分期计入当期损益；若用于补偿已发生的相关成本费用或损失的，直接计入当期损益。与收益相关的政府补助，若用于补偿以后期间的相关成本费用或损失的，确认为递延收益，并在确认相关成本费用或损失的期间，冲减相关成本费用；若用于补偿已经发生的相关成本费用或损失的，直接冲减相关成本。

本集团对于同类政府补助采用相同的列报方式。

与日常活动相关的政府补助纳入营业利润，与日常活动无关的政府补助计入营业外收支。

41. 递延所得税资产/递延所得税负债

√适用 □不适用

递延所得税资产和递延所得税负债根据资产和负债的计税基础与其账面价值的差额(暂时性差异)计算确认。对于按照税法规定能够于以后年度抵减应纳税所得额的可抵扣亏损，确认相应的递延所得税资产。对于商誉的初始确认产生的暂时性差异，不确认相应的递延所得税负债。对于既不影响会计利润也不影响应纳税所得额(或可抵扣亏损)的非企业合并的交易中产生的资产或负债的初始确认形成的暂时性差异，不确认相应的递延所得税资产和递延所得税负债。于资产负债表日，递延所得税资产和递延所得税负债，按照预期收回该资产或清偿该负债期间的适用税率计量。

递延所得税资产的确认以很可能取得用来抵扣可抵扣暂时性差异、可抵扣亏损和税款抵减的应纳税所得额为限。

对与子公司及联营企业投资相关的应纳税暂时性差异，确认递延所得税负债，除非本集团能够控制该暂时性差异转回的时间且该暂时性差异在可预见的未来很可能不会转回。对与子公司及联营企业投资相关的可抵扣暂时性差异，当该暂时性差异在可预见的未来很可能转回且未来很可能获得用来抵扣可抵扣暂时性差异的应纳税所得额时，确认递延所得税资产。

同时满足下列条件的递延所得税资产和递延所得税负债以抵销后的净额列示：

? 递延所得税资产和递延所得税负债与同一税收征管部门对本集团内同一纳税主体征收的所得税相关；? 本集团内该纳税主体拥有以净额结算当期所得税资产及当期所得税负债的法定权利。

42. 租赁

(1). 经营租赁的会计处理方法

√适用 □不适用

本集团经营租出自有的房屋建筑物时，经营租赁的租金收入在租赁期内按照直线法确认。本集团将按销售额的一定比例确定的可变租金在实际发生时计入租金收入。当租赁发生变更时，本集团自变更生效日起将其作为一项新租赁，并将与变更前租赁有关的预收或应收租赁收款额作为新租赁的收款额。

(2). 融资租赁的会计处理方法

√适用 □不适用

本集团作为出租人实质上转移了与租赁资产所有权有关的几乎全部风险和报酬的租赁为融资租赁。其他的租赁为经营租赁。

(3). 新租赁准则下租赁的确定方法及会计处理方法

√适用 □不适用

本集团作为承租人本集团于租赁期开始日确认使用权资产，并按尚未支付的租赁付款额的现值确认租赁负债。租赁付款额包括固定付款额，以及在合理确定将行使购买选择权或终止租赁选择权的情况下需支付的款项等。按销售额的一定比例确定的可变租金不纳入租赁付款额，在实际发生时计入当期损益。本集团将自资产负债表日起一年内(含一年)支付的租赁负债，列示为一年内到期的非流动负债。

本集团的使用权资产包括租入的房屋及建筑物及办公设备等。使用权资产按照成本进行初始计量，该成本包括租赁负债的初始计量金额、租赁期开始日或之前已支付的租赁付款额、初始直接

费用等，并扣除已收到的租赁激励。本集团能够合理确定租赁期届满时取得租赁资产所有权的，在租赁资产剩余使用寿命内计提折旧；若无法合理确定租赁期届满时是否能够取得租赁资产所有权，则在租赁期与租赁资产剩余使用寿命两者孰短的期间内计提折旧。当可收回金额低于使用权资产的账面价值时，本集团将其账面价值减记至可收回金额。

对于租赁期不超过12个月的短期租赁和单项资产全新时价值较低的低价值资产租赁，本集团选择不确认使用权资产和租赁负债，将相关租金支出在租赁期内各个期间按照直线法计入当期损益或相关资产成本。

租赁发生变更且同时符合下列条件时，本集团将其作为一项单独租赁进行会计处理：(1)该租赁变更通过增加一项或多项租赁资产的使用权而扩大了租赁范围；(2)增加的对价与租赁范围扩大部分的单独价格按该合同情况调整后的金额相当。

当租赁变更未作为一项单独租赁进行会计处理时，除新冠肺炎疫情直接引发的合同变更采用简化方法外，本集团在租赁变更生效日重新确定租赁期，并采用修订后的折现率对变更后的租赁付款额进行折现，重新计量租赁负债。租赁变更导致租赁范围缩小或租赁期缩短的，本集团相应调减使用权资产的账面价值，并将部分终止或完全终止租赁的相关利得或损失计入当期损益。其他租赁变更导致租赁负债重新计量的，本集团相应调整使用权资产的账面价值。

当租赁变更未作为一项单独租赁进行会计处理时，除新冠肺炎疫情直接引发的合同变更采用简化方法外，本集团在租赁变更生效日重新确定租赁期，并采用修订后的折现率对变更后的租赁付款额进行折现，重新计量租赁负债。租赁变更导致租赁范围缩小或租赁期缩短的，本集团相应调减使用权资产的账面价值，并将部分终止或完全终止租赁的相关利得或损失计入当期损益。其他租赁变更导致租赁负债重新计量的，本集团相应调整使用权资产的账面价值。

本集团未发生由新冠肺炎疫情直接引发的租赁变更。

43. 其他重要的会计政策和会计估计

√适用 □不适用

本集团根据历史经验和其他因素，包括对未来事项的合理预期，对所采用的重要会计估计和关键判断进行持续的评价。

(a)重要会计估计及其关键假设下列重要会计估计及关键假设存在会导致下一会计年度资产和负债的账面价值出现重大调整的重要风险：

(i)开发支出本集团在大规模生产之前，针对生产工艺最终应用的相关设计、测试阶段的支出为开发阶段的支出，同时满足条件的，予以资本化。不满足条件的开发阶段的支出，于发生时计入当期损益。以前期间已计入损益的开发支出不在以后期间重新确认为资产。

(ii)预期信用损失的计量本集团通过违约风险敞口和预期信用损失率计算预期信用损失，并基于违约概率和违约损失率确定预期信用损失率。在确定预期信用损失率时，本集团使用内部历史信用损失经验及外部评级等数据，并结合当前状况和前瞻性信息对历史数据进行调整。在考虑前瞻性信息时，本集团考虑了不同的宏观经济情景用于估计预期信用损失的重要宏观经济假设包括生产价格指数、国内生产总值和行业预测等。本集团定期监控并复核与预期信用损失计算相关的重要宏观经济假设和参数。2021年度，本集团为及时反映新冠疫情对金融工具预期信用损失的影响，对预期信用损失模型中的前瞻性参数进行了更新。

(iii)存货的跌价准备存货的可变现净值是根据市场售价扣减相应的销售费用以及相关税费进行估计的。这些估计是基于当时市况和产品销售的历史经验，可能由于市场环境变化而发生重大变更。管理层定期对此进行重新估计并相应进行调整。

(iv)所得税和递延所得税本集团在多个地区缴纳企业所得税。在正常的经营活动中，部分交易和事项的最终税务处理存在不确定性。在计提各个地区的所得税费用时，本集团需要作出重大判断。如果这些税务事项的最终认定结果与最初入账的金额存在差异，该差异将对作出上述最终认定期间的所得税费用和递延所得税的金额产生影响。如第十节财务报告六、2所述，本公司为高新技术企业。高新技术企业资质的有效期为三年，到期后需向相关政府部门重新提交高新技术企业认定申请。根据以往年度高新技术企业到期后重新认定的历史经验以及本公司的实际情况，本集团认为本公司于未来年度能够持续取得高新技术企业认定，进而按照15%的优惠税率计算其相应的递延所得税。倘若未来本公司于高新技术企业资质到期后未能取得重新认定，则需按照25%的法定税率计算所得税，进而将影响已确认的递延所得税资产、递延所得税负债及所得税费用。对于能够结转以后年度的可抵扣亏损，本集团以未来期间很可能获得用来抵扣可抵扣亏损的应纳税所得额为限，确认相应的递延所得税资产。未来期间取得的应纳税所得额包括本集团通过正常的生产经营活动能够实现的应纳税所得额，以及以前期间产生的应纳税暂时性差异在未来期间转回时将增加的应纳税所得额。本集团在确定未来期间应纳税所得额取得的时间和金额时，需要运用估计和判断。如果实际情况与估计存在差异，可能导致对递延所得税资产的账面价值进行调整。

(b)采用会计政策的关键判断(i)金融资产的分类本集团在确定金融资产的分类时涉及的重大判断包括业务模式及合同现金流量特征的分析等。本集团在金融资产组合的层次上确定管理金融资产的业务模式，考虑的因素包括评价和向关键管理人员报告金融资产业绩的方式、影响金融资产业绩的风险及其管理方式、以及相关业务管理人员获得报酬的方式等。本集团在评估金融资产的合同现金流量是否与基本借贷安排相一致时，存在以下主要判断：本金是否可能因提前还款等原因导致在存续期内的时间分布或者金额发生变动；利息是否仅包括货币时间价值、信用风险、其他基本借贷风险以及成本和利润的对价。例如，提前偿付的金额是否仅反映了尚未支付的本金及以未偿付本金为基础的利息，以及因提前终止合同而支付的合理补偿。(ii)客户确认专用设备产品的时点本集团根据合同安排以及专用设备产品安装调试、验收过程中是否需要不断调整产品设计规格及参数、后续发生成本是否重大、历史经验等情况判断客户是否确认相关产品。

44. 重要会计政策和会计估计的变更

(1). 重要会计政策变更

√适用 □不适用

会计政策变更的内容和原因	审批程序	备注(受重要影响的报表项目名称和金额)
财政部于2018年颁布了修订后的《企业会计准则第21号——租赁》(以下简称“新租赁准则”)，于2021年颁布了《关于调整<新冠肺炎疫情相关租金减让会计处理规定>适用范围的通知》(财会[2021] 9号)、《关于印发<企业会计	董事会决议	参见第十节财务报告五、44（3）首次执行新收入准则调整首次执行新租赁准则调整首次执行当年年初财务报表相关情况。

准则解释第14号>的通知》(财会[2021] 1号)及《企业会计准则实施问答》，本集团已采用上述准则、通知和实施问答编制2021年度财务报表。

其他说明无。

(2). 重要会计估计变更

□适用 √不适用

(3). 2021年起首次执行新租赁准则调整首次执行当年年初财务报表相关情况

√适用 □不适用

合并资产负债表

单位:元 币种:人民币

项目	2020年12月31日	2021年1月1日	调整数
流动资产：
货币资金	1,131,669,784.82	1,131,669,784.82
结算备付金
拆出资金
交易性金融资产	1,505,200,119.62	1,505,200,119.62
衍生金融资产
应收票据	105,477,921.32	105,477,921.32
应收账款	278,869,785.15	278,869,785.15
应收款项融资
预付款项	9,102,717.62	9,102,717.62
应收保费
应收分保账款
应收分保合同准备金
其他应收款	32,808,408.70	32,808,408.70
其中：应收利息	17,892.41	17,892.41
应收股利
买入返售金融资产
存货	1,063,864,875.83	1,063,864,875.83
合同资产
持有待售资产
一年内到期的非流动资产
其他流动资产	70,641,210.02	70,641,210.02
流动资产合计	4,197,634,823.08	4,197,634,823.08
非流动资产：
发放贷款和垫款
债权投资
其他债权投资
长期应收款	32,208,048.56	32,208,048.56
长期股权投资	424,269,937.29	424,269,937.29
其他权益工具投资

其他非流动金融资产	235,055,000.00	235,055,000.00
投资性房地产	7,447,415.65	7,447,415.65
固定资产	182,946,651.32	182,946,651.32
在建工程	13,944,386.94	13,944,386.94
生产性生物资产
油气资产
使用权资产	—	10,486,018.51	(10,486,018.51)
无形资产	289,266,460.84	289,266,460.84
开发支出	271,208,056.35	271,208,056.35
商誉
长期待摊费用	2,734,115.91	2,734,115.91
递延所得税资产
其他非流动资产	144,162,000.00	144,162,000.00
非流动资产合计	1,603,242,072.86	1,613,728,091.37	(10,486,018.51)
资产总计	5,800,876,895.94	5,811,362,914.45	(10,486,018.51)
流动负债：
短期借款
向中央银行借款
拆入资金
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款	422,217,875.80	422,217,875.80
预收款项
合同负债	592,139,816.14	592,139,816.14
卖出回购金融资产款
吸收存款及同业存放
代理买卖证券款
代理承销证券款
应付职工薪酬	106,560,316.11	106,560,316.11
应交税费	18,933,391.30	18,933,391.30
其他应付款	29,998,179.58	29,998,179.58
其中：应付利息
应付股利
应付手续费及佣金
应付分保账款
持有待售负债
一年内到期的非流动负债	—	4,504,713.12	(4,504,713.12)
其他流动负债	62,781,288.38	62,781,288.38
流动负债合计	1,232,630,867.31	1,237,135,580.43	(4,504,713.12)
非流动负债：
保险合同准备金
长期借款
应付债券
其中：优先股
永续债
租赁负债	—	5,981,305.39	(5,981,305.39)
长期应付款
长期应付职工薪酬	3,385,625.20	3,385,625.20

预计负债	16,067,280.23	16,067,280.23
递延收益	173,156,162.00	173,156,162.00
递延所得税负债	6,329,976.78	6,329,976.78
其他非流动负债
非流动负债合计	198,939,044.21	204,920,349.60	(5,981,305.39)
负债合计	1,431,569,911.52	1,442,055,930.03	(10,486,018.51)
所有者权益（或股东权益）：
实收资本（或股本）	534,862,237.00	534,862,237.00
其他权益工具
其中：优先股
永续债
资本公积	3,819,339,882.51	3,819,339,882.51
减：库存股
其他综合收益	-21,987,926.37	-21,987,926.37
专项储备
盈余公积	69,631,992.01	69,631,992.01
一般风险准备
未分配利润	-32,788,490.39	-32,788,490.39
归属于母公司所有者权益（或股东权益）合计	4,369,057,694.76	4,369,057,694.76
少数股东权益	249,289.66	249,289.66
所有者权益（或股东权益）合计	4,369,306,984.42	4,369,306,984.42
负债和所有者权益（或股东权益）总计	5,800,876,895.94	5,811,362,914.45	(10,486,018.51)

各项目调整情况的说明：

□适用 √不适用

母公司资产负债表

单位:元 币种:人民币

项目	2020年12月31日	2021年1月1日	调整数
流动资产：
货币资金	964,659,736.16	964,659,736.16
交易性金融资产	1,445,200,119.62	1,445,200,119.62
衍生金融资产
应收票据
应收账款	409,482,811.02	409,482,811.02
应收款项融资
预付款项	6,899,490.72	6,899,490.72
其他应收款	6,279,653.00	6,279,653.00
其中：应收利息
应收股利
存货	950,886,971.84	950,886,971.84
合同资产
持有待售资产
一年内到期的非流动资产
其他流动资产	41,460,058.52	41,460,058.52
流动资产合计	3,824,868,840.88	3,824,868,840.88

非流动资产：
债权投资
其他债权投资
长期应收款	4,536,488.24	4,536,488.24
长期股权投资	763,146,972.07	763,146,972.07
其他权益工具投资
其他非流动金融资产	235,055,000.00	235,055,000.00
投资性房地产
固定资产	177,424,743.45	177,424,743.45
在建工程	4,734,684.69	4,734,684.69
生产性生物资产
油气资产
使用权资产	—	1,248,123.36	(1,248,123.36)
无形资产	289,185,330.67	289,185,330.67
开发支出	271,208,056.35	271,208,056.35
商誉
长期待摊费用
递延所得税资产
其他非流动资产	5,000,000.00	5,000,000.00
非流动资产合计	1,750,291,275.47	1,751,539,398.83	(1,248,123.36)
资产总计	5,575,160,116.35	5,576,408,239.71	(1,248,123.36)
流动负债：
短期借款
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款	405,478,403.03	405,478,403.03
预收款项
合同负债	400,756,163.11	400,756,163.11
应付职工薪酬	80,936,842.93	80,936,842.93
应交税费	7,266,212.34	7,266,212.34
其他应付款	82,660,006.51	82,660,006.51
其中：应付利息
应付股利
持有待售负债
一年内到期的非流动负债	—	622,352.99	(622,352.99)
其他流动负债	28,085,346.58	28,085,346.58
流动负债合计	1,005,182,974.50	1,005,805,327.49	(622,352.99)
非流动负债：
长期借款
应付债券
其中：优先股
永续债
租赁负债	—	625,770.37	(625,770.37)
长期应付款
长期应付职工薪酬	3,385,625.20	3,385,625.20
预计负债	837,310.04	837,310.04
递延收益	173,156,162.00	173,156,162.00
递延所得税负债	6,329,976.78	6,329,976.78

其他非流动负债
非流动负债合计	183,709,074.02	184,334,844.39	(625,770.37)
负债合计	1,188,892,048.52	1,190,140,171.88	(1,248,123.36)
所有者权益（或股东权益）：
实收资本（或股本）	534,862,237.00	534,862,237.00
其他权益工具
其中：优先股
永续债
资本公积	3,145,117,623.30	3,145,117,623.30
减：库存股
其他综合收益	-300,195.48	-300,195.48
专项储备
盈余公积	69,631,992.01	69,631,992.01
未分配利润	636,956,411.00	636,956,411.00
所有者权益（或股东权益）合计	4,386,268,067.83	4,386,268,067.83
负债和所有者权益（或股东权益）总计	5,575,160,116.35	5,576,408,239.71	(1,248,123.36)

各项目调整情况的说明：

□适用 √不适用

(4). 2021年起首次执行新租赁准则追溯调整前期比较数据的说明

□适用 √不适用

45. 其他

□适用 √不适用

六、 税项

1. 主要税种及税率

主要税种及税率情况

√适用 □不适用

税种	计税依据	税率
增值税	应纳税增值额(应纳税额按应纳税销售额乘以适用税率扣除当期允许抵扣的进项税后的余额计算)	6%及13%
消费税
营业税
城市维护建设税	缴纳的增值税税额	1%，5%及7%
企业所得税	应纳税所得额	详见下列说明
教育费附加	缴纳的增值税税额	3%
地方教育费附件	缴纳的增值税税额	2%

存在不同企业所得税税率纳税主体的，披露情况说明

√适用 □不适用

纳税主体名称	所得税税率（%）
本公司(注 1)	15
中微厦门	25

中微惠创(注2)	20
中微南昌(注3)	15
中微汇链(注 4)	20
中微临港	25
中微科技	20
芯汇康(注 5)	20
无锡正海缘宇(注 6)	不适用
中微国际(注 7)	17
中微日本(注 8)	29.74
中微北美(注 9)	21和8.84
中微韩国(注 10)	10和20

注1：本公司为设立于上海浦东新区的生产性中外合资企业，依据所得税法的相关规定，公司适用的企业所得税率为25%。根据《高新技术企业认定管理办法》(国科发火[2008]172号)和《高新技术企业认定管理工作指引》(国科发火[2008]362号)有关规定，于2021年度，本公司获得高新技术企业认定，享受15%的优惠税率，有效期为3年。根据《中华人民共和国企业所得税法》第二十八条的有关规定，2021年本公司适用的企业所得税税率为15%(2020年度：15%)。

注2：中微惠创为注册于上海的有限责任公司，该公司2021年度实际适用小型微利企业所得税税率为20%(2020年度：20%)。

注3：中微南昌为注册于南昌的有限责任公司，依据所得税法的相关规定，公司适用的企业所得税率为25%。根据《高新技术企业认定管理办法》(国科发火[2008]172号)和《高新技术企业认定管理工作指引》(国科发火[2008]362号)有关规定，于2021年度，该公司获得高新技术企业认定，享受15%的优惠税率，有效期为3年。根据《中华人民共和国企业所得税法》第二十八条的有关规定，2021年该公司适用的企业所得税税率为15%(2020年度：25%)。

注4：中微汇链为注册于上海的有限责任公司，该公司2021年度实际适用小型微利企业所得税税率为20%(2020年度：20%)。

注5：芯汇康为注册于上海的有限责任公司，该公司2021年度实际适用小型微利企业所得税税率为20%。

注6：无锡正海缘宇为注册于无锡的有限合伙企业，不适用企业所得税。

注7：Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte. Ltd. (“中微国际”)为注册于新加坡的有限责任公司，该公司2021年度实际适用所得税税率为17%(2020年度：17%)。

注8：AMEC Japan Co., Inc. 为注册于日本的股份有限公司，该公司2021年度实际适用所得税税率为29.74%(2020年度：29.74%)。

注9：AMEC North America, Inc.为注册于美国加州的股份有限公司，该公司2021年度实际适用的联邦企业所得税税率为21%(2020年度：21%)。2021年度适用的加州企业所得税税率为

8.84%(2020年度：8.84%)。

注10：Advanced Micro-Fabrication Equipment Korea Ltd.为注册于韩国的有限责任公司，根据韩国相关所得税法的规定，对于公司获得的利润采用超额累进税率征收企业所得税。利润在2亿韩元以下征收税率为10%，在2亿韩元至200亿韩元征收税率为20%，在200亿韩元以上征收税率为22%。该公司2021年度实际适用所得税税率为20%及10%(2020年度：10%)。

2. 税收优惠

√适用 □不适用

本公司为设立于上海浦东新区的生产性中外合资企业，依据所得税法的相关规定，公司适用的企业所得税率为 25%。根据《高新技术企业认定管理办法》(国科发火[2008]172 号)和《高新技术企业认定管理工作指引》(国科发火[2008]362 号)有关规定，于 2018 年度，本公司获得高新技术 企业认定，享受 15%的优惠税率，有效期为 3 年。根据《中华人民共和国企业所得税法》第二 十八条的有关规定，2021 年本公司适用的企业所得税税率为 15%(上年同期：15%)。

中微南昌为设立于上海浦东新区的生产性中外合资企业，依据所得税法的相关规定，公司适用的企业所得税率为25%。根据《高新技术企业认定管理办法》(国科发火[2008]172号)和《高新技术企业认定管理工作指引》(国科发火[2008]362号)有关规定，于2021年度，本公司获得高新技术企业认定，享受15%的优惠税率，有效期为3年。根据《中华人民共和国企业所得税法》第二十八条的有关规定，2021年本公司适用的企业所得税税率为15%(2020年度：25%)。

3. 其他

□适用 √不适用

七、 合并财务报表项目注释

1、 货币资金

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
库存现金	106,912.21	100,705.19
银行存款	8,589,559,660.11	1,113,325,909.01
其他货币资金	33,836,516.39	18,173,449.22
应收利息	35,356,590.81	69,721.40
合计	8,658,859,679.52	1,131,669,784.82
其中：存放在境外的款项总额	200,207,623.72	84,411,195.37

其他说明于2021年12月31日，本集团银行存款余额中包括七天通知存款4,418,500,773.89元 (2020年12月31日：无)。于2021年12月31日，本集团其他货币资金包括向银行申请开具海关税款保函、及预付款保函所存入的保证金存款折合人民币33,301,311.31元(2020年12月31日：16,513,375.08元)以及向银行申请开具信用证所存入的保证金存款折合人民币535,205.08元 (2020年12月31日：1,660,074.14元)。

2、 交易性金融资产

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
理财产品	2,144,944,418.88	943,471,123.28
交易性权益工具投资	365,665,655.86	561,728,996.34
合计	2,510,610,074.74	1,505,200,119.62

其他说明：

□适用 √不适用

3、 衍生金融资产

□适用 √不适用

4、 应收票据

(1). 应收票据分类列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
银行承兑票据	91,058,214.54	45,231,751.96
商业承兑票据	5,228,365.13	61,134,286.13
减：坏账准备	(395,220.67)	(888,116.77)
合计	95,891,359.00	105,477,921.32

于2021年12月31日，本集团无已背书或贴现但尚未到期的应收票据 (2020年12月31日：无)。

(2). 期末公司已质押的应收票据

□适用 √不适用

(3). 期末公司已背书或贴现且在资产负债表日尚未到期的应收票据

(4). 期末公司因出票人未履约而将其转应收账款的票据

□适用 √不适用

(5). 按坏账计提方法分类披露

□适用 √不适用

按单项计提坏账准备：

□适用 √不适用

按组合计提坏账准备：

□适用 √不适用

如按预期信用损失一般模型计提坏账准备，请参照其他应收款披露：

√适用 □不适用

本集团的应收票据均因销售商品、提供劳务等日常经营活动产生，无论是否存在重大融资成分，均按照整个存续期的预期信用损失计量损失准备。本年度转回的坏账准备金额为492,896.10元。

(6). 坏账准备的情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

类别	期初余额	本期变动金额			期末余额
		计提	收回或转回	转销或核销
应收票据坏账准备	888,116.77		492,896.10		395,220.67
合计	888,116.77		492,896.10		395,220.67

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用 √不适用

其他说明：

本集团的应收票据均因销售商品、提供劳务等日常经营活动产生，无论是否存在重大融资成分，均按照整个存续期的预期信用损失计量损失准备。本年度转回的坏账准备金额为492,896.10元。

(7). 本期实际核销的应收票据情况

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

5、 应收账款

(1). 按账龄披露

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

账龄	期末账面余额
1年以内小计	490,337,574.42
1至2年	27,390,647.53
2至3年	1,751,592.64
3至4年	1,125,603.01
4年以上	3,317,562.22
合计	523,922,979.82

(2). 按坏账计提方法分类披露

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

类别	期末余额					期初余额
	账面余额		坏账准备		账面 价值	账面余额		坏账准备		账面 价值
	金额	比例(%)	金额	计提比例(%)		金额	比例(%)	金额	计提比例(%)
按单项计提坏账准备
其中：
按组合计提坏账准备	523,922,979.82	100	15,313,417.09	2.92	508,609,562.73	310,332,236.18	100	31,462,451.03	10.14	278,869,785.15
其中：
账龄组合	523,922,979.82	100	15,313,417.09	2.92	508,609,562.73	310,332,236.18	100	31,462,451.03	10.14	278,869,785.15
合计	523,922,979.82	100	15,313,417.09	2.92	508,609,562.73	310,332,236.18	100	31,462,451.03	10.14	278,869,785.15

按单项计提坏账准备：

□适用 √不适用

按组合计提坏账准备：

√适用 □不适用

组合计提项目：账龄组合

单位：元 币种：人民币

名称	期末余额
	应收账款	坏账准备	计提比例（%）
一年以内	490,337,574.42	6,815,004.32	1.39%
一到二年	27,390,647.53	3,903,167.27	14.25%
二到三年	1,751,592.64	555,748.39	31.73%

三到四年	1,125,603.01	721,934.89	64.14%
四年以上	3,317,562.22	3,317,562.22	100.00%
合计	523,922,979.82	15,313,417.09

按组合计提坏账的确认标准及说明：

□适用 √不适用

如按预期信用损失一般模型计提坏账准备，请参照其他应收款披露：

□适用 √不适用

(3). 坏账准备的情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

类别	期初余额	本期变动金额				期末余额
		计提	收回或转回	转销或核销	其他变动
应收账款坏账准备	31,462,451.03		3,040,100.31	13,069,699.65	-39,233.98	15,313,417.09
合计	31,462,451.03		3,040,100.31	13,069,699.65	-39,233.98	15,313,417.09

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用 √不适用

(4). 本期实际核销的应收账款情况

□适用 √不适用

(5). 按欠款方归集的期末余额前五名的应收账款情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

单位名称	期末余额	占应收账款期末余额合计数的比例(%)	坏账准备期末余额
余额前五名的应收账款总额	346,936,684.12	66.22%	(4,804,217.78)
合计	346,936,684.12	66.22%	(4,804,217.78)

其他说明无

(6). 因金融资产转移而终止确认的应收账款

□适用 √不适用

(7). 转移应收账款且继续涉入形成的资产、负债金额

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

6、 应收款项融资

□适用 √不适用

7、 预付款项

(1). 预付款项按账龄列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

账龄	期末余额		期初余额
	金额	比例(%)	金额	比例(%)
1年以内	20,849,717.51	100.00%	9,102,717.62	100.00%
合计	20,849,717.51	100.00%	9,102,717.62	100.00%

账龄超过1年且金额重要的预付款项未及时结算原因的说明：

于2021年12月31日，本集团无账龄超过一年的预付款项。

(2). 按预付对象归集的期末余额前五名的预付款情况

√适用 □不适用

单位名称	期末余额	占预付款项期末余额合计数的比例(%)
余额前五名的预付款项总额	12,783,480.74	61.31%
合计	12,783,480.74	61.31%

其他说明无。

其他说明

□适用 √不适用

8、 其他应收款

项目列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
应收利息	198,733.16	17,892.41
应收股利	-	-
其他应收款	17,339,399.44	32,790,516.29
合计	17,538,132.60	32,808,408.70

其他说明：

□适用 √不适用

应收利息

(1). 应收利息分类

□适用 √不适用

(2). 重要逾期利息

□适用 √不适用

(3). 坏账准备计提情况

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

(4). 应收股利

□适用 √不适用

(5). 重要的账龄超过1年的应收股利

□适用 √不适用

(6). 坏账准备计提情况

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

其他应收款

(7). 按账龄披露

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

账龄	期末账面余额
1年以内小计	17,407,196.44
1至2年	126,705.11
2至3年	14,524.31
3年以上	357,022.26
合计	17,905,448.12

(8). 按款项性质分类情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

款项性质	期末账面余额	期初账面余额
关联方借款	13,135,598.51	-
保证金及押金	2,660,882.77	29,853,000.00
应收退税款	1,390,326.44	1,961,732.08
员工备用金	156,157.10	455,309.70
应收利息	198,733.16	17,892.41
其他	363,750.14	1,015,798.08
合计	17,905,448.12	33,303,732.27

(9). 坏账准备计提情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

坏账准备	第一阶段	第二阶段	第三阶段	合计
	未来12个月预	整个存续期预期信	整个存续期预期信

	期信用损失	用损失(未发生信用减值)	用损失(已发生信用减值)
2021年1月1日余额	165,410.61		329,912.96	495,323.57
2021年1月1日余额在本期	165,410.61		329,912.96	495,323.57
--转入第二阶段
--转入第三阶段
--转回第二阶段
--转回第一阶段
本期计提			27,109.30	27,109.30
本期转回	(153,379.76)			(153,379.76)
本期转销
本期核销
其他变动	(1,737.59)			(1,737.59)
2021年12月31日余额	10,293.26		357,022.26	367,315.52

对本期发生损失准备变动的其他应收款账面余额显著变动的情况说明：

□适用 √不适用

本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：

□适用 √不适用

(10). 坏账准备的情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

类别	期初余额	本期变动金额				期末余额
		计提	收回或转回	转销或核销	其他变动
账龄组合	495,323.57	27,109.30	(153,379.76)	-	(1,737.59)	367,315.52
合计	495,323.57	27,109.30	(153,379.76)	-	(1,737.59)	367,315.52

其中本期坏账准备转回或收回金额重要的：

□适用 √不适用

(11). 本期实际核销的其他应收款情况

□适用 √不适用

(12). 按欠款方归集的期末余额前五名的其他应收款情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

单位名称	款项的性质	期末余额	账龄	占其他应收款期末余额合计数的比例(%)	坏账准备 期末余额
其他应收款1	关联方借款	13,135,598.51	一年以内	73.37%	9,076.18
其他应收款2	保证金及押金	1,690,882.77	一年以内	9.44%	-
其他应收款3	应收退税款	657,485.97	一年以内	3.67%	456.76
其他应收款4	应收退税款	402,927.51	一年以内	2.25%	236.34

其他应收款5	应收退税款	329,912.96	三年以上	1.84%	329,912.96
合计	/	16,216,807.72	/	90.57%	339,682.24

(13). 涉及政府补助的应收款项

□适用 √不适用

(14). 因金融资产转移而终止确认的其他应收款

□适用 √不适用

(15). 转移其他应收款且继续涉入形成的资产、负债的金额

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

9、 存货

(1). 存货分类

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额			期初余额
	账面余额	存货跌价准备/合同履约成本减值准备	账面价值	账面余额	存货跌价准备/合同履约成本减值准备	账面价值
原材料	580,834,894.73	(66,211,089.26)	514,623,805.47	383,430,387.53	(74,191,426.94)	309,238,960.59
在产品	348,276,866.77	-	348,276,866.77	201,796,923.46	-	201,796,923.46
发出商品	864,164,362.12	(13,320,426.62)	850,843,935.50	498,665,200.98	(4,911,598.12)	493,753,602.86
产成品	63,105,856.78	(14,602,946.16)	48,502,910.62	82,498,491.84	(23,423,102.92)	59,075,388.92
合计	1,856,381,980.40	(94,134,462.04)	1,762,247,518.36	1,166,391,003.81	(102,526,127.98)	1,063,864,875.83

(2). 存货跌价准备及合同履约成本减值准备

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初余额	本期增加金额		本期减少金额		期末余额
		计提	其他	转回或转销	其他
原材料	74,191,426.94	4,715,517.32		12,625,238.37	70,616.63	66,211,089.26
发出商品	4,911,598.12	10,661,032.02		2,252,203.52		13,320,426.62
产成品	23,423,102.92	-		8,820,156.76		14,602,946.16
合计	102,526,127.98	15,376,549.34		23,697,598.65	70,616.63	94,134,462.04

(3). 存货期末余额含有借款费用资本化金额的说明

□适用 √不适用

(4). 合同履约成本本期摊销金额的说明

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

10、 合同资产

(1). 合同资产情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额			期初余额
	账面余额	减值准备	账面价值	账面余额	减值准备	账面价值
合同资产	27,052,458.45	192,072.45	26,860,386.00	-	-	-
合计	27,052,458.45	192,072.45	26,860,386.00	-	-	-

(2). 报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因

(3). 本期合同资产计提减值准备情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期计提	本期转回	本期转销/核销	原因
合同资产减值准备	192,072.45			账龄组合
合计	192,072.45			/

如按预期信用损失一般模型计提坏账准备，请参照其他应收款披露：

√适用 □不适用

本集团对于合同资产，无论是否存在重大融资成分，均按照整个存续期的预期信用损失计量损失准备。

其他说明：

□适用 √不适用

11、 持有待售资产

□适用 √不适用

12、 一年内到期的非流动资产

□适用 √不适用

期末重要的债权投资和其他债权投资：

□适用 √不适用

其他说明无。

13、 其他流动资产

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
待抵扣进项税额	98,676,739.09	29,182,016.92
预缴所得税	30,569,977.73	40,014,368.52
其他	-	1,444,824.58
合计	129,246,716.82	70,641,210.02

其他说明无。

14、 债权投资

(1). 债权投资情况

□适用 √不适用

(2). 期末重要的债权投资

□适用 √不适用

(3). 减值准备计提情况

□适用 √不适用

本期减值准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

15、 其他债权投资

(1). 其他债权投资情况

□适用 √不适用

(2). 期末重要的其他债权投资

□适用 √不适用

(3). 减值准备计提情况

□适用 √不适用

本期减值准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

16、 长期应收款

(1). 长期应收款情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额			期初余额			折现率区间
	账面余额	坏账准备	账面价值	账面余额	坏账准备	账面价值
合同履约保证金	14,832,000.00	-	14,832,000.00	14,832,000.00	-	14,832,000.00
其他押金及保证金	6,975,924.96	-	6,975,924.96	6,922,190.50	-	6,922,190.50
应收产品销售款	-	-	-	10,453,858.06	-	10,453,858.06
合计	21,807,924.96	-	21,807,924.96	32,208,048.56		32,208,048.56	/

(2). 坏账准备计提情况

□适用 √不适用

本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据

□适用 √不适用

(3). 因金融资产转移而终止确认的长期应收款

□适用 √不适用

(4). 转移长期应收款且继续涉入形成的资产、负债金额

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

17、 长期股权投资

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

被投资单位	期初 余额	本期增减变动							期末 余额	减值准备期末余额
		追加投资	减少投资	权益法下确认的投资损益	其他综合收益调整	其他权益变动	计提减值准备	其他
一、合营企业
小计
二、联营企业
沈阳拓荆科技有限公司(“沈阳拓荆”)	158,550,242.85	-		-1,971,553.36		214,089.81		-	156,792,779.30	-
上海芯元基半导体科技有限公司(“上海芯元基”)	12,105,395.72	-		-83,891.02		-		5,755,531.31	17,777,036.01	-
上海洪朴信息科技有限公司(“上海洪朴”)	25,879,667.70	-		-3,047,293.70		-		-	22,832,374.00	-
SOLAYER GmbH (“Solayer”)	38,703,785.34	-		-6,968,490.53		-		599,602.85	32,334,897.66	(10,969,154.22)
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司(“中欣晶圆”)	199,999,999.90	-		-10,568,122.36		-		42,575,821.40	232,007,698.94	-
睿励科学仪器(上海)有限公司(“睿励仪器”)	-	105,000,000.00		-1,271,726.68		-		-	103,728,273.32	-
小计	435,239,091.51	105,000,000.00		-23,911,077.65		214,089.81		48,930,955.56	565,473,059.23	(10,969,154.22)
合计	435,239,091.51	105,000,000.00		-23,911,077.65		214,089.81		48,930,955.56	565,473,059.23	(10,969,154.22)

其他说明(a)于2021年4月6日，上海芯元基向其他投资方股权融资 83,000,000.00 元。本集团按稀释后的持股比例确认归属于本集团的因上海芯元基新增股权融资导致的净资产增加份额，与持股比例下降部分的长期股权投资账面价值之间的差额5,755,531.31元计入资本公积。

(b)于2021年5月14日，中欣晶圆向其他投资方股权融资 330,000,000.00 元。本集团按稀释后的持股比例确认归属于本集团的因中欣晶圆新增股权融资导致的净资产增加份额，与持股比例下降部分的长期股权投资账面价值之间的差额 42,575,821.40 元计入资本公积。

18、 其他权益工具投资

(1). 其他权益工具投资情况

□适用 √不适用

(2). 非交易性权益工具投资的情况

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

19、 其他非流动金融资产

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
非上市公司股权	815,041,400.00	235,055,000.00
合计	815,041,400.00	235,055,000.00

其他说明：

□适用 √不适用

20、 投资性房地产投资性房地产计量模式

(1). 采用成本计量模式的投资性房地产

单位：元 币种：人民币

项目	房屋、建筑物	合计
一、账面原值
1.期初余额	8,705,124.84	8,705,124.84
2.本期增加金额	-	-
（1）外购	-	-
（2）存货\固定资产\在建工程转入	-	-
（3）企业合并增加	-	-
3.本期减少金额	-	-
（1）处置	-	-
（2）其他转出	-	-
4.期末余额	8,705,124.84	8,705,124.84
二、累计折旧和累计摊销
1.期初余额	(1,257,709.19)	(1,257,709.19)
2.本期增加金额	(413,493.44)	(413,493.44)
（1）计提或摊销	(413,493.44)	(413,493.44)
3.本期减少金额
（1）处置	-	-
（2）其他转出	-	-
4.期末余额	(1,671,202.63)	(1,671,202.63)
三、减值准备
1.期初余额	-	-
2.本期增加金额
（1）计提	-	-
3、本期减少金额
（1）处置	-	-

（2）其他转出	-	-
4.期末余额	-	-
四、账面价值
1.期末账面价值	7,033,922.21	7,033,922.21
2.期初账面价值	7,447,415.65	7,447,415.65

于2021年度，投资性房地产计入管理费用的折旧费用金额为413,493.44元 (于2020年度计入其他业务成本及管理费用的折旧金额分别为84,060.48元及329,432.94 元)。

(2). 未办妥产权证书的投资性房地产情况

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

21、 固定资产

项目列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
固定资产	218,364,577.95	182,946,651.32
固定资产清理	-	-
合计	218,364,577.95	182,946,651.32

其他说明：

□适用 √不适用

固定资产

(1). 固定资产情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	房屋及建筑物	机器设备	计算机及电子设备	办公设备	运输工具	合计
一、账面原值：
1.期初余额	151,024,393.91	132,730,317.97	232,521,042.75	12,053,933.17	3,460,108.39	531,789,796.19
2.本期增加金额	5,958,867.27	136,858.81	91,613,206.18	840,550.55		98,549,482.81
（1）购置	-	136,858.81	88,038,779.92	8,600.00	-	88,184,238.73
（2）在建工程转入	5,958,867.27	-	3,574,426.26	831,950.55	-	10,365,244.08
（3）企业合并增加	-	-	-	-	-	-
3.本期减少金额	-	10,663,430.44	13,681,258.85	426,095.05	-	24,770,784.34
（1）处置或报废	-	10,620,953.49	1,953,561.59	423,210.00	-	12,997,725.08
(2)政府补助			11,584,222.03			11,584,222.03
(3)外币报表折算差异		42,476.95	143,475.23	2,885.05		188,837.23
4.期末余额	156,983,261.18	122,203,746.34	310,452,990.08	12,468,388.67	3,460,108.39	605,568,494.66
二、累计折旧

1.期初余额	68,514,574.75	113,944,001.44	152,457,699.53	11,441,564.36	2,386,346.61	348,744,186.69
2.本期增加金额	7,316,212.84	5,561,835.13	37,491,387.66	362,490.27	289,387.36	51,021,313.26
（1）计提	7,316,212.84	5,561,835.13	37,491,387.66	362,490.27	289,387.36	51,021,313.26
3.本期减少金额	-	10,244,571.80	2,003,175.92	412,793.70	-	12,660,541.42
（1）处置或报废	-	10,205,557.72	1,861,119.51	410,702.49	-	12,477,379.72
（2）外币报表折算差异	-	39,014.08	142,056.41	2,091.21	-	183,161.70
4.期末余额	75,830,787.59	109,261,264.77	187,945,911.27	11,391,260.93	2,675,733.97	387,104,958.53
三、减值准备
1.期初余额	-	98,958.18	-	-	-	98,958.18
2.本期增加金额	-	-	-	-	-	-
（1）计提	-	-	-	-	-	-
3.本期减少金额	-	-	-	-	-	-
（1）处置或报废	-	-	-	-	-	-
4.期末余额	-	98,958.18	-	-	-	98,958.18
四、账面价值
1.期末账面价值	81,152,473.59	12,843,523.39	122,507,078.81	1,077,127.74	784,374.42	218,364,577.95
2.期初账面价值	82,509,819.16	18,687,358.35	80,063,343.22	612,368.81	1,073,761.78	182,946,651.32

(2). 暂时闲置的固定资产情况

□适用 √不适用

(3). 通过融资租赁租入的固定资产情况

□适用 √不适用

(4). 通过经营租赁租出的固定资产

□适用 √不适用

(5). 未办妥产权证书的固定资产情况

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

固定资产清理

□适用 √不适用

22、 在建工程

项目列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
在建工程	407,283,807.25	13,944,386.94
工程物资	-	-
合计	407,283,807.25	13,944,386.94

其他说明：

□适用 √不适用

在建工程

(1). 在建工程情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额			期初余额
	账面余额	减值准备	账面价值	账面余额	减值准备	账面价值
临港产业化基地一期项目	290,068,897.32	-	290,068,897.32	4,124,016.79	-	4,124,016.79
南昌MOCVD生产基地项目	65,511,293.08	-	65,511,293.08	2,103,407.53	-	2,103,407.53
临港总部及研发中心项目	30,412,161.31	-	30,412,161.31	2,982,277.93	-	2,982,277.93
研发与扩产工程	19,050,341.16	-	19,050,341.16	-	-	-
洁净室改造工程	1,957,629.12	-	1,957,629.12	1,880,458.03	-	1,880,458.03
上海金桥厂房改造工程	283,485.26	-	283,485.26	2,854,226.66	-	2,854,226.66
合计	407,283,807.25	-	407,283,807.25	13,944,386.94	-	13,944,386.94

(2). 重要在建工程项目本期变动情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目名称	预算数	期初 余额	本期增加金额	本期转入固定资产金额	本期其他减少金额	期末 余额	工程累计投入占预算比例(%)	工程进度	利息资本化累计金额	其中：本期利息资本化金额	本期利息资本化率(%)	资金来源
临港产业化基地一期项目	211,501万	4,124,016.79	285,944,880.53	-		290,068,897.32	14%	14%	-	-	-	自有资金/募集资金
南昌MOCVD生产基地项目	317,733万	2,103,407.53	63,407,885.55	-		65,511,293.08	2%	2%	-	-	-	自有资金/募集资金
临港总部及研发中心项目	368,393万	2,982,277.93	27,429,883.38	-		30,412,161.31	1%	1%	-	-	-	自有资金/募集资金

合计

897,627万

9,209,702.25

376,782,649.46

-

385,992,351.71

-

-

-

(3). 本期计提在建工程减值准备情况

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

工程物资

(4). 工程物资情况

□适用 √不适用

23、 生产性生物资产

(1). 采用成本计量模式的生产性生物资产

□适用 √不适用

(2). 采用公允价值计量模式的生产性生物资产

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

24、 油气资产

□适用 √不适用

25、 使用权资产

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	房屋及建筑物	办公设备	合计
一、账面原值
1.期初余额	—	—	—
2.会计政策变更	10,457,779.93	28,238.58	10,486,018.51
2021年1月1日	10,457,779.93	28,238.58	10,486,018.51
3. 本年新增租赁合	13,861,750.86	-	13,861,750.86
４.外币报表折算差异	376,809.00	1,222.54	378,031.54
4.期末余额	23,942,721.79	27,016.04	23,969,737.82
二、累计折旧
1.期初余额	—	—	—
会计政策变更	-	-	-
2021年1月1日	-	-	-
2.本期增加金额
(1)计提	8,850,114.40	6,906.97	8,857,021.37
3.本期减少金额
(1)外币报表折算差异	73,139.08	152.84	73,291.92

4.期末余额	8,776,975.32	6,754.13	8,783,729.45
三、减值准备
1.期初余额
2.本期增加金额
(1)计提
3.本期减少金额
(1)处置
4.期末余额
四、账面价值
1.期末账面价值	15,165,746.47	20,261.91	15,186,008.38
2.期初账面价值	10,457,779.93	28,238.58	10,486,018.51

其他说明：

2021年度计入销售费用的折旧费用为8,857,021.37元。

26、 无形资产

(1). 无形资产情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	土地使用权	专利权	非专利技术	内部开发技术	合计
一、账面原值
1.期初余额	7,939,232.11	25,587,086.70	56,539,700.00	335,424,897.25	425,490,916.06
2.本期增加金额	190,962, 000.00	5,758,903.16	-	-	196,720,903.16
(1)购置	190,962, 000.00	5,758,903.16	-	-	196,720,903.16
(2)开发支出转入	-	-	-	151,566,541.45	151,566,541.45
(3)企业合并增加
3.本期减少金额		304.86			304.86
(1)处置
(2).外币报表折算差异	-	304.86	-	-	304.86
4.期末余额	198,901,232.11	31,345,685.00	56,539,700.00	486,991,438.70	773,778,055.81
二、累计摊销
1.期初余额	2,057,206.39	20,028,290.82	56,539,700.00	57,599,258.01	136,224,455.22
2.本期增加金额	3,878,149.68	3,878,922.19	-	56,939,660.41	64,696,732.28
（1）计提	3,878,149.68	3,878,922.19	-	56,939,660.41	64,696,732.28
3.本期减少金额		304.86			304.86
(1)处置

(2).外币报表折算差异	-	304.86	-	-	304.86
4.期末余额	5,935,356.07	23,906,908.15	56,539,700.00	114,538,918.42	200,920,882.64
三、减值准备
1.期初余额
2.本期增加金额
（1）计提
3.本期减少金额
(1)处置
4.期末余额
四、账面价值
1.期末账面价值	192,965,876.04	7,438,776.85	-	372,452,520.28	572,857,173.17
2.期初账面价值	5,882,025.72	5,558,795.88	-	277,825,639.24	289,266,460.84

本期末通过公司内部研发形成的无形资产占无形资产余额的比例65.02％

(2). 未办妥产权证书的土地使用权情况

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

27、 开发支出

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初 余额	本期增加金额		本期减少金额		期末 余额
		内部开发支出	其他	确认为无形资产	转入当期损益
刻蚀机相关项目	211,222,460.83	95,250,502.78	-	151,566,541.45	-	154,906,422.16
MOCVD相关项目	59,985,595.52	37,233,287.43		-	-	97,218,882.95
合计	271,208,056.35	132,483,790.21	-	151,566,541.45	-	252,125,305.11

其他说明于2021年度，本集团研究开发支出共计727,797,981.87元，政府补助抵减研发费用197,727,048.35元，研究开发支出净额为530,070,933.52元，其中：计入研发费用397,587,143.31元，开发支出资本化132,483,790.21元(于2020年度，本集团研究开发支出共计639,786,670.75元，政府补助抵减研发费用231,858,983.60元，研究开发支出净额为407,927,687.15元，其中：计入研发费用330,721,402.07元，开发支出资本化77,206,285.08元)。

28、 商誉

(1). 商誉账面原值

□适用 √不适用

(2). 商誉减值准备

□适用 √不适用

(3). 商誉所在资产组或资产组组合的相关信息

□适用 √不适用

(4). 说明商誉减值测试过程、关键参数（例如预计未来现金流量现值时的预测期增长率、稳定期

增长率、利润率、折现率、预测期等，如适用）及商誉减值损失的确认方法

□适用 √不适用

(5). 商誉减值测试的影响

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

29、 长期待摊费用

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初余额	本期增加金额	本期摊销金额	其他减少金额	期末余额
使用权资产改良	2,734,115.91	-	2,212,216.15	16,572.50	505,327.26
合计	2,734,115.91	-	2,212,216.15	16,572.50	505,327.26

其他说明：

无。

30、 递延所得税资产/ 递延所得税负债

(1). 未经抵销的递延所得税资产

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额		期初余额
	可抵扣暂时性差异	递延所得税 资产	可抵扣暂时性差异	递延所得税 资产
资产减值准备	110,261,772.09	16,539,265.81	117,149,473.03	17,572,420.96
预提费用	49,319,001.15	7,397,850.18	28,922,656.62	4,338,398.49
固定资产折旧	40,325,982.77	6,048,897.41	20,149,441.05	3,022,416.16
租赁负债	11,749,493.23	1,762,423.98	—	—
可抵扣亏损	-	-	56,778,703.75	8,516,805.55
合计	211,656,249.24	31,748,437.38	223,000,274.45	33,450,041.16

(2). 未经抵销的递延所得税负债

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额		期初余额
	应纳税暂时性差异	递延所得税 负债	应纳税暂时性差异	递延所得税 负债

交易性金融资产的公允价值变动
使用权资产	(10,316,169.38)	(1,547,425.41)	—	—
其他权益工具投资公允 变动损益	(555,922,969.23)	(83,388,445.39)	(265,200,119.62)	(39,780,017.94)
合计	(566,239,138.61)	(84,935,870.80)	(265,200,119.62)	(39,780,017.94)

(3). 以抵销后净额列示的递延所得税资产或负债

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	递延所得税资产和负债期末互抵金额	抵销后递延所得税资产或负债期末余额	递延所得税资产和负债期初互抵金额	抵销后递延所得税资产或负债期初余额
递延所得税资产	(27,978,432.22)	3,770,005.16	(33,450,041.16)	-
递延所得税负债	27,978,432.22	(56,957,438.58)	33,450,041.16	(6,329,976.78)

(4). 未确认递延所得税资产明细

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
可抵扣暂时性差异	28,471,452.38	80,636,326.17
可抵扣亏损	535,631,314.77	507,831,255.50
合计	564,102,767.15	588,467,581.67

(5). 未确认递延所得税资产的可抵扣亏损将于以下年度到期

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

年份	期末金额	期初金额	备注
2021	-	5,516,570.06
2022	309,946.36	309,946.36
2023	6,351,630.17	6,662,140.08
2024	2,773,455.02	2,782,762.12
2025	4,461,884.45	4,630,131.98
2026	22,736,893.45	-
无固定到期日	498,997,505.32	487,929,704.90
合计	535,631,314.77	507,831,255.50	/

其他说明：

□适用 √不适用

31、 其他非流动资产

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额			期初余额
	账面余额	减值准备	账面价值	账面余额	减值准备	账面价值
预付厂房工程款	133,796,500.21	-	133,796,500.21	-	-	-

预付投资款	-	-	-	5,000,000.00	-	5,000,000.00
预付土地购置款及相关款项	-	-	-	139,162,000.00	-	139,162,000.00
合计	133,796,500.21	-	133,796,500.21	144,162,000.00	-	144,162,000.00

其他说明：

无。

32、 短期借款

(1). 短期借款分类

□适用 √不适用

(2). 已逾期未偿还的短期借款情况

□适用 √不适用

其中重要的已逾期未偿还的短期借款情况如下：

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

33、 交易性金融负债

□适用 √不适用

34、 衍生金融负债

□适用 √不适用

35、 应付票据

(1). 应付票据列示

□适用 √不适用

36、 应付账款

(1). 应付账款列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
应付材料采购款	734,629,687.54	422,217,875.80
合计	734,629,687.54	422,217,875.80

(2). 账龄超过1年的重要应付账款

□适用 √不适用

其他说明

√适用 □不适用

于2021年12月31日，账龄超过一年的应付账款为1,249,284.19元(2020年12月31日：303,668.30

元)，主要为未结清的应付材料采购款。

37、 预收款项

(1). 预收账款项列示

□适用 √不适用

(2). 账龄超过1年的重要预收款项

□适用 √不适用

其他说明

□适用 √不适用

38、 合同负债

(1). 合同负债情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
预收产品销售款	1,372,363,466.36	592,139,816.14
合计	1,372,363,466.36	592,139,816.14

(2). 报告期内账面价值发生重大变动的金额和原因

□适用 √不适用

其他说明：

√适用 □不适用

包括在2020年12月31日账面价值中的511,681,596.76元合同负债已于2021年度转入营业收入。

39、 应付职工薪酬

(1). 应付职工薪酬列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初余额	本期增加	本期减少	期末余额
一、短期薪酬	106,560,316.11	561,865,972.21	536,084,788.28	132,341,500.04
二、离职后福利-设定提存计划	-	31,490,816.43	31,490,816.43	-
三、辞退福利	-	1,695,797.42	1,695,797.42	-
合计	106,560,316.11	595,052,586.06	569,271,402.13	132,341,500.04

(2). 短期薪酬列示

√适用 □不适用

单位：元 币种:人民币

项目	期初余额	本期增加	本期减少	期末余额
一、工资、奖金、津贴和补贴	84,750,428.86	498,059,209.17	466,665,155.36	116,144,482.67
二、职工福利费	19,441,025.55	27,884,880.71	37,389,525.00	9,936,381.26
三、社会保险费	32,038.41	19,911,915.63	15,691,524.30	4,252,429.74
其中：医疗保险费	32,038.41	17,732,795.83	13,512,404.50	4,252,429.74
工伤保险费	-	354,286.23	354,286.23	-
生育保险费	-	1,824,833.57	1,824,833.57	-
四、住房公积金	160,068.18	14,152,944.33	14,161,828.51	151,184.00
五、股票增值权	2,176,755.11	1,857,022.37	2,176,755.11	1,857,022.37
合计	106,560,316.11	561,865,972.21	536,084,788.28	132,341,500.04

(3). 设定提存计划列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初余额	本期增加	本期减少	期末余额
1、基本养老保险	-	30,517,888.29	30,517,888.29	-
2、失业保险费	-	972,928.14	972,928.14	-
合计	-	31,490,816.43	31,490,816.43	-

其他说明：

√适用 □不适用

于2021年度，本集团因解除劳动关系所支付的辞退福利为1,695,797.42元(2020年度：1,810,067.51元)。

40、 应交税费

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
个人所得税	5,851,109.46	3,355,352.68
应交企业所得税	4,215,323.87	5,218,003.03
城市维护建设税	3,699,205.21	36,874.27
应交教育费附加	2,547,646.96	30,235.98
应交增值税	2,334,053.53	3,573,754.45
应交印花税	1,690,611.67	1,050,627.30
应交土地契税	-	5,562,000.00
其他	2,632.95	106,543.59
合计	20,340,583.65	18,933,391.30

其他说明：

无。

41、 其他应付款

项目列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
其他应付款	247,226,956.93	29,998,179.58
合计	247,226,956.93	29,998,179.58

其他说明：

□适用 √不适用

应付利息

(1). 分类列示

□适用 √不适用

应付股利

(2). 分类列示

□适用 √不适用

其他应付款

(1). 按款项性质列示其他应付款

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
应付采购固定资产款	193,411,577.40	4,844,042.69
应付日常运营费用	25,398,820.01	3,877,588.44
应付专业机构服务费	9,642,185.27	7,367,446.04
应付物流费	8,548,643.04	4,435,320.46
应付员工福利	3,016,841.46	4,065,277.84
应付专利申请费	1,835,113.06	1,484,721.10
应付系统维护费	274,936.69	2,801,711.50
其他	5,098,840.00	1,122,071.51
合计	247,226,956.93	29,998,179.58

(2). 账龄超过1年的重要其他应付款

□适用 √不适用

其他说明：

√适用 □不适用

于2021年12月31日，账龄超过一年的其他应付款为1,025,171.03元，(2020年12月31日：

255,996.87元)，主要为应付日常运营费用，该款项尚未结清。

42、 持有待售负债

□适用 √不适用

43、 1年内到期的非流动负债

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
1年内到期的租赁负债	12,235,901.05	4,504,713.12
合计	12,235,901.05	4,504,713.12

其他说明：

无。

44、 其他流动负债

其他流动负债情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
1年内到期的预计负债	52,026,564.18	62,781,288.38
合计	52,026,564.18	62,781,288.38

短期应付债券的增减变动：

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

45、 长期借款

(1). 长期借款分类

□适用 √不适用

其他说明，包括利率区间：

□适用 √不适用

46、 应付债券

(1). 应付债券

□适用 √不适用

(2). 应付债券的增减变动：（不包括划分为金融负债的优先股、永续债等其他金融工具）

□适用 √不适用

(3). 可转换公司债券的转股条件、转股时间说明

□适用 √不适用

(4). 划分为金融负债的其他金融工具说明

期末发行在外的优先股、永续债等其他金融工具基本情况

□适用 √不适用

期末发行在外的优先股、永续债等金融工具变动情况表

□适用 √不适用

其他金融工具划分为金融负债的依据说明：

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

47、 租赁负债

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
租赁负债	4,441,995.63	5,981,305.39
合计	4,441,995.63	5,981,305.39

其他说明：

于2021年12月31日，本集团按新租赁准则进行简化处理的短期租赁和低价值资产租赁合同的未来最低应支付租金分别为2,032,771.92元和22,400.00元，均为一年内支付。

48、 长期应付款

项目列示

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

长期应付款

(1). 按款项性质列示长期应付款

□适用 √不适用

专项应付款

(2). 按款项性质列示专项应付款

□适用 √不适用

49、 长期应付职工薪酬

√适用 □不适用

(1). 长期应付职工薪酬表

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
股票增值权激励计划(附注十三(3))	3,206,858.15	3,385,625.20
合计	3,206,858.15	3,385,625.20

(2). 设定受益计划变动情况

设定受益计划义务现值：

□适用 √不适用

计划资产：

□适用 √不适用

设定受益计划净负债（净资产）

□适用 √不适用

设定受益计划的内容及与之相关风险、对公司未来现金流量、时间和不确定性的影响说明：

□适用 √不适用

设定受益计划重大精算假设及敏感性分析结果说明

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

50、 预计负债

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初余额	期末余额	形成原因
产品质量保证	78,848,568.61	62,060,278.63
减：预计将于一年内到期部分	(62,781,288.38)	(52,026,564.18)
合计	16,067,280.23	10,033,714.45	/

其他说明，包括重要预计负债的相关重要假设、估计说明：

无。

51、 递延收益

递延收益情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初余额	本期增加	本期减少	期末余额	形成原因
政府补助	173,156,162.00	183,039,200.00	210,311,270.38	145,884,091.62	政府拨付用于研发的资金
合计	173,156,162.00	183,039,200.00	210,311,270.38	145,884,091.62	/

涉及政府补助的项目：

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

负债项目	期初余额	本期新增补助金额	本期计入营业外收入金额	本期计入其他收益金额	其他变动	期末余额	与资产相关/与收益相关
刻蚀机相关项目	125,621,276.63	173,239,000.00	-	-	186,710,577.50	112,149,699.13	收益相关
MOCVD相关项目	28,334,808.68	8,300,000.00	-	1,000,000.00	5,620,782.51	30,014,026.17	收益相关
其他研发项目	400,000.00	1,500,200.00	-	-	-	1,900,200.00	收益相关
刻蚀机相关项目	13,920,004.33	-	-	-	13,920,004.33	-	资产相关
MOCVD相关项目	119,969.13	-	-	-	119,969.13	-	资产相关
其他研发项目	4,760,103.23	-	-	-	2,939,936.91	1,820,166.32	资产相关
合计	173,156,162.00	183,039,200.00	-	1,000,000.00	209,311,270.38	145,884,091.62

其他说明：

□适用 √不适用

52、 其他非流动负债

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
剩余基金财产分配义务	1,100,000.0	-
合计	1,100,000.0	-

其他说明：

于2021年度， 本公司与上海正海资产管理有限公司和上海钡沛企业管理中心(有限合伙)签订合伙协议，成立无锡正海缘宇创业投资合伙企业(有限合伙)(以下简称“无锡正海缘宇”)。无锡正海缘宇的存续期限为七年，经全体合伙人一致同意，该期限可以变更。根据合伙协议，无锡正海缘宇的认缴总规模为人民币10,000.00万元，具体的实缴金额以无锡正海缘宇的实际投资情况为准。本公司拥有对无锡正海缘宇的控制权。

在存续期限届满时，无锡正海缘宇将承担向上海正海资产管理有限公司和上海钡沣企业管理中心(有限合伙)进行剩余基金财产分配的义务，构成金融负债。

53、 股本

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

	期初余额	本次变动增减（+、一）					期末余额
		发行 新股	送股	公积金 转股	其他	小计
股份总数	534,862,237.00	81,382,243.00				81,382,243.00	616,244,480.00

其他说明：

根据中国证券监督管理委员会证监许可[2021]645号文《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》，本公司获准发行不超过80,229,335股的人民币普通股A股股票。截至2021年6月22日止，本公司完成了向特定对象发行80,229,335股A股。本次募集资金总额计人民币8,206,658,677.15元，本公司股本增加80,229,335.00元，扣除发行费用88,496,236.01元之后，剩余8,037,933,106.14元计入资本公积(股本溢价)。

根据本公司2021年7月9日第一届董事会第二十一次会议决议审议通过的《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》的规定，本公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期规定的归属条件已经完成。本次授予实际行权人数为540人，共授予1,152,908股限制性股票，每股授予价格为150.00元，共计收到出资款人民币172,953,056.60元，其中计入股本1,152,908.00元，剩余171,800,148.60元计入资本公积(股本溢价)，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。

54、 其他权益工具

(1). 期末发行在外的优先股、永续债等其他金融工具基本情况

□适用 √不适用

(2). 期末发行在外的优先股、永续债等金融工具变动情况表

□适用 √不适用

其他权益工具本期增减变动情况、变动原因说明，以及相关会计处理的依据：

□适用 √不适用

其他说明:

□适用 √不适用

55、 资本公积

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初余额	本期增加	本期减少	期末余额
资本溢价（股本溢价）	3,683,966,558.34	8,292,904,037.86	-	11,976,870,596.20
其他资本公积	135,373,324.17	258,750,286.75	83,170,783.12	310,952,827.80
合计	3,819,339,882.51	8,551,654,324.61	83,170,783.12	12,287,823,424.00

其他说明，包括本期增减变动情况、变动原因说明：

无。

56、 库存股

□适用 √不适用

57、 其他综合收益

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初 余额	本期发生金额						期末 余额
		本期所得税前发生额	减：前期计入其他综合收益当期转入损益	减：前期计入其他综合收益当期转入留存收益	减：所得税费用	税后归属于母公司	税后归属于少数股东
二、将重分类进损益的其他综合收益
其中：权益法下可转损益的其他综合收益	-300,195.48	599,602.85	-	-	-	599,602.85	-	299,407.37
外币财务报表折算差额	-21,687,730.89	9,073,091.10	-	-	-	9,073,091.10	-	-12,614,639.79
其他综合收益合计	-21,987,926.37	9,672,693.95				9,672,693.95		-12,315,232.42

其他说明，包括对现金流量套期损益的有效部分转为被套期项目初始确认金额调整：

无。

58、 专项储备

□适用 √不适用

59、 盈余公积

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期初余额	本期增加	本期减少	期末余额
法定盈余公积	69,631,992.01	89,021,040.35	－	158,653,032.36
合计	69,631,992.01	89,021,040.35	－	158,653,032.36

盈余公积说明，包括本期增减变动情况、变动原因说明：

根据《中华人民共和国公司法》及本公司章程，本公司按年度净利润的10%提取法定盈余公积金，当法定盈余公积金累计额达到注册资本的50%以上时，可不再提取。法定盈余公积金经批准后可用于弥补亏损，或者增加股本。本公司2021年按净利润的10%提取法定盈余公积金89,021,040.35元(2020年度： 42,864,572.37元)。

60、 未分配利润

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期	上期
调整前上期末未分配利润	(32,788,490.39)	(482,123,079.33)
调整期初未分配利润合计数（调增+，调减－）	-	-
调整后期初未分配利润	(32,788,490.39)	(482,123,079.33)
加：本期归属于母公司所有者的净利润	1,011,423,670.06	492,199,161.31
减：提取法定盈余公积	89,021,040.35	42,864,572.37
提取任意盈余公积	-	-
提取一般风险准备	-	-
应付普通股股利	-	-

转作股本的普通股股利
期末未分配利润	889,614,139.32	(32,788,490.39)

调整期初未分配利润明细：

1、由于《企业会计准则》及其相关新规定进行追溯调整，影响期初未分配利润0 元。

2、由于会计政策变更，影响期初未分配利润0 元。

3、由于重大会计差错更正，影响期初未分配利润0 元。

4、由于同一控制导致的合并范围变更，影响期初未分配利润0 元。

5、其他调整合计影响期初未分配利润0 元。

61、 营业收入和营业成本

(1). 营业收入和营业成本情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额		上期发生额
	收入	成本	收入	成本
主营业务	3,108,134,730.67	1,760,588,922.07	2,273,144,009.93	1,416,958,436.04
其他业务	-	-	147,888.13	91,667.36
合计	3,108,134,730.67	1,760,588,922.07	2,273,291,898.06	1,417,050,103.40

(2). 合同产生的收入的情况

□适用 √不适用

合同产生的收入说明：

□适用 √不适用

(3). 履约义务的说明

□适用 √不适用

(4). 分摊至剩余履约义务的说明

□适用 √不适用

其他说明：

无。

62、 税金及附加

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
城市维护建设税	9,037,074.00	80,036.57
教育费附加	3,899,571.43	107,337.07
印花税	2,964,290.68	1,263,038.88
地方教育费附加	2,801,517.49	71,544.04
城镇土地使用税	158,707.04	104,706.82
房产税	102,531.60	102,531.60
其他	91,105.62	124,101.28
合计	19,054,797.86	1,853,296.26

其他说明：

无。

63、 销售费用

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
职工薪酬费用	143,108,630.59	120,335,160.59
预计产品质量保证	63,584,173.66	52,517,137.39
股份支付费用	57,935,308.30	33,909,890.79
折旧与摊销费用	10,746,158.25	1,716,174.13
交通差旅费	8,572,717.59	7,347,078.52
办公费用	4,923,571.68	3,878,360.88
水电费	3,670,716.85	2,004,869.18
物流仓储费	2,810,852.97	3,675,764.16
其他	700,875.91	11,279,400.65
合计	296,053,005.80	236,663,836.29

其他说明：

无。

64、 管理费用

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
职工薪酬费用	101,793,353.73	67,976,588.13
股份支付费用	48,149,614.38	28,911,366.65
专业机构服务费	20,178,677.75	24,159,571.96
专利费	9,638,813.48	8,707,078.17
办公费用	4,129,097.88	3,421,455.16
交通差旅费	3,509,512.44	2,746,191.64
水电费	3,281,428.23	1,890,439.53
折旧与摊销费用	3,307,553.23	2,155,388.80
保险费	2,650,576.42	2,721,714.58
其他	5,973,470.26	10,313,551.58
合计	202,612,097.80	153,003,346.20

其他说明：

无。

65、 研发费用

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
职工薪酬费用	163,799,671.81	100,223,061.22
耗用的原材料和低值易耗品等	104,732,359.65	142,835,522.44
股份支付费用	86,852,195.98	48,939,985.35
折旧与摊销费用	15,822,728.64	10,643,799.28
水电费	5,639,967.48	5,126,631.56
交通差旅费	4,981,767.33	3,866,888.05
办公费用	3,208,691.60	3,928,740.20
其他	12,549,760.82	15,156,773.97
合计	397,587,143.31	330,721,402.07

其他说明：

于2021年度，本集团收到政府补助冲减研发费用金额为197,727,048.35元(2020年度：

231,858,983.60元)，参见附注七(27)。

66、 财务费用

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
利息收入	-76,576,165.19	-9,774,035.37
减：利息费用	650,255.76	260,774.82
其中：租赁负债利息支出	650,255.76	—
汇兑净(损失)/收益	2,622,864.16	-1,171,234.18
手续费	2,438,954.05	3,259,686.59
合计	-70,864,091.22	-7,424,808.14

其他说明：

无

67、 其他收益

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
财政补贴与扶持资金(a)	148,043,982.54	18,708,654.60
南昌高新开发区补贴(b)	42,140,650.00	84,620,000.00
专利资助费	815,000.00	747,540.00
其他	1,407,130.03	2,061,482.02
合计	192,406,762.57	106,137,676.62

其他说明：

（a）于2021年度，本公司获得财政补贴与扶持资金主要系极大规模集成电路装备及成套工艺专项中央补助资金。（b）于2021年度，本公司之子公司中微南昌获得政府补贴42,140,650.00元(2020年度：

84,620,000.00元)，该政府补助与中微南昌日常经营业务相关并已连续四年获得，本集团将其确认为其他收益项目。

68、 投资收益

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
交易性权益工具投资收益	129,000,111.85	-
按权益分担的被投资单位净亏损的份额(附注七(17))	-23,911,077.65	-17,348,516.45
理财产品收益	38,052,691.96	44,363,246.80
合计	143,141,726.16	27,014,730.35

其他说明：

无。

69、 净敞口套期收益

□适用 √不适用

70、 公允价值变动收益

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

产生公允价值变动收益的来源	本期发生额	上期发生额
以公允价值计量且其变动计入当期损益的金融资产—
权益工具投资	279,536,701.71	261,728,996.34
银行理财产品	11,473,295.60	-4,264,664.38
股票增值权	2,688,149.18	-
合计	293,698,146.49	257,464,331.96

其他说明：

无。

71、 信用减值损失转回／（计提）

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
应收账款坏账转回	3,040,100.31	708,877.68
应收票据坏账转回	492,896.10	(888,116.77)
其他应收款坏账转回	126,270.46	(10,458.55)
合计	3,659,266.87	(189,697.64)

其他说明：

无。

72、 资产减值损失

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
一、存货跌价损失	2,668,258.06	6,016,890.27
二、合同资产减值损失	192,072.45	-
三、长期股权投资减值损失	-	10,969,154.22
合计	2,860,330.51	16,986,044.49

其他说明：

无。

73、 资产处置收益

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
固定资产处置收益/(损失)	129,648.15	(42,372.67)
合计	129,648.15	(42,372.67)

其他说明：

于2021年度及2020年度，资产处置收益/(损失)均已计入非经常性损益。

74、 营业外收入

营业外收入情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额	计入当期非经常性损益的金额
保险赔偿款	166,105.36	18,525.00	166,105.36
罚金及理赔款	62,538.46	48,980.70	62,538.46
其他	117,812.69	27,927.58	117,812.69
合计	346,456.51	95,433.28	346,456.51

计入当期损益的政府补助

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

75、 营业外支出

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额	计入当期非经常性损益的金额
对外捐赠	808,403.50	1,300,000.00	808,403.50
疫情防护用品	-	147,090.00	-
其他	1,041.39	774,887.29	1,041.39
合计	809,444.89	2,221,977.29	809,444.89

其他说明：

于2021年度及2020年度，营业外支出均已计入非经常性损益。

76、 所得税费用

(1). 所得税费用表

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
当期所得税费用	74,687,830.44	14,060,306.82
递延所得税费用	46,857,456.64	6,329,976.78
合计	121,545,287.08	20,390,283.60

(2). 会计利润与所得税费用调整过程

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额
利润总额	1,132,815,086.40
按法定/适用税率计算的所得税费用	283,203,771.60
子公司适用不同税率的影响	(647,764.82)
优惠税率的影响	(115,430,692.25)
不可抵扣的成本、费用和损失的影响	44,468,466.79
安置残疾人员所支付的工资加计扣除	(51,639.01)
研发加计扣除	(77,613,385.91)
使用前期未确认递延所得税资产的暂时性差异	(9,750,473.40)
使用前期未确认递延所得税资产的可抵扣亏损的影响	(4,652,483.46)
本期未确认递延所得税资产的可抵扣暂时性差异或可抵扣亏损的影响	2,019,487.54
所得税费用	121,545,287.08

其他说明：

□适用 √不适用

77、 其他综合收益

√适用 □不适用

详见本节附注七、57

78、 现金流量表项目

(1). 收到的其他与经营活动有关的现金

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
收到的政府补助	374,821,962.57	435,488,676.62
收到的预缴所得税退回	41,741,320.73	-
收到的利息收入	28,662,860.43	9,719,568.07
收回保函及信用证保证金	34,607,758.67	14,321,706.36
其他	152,339.19	3,741,975.91
合计	479,986,241.59	463,271,926.96

收到的其他与经营活动有关的现金说明：

无。

(2). 支付的其他与经营活动有关的现金

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
支付保函及信用证保证金	50,270,825.84	16,397,478.91
交通差旅费用支出	18,097,191.44	15,128,210.36
办公费用支出	13,775,784.43	12,301,168.66
专利费支出	9,638,813.48	8,707,078.17
办公室租赁费支出	3,319,156.07	7,245,283.79
财务费用手续费	2,438,954.05	3,259,686.59
下拨的政府补助	376,000.00	12,872,000.00
其他	3,513,755.83	5,378,568.25
合计	101,430,481.14	81,289,474.73

支付的其他与经营活动有关的现金说明：

无。

(3). 收到的其他与投资活动有关的现金

√适用 □不适用

单位：元 币种:人民币

项目	本期发生额	上期发生额
收回土地使用权出让竞买 及合同履约保证金	28,728,000.00	12,070,000.00
合计	28,728,000.00	12,070,000.00

收到的其他与投资活动有关的现金说明：

无。

(4). 支付的其他与投资活动有关的现金

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
关联方借款	13,787,464.00	-
合计	13,787,464.00	-

支付的其他与投资活动有关的现金说明：

无。

(5). 收到的其他与筹资活动有关的现金

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
无锡正海缘宇合伙人出资款	1,100,000.00	-
合计	1,100,000.00	-

收到的其他与筹资活动有关的现金说明：

无。

(6). 支付的其他与筹资活动有关的现金

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
偿还租赁负债支付的金额	8,008,916.98	-
再融资发行费用	4,984,824.66	1,444,824.58
合计	12,993,741.64	1,444,824.58

支付的其他与筹资活动有关的现金说明：

无。

79、 现金流量表补充资料

(1). 现金流量表补充资料

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

补充资料	本期金额	上期金额
1．将净利润调节为经营活动现金流量：
净利润	1,011,269,799.32	492,306,518.50
加：资产减值准备	2,860,330.51	16,986,044.49
信用减值损失	-3,659,266.87	189,697.64
固定资产折旧、油气资产折耗、生产性生物资产折旧	33,179,634.30	29,556,920.83
使用权资产摊销	8,857,021.37	—
无形资产摊销	60,791,442.62	48,382,339.93
长期待摊费用摊销	2,212,216.15	5,885,197.16
处置固定资产、无形资产和其他长期资产的损失（收益以“－”号填列）	-129,648.15	42,372.67
固定资产报废损失（收益以“－”号填列）	-	-
公允价值变动损失（收益以“－”号填列）	-293,698,146.49	-257,464,331.96
股份支付费用	214,830,717.26	123,590,483.18

财务费用（收益以“－”号填列）	-31,146,484.92	22,670,501.82
投资损失（收益以“－”号填列）	-143,141,726.16	-27,014,730.35
递延所得税资产减少（增加以“－”号填列）	-3,770,005.16	-
递延所得税负债增加（减少以“－”号填列）	50,627,461.80	6,329,976.78
存货的减少（增加以“－”号填列）	-700,980,283.96	18,310,357.10
经营性应收项目的减少（增加以“－”号填列）	-305,905,860.99	-17,385,822.98
经营性应付项目的增加（减少以“－”号填列）	1,161,784,599.83	293,616,759.44
其他	-47,725,712.06	90,290,570.79
经营活动产生的现金流量净额	1,016,256,088.40	846,292,855.04
2．不涉及现金收支的重大投资和筹资活动：
取得使用权资产	13,861,750.86
债务转为资本		5,000,000.00
一年内到期的可转换公司债券		-
融资租入固定资产		-
3．现金及现金等价物净变动情况：
现金的期末余额	4,171,165,798.43	1,113,426,614.20
减：现金的期初余额	1,113,426,614.20	828,619,907.81
加：现金等价物的期末余额		-
减：现金等价物的期初余额		-
现金及现金等价物净增加额	3,057,739,184.23	284,806,706.39

(2). 本期支付的取得子公司的现金净额

□适用 √不适用

(3). 本期收到的处置子公司的现金净额

□适用 √不适用

(4). 现金和现金等价物的构成

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
一、现金	4,171,165,798.43	1,113,426,614.20
其中：库存现金	106,912.21	100,705.19
可随时用于支付的银行存款	4,171,058,886.22	1,113,325,909.01
可随时用于支付的其他货币资金
可用于支付的存放中央银行款项
存放同业款项
拆放同业款项
二、现金等价物
其中：三个月内到期的债券投资

三、期末现金及现金等价物余额	4,171,165,798.43	1,113,426,614.20
其中：母公司或集团内子公司使用受限制的现金和现金等价物

其他说明：

√适用 □不适用

	期末余额	期初余额
货币资金	8,658,859,679.52	1,131,669,784.82
减：其他货币资金	(33,836,516.39)	(18,173,449.22)
七天通知存款（附注七、1）	(4,418,500,773.89)	-
应收利息	(35,356,590.81)	(69,721.40)
现金及现金等价物	4,171,165,798.43	1,113,426,614.20

80、 所有者权益变动表项目注释说明对上年期末余额进行调整的“其他”项目名称及调整金额等事项：

□适用 √不适用

81、 所有权或使用权受到限制的资产

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末账面价值	受限原因
货币资金	33,836,516.39	保函、信用证保证金
合计	33,836,516.39	/

其他说明：

无。

82、 外币货币性项目

(1). 外币货币性项目

√适用 □不适用

单位：元

项目	期末外币余额	折算汇率	期末折算人民币 余额
货币资金
其中：美元	114,711,884.85	6.3757	731,368,564.24
新台币	21,400,743.00	0.2302	4,926,442.37
其他			2,047,031.16
应收账款
其中：美元	55,745,107.58	6.3757	355,414,098.12
其他			64,858.49
其他应收款
其中：欧元	1,819,375.00	7.2197	13,135,341.69

美元	103,436.88	6.3757	659,482.52
应付账款
其中：美元	83,589,087.45	6.3757	532,938,944.85
其他			2,373,131.73
其他应付款
其中：美元	1,051,789.40	6.3757	6,705,893.68
租赁负债
其中：美元	105,169.49	6.3757	670,529.12
韩元	94,870,671.81	0.0054	508,526.33
其他			243,250.34
一年内到期的非流动负债
其中：美元	171,388.81	6.3757	1,092,723.64
韩元	158,999,855.69	0.0054	852,271.95
其他			776,964.78

其他说明：

上述外币货币性项目指除人民币之外的所有货币。

(2). 境外经营实体说明，包括对于重要的境外经营实体，应披露其境外主要经营地、记账本位币及选择依据，记账本位币发生变化的还应披露原因

□适用 √不适用

83、 套期

□适用 √不适用

84、 政府补助

(1). 政府补助基本情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

种类	金额	列报项目	计入当期损益的金额
财政补贴与扶持资金	148,043,982.54	其他收益	148,043,982.54
南昌高新开发区补贴	42,140,650.00	其他收益	42,140,650.00
专利资助费	815,000.00	其他收益	815,000.00
其他	1,407,130.03	其他收益	1,407,130.03

与递延收益相关的政府补助请参见附注七、51。

(2). 政府补助退回情况

□适用 √不适用

其他说明：

无。

85、 其他

□适用 √不适用

八、 合并范围的变更

1、 非同一控制下企业合并

□适用 √不适用

2、 同一控制下企业合并

□适用 √不适用

3、 反向购买

□适用 √不适用

4、 处置子公司

是否存在单次处置对子公司投资即丧失控制权的情形

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

5、 其他原因的合并范围变动

说明其他原因导致的合并范围变动（如，新设子公司、清算子公司等）及其相关情况：

□适用 √不适用

6、 其他

□适用 √不适用

九、 在其他主体中的权益

1、 在子公司中的权益

(1). 企业集团的构成

√适用 □不适用

子公司 名称	主要经营地	注册地	业务性质	持股比例(%)		取得 方式
				直接	间接
中微惠创科技(上海)有限公司	中国	上海	产品制造及贸易销售	100%	-	投资设立
中微半导体设备(厦门)有限公司	中国	福建	产品制造及贸易销售	100%	-	投资设立
南昌中微半导体设备有限公司	中国	南昌	产品制造及贸易销售	100%	-	投资设立
中微汇链科技(上海)有限公司	中国	上海	技术服务	100%	-	投资设立
中微半导体(上海)有限公司	中国	上海	产品制造及贸易销售	100%	-	投资设立
中微科技投资管理(上海)有限公司	中国	上海	投资管理	100%	-	投资设立
芯汇康医疗器械(上海)有限公司	中国	上海	产品制造及贸易销售	100%	-	投资设立
无锡正海缘宇创业投资合伙企业 (有限合伙)	中国	无锡	投资管理	98%	-	投资设立
Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte. Ltd.	新加坡	新加坡	贸易销售	100%	-	同一控制下企业合并
AMEC Japan Co., Inc.	日本	日本	贸易销售	100%	-	同一控制下企业合并
AMEC North America, Inc.	美国	美国	贸易销售	100%	-	同一控制下企业合并
Advanced Micro-Fabrication Equipment Korea Ltd.	韩国	韩国	贸易销售	100%	-	同一控制下企业合并

在子公司的持股比例不同于表决权比例的说明：

不适用

持有半数或以下表决权但仍控制被投资单位、以及持有半数以上表决权但不控制被投资单位的依据：

不适用

对于纳入合并范围的重要的结构化主体，控制的依据：

不适用

确定公司是代理人还是委托人的依据：

不适用

其他说明：

不适用

(2). 重要的非全资子公司

□适用 √不适用

(3). 重要非全资子公司的主要财务信息

□适用 √不适用

(4). 使用企业集团资产和清偿企业集团债务的重大限制

□适用 √不适用

(5). 向纳入合并财务报表范围的结构化主体提供的财务支持或其他支持

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

2、 在子公司的所有者权益份额发生变化且仍控制子公司的交易

□适用 √不适用

3、 在合营企业或联营企业中的权益

□适用 √不适用

4、 重要的共同经营

□适用 √不适用

5、 在未纳入合并财务报表范围的结构化主体中的权益

未纳入合并财务报表范围的结构化主体的相关说明：

□适用 √不适用

6、 其他

□适用 √不适用

十、 与金融工具相关的风险

□适用 √不适用

十一、 公允价值的披露

1、 以公允价值计量的资产和负债的期末公允价值

√适用 □不适用

单位:元 币种:人民币

项目	期末公允价值
	第一层次公允价值计量	第二层次公允价值计量	第三层次公允价值计量	合计
一、持续的公允价值计量
（一）交易性金融资产
1.以公允价值计量且变动计入当期损益的金融资产

（1）交易性权益工具投资			365,665,655.86	365,665,655.86
（2）理财产品			2,144,944,418.88	2,144,944,418.88
（3）其他非流动金融资产			815,041,400.00	815,041,400.00
持续以公允价值计量的资产总额			3,325,651,474.74	3,325,651,474.74

2、 持续和非持续第一层次公允价值计量项目市价的确定依据

□适用 √不适用

3、 持续和非持续第二层次公允价值计量项目，采用的估值技术和重要参数的定性及定量信息

□适用 √不适用

4、 持续和非持续第三层次公允价值计量项目，采用的估值技术和重要参数的定性及定量信息

□适用 √不适用

5、 持续的第三层次公允价值计量项目，期初与期末账面价值间的调节信息及不可观察参数敏感性分析

□适用 √不适用

6、 持续的公允价值计量项目，本期内发生各层级之间转换的，转换的原因及确定转换时点的政策

□适用 √不适用

7、 本期内发生的估值技术变更及变更原因

□适用 √不适用

8、 不以公允价值计量的金融资产和金融负债的公允价值情况

□适用 √不适用

9、 其他

□适用 √不适用

十二、 关联方及关联交易

1、 本企业的母公司情况

□适用 √不适用

2、 本企业的子公司情况

本企业子公司的情况详见附注

√适用 □不适用

子公司的基本情况及相关信息见附注九、1。

3、 本企业合营和联营企业情况

本企业重要的合营或联营企业详见附注

□适用 √不适用

本期与本公司发生关联方交易，或前期与本公司发生关联方交易形成余额的其他合营或联营企业情况如下

√适用 □不适用

合营或联营企业名称	与本企业关系
沈阳拓荆	联营企业
上海芯元基	联营企业
Solayer	联营企业

其他说明

□适用 √不适用

4、 其他关联方情况

√适用 □不适用

其他关联方名称	其他关联方与本企业关系
睿励仪器	关联人（与公司同一董事长）
上海华力微电子有限公司	其他
上海集成电路研发中心有限公司	其他
昂坤视觉(北京)科技有限公司	其他
上海微电子装备(集团)股份有限公司	其他
上海华力集成电路制造有限公司	其他
南昌昂坤半导体设备有限公司	其他
盛美半导体设备（上海）股份有限公司	其他
华灿光电(苏州)有限公司	其他
华灿光电(浙江)有限公司	其他

其他说明无。

5、 关联交易情况

(1). 购销商品、提供和接受劳务的关联交易

采购商品/接受劳务情况表

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

关联方	关联交易内容	本期发生额	上期发生额
南昌昂坤半导体设备有限公司	采购商品及接受服务	31,992,324.24	9,969,654.97
上海集成电路研发中心有限公司	采购商品及接受服务	1,657,500.00	374,000.00
沈阳拓荆	采购商品及接受服务	240,000.00	216,000.00
上海微电子装备(集团)股份有限公司	采购商品及接受服务	158,087.00	174,246.00
昂坤视觉(北京)科技有限公司	采购商品及接受服务	-	1,020,170.02
上海芯元基	采购商品及接受服务		110,870.00

出售商品/提供劳务情况表

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

关联方

关联交易内容

本期发生额

上期发生额

上海华力集成电路制造有限公司	销售商品及提供服务	282,304,580.45	103,041,506.62
华灿光电(浙江)有限公司	销售商品及提供服务	24,437,489.40	8,521,107.53
上海华力微电子有限公司	销售商品及提供服务	10,090,662.76	11,434,698.85
沈阳拓荆	销售商品及提供服务	3,837,106.17	4,830,782.75
上海芯元基	销售商品及提供服务	2,927,169.81	1,576,603.81
睿励仪器	销售商品及提供服务	1,159,603.76	-
上海集成电路研发中心有限公司	销售商品及提供服务	177,261.85	544,743.00
南昌昂坤半导体设备有限公司	销售商品及提供服务	67,924.52	-
盛美半导体设备(上海)有限公司	销售商品及提供服务	44,339.62	114,575.47
Solayer	销售商品及提供服务	-	46,175.32

购销商品、提供和接受劳务的关联交易说明

□适用 √不适用

(2). 关联租赁情况

本公司作为出租方：

□适用 √不适用

本公司作为承租方：

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

出租方名称	租赁资产种类	本期确认的租赁费	上期确认的租赁费
上海华力集成电路制造有限公司	办公室	48,419.78	32,736.00

关联租赁情况说明

□适用 √不适用

(3). 关联担保情况

本公司作为担保方

□适用 √不适用

本公司作为被担保方

□适用 √不适用

关联担保情况说明

□适用 √不适用

(4). 关联方资金拆借

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

关联方	拆借金额	起始日	到期日	说明
拆出
Solayer	12,995,460.00		2022-11-30

(5). 关联方资产转让、债务重组情况

□适用 √不适用

(6). 关键管理人员报酬

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
关键管理人员报酬	28,692,941.41	17,858,665.80
关键管理人员股份支付费用	4,540,889.44	5,562,380.32

(7). 其他关联交易

□适用 √不适用

6、 关联方应收应付款项

(1). 应收项目

√适用 □不适用

单位:元 币种:人民币

项目名称	关联方	期末余额		期初余额
		账面余额	坏账准备	账面余额	坏账准备
应收账款	上海华力集成电路制造有限公司	42,419,025.51	(643,329.59)	44,900,606.03	(989,149.80)
应收账款	华灿光电(浙江)有限公司	24,029,373.67	(2,470,721.10)	20,891,004.54	(460,223.92)
应收账款	上海华力微电子有限公司	2,147,455.48	(31,064.57)	1,433,459.33	(31,578.77)
应收账款	上海芯元基	2,051,877.40	(20,518.77)	-	-
应收账款	华灿光电(苏州)有限公司	1,102,646.19	(1,102,646.19)	1,914,529.91	(1,914,529.91)
应收账款	沈阳拓荆	885,684.70	(8,856.85)	170,928.18	(1,709.28)
应收账款	睿励科学仪器（上	567,853.76	-	-	-

	海）有限公司
应收账款	南昌昂坤半导体设备有限公司	60,000.00	(600.00)	-	-
应收账款	上海集成电路研发中心有限公司	37,552.87	(375.53)	-	-
其他应收款	Solayer	13,135,598.51	-	-	-
其他应收款	上海芯元基	-	-	672,641.51	-
预付款项	上海华力集成电路制造有限公司	3,922.04	-	-	-
预付款项	南昌昂坤半导体设备有限公司	-	-	1,281,158.40	-
长期应收款	华灿光电(浙江)有限公司	-	-	10,453,858.06	-

(2). 应付项目

√适用 □不适用

单位:元 币种:人民币

项目名称	关联方	期末账面余额	期初账面余额
应付账款	南昌昂坤半导体设备有限公司	8,523,590.00	2,156,056.19
应付账款	上海微电子装备(集团)股份有限公司	125,882.00	12,430.00
其他应付款	上海华力集成电路制造有限公司	12,104.96	-
其他应付款	沈阳拓荆	-	240,000.00
预收款项	华灿光电(苏州)有限公司	165,995,575.20	-
预收款项	上海华力集成电路制造有限公司	-	27,538.33

7、 关联方承诺

□适用 √不适用

8、 其他

□适用 √不适用

十三、 股份支付

1、 股份支付总体情况

√适用 □不适用

单位：股 币种：人民币

公司本期授予的各项权益工具总额	-
公司本期行权的各项权益工具总额	1,289,608.00
公司本期失效的各项权益工具总额	894,830
公司期末发行在外的股票期权行权价格的范围和合同剩余期限	于2021年12月31日，发行在外的限制性股票行权价格为150.00元(2020年12月31日：150.00元)，限制性股票加权平均合同剩余期限为2.54年(2020年12月31日：3.54年)。
公司期末发行在外的其他权益工具行权价格的范围和合同剩余期限	股票增值权行权价格的为 150 元/股。于2021年12月31日，股票增值权加权平均合同剩余期限为2.5年(2020年12月31日：3.5年)。

其他说明无。

2、 以权益结算的股份支付情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

授予日权益工具公允价值的确定方法	本集团采用二叉树模型确定公允价值。
可行权权益工具数量的确定依据	激励对象自首次授予之日起4年内，每年归属权益数量占授予权益总量的25%，且每次权益归属以满足相应的归属条件为前提。
本期估计与上期估计有重大差异的原因	无。
以权益结算的股份支付计入资本公积的累计金额	328,317,930.69
本期以权益结算的股份支付确认的费用总额	210,289,827.82

其他说明无。

3、 以现金结算的股份支付情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

公司承担的、以股份或其他权益工具为基础计算确定的负债的公允价值确定方法	本集团采用二叉树模型确定公允价值。
负债中以现金结算的股份支付产生的累计负债金额	10,103,269.75
本期以现金结算的股份支付而确认的费用总额	4,540,889.44

其他说明无。

4、 股份支付的修改、终止情况

□适用 √不适用

5、 其他

□适用 √不适用

十四、 承诺及或有事项

1、 重要承诺事项

√适用 □不适用

资产负债表日存在的对外重要承诺、性质、金额

(1) 资本性支出承诺事项

以下为于资产负债表日，本集团已签约而尚不必在资产负债表上列示的资本性支出承诺：

	2021年12月31日		2020年12月31日
房屋、建筑物及机器设备	981,936,964.87		141,579,228.98

2、 或有事项

(1). 资产负债表日存在的重要或有事项

□适用 √不适用

(2). 公司没有需要披露的重要或有事项，也应予以说明：

□适用 √不适用

3、 其他

□适用 √不适用

十五、 资产负债表日后事项

1、 重要的非调整事项

□适用 √不适用

2、 利润分配情况

□适用 √不适用

3、 销售退回

□适用 √不适用

4、 其他资产负债表日后事项说明

□适用 √不适用

十六、 其他重要事项

1、 前期会计差错更正

(1). 追溯重述法

□适用 √不适用

(2). 未来适用法

□适用 √不适用

2、 债务重组

□适用 √不适用

3、 资产置换

(1). 非货币性资产交换

□适用 √不适用

(2). 其他资产置换

□适用 √不适用

4、 年金计划

□适用 √不适用

5、 终止经营

□适用 √不适用

6、 分部信息

(1). 报告分部的确定依据与会计政策

□适用 √不适用

(2). 报告分部的财务信息

□适用 √不适用

(3). 公司无报告分部的，或者不能披露各报告分部的资产总额和负债总额的，应说明原因

□适用 √不适用

(4). 其他说明

□适用 √不适用

7、 其他对投资者决策有影响的重要交易和事项

□适用 √不适用

8、 其他

□适用 √不适用

十七、 母公司财务报表主要项目注释

1、 应收账款

(1). 按账龄披露

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

账龄	期末账面余额
1年以内小计	726,235,652.95
1至2年	5,093,024.63
2至3年	289,366.90
3至4年	1,125,603.01
4年以上	2,106,732.51
合计	734,850,380.00

(2). 按坏账计提方法分类披露

□适用 √不适用

按单项计提坏账准备：

□适用 √不适用

按组合计提坏账准备：

√适用 □不适用

组合计提项目：账龄组合

单位：元 币种：人民币

名称	期末余额
	应收账款	坏账准备	计提比例（%）
1年以内	187,079,724.01	404,092.20	0.22%
1至2年	5,093,024.63	345,979.35	6.79%
2至3年	289,366.90	112,849.62	39.00%
3至4年	1,125,603.01	810,474.69	72.00%
4年以上	2,106,732.51	2,106,732.51	100.00%
合计	195,694,451.06	3,780,128.37

按组合计提坏账的确认标准及说明：

√适用 □不适用

本年度应收合并范围内款项金额为539,155,928.94元，整个存续期预期信用损失率为0.21%，计提坏账准备金额为1,123,107.38元。

如按预期信用损失一般模型计提坏账准备，请参照其他应收款披露：

□适用 √不适用

(3). 坏账准备的情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

类别	期初余额	本期变动金额				期末余额
		计提	收回或转回	转销或核销	其他变动
按组合计提坏账准备	7,818,003.23		1,742,899.47	1,171,868.01		4,903,235.75
合计	7,818,003.23		1,742,899.47	1,171,868.01		4,903,235.75

其中本期坏账准备收回或转回金额重要的：

□适用 √不适用

(4). 本期实际核销的应收账款情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	核销金额
实际核销的应收账款	1,171,868.01

其中重要的应收账款核销情况

□适用 √不适用

(5). 按欠款方归集的期末余额前五名的应收账款情况

√适用 □不适用

于2021年12月31日，按应收对象归集的期末余额前五名的应收款项合计人民币645,975,537.98元，坏账准备金额合计人民币1,680,264.03元，占应收账款期末合计数的87.91%。

(6). 因金融资产转移而终止确认的应收账款

□适用 √不适用

(7). 转移应收账款且继续涉入形成的资产、负债金额

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

2、 其他应收款

项目列示

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额	期初余额
应收利息	-	17,892.41
应收股利	-	-
其他应收款	621,736,479.71	6,261,760.59
合计	621,736,479.71	6,279,653.00

其他说明：

□适用 √不适用

应收利息

(1). 应收利息分类

□适用 √不适用

(2). 重要逾期利息

□适用 √不适用

(3). 坏账准备计提情况

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

(4). 应收股利

□适用 √不适用

(5). 重要的账龄超过1年的应收股利

□适用 √不适用

(6). 坏账准备计提情况

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

其他应收款

(1). 按账龄披露

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

账龄	期末账面余额
1年以内
其中：1年以内分项
1年以内小计	622,489,598.41
1至2年	23,091.11
2至3年	14,524.31
3年以上	357,022.26
合计	622,884,236.09

(2). 按款项性质分类情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

款项性质	期末账面余额	期初账面余额
应收关联方款项	621,349,376.18	3,096,415.01
应收退税款	732,840.47	1,270,846.76
押金或保证金	250,000.00	1,125,000.00
员工备用金	129,357.10	365,943.70
其他	422,662.34	903,934.49
减：坏账准备	(1,147,756.38)	(482,486.96)
合计	621,736,479.71	6,279,653.00

(3). 坏账准备计提情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

坏账准备	第一阶段	第二阶段	第三阶段	合计
	未来12个月预期信用损失	整个存续期预期信用损失(未发生信用减值)	整个存续期预期信用损失(已发生信用减值)
2021年1月1日余额	(482,486.96)			(482,486.96)
2021年1月1日余额在本期	(482,486.96)			(482,486.96)

--转入第二阶段
--转入第三阶段
--转回第二阶段
--转回第一阶段
本期计提	(665,269.42)			(665,269.42)
本期转回
本期转销
本期核销
其他变动
2021年12月31日余额	(1,147,756.38)			(1,147,756.38)

对本期发生损失准备变动的其他应收款账面余额显著变动的情况说明：

□适用 √不适用

本期坏账准备计提金额以及评估金融工具的信用风险是否显著增加的采用依据：

□适用 √不适用

(4). 坏账准备的情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

类别	期初余额	本期变动金额				期末余额
		计提	收回或转回	转销或核销	其他变动
账龄组合	(482,486.96)	(665,269.42)				(1,147,756.38)
合计	(482,486.96)	(665,269.42)				(1,147,756.38)

其中本期坏账准备转回或收回金额重要的：

□适用 √不适用

(5). 本期实际核销的其他应收款情况

□适用 √不适用

(6). 按欠款方归集的期末余额前五名的其他应收款情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

单位名称	款项的性质	期末余额	账龄	占其他应收款期末余额合计数的比例(%)	坏账准备 期末余额
其他应收款1	合并范围内关联方借款及代垫款	608,402,271.01	一年以内	97.67%	(766,586.86)
其他应收款2	合并范围内关联方借款及代垫款	4,688,998.84	一年以内	0.75%	(5,908.14)
其他应收款3	合并范围内关联方借款及代垫款	4,584,046.87	一年以内	0.74%	(5,775.90)

其他应收款4	合并范围内关联方借款及代垫款	3,173,059.46	一年以内	0.51%	(3,998.05)
其他应收款5	合并范围内关联方借款及代垫款	501,000.00	一年以内	0.08%	(631.26)
合计	/	621,349,376.18	/	99.75%	(782,900.21)

(7). 涉及政府补助的应收款项

□适用 √不适用

(8). 因金融资产转移而终止确认的其他应收款

□适用 √不适用

(9). 转移其他应收款且继续涉入形成的资产、负债金额

□适用 √不适用

其他说明：

□适用 √不适用

3、 长期股权投资

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	期末余额			期初余额
	账面余额	减值准备	账面价值	账面余额	减值准备	账面价值
对子公司投资	973,533,432.83	20,606,108.47	952,927,324.36	338,877,034.78	-	338,877,034.78
对联营、合营企业投资	565,473,059.23	10,969,154.22	554,503,905.01	435,239,091.51	10,969,154.22	424,269,937.29
合计	1,539,006,492.06	31,575,262.69	1,507,431,229.37	774,116,126.29	10,969,154.22	763,146,972.07

(1). 对子公司投资

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

被投资单位	期初余额	本期增加	本期减少	期末余额	本期计提减值准备	减值准备期末余额
中微临港	185,000,000.00	495,434,865.15	-	680,434,865.15	-	-
中微国际	106,240,618.89	35,456,640.43	-	141,697,259.32	-	-
中微厦门	21,155,219.12	2,243,098.37	-	23,398,317.49	-	-
中微惠创	18,674,347.03	1,931,761.44	-	20,606,108.47	20,606,108.47	20,606,108.47
中微汇链	2,965,743.60	1,699,671.79	-	4,665,415.39	-	-
中微南昌	4,841,106.14	6,890,360.87	-	11,731,467.01	-	-
中微科技	-	50,000,000.00	-	50,000,000.00	-	-
无锡正海缘宇	-	41,000,000.00	-	41,000,000.00	-	-
合计	338,877,034.78	634,656,398.05	-	973,533,432.83	20,606,108.47	20,606,108.47

(2). 对联营、合营企业投资

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

投资

期初

本期增减变动

期末

单位	余额	追加投资	减少投资	权益法下确认的投资损益	其他综合收益调整	其他权益变动	宣告发放现金股利或利润	计提减值准备	其他	余额	减值准备期末余额
一、合营企业
小计
二、联营企业
沈阳拓荆	158,550,242.85	-	-	(1,971,553.36)	-	214,089.81	-		-	156,792,779.30	-
上海芯元基	12,105,395.72	-	-	(83,891.02)	-	-		-	5,755,531.31	17,777,036.01	-
上海洪朴	25,879,667.70	-	-	(3,047,293.70)	-	-	-	-	-	22,832,374.00	-
Solayer	38,703,785.34	-	-	(6,968,490.53)	-	-	-	-	599,602.85	32,334,897.66	(10,969,154.22)
中欣晶圆	199,999,999.90	-	-	(10,568,122.36)	-	-	-	-	42,575,821.40	232,007,698.94	-
睿励仪器	-	105,000,000.00	-	(1,271,726.68)	-	-	-	-	-	103,728,273.32	-
小计	435,239,091.51	105,000,000.00		(23,911,077.65)	-	214,089.81	-	-	48,930,955.56	565,473,059.23	(10,969,154.22)
合计	435,239,091.51	105,000,000.00		(23,911,077.65)	-	214,089.81	-	-	48,930,955.56	565,473,059.23	(10,969,154.22)

其他说明：

于2021年4月6日，上海芯元基向其他投资方股权融资 83,000,000.00 元。本集团按稀释后的持股比例确认归属于本集团的因上海芯元基新增股权融资导致的净资产增加份额，与持股比例下降部分的长期股权投资账面价值之间的差额5,755,531.31元计入资本公积。

于2021年5月14日，中欣晶圆向其他投资方股权融资 330,000,000.00 元。本集团按稀释后的持股比例确认归属于本集团的因中欣晶圆新增股权融资导致的净资产增加份额，与持股比例下降部分的长期股权投资账面价值之间的差额 42,575,821.40 元计入资本公积。

4、 营业收入和营业成本

(1). 营业收入和营业成本情况

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额		上期发生额
	收入	成本	收入	成本
主营业务	2,642,423,748.96	1,630,608,478.36	1,987,682,271.30	1,309,891,197.97
其他业务
合计	2,642,423,748.96	1,630,608,478.36	1,987,682,271.30	1,309,891,197.97

(2). 合同产生的收入的情况

□适用 √不适用

(3). 履约义务的说明

□适用 √不适用

(4). 分摊至剩余履约义务的说明

□适用 √不适用

其他说明：

无

5、 投资收益

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	本期发生额	上期发生额
权益法核算的长期股权投资收益	(23,911,077.65)	(17,348,516.45)
处置交易性金融资产取得的投资收益	166,647,187.37	42,100,898.91
合计	142,736,109.72	24,752,382.46

其他说明：

无。

6、 其他

□适用 √不适用

十八、 补充资料

1、 当期非经常性损益明细表

√适用 □不适用

单位：元 币种：人民币

项目	金额	说明
非流动资产处置损益	129,648.15
计入当期损益的政府补助（与企业业务密切相关，按照国家统一标准定额或定量享受的政府补助除外）	347,993,160.92
除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，持有交易性金融资产、衍生金融资产、交易性金融负债、衍生金融负债产生的公允价值变动损益，以及处置交易性金融资产、衍生金融资产、交易性金融负债、衍生金融负债和其他债权投资取得的投资收益	460,750,950.30
除上述各项之外的其他营业外收入和支出	-462,988.38
其他符合非经常性损益定义的损益项目	-
小计	808,410,770.99
减：所得税影响额	121,370,950.97
少数股东权益影响额	12,148.27
合计	687,027,671.75

非经常性损益明细表编制基础

根据中国证券监督管理委员会《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益[2008]》的规定，非经常性损益是指与公司正常经营业务无直接关系，以及虽与正常经营业务相关，但由于其性质特殊和偶发性，影响报表使用人对公司经营业绩和盈利能力作出正确判断的各项交易和事项产生的损益。

对公司根据《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》定义界定的非经常性损益项目，以及把《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

□适用 √不适用

2、 净资产收益率及每股收益

√适用 □不适用

报告期利润	加权平均净资产收益率（%）	每股收益
		基本每股收益	稀释每股收益
归属于公司普通股股东的净利润	11.09%	1.76	1.76
扣除非经常性损益后归属于公司普通股股东的净利润	3.56%	0.56	0.56

3、 境内外会计准则下会计数据差异

□适用 √不适用

4、 其他

□适用 √不适用

董事长：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）

董事会批准报送日期：2022年3月30日

修订信息

□适用 √不适用