海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司继续使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”或“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对公司继续使用闲置募集资金进行现金管理的事项进行了核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号），公司于2021年11月18日首次公开发行A股43,355,753股，每股的发行价为人民币85.00元，募集资金总额为人民币368,523.90万元，扣除发行费用后，实际募集资金净额（以下简称“募资净额”）为人民币348,125.85万元。上述募资净额已由立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》予以确认。
为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。
二、募集资金使用情况
截至2024年6月30日，公司募投项目及募集资金使用情况详见公司于2024年8月8日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2024年半年度募集资金存放与实际使用情况专项报告》。
三、前次使用暂时闲置募集资金进行现金管理的基本情况
2023年8月3日公司召开第二届董事会第五次会议及第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于继续使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在保证不影响募集资金计划正常进行的前提下，使用最高不超过人民币15亿元的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，使用期限自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。在上述使用期限内，公司严格按照董事会授权的额度对闲置募集资金进行现金管理。鉴于上述授权期限已到期，公司拟继续使用暂时闲置募集资金进行现金管理。
四、本次使用暂时闲置募集资金进行现金管理的基本情况
（一）投资目的
为进一步规范公司募集资金的使用与管理，在不影响募集资金投资计划正常进行的前提下，合理利用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，可以提高募集资金使用效益。
（二）额度及期限
在保证不影响公司募集资金投资计划正常进行的前提下，公司拟使用最高不超过人民币2亿元的暂时闲置募集资金进行现金管理，使用期限自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。
（三）投资产品品种
为控制资金使用风险，公司拟使用闲置募集资金购买流动性好、安全性高、有保本约定的理财产品或存款类产品，包括但不限于保本型理财产品、结构性存
款、通知存款、定期存款、大额存单、信托理财产品、收益凭证等。该等现金管理产品不用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。
（四）决议有效期
自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。
（五）实施方式
公司董事会授权公司董事长或董事长授权人员在上述额度范围内行使投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务部负责组织实施。
（六）信息披露
公司将按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规的规定和要求，及时披露募集资金进行现金管理的具体情况，不变相改变募集资金用途。
（七）现金管理收益的分配
公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证监会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。
五、对公司日常经营的影响
公司本次计划使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理是在确保公司募投项目所需资金和保证募集资金安全的前提下进行的，不会影响公司日常资金正常周转需要和募集资金项目的正常运转，亦不会影响公司主营业务的正常发展。
同时，对暂时闲置的募集资金适时进行现金管理，能获得一定的投资收益，有利于进一步提升公司整体业绩水平，为公司和股东谋取较好的投资回报。
六、风险控制措施
（一）为控制风险，公司进行现金管理时，将选择购买安全性高、流动性好
的、有保本约定的投资产品。
（二）公司现金管理投资品种不得用于股票及其衍生产品。上述投资产品不
得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。
（三）公司财务部安排专人及时分析和跟踪现金管理产品投向、项目进展情
况，一旦发现或判断有不利因素，及时通报公司内审人员、公司董事长，并采取相应的保全措施，最大限度地控制投资风险、保证资金的安全。
（四）监事会有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机
构进行审计。
（五）公司将严格根据中国证监会和上海证券交易所的相关规定，及时履行
信息披露的义务。
七、审议程序及相关意见
公司于2024年8月6日召开第二届董事会第十二次会议、第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于继续使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在保证不影响募集资金计划正常进行的前提下，使用最高不超过人民币2亿元的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，使用期限自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。公司董事会授权公司董事长或董事长授权人员在上述额度范围内行使投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务部负责组织实施。
监事会认为：公司继续使用闲置募集资金进行现金管理事项符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》以及公司《募集资金管理制度》等相关规定。公司本次继续使用不超过人民币2亿元的暂时闲置募集资金进行现金管理，内容及审议程序符合相关法律法规、规章及规范性文件的要求，不会影响募集资金投资项目的正常实施，不存在变相改变募集资金投向和损害公司及全体股东利益的情形，尤其是中小股东
的利益。同时，该举措有助于提高公司的资金使用效率，获取良好的资金回报。
因此，监事会同意公司使用最高不超过人民币2亿元的暂时闲置募集资金在确保不影响募集资金投资项目实施、确保募集资金安全的前提下用于现金管理。
八、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为，公司本次继续使用闲置募集资金进行现金管理事项已经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序；公司通过投资安全性高、流动性好的理财产品，可以提高资金使用效率，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对公司本次继续使用闲置募集资金进行现金管理事项无异议。
（以下无正文）
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司继续使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人签名：
张博文 李 凌
海通证券股份有限公司
年 月 日